JPS63245363A - 倣い研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばＮＣフライス盤等の主軸ヘッドに装着
され砥石軸を支持した回転主軸を、回転駆動手段により
回転駆動させながら、ワークの加工面に倣って自動的に
研削を行う倣い研削装置に関する。

（従来の技術） 例えば、金型加工等において、フライス加工や放電加工
などで加工された金型の加工面の仕上研削やみがきには
、熟練者の手作業が不可欠となっていたが、近年この作
業を自動化する方法が考えられてきた。

一般的には、第４図のように砥石１を支持する回転主軸
２をＮＣフライス盤などの主軸ヘッド３に回転自在に装
着し、この回転主軸２をエアータービン等によって回転
駆動させながら、例えば圧力センサ５によって加工面４
に対する軸方向の押圧力Ｆが一定となるように、ＮＣ装
置６を介して主軸ヘッド３の送り装置７を自動制御する
ことにより、移動テーブル上のワークの加工面４に対す
る軸方向の押圧力Ｆを一定に維持した、いわゆる定圧力
倣い方式がとられている。

（発明が解決しようとする問題点） ３次元的に複雑な自由曲面状のワーク加工面４に対し倣
い研削を行う場合、例えば第４図のような略半球状の砥
石面を形成した倣い研削用砥石１が一般に用いられる。

この砥石１が自由曲面状の加工面４に対し、例えばＡ点
を研削する場合とＢ点を研削する場合とでは、第５図（
ａ）（ｂ）で示すように砥石１とワーク表面との接触角
θが異なる。

このため、従来の定圧力倣い方式のように、加工面４に
対し軸方向の押圧力Ｆを一定にした場合、その加圧方向
が一定であるため、上記接触角θの変化によって、加工
面４に対する法線方向の押圧力Ｇが変化し、加工中の砥
石１に作用する接線研削抵抗すなわち研削トルクＴが変
化してしまう。

つまり、砥石１の研削面を半径ｒの略球面と考えた場合
、砥石回転中心１ＪｊｌＬと球中心Ｏから各研削点Ａ、
Ｂを結ぶ線とのなす角（接触角θ）をＡ点でＧ１、Ｂ点
で０２とし、軸方向の押圧力なＦ（一定）、法線方向の
押圧力をＡ点で６１、Ｂ点でＧ２、かつ砥石１とワーク
表面との摩擦係数なμとした場合、Ａ点での研削トルク
Ｔ１およびＢ点での研削トルクＴ２は、０〈Ｇ２くθ３
≦舌の範囲において、次のようになる。

Ｔ；＝μｒｓｉｎθＢ　Ｇ、＝μｒ　Ｆｓｉｎθ１−　
ｃｏｓθ１”ｌ”　１＝　μｒＳｉｎθ２　’　　Ｇ２
＝　ｕ　ｒ　　Ｆｓｉｎθ２°ｃｏｓ（９２そして、こ
の２式を比較してみる。

Ｉ−Ｔ− ＝４ｚｒＦ（ｓｉｎθ１−　ｃｏｓθ１−ｓｉｎθＱ　
−ｃｏｓθ２）＝ｌｌ　ｒ　Ｆ　−５ｉｎ（θ３−θ２
）　・ｃｏｓ（θ１＋θ→ここで、μｒ　Ｆ＞０ かつ、５ｉｎ（θニーθユ）＞Ｏ（’、−０＜θニーθ
ユ〈匹）さらに、−１＜ｃｏｓ（θ１＋θ二）〈１より
、ル θ１＋θニく丁のとぎは、　ｃｏｓ　（θ汁θ２）〉０
であるため、　　Ｔ、−Ｔ、＞０　　となり、また、で
あるため、　Ｔ１−Ｔ２くＯとなる。

