JPS63242153A

JPS63242153A - 磁気軸受モ−タ

Info

Publication number: JPS63242153A
Application number: JP62073652A
Authority: JP
Inventors: Hiromasa Fukuyama; 寛正福山
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1987-03-27
Filing date: 1987-03-27
Publication date: 1988-10-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、ロータを磁気軸受部の磁気力により非接触
状態で回転自在に支持するようにした磁気軸受モータに
関するものである。

〔従来の技術〕

従来の磁気軸受モータとしては、例えば第１４図に示す
構成のものが知られている。

この図に示す磁気軸受モータのモータ本体は、中空円柱
状の枠体２と、この枠体２内に同軸的に配設されたロー
タ４と、このロータ４を非接触で支持するラジアル磁気
軸受６及びアキシアル磁気軸受８と、ロータ４を回転駆
動するステータ１０とを有している。ここで、１２．１
４はロータ４のラジアル方向の変位を各々検出するラジ
アル方向変位センサであり、１６はアキシアル方向の変
位を検出するアキシアル方向変位センサである。

前記ロータ４は、その中心の軸４Ａと、この軸４Ａの上
端部に設けられた円盤４Ｂと、当該軸４Ａの中間部に各
々所定間隔を置いて図示の如く設けられた円盤４Ｃ，４
Ｄとにより構成されている。

また、前記ラジアル磁気軸受６は、上部ラジアル磁気軸
受６Ｕと下部ラジアル磁気軸受６Ｌとにより構成されて
いる。この内、上部ラジアル磁気軸受６Ｕは、前記枠体
２の内側周面に配設され前記円盤４Ｃの周側面に対向す
る複数のヨーク１８と、このヨーク１８に各々巻装され
た励磁コイル６Ｃとにより構成されている。これと同様
にして、前記下部ラジアル磁気軸受６Ｌも、前記円盤４
Ｄの周側面に対向するように構成されている。

また、前記アキシアル磁気軸受８は、ここでは環状の励
磁コイル８Ｃを有する電磁石により構成され、この電磁
石が前記円盤４Ｂに対向する枠体２の上部所定位置に配
設されている。

一方、前記ステータ１０は、前記ヨーク１８゜・・・、
１８と、この各ヨーク１８のより枠体２側に各々巻装さ
れた励磁コイルＩＯＣとにより構成されている。

そして、図示しない制御装置は、各励磁コイル６Ｃ，・
・・、６Ｇ、８Ｃ１１０Ｃ１・・・、１０Ｃに励磁電流
を供給し、これにより、ロータ４を非接触で保持し且つ
回転駆動させるようになっている。

また、制御装置は、各センサ１２，１４．１６からの検
出信号に基づいて位置決め制御を行うようになっている
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前述した従来技術にあっては、ロータ４
の回転に寄与する励磁コイルＩＯＣのラジアル方向の吸
引力と、ラジアル方向の位置制御に寄与する励磁コイル
６Ｃのラジアル方向の吸引力とが重畳される構成である
ため、励磁コイル６Ｃにより位置制御された回転軸中心
は、励磁コイル１０Ｃの影響によって振れ回り、これが
ため、円滑な回転を得ることができないばかりか、回転
磁界を強くすることができないため、大きな回転トルク
を得ることができないという問題点があった。

この発明は、このような従来技術の問題点に着目してな
されたもので、とくに、ロータを回転させるための駆動
力が磁気軸受支持されたロータの位置を乱す影響を略完
全に排除し、ロータのラジアル方向の位置決めをより精
度よく行ことができ、円滑且つ高速な回転をさせること
ができると共に微細な位置決めも可能な磁気軸受モータ
を提供することを、その目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

そこで、上記目的を達成するために、この発明は、同心
的に配設された環状のロータ及びステータと、該ステー
タのロータに対向する側であって前記ロータに対して対
称となる等間隔位置に各々設けられた複数組の極片と、
該各極片に各々設けられた磁気軸受用電磁石とを備え、
前記ロータを前記ステータに対して非接触で回転可能に
支承するようにした磁気軸受モータにおいて、前記ステ
ータの各極片に対向する前記ロータの側部には所定ピッ
チの突出歯を均一に形成し、前記ロータの突出歯に対向
する前記極片の面には前記突出歯とは異なるピッチの極
片歯からなる極片歯列を各々設け、この複数組の極片歯
列の内、一の組は隣接する他方の組に対し所定位相のず
れをもって配設するとともに、前記複数組の極片歯列の
極片歯に対し、隣接する極片歯同士が相互に逆極性に励
磁されるよう回転駆動用励磁コイルを各々巻装し、この
複数組の回転駆動用励磁コイルの内、ロータに対して対
称的な各組励磁コイルに同時に励磁電流を供給する回転
駆動制御部を備えている。

〔作用〕

この発明では、回転駆動制御部から複数組の回転駆動用
励磁コイルに対して各組毎に順次、励磁電流が供給され
ると、各極片歯列の極片歯では、互いに隣接する同士が
反対方向に励磁される。このため、この励磁による磁力
線は、磁気軸受用電磁石からの磁力線から強められるも
のと、反対に弱められるものとが生じる。このとき、磁
力線が強められる極片歯にかかる電磁石は、近接してい
るロータの突出歯を吸引する。そして、これが複数組で
順次実行されるため、ロータは、ステータに対し非接触
で支承された状態で回転する。

