JPS63248042A - 静電集束・静電偏向型の撮像管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、静電集束・静電偏向型（以下Ｓ−Ｓ型という
）の撮像管に関する。

（発明の概要〕 本発明は、電子ビームの偏向を行なうアローパターンの
偏向電極を備えるＳ−Ｓ型の撮像管において、偏向電極
の後段に垂直偏向中心電位に保持された独立の集束電極
を形成するようにしたことにより、電子ビームのターゲ
ツト面におけるスポット径を効果的に小として、中央２
周辺とも解像度を上げることができるようにしたもので
ある。

〔従来の技術〕

第３図はＳ−Ｓ型の撮像管の一例を示すものである。

同図において、（１）はガラスバルブ、（２）はフェー
スプレート、（３）はターゲツト面（光電変換面）、（
４）は冷封止用のインジウム、（５）は金属リングであ
る。また、（６）はフェースプレート（２）を貫通して
ターゲツト面（３）に接触するようになされている信号
取出用の金属電極である。また、Ｇ６メツシュ状電極で
あり、メツシュホルダー（７）に取付けられる。

この電極Ｇεはメツシュホルダー（７）、インジウム（
４）を介して金属リング（５）に接続される。そして、
この金属リング（５）を介してメツシュ状電極Ｇ６に所
定電圧が印加される。

また、第３図において、Ｋ、Ｇｌ及びＧ２は、夫々電子
銃を構成するカソード、第１グリツド電極及び第２グリ
ツド電極である。また、（８）はこれらを固定するため
のビードガラスである。また、ＬＡはビーム制限開孔で
ある。

また、第３図において、Ｇ３．Ｇ４及びＧ５は、夫々第
３、第４及び第５グリツド電極であり、またＧｓ’はメ
ツシュ状電極Ｇｅに接続される電極である。これらの電
極Ｇ３〜ＧＧ’は、夫々ガラスバルブ（１）の内面にク
ロム、アルミニウム等の金属が蒸着あるいはメッキされ
た後、例えばレーザーによるカッティング、フォトエツ
チング等により所定パターンに形成される。電極Ｇ３．
Ｇ４及びＧ５により集束用の電極系が構成されると共に
、Ｇ４は偏向兼用の電極でもある。

また、電極Ｇ５は、例えばガラスバルブ（１）の側面に
あけられた穴にフリットガラス（９）を用いて封着され
た電極ピン（１０）に接続される。そして、電極Ｇ５に
は、この電極ピン（１０）を介して所定電圧が印加され
る。

また、第３図における電極０３〜Ｇ６’は、第４図にそ
の展開図を示すように形成される。同図において、電極
Ｇ４は絶縁されて入り組んでいる４つの電極部Ｈ＋、Ｈ
−，ｖ＋、ｖ−が交互に配されたアローパターンとされ
る。即ち、この電極Ｇ４はいわゆるデフレフトロンとさ
れる。そして、これら電極部Ｈ＋、Ｈ−、Ｖ十及び■−
からのリード（１２Ｈ＋）、　（１２Ｈ−）、　（１２
Ｖ＋）及び（１２Ｖ−）が、これらの電極が形成される
と同時にガラスバルブ（１）の内面に同様に形成される
。そしてこれらリードは、電極Ｇ３と絶縁され、かつこ
れを横切るように形成される。この第４図において、Ｓ
Ｌは、真空排気のために０１及びＧ２電極を管外から加
熱するに際し、電極Ｇ３を加熱しないようにするために
設けられたスリットである。

また、第３図に戻って、（１３）はその一端がステムピ
ン（１４）に接続されたコンタクタ−スプリングであり
、４組設けられる。そして、夫々の組のコンタクタ−ス
プリング（１３）の他端は、上述したリード（１２Ｈ＋
）、　（１２Ｈ−）、　（１２Ｖ＋）及び（１２Ｖ　−
’）に当接するようになされる。そして、電極Ｇ４の電
極部Ｈ十及びＨ−には、所定電圧を中心に夫々対称的に
変化する水平偏向電圧が印加される。また、電極Ｇ４の
電極部■十及び■−にも所定電圧を中心に対称的に変化
する垂直偏向電圧が印加される。

また、（１５）はその一端がステムピン（１６）に接続
されたコンタクタ−スプリングである。そして、このコ
ンタクタ−スプリング（１５）の他端は電極Ｇ３に当接
するようになされ、電極Ｇ３に所定電圧が印加される。

第５図において、破線で示すものは、電極０３〜Ｇ６で
形成される静電レンズの等電位面を示すもので、これら
形成される静電レンズにより電子ビームＢｍの集束が行
なわれる。そして、電極Ｇ５及び０６間に形成される静
電レンズによりランディングエラーの補正が行なわれる
。また、電子ビームＢｍの偏向は電極Ｇ４による偏向電
界Ｅによって行なわれる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第３図例に示すような撮像管において、解像度を上げる
ために、像倍率を低くすることが考えられる。しかし、
像倍率を低くするために、電極Ｇ４の中心をターゲツト
面（３）側に移行すると、偏向角が大きくなり、周辺の
収差が大となるために周辺解像度が劣化することとなる
。

本発明はこのような点に鑑み、中央２周辺とも解像度を
上げることができるようにしたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、電子ビームの偏向を行なうアローパターンの
偏向電極を備える静電集束・静電偏向型の撮像管であっ
て、偏向電極の後段に偏向電極の垂直偏向中心電位に保
持された集束電極が形成されるものである。