したがって、接触角θの異なる例えばＡ点とＢ点とでは
それぞれ研削トルクＴが変化することは明らかである。

倣い研削加工では、通常、制御の容易性や研削面の均一
性を目的として、工具の合成送り速度（工具の加工面に
対する接線速度）をワーク形状によるＮＣプログラム等
によって一定にすることが行われている。この条件のも
とで、加工中の工具に作用する上記研削トルクＴと研削
深さとが比例関係にあることに基づき、各研削点での単
位時間当りの研削量は上記研削トルクＴに略比例する。

つまり、研削トルクＴの変化に応じて単位時間当りの研
削量も変化する。

このように、従来の定圧力研削方法では、研削点によっ
て単位時間当りの研削量が異なるたのに、研削面が不均
一となり、精緻な倣い研削ができなかった。

そこで、本発明は、工具の合成送り速度を一定とした条
件のもとに、研削トルクＴが一定になるように制御する
ことにより、研削面の不均一化を防止し、上記問題点を
解決しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 研削トルクＴを一定に制御するには、回転主軸２のトル
ク測定手段として例えばトルク検出器を設け、この検出
値に基いて単純にトルクフィードバックをかけ、回転主
軸２の軸方向送りを制御すればよいわけであるが、実際
には回転主軸２の慣性モーメントのために、回転主軸２
を介して検出されるトルク値には必ず遅れが発生する。

このため、トルクフィードバックだけでは制御系の応答
性が低く、砥石１が加工面４の形状に正確に追従するこ
とができない。

つまり、第６図で示すように、トルクフィードバックだ
け゛によって倣い研削を行った場合、その研削面は第６
図一点鎖線で示すように、加工面４の上り勾配（研削ト
ルクＴが増加する方向）４ａにおいては、回転主軸２の
上昇送りが遅れて研削トルクＴの減少に遅れが生じるた
め、研削深さすなわち研削量が希望値（第６図点線で示
す）よりも過大となり、また、加工面４の下り勾配（研
削トルクＴが減少する方向）４ｂにおいては、回転主軸
２の下降送りが遅れて研削トルクＴの増加に遅れが生じ
るため、研削量さすなわち研削量が希望値（第６図点線
で示す）よりも不足することになる。

また特に、高速研削送り時や、加工面４上の急激な起伏
に対しては、急激なトルク変化のために加工面４の形状
に追従できず、砥石１が加工面４から離れてしまったり
、逆に切込過ぎたりするなどの不具合が発生してしまう
。

そこで、本発明は、主軸ヘッドの軸方向送り制御に上記
のようなトルクフィードバック系に加えて、回転主軸の
軸方向の押圧力を一定に制御する圧力フィードバック系
も併用することにより、トルクフィードバック系による
軸送りの制御の遅れを補正し、応答性を向上させて、高
精度な定トルク倣い研削が行え、これにより、単位時間
当りの研削量を常に一定にすることができ、非常に精緻
な倣い研削が行えるとともに、急激なトルク変化に対し
ても砥石が加工面から離れたり、或は切込み過ぎたりず
ようなことも防止できるようにしたものである。

すなわち、本発明は、主軸ヘッドに回転自在にかつ軸方
向に弾性的に装着された研削用砥石の回転主軸を、回転
駆動手段により回転させながら、上記主軸ヘッドとワー
クを一定の合成送り速度で相対送りさせ、上記研削用砥
石がワークの加工面に倣って自動的に研削加工する倣い
研削装置において、上記主軸ヘッドを軸方向に送り駆動
する軸方向送り装置と、主軸ヘッド側に設けられ上記回
転主軸の研削トルクを測定するトルク測定手段と、主軸
ヘッド側に設けられ上記回転主軸の加工面に対する軸方
向の押圧力を測定する圧力測定手段と、上記トルク測定
手段で測定された測定トルク値が予め設定された設定ト
ルク値と一致するように上記軸方向送り装置を制御する
トルクフィードバック系および上記圧力測定手段で測定
された測定圧力値が予め設定された設定圧力値と一致す
るように上記軸方向送り装置を制御する圧力フィードバ
ック系を有する軸方向送り制御回路とで構成してなるも
のである。