〔実施例〕

以下、この発明の第１実施例を第１図乃至第１１図に基
づいて説明する。

磁気軸受モータは、本第１実施例では、ポリゴンミラー
等の負荷に連結されこれを回転させるモータ本体２８と
、このモータ本体、２８の回転及びその磁気軸受を制御
する制御装置３０とからなっている。

そして、モータ本体２８は、第１．２図に示すように、
円柱状のステータ２８Ａと、このステータ２８Ａ内にあ
って磁力により非接触で所定方向に回転可能に支承され
た略カップ状のロータ２８Ｂと、このロータ２８Ｂのラ
ジアル方向の変位を検出するＸ方向変位センサ３２Ｘ、
３２Ｘ及びＹ方向変位センサ３２Ｙ、３２Ｙと、当該ロ
ータ２８Ｂのアキシアル方向の変位を検出するアキシア
ル方向変位センサ３４とを備えて構成されている。

ここでは、ロータ本体２８の軸方向をアキシアル（Ｚ軸
）方向とし、これに垂直な平面を含む方向をラジアル（
Ｘ軸、Ｙ軸）方向としている。

この内、ステータ２８Ａは、円柱状のステータ枠体３６
と、前記ロータ２ＢＢを磁力によりそのラジアル方向に
支承する磁気軸受用電磁石としてのラジアル方向支承用
電磁石３Ｂ（３８ａ、・・・。

３８ｈ）及び３９　　（３９ａ、　・・・、３９ｈ）　
、当該ロータ２８Ｂを磁力によりそのアキシアル方向に
支承する磁気軸受用電磁石としてのアキシアル方向支承
用電磁石４０と、当該ロータ２８Ｂを磁力により回転さ
せる回転駆動用電磁石４２　（４２ａ。

・、４２ｈ）及び４３　（４３ａ、−，４３ｈ）とによ
り構成されている。

また、前記ステータ枠体３６は、一端部にフランジ４４
Ａを有する中空状の内円筒４４と、この内円筒４４のフ
ランジ４４Ａに一方が図示の如く載設されポル）ｂｌに
より固着された環状の外円筒４６と、この外円筒４６の
他方の端部にねじＳ゛　　１により固着されその中心部
に貫孔４８Ａを形成された蓋体４８とにより構成されて
いる。そして、ステータ枠体３６の内部には、第１図に
示すように、当該ステータ３６をその軸方向に貫通する
貫通穴Ａ及び縦断面逆回形状の空間部Ｂが形成されてい
る。

また、前記ロータ２８Ｂは、下面開放型でカップ状に形
成された回転体５０と、この回転体５０に一体的に設け
られ回転負荷に連結される回転軸５２とにより構成され
ている。そして、回転体５０の中央内側に設けられスリ
ーブ５０Ａに回転軸５２が図示の如く嵌挿され、この回
転軸のフランジ５２Ａと当該スリーブ５０Ａとを接続す
る肩部５０Ｂがボルトｂ２により一体的に固着されてい
る。そして、回転軸５２は、前記ステータ２８Ａの貫通
路Ａに遊挿されるとともに、その回転体５０は、前記空
間部Ｂ内にあって回転可能に遊挿されている。

また、回転体５０の側部５０Ｃの内外両側面には、所定
長さで所定ピッチの突出歯５３．・・・、５３がその全
周囲にわたって形成されている。更に、側部５０Ｃの下
端には、環状の鍔部５０Ｄが一体に形成されている。

ところで、前記ラジアル方向支承用電磁石３８ａ、　−
”、　　３８　ｈ、３９ａ、−，３９ｈ及び回転駆動用
電磁石４２ａ、・・・、４２ｈ１４３ａ、・・・、４３
ｈは、各々、モータ本体２８の軸方向に対して図示のよ
うに上下２段に設けられている。これを詳述すると、前
記内円筒４４の軸部４４Ｂ及び前記蓋体４８の軸部４８
Ｂには、前記回転体５０の側面部５０Ｃの突出歯５３．
・・・、５３に対し僅かの空隙を残して突出した外側鉄
心５４．５４及び内側鉄心５６．５６が、各々上下２段
に渡って装着されている。この鉄心５４．５４及び５６
．５６は、所定形状の珪素鋼板を積層したものが使用さ
れている。

そして、外側鉄心５４．５４の各々は、第２図に示すよ
うに、ドーナッツ状のリング部５４Ａと、このリング部
５４Ａの円周方向に沿う等間隔をもって内側に突出させ
た熊手状の８個の極片５４Ｂ。

・・・５４Ｂとにより形成されている。この内、各極片
５４Ｂの前記回転体５０側には、各々、８本の所定ピッ
チの極片歯ａ、・・・、ｈから成る極片歯列５４Ｃが形
成されている。また、内側鉄心５６も、上述と同様に、
リング部５６Ａ、極片５６Ｂ、・・・５６Ｂとにより構
成され、各極片歯５６Ｂの回転体５０側には、各々、８
本の所定ピッチの極片歯ａ′、・・・　ｌ　／から成る
極片歯列５６Ｃが形成されている。これによづて、各々
、極片歯５４Ｃ（即ち、極片歯ａ、・・・、ｈ）と極片
歯５６Ｃ（即ち、極片歯ａ′、・・・、ｈ′）とが回転
体５０の側面部５０Ｇを内外に僅かな空間を介して同位
相で各々対向するようになっている。

ここで、極片歯ａ、・・・、ｈ及びａ　ｌ、・・・、ｈ
′のピッチは、突出歯５３．・・・、５３のピッチに対
して１／２ピッチ大きく設定され、また極片歯列５４Ｃ
２・・・、５４Ｃ及