例えば、第３〜第５グリツド電極０３〜Ｇ５によって集
束用の電極系が構成されると共に、電極Ｇ４がアローパ
ターンの偏向電極でもあるものにおいては、電極Ｇ４と
０５との間に垂直偏向中心電位に保持された集束用の電
極（２０）が形成される。

〔作用〕

上述構成においては、偏向電極の後段に、偏向電極の垂
直偏向中心電位に保持された集束電極が形成されるので
、電位こう配がなだらかとなり、球面収差は大幅に小さ
くなる。したがって、集束電極が形成されることにより
像倍率が少し高くなるが、球面収差が大幅に小さくなる
ので、結果的には電子ビームのターゲツト面におけるス
ポット径は中央２周辺とも小となる。

〔実施例〕

以下、第１を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。この第１図において、第４図と対応する部分に
は同一符号を付し、その詳ｍ説明は省略する。

本例においては、電極Ｇ４と０５との間に集束用の電極
（２０）が形成される。この電極（２０）の軸方向の長
さしは、管長（ビーム制■開孔ＬＡからターゲツト面（
３）までの長さ）の例えば１／１０〜１１５程度とされ
る。また、この電極（２０）は円周方向に２分割され、
その一方及び他方の電極部（２０Ａ　）及び（２０Ｂ　
）には、夫々電極Ｇ４の電極部■十及び■−が接続され
る。この場合、電極部（２０４）及び（２０Ｂ）には所
定電圧を中心に対称的に変化する垂直偏向電圧が印加さ
れ、集束用の電極（２０）には対称成分が互いに打ち消
された所定電圧、即ち電極Ｇ４の中心電圧が印加される
ことになる。

本例は以上のように構成され、その他は第３図例及び第
４図例と同様に構成される。

本例においては、例えば電極Ｇ３は＋８４５Ｖ、電極Ｇ
４の中心電圧は＋５■、電極Ｇ５は＋５４５■、電極Ｇ
ｓは＋１５００Ｖとされて動作するようになされるが、
電極Ｇ４と０６との間に集束用の電極（２０）が形成さ
れると共に、この電極（２ｏ）に垂直偏向電圧が印加さ
れるので、電位こう配がなだらかとなり、球面収差は大
幅に小となる。

なお本例においては、集束用の電極（２ｏ）が形成され
るので、像倍率が少し高くなる。さらに本例においては
、集束用の電極（２ｏ）が形成されるので偏向角を小と
でき、これにより電子ビームは静電レンズの中心側を通
るようになされ、球面収差は小さくなる。

このように本例によれば、電極Ｇ４と０５との間に集束
用の電極（２０）が形成され電位こう配がなだらかとさ
れ、球面収差が大幅に小さくされるので、像倍率が少し
高くなっても、電子ビームのターゲツト面（３）におけ
るスポット径は効果的に小とされ、中央９周辺とも解像
度を上げることができる。

次に、第２図は本発明の他の実施例を示すものであり、
集束用の電極（２０）と電極Ｇ４の電極部■十及び■−
を直接接続するのではなく、電極（２０）には容量結合
により所定電圧が印加されるようにしたものである。

同図においては、電極（２０）は円周方向に２分割され
ないと共に、電極Ｇ４と電極（２０）との間に電１’）
ｉ（２１）が構成される。そして、この電極（２１）は
円周方向に２分割され、その一方及び他方の電極部（２
１Ａ　）及び（２１Ｂ　＞には、夫々電極Ｇ４の電極部
■十及び■−が接続される。この場合、電極部（２１Ａ
　）及び（２１Ｂ　）には所定電圧を中心に対称的に変
化する垂直偏向電圧が印加され、電極（２１）には対称
成分が互いに打ち消された所定電圧、即ち電極Ｇ４の中
心電圧が印加されることになる。そしてこの場合、電極
（２０）は電極（２１）と大きな容量で結合されている
ので、電極（２０）には、偏向波形が伝わることなく電
極Ｇ４の中心電圧に規制された所定電圧が印加される。

このように本例においても、電極Ｇ４と６５との間に集
束用の電極（２０）が形成され、電位こう配がなだらか
となるので、第１図例と同様の作用効果を得ることがで
きる。さらに本例によれば、電極（２０）には偏向波形
が伝わらないようにしたので、偏向波形による電界の変
動等の弊害を防止することができる。

なお、上述実施例において、垂直偏向電圧を利用するの
は、水平偏向電圧に比べて偏向電圧のピークツーピーク
値が小さく、かつ周期が大であるので、偏向波形による
電界の変動等の弊害が少なく安定であり、また耐圧上も
有利となるからである。

〔発明の効果〕

以上述べた本発明によれば、偏向電極の後段に垂直偏向
中心電位に保持された独立の集束電極を形成したので、
電位こう配がなだらかとなって球面収差が大幅に小さく
なり、電子ビームのターゲツト面におけるスポット径を
効果的に小とすることができ、中央９周辺とも解像度を
上げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の説明のための図、第２図は
本発明の他の実施例の説明のための図、第３図〜第５図
は撮像管の一例の説明のための図である。 （２０）は集束用の電極、０３〜ＧＧ’は電極である。 実施４１ＩＪ／１盲克明のための図 第１図 Ｔ施例のｖＬ明の八めめ届 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子ビームの偏向を行なうアローパターンの偏向電極を
   備える静電集束・静電偏向型の撮像管において、 上記偏向電極の後段に、上記偏向電極の垂直偏向中心電
   位に保持された集束電極が形成されることを特徴とする
   静電集束・静電偏向型の撮像管。