（実施例） 以下、本発明の具体的な構成を説明する。

まず、第１図は、回転駆動手段としてエアータービン１
５を用い、エアー駆動で回転主軸１２を高速回転させな
がら倣い研削を行うようにした本発明装置の一実施例を
示す。

通常、連続回転する工具主軸のトルクを逐一検知するこ
とは困難であり、特にエアータービン１５で高速回転す
る回転主軸１２の上記研削トルクＴを逐−知ることはさ
らに困難である。

そこで、例えばエアータービン１５への供給空気流量Ｑ
＋　を一定にした場合に、回転主軸１２の回転数Ｎ１は
、研削量に比例する研削トルクＴの大きさに応じて変化
することに着目し、さらにこの回転主軸１２の回転数Ｎ
、を知ることは容易であるが故に、この回転数Ｎ１を一
定にするように、回転主軸１２を軸方向に送り制御する
ことにより、研削トルクＴｔ一定にすることが可能とな
る。

すなわち、エアータービン１５への供給空気流量Ｑと回
転主軸１２の空回報時の回転数Ｎは、第７図のように比
例関係にある。例えば砥石１１が加工面Ｗａに接しない
状態でエアータービン１５に一定空気流量Ｑ１を供給す
ると回転主軸１２はある回転数Ｎ１で空回転する。この
まま砥石１１が加工面Ｗａに接し研削を始めると回転主
軸１２に対し研削トルクＴが働き、回転主軸１２の回転
数Ｎ＋は低下していく。

ここで、例えば加工中における回転主軸１２の回転数Ｎ
、を第７図により見た場合、この回転数Ｎ１に相当する
空回報時の必要空気流量？よＱ、となる。すなわち、こ
のＱ：とＱ　の差ΔＱ＝Ｑよ−Ｑ１が実際の研削の動力
として消費される。

この研削動力ΔＱは上記研削トルクＴに比例するため、
この研削動力ΔＱを一定にすることにより、上記研削ト
ルクＴを一定にすることができる。

つまり供給空気流ｍ　Ｑ　ｌ　を一定のもとに上記回転
主軸１２の回転数＼　を常に一定に制御すればよいこと
になる。

このように、研削加工時、回転主軸１２に供給する供給
空気流量Ｑ１を一定とした状態で、回転主軸１２の回転
数Ｎ１をある設定値に一定に保つように回転主軸１２を
軸方向に送り制御し、上記研削動力ΔＱを一定とするこ
とで、どの研削点においても研削トルクＴを常に一定に
することができる。

そこで、本実施例では、トルク測定手段として、回転計
２６を用い、回転主軸１２への供給流体流ｆｌＱユを一
定にした条件のもとで、回転主軸１２の回転数を測定し
、この測定回転数Ｎ１がある設定値に一定となるように
主軸ヘッド１９を軸方向に送り制御するトルクフィード
バック系３５を設けて、上記研削トルクＴｔ−一定にす
るようにした。

第１図において、１１は研削用砥石、１２はこの砥石１
１の中心軸を支持した回転主軸である。

上記砥石１１は、先端を丸くした砥石面を有する回転体
に形成され、自由曲面状の加工面Ｗａに対し倣い研削か
可能な形状となっている。

上記回転主軸１２は、ラジアル軸受１３．１３を介して
軸受筒１４内に回転自在に支持され、上端部外周にエア
ータービン１５が形成されている。

このエアータービン１５を囲うように上記軸受筒１４に
は複数個のエアー噴射ノズル１６が設けられ、コンプレ
ッサ１７から給気管１８を介して送り込まれたエアーを
上記エアータービン１５へ噴射し、回転主軸１２を高速
回転駆動するように回転駆動手段が構成されている。

また、上記軸受筒１４は、主軸ヘッドとしてのハウジン
グ１９内に圧力測定手段としての軸方向の圧力センサ２
０を介して軸方向に弾性的に支持され、かつハウジング
１９に対する軸方向の許容変位量はハウジング１９側に
形成した上下係止面１９ａ、１９ｂによって規制されて
いる。また、この軸受筒１４はハウジング１９に対し回
り止めキー２１によって回転方向に固定されている。

上記ハウジング１９は、軸方向送り装置２２によって上
記回転主軸１２の軸方向（Ｚ方向）に送り駆動される。

この軸方向送り装置２２は、サーボモータ２３と、この
サーボモータ２３により回動される送りねじ２４と、こ
の送りねじ２４と螺合され上記ハウジング１９と一体の
ナツト部２５とにより構成されている。

また、上記軸受筒１４内において、回転主軸１２の上端
面の偏心位置に対向させて光センサ或は電磁センサ等の
非接触センサを用いたトルク測定手段としての回転計２
６が取付けられている。

この回転計２６は、この回転計２６に対向して回転主軸
１２の上端面に施した検知用のマーク２７′！：読み取
ることで、回転主軸１２の回転数を測定するものである
。そして、この回転計２６で測定された測定トルク値に
対応する測定回転数Ｎ１は軸方向送り制御回路２８中の
比較器２９のプラス端子側へ送られる。

この比較器２９では、図示しない設定器から予め入力さ
れた設定トルク値に対応する設定回転数Ｎ２と上記回転
計２６からの測定回転数Ｎ１　とが比較され、その偏差
量の信号が増幅器３０を介して後述する比較器３１のプ
ラス端子側へ送られ、さらに増幅器３２を介して上記送
り制御回路２８中のサーボアンプ３３に送られる。

このサーボアンプ３３では、上記サーボモータ２３に設
けたタコジェネレータ３４からのモータ回転数のデータ
をもとに、サーボモータ２３へ送る電圧を加減し、サー
ボモータ２３の回転方向および回転速度を変化させて上
記ハウジング１９を軸方向に送り制御するようになって
いる。

このように、上記送り制御回路２８には、上記回転計２
６から比較器２９、増幅器３０、比較器３１、増幅器３
２およびサーボアンプ３３を介してサーボモータ２３に
通じるトルクフィードバック系３５が形成されている。

つまり、”　Ｎ　、　＞　Ｎ二″の場合、サーボモータ
２３へは「＋、の電圧がかかり、回転主軸１２の測定回
転数Ｎｌが設定回転数Ｎ２まで下がるようにハウジ、ン
グ１９を軸方向に前進移動（第１図では下降）させ、ワ
ークＷの加工面Ｗａに対する砥石１］の軸方向の押圧力
Ｆを増す方向に制御される。

また、”Ｎ、＜Ｎ、”の場合、サーボモータ２３へは１
−」の電圧がかかり、回転主軸１２の測定回転数Ｎ１が
設定回転数Ｎ２まで上がるように、ハウジング１９を軸
方向に後退移動（第１図では上昇）させ、加工面Ｗａに
対する砥石１１の軸方向の押圧力Ｆを減らす方向に制御
される。

しかし、このトルクフィードバック系３５だけでは、回
転主軸１２の慣性モーメントによって回転数ＮＩの変動
に常に遅れが生じるため、制御系の応答性が低い。

そこで、上記圧力センサー２０によって回転主軸１２の
軸方向の押圧力Ｆを測定し、この圧力値Ｆｌ　のフィー
ドバックを上記回転数Ｎ１のフィードバックと併用する
ことにより、軸送りの制御系の応答性を向上させた。

すなわち、上記ハウジング１９の上部には、ワークＷと
の接触による回転主軸】２の軸方向の押圧力Ｆを測定す
る圧力測定手段としての上記圧力センサー２０が取付け
られている。そして、この圧力センサー２０によって測
定された測定圧力値Ｆ１は、上記比較器３１のマイナス
端子側へ送られる。

この比較器３１では、図示しない設定器からプラス端子
側へ予め入力された設定圧力値Ｆ　Ｃ，と上記圧力セン
サー２０からの測定圧力値Ｆ１　とが比較され、その偏
差ｍ（Ｆｏ−Ｆｌ）の信号が上記回転数の偏差量（Ｎ２
　　Ｎｌ）の信号に加えられ、一つの電圧信号となって
増幅器３２を介してサーボアンプ３３に送られ、サーボ
モータ２３の回転方向および回転速度を変化させて上記
ハウジング１９を軸方向に送り制御するようになってい
る。

このように、軸方向送り制御回路２８には、上記圧力セ
ンサー２０から、上記トルクフィードバック系３５と、
比較器３１、増幅器３２およびサーボアンプ３３を共有
してサーボモータ２３に通じる圧力フィードバック系３
６が形成されている。

つまり、Ｎ、＝Ｎ２としたとき、”Ｆｔ＞Ｆ５．”の場
合、サーボモータ２３へは１−」の電圧がががり、回転
主軸１２の測定圧力値Ｆ＋　が設定圧力値Ｆｏまで下が
るようにハウジング１９を軸方向に後退移動（第１図で
は上昇）させ、また、′Ｆ。

＜Ｆ、’の場合、回転主軸１２の測定圧力値Ｆ＋が設定
圧力値Ｆｏまで上がるように、ハウジング１９を軸方向
に前進移動（第１図では下降）させ、測定圧力値Ｆ１を
設定圧力値Ｆ。に近付ける方向に送り制御される。

（実施例の作用） 加工時、ワークＷをのせた加工テーブル８７に送りを与
えながら、かつハウジング１９に軸方向の送りを与えて
、ワークＷの加工面Ｗａの形状に応じて互いに相対送り
させながら倣い研削加工が進められるが、このときの合
成送り速度は、ＮＣ制御により常に一定に保たれる。

この条件のもとで、かつ上記噴射ノズル１６からエアー
タービン１５へ供給される空気流量Ｑ。

を一定にした条件のもとで、回転主軸１２を回転駆動さ
せる。

砥石１１が加工面Ｗａに接触しないうちは、回転主軸１
２の測定回転数Ｎ１は、第４図で示す空回転数Ｎ、（Ｎ
ｌ＞Ｎ二）に等しいため、ハウジング１９と一体に回転
主軸１２は前進移動され、砥石１１は加工面Ｗａに接触
される。このとき、回転主軸１２は、ハウジング１９に
対し圧力センサー２０を介して軸方向に弾力的にスライ
ドし、加工面Ｗａに押圧力Ｆがかけられる。

加工面Ｗａとの接触後、圧力フィードバック系３６によ
り設定圧力値ＦＯに近い押圧力Ｆが保たれつつ、トルク
フィードバック系３５により、測定回転数Ｎｌが設定回
転数Ｎ２と一致するまで、ハウジング１９が軸方向に移
動され、回転主軸１２の加工面Ｗａに対する軸方向の押
圧力Ｆを調整して、回転数Ｎ、がＮ２になったところで
、ＮＣプログラム等によりワークＷの加工面Ｗａに治っ
た倣い研削が開始される。

このように、測定回転数Ｎ２　と設定回転数＼ことを比
較し、その偏差量の信号を軸方向送り装置２２にフィー
ドバックさせながら自動研削を行う。

前述したようにトルクフィードバック系３５だけの送り
制御では、第６図で示すように、ワーク加工面上の上り
勾配４ａと下り勾配４ｂζこおける倣いには、砥石１１
の軸方向の送りに遅れが見られる。

つまり、上り勾配４ａにおいては、軸方向の押圧力Ｆ＋
　が常に増加しているのに、これに伴う回転数Ｎ＋　の
低下が回転主軸１２の慣性モーメントのために遅れる結
果、送りねじ２４の駆動も遅れ、削り過ぎになってしま
う。そこで、トルクフィードバック系３５からの回転数
Ｎ＋　が上がる方向に送りねじ２４を駆動するための電
圧に加え、圧力センサー２０は、押圧力Ｆの増加をすば
やく検出し、この押圧力Ｆが軽減される方向に送りねじ
２４を駆動するような電圧を出すことにより、回転数Ｎ
１の低下の遅れを極めて小さくすることができる。

また、下り勾配４ｂにおいては、軸方向の押圧力Ｆが常
に減少しているのに、これに伴う回転数＼　の増加が回
転主軸１２の慣性モーメントのために遅れる結果、送り
ねじ２４の駆動も遅れ、削り不足になってしまう。そこ
で、トルクフィードバック系３５からの回転数が上がる
方向に送りねじ２４を駆動するための電圧に加え、圧力
センサー２０は、押圧力Ｆの減少をすばやく検出し、こ
の押圧力Ｆが増加する方向に送りねじ２４を駆動するよ
うな電圧を出すことにより、回転数Ｎ１の増加の遅れを
極めて小さくすることができ、第６図点線で示すように
、常に研削深さの一定した研削面が得られる。

しかも、砥石１１が加工面Ｗａに急激に当ったときなど
に、トルクフィードバック系３５或は圧力フィードバッ
ク系３６から当然出る後退送り命令により、ハウジング
１９が後退送りされ、これにより、軸方向の押圧力Ｆが
設定値まで低減されても、回転主軸１２の回転数Ｎ、が
設定回転数Ｎごまで立ち上がるには遅れが生じ、トルク
フィードバック系３５からはさらに継続して過剰な後退
送り命令が出される。これによって、測定圧力値Ｆ１が
設定圧力値Ｆ５．より低下してしまうため、圧力フィー
ドバック系３６からすばやく前進命令が呂され、過剰な
後退送りから砥石１１が加工面Ｗ　ａから離れてしまう
ことが防止される。

すなわち、圧力フィードバック系３６は、トルクフィー
ドバック系３５における制御の遅れを補正し、より正確
な定トルク倣い研削を保証する手段となっている。

このように、砥石１１が０点、Ｄ点等いかなる位置にあ
っても、回転主軸１２の回転数Ｎ＋が常に設定回転数Ｎ
２と等しくなり、第７図よりわかるように、研削動力Δ
Ｑ”Ｑｚ　　ＱＩ　はＱＩ　　Ｑ２となって一定値とな
る。したがって、どの研削点においても研削トルクＴが
一定となる。すなわち、単位時間当りの研削量が一定と
なり、ワークＷの研削加工面が均一化される。

（変形例） なお、上記回転主軸］２は上記軸受筒１４に対し、空気
軸受にて支持してもよい。

また、圧力測定手段としては、上記圧力センサー２０の
代りに、第２図のように、ハウジング１９と軸受筒１４
間に軸方向の緩衝用ばね３８を介在させ、かつ例えば軸
受筒１４の上面に対向させてハウジング１９側に変位セ
ンサー３９を設け、回転主軸１２の軸方向の変位量を測
定することにより、この変位量に比例する軸方向の押圧
力Ｆを知ることができるため、この測定値に基いて、同
様に圧力フィードバック系３６を形成することもできる
。

また、回転駆動手段としては、上記エアータービンのよ
うなエアー駆動手段に限らず、他の流体例えば水や油等
による駆動手段でもよく、さらに、第３図のように例え
ば電動モータ４０等を用いてカップリング４１を介して
回転主軸１２を回転駆動するようにしたものにおいても
、ハウジング１９側に上記圧力センサー２０および回転
主軸１２に対する回転計２６を設けて、同様に両側定値
によるフィードバック制御を併用することにより、上記
実施例と同様な効果が発揮できる。

（発明の効果） 本発明の方法によれば、回転主軸の研削トルク一定制御
により、砥石の軸方向自動送りを行いながら倣い研削を
行うため、トルクフィードバックをとることにより制御
が非常に容易であり、例え複雑な形試の加工面に対して
も、どの研削点においても研削トルクを一定にすること
ができるため、単位時間当りの研削量を常に一定に維持
でき、したがって研削面を均一化でき、非常に精緻な自
動倣い研削が行える。

特に、本発明は、回転主軸を介して研削トルクを測定し
、この測定トルク値を一定にするトルクフィードバック
系のほかに、軸方向の押圧力を測定し、この測定圧力値
を一定にする圧力フィードバック系も併用したので、回
転主軸の慣性モーメントによるトルク変動の遅れを補正
することができ、砥石の加工面に対する追従性が向上さ
れ、非常に正確な定トルク倣い研削が行える。また、例
えば急激な送り動作時などに制御の遅れによって砥石が
加工面から離れてしまうようなことが防止され、また、
砥石が加工面上の突起等に衝突して砥石に衝撃がかかっ
た場合、すぐに圧力変化を感知して主軸ヘッドを逃げる
方向に送ることができるので、砥石や主軸ヘッド等が破
壊されるのを防ぐことができ、非常に安定した、また安
全な倣い研削が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す装置の垂直断面図、第
２図および第３図はそれぞれ本発明の変形例を示す垂直
断面図、第４図は従来の装置を示す正面図、第５図は各
研削点Ａ、Ｂにおける砥石との接触状態を示す図、第６
図はトルクフィードバックだけによる倣い研削の状態を
示す図、第７図はエアータービンの回転特性を示すグラ
フである。 １１・・・研削用砥石、１２・・・回転主軸、１４・・
・軸受筒、１５．１６・・・回転駆動手段を構成するエ
アータービンと噴射ノズル、１９・・・主軸ヘッドとし
てのハウジング、２０・・・圧力測定手段としての圧力
センサー、２２・・・軸方向送り装置、２６・・・トル
ク測定手段としての回転計、２８・・・軸方向送り制御
回路、３５・・・トルクフィードバック系、３６・・・
圧力フィードバック系、３９・・・圧力測定手段として
の変位センサー、４ｏ・・・回転駆動手段としての電動
モータ、Ｎ１・・・測定トルク値に対応する測定回転数
、Ｎ：・・・設定トルク値に対応する設定回転数、Ｑｌ
・・・供給空気流量、Ｆ、・・・測定圧力値、Ｆｕ・・
・設定圧力値、Ｗａ・・・加工面。 特許出願人　　株式会社　日平トヤマ 第１図 第４図 （ａ）　　　　第５図　（ｂ） 第６図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）主軸ヘッドに回転自在にかつ軸方向に弾性的に装
   着された研削用砥石の回転主軸を、回転駆動手段により
   回転させながら、上記主軸ヘッドとワークを一定の合成
   送り速度で相対送りさせ、上記研削用砥石がワークの加
   工面に倣つて自動的に研削加工する倣い研削装置におい
   て、上記主軸ヘッドを軸方向に送り駆動する軸方向送り
   装置と、主軸ヘッド側に設けられ上記回転主軸の研削ト
   ルクを測定するトルク測定手段と、主軸ヘッド側に設け
   られ上記回転主軸の加工面に対する軸方向の押圧力を測
   定する圧力測定手段と、上記トルク測定手段で測定され
   た測定トルク値が予め設定された設定トルク値と一致す
   るように上記軸方向送り装置を制御するトルクフィード
   バック系および上記圧力測定手段で測定された測定圧力
   値が予め設定された設定圧力値と一致するように上記軸
   方向送り装置を制御する圧力フィードバック系を有する
   軸方向送り制御回路とを具備したことを特徴とする倣い
   研削装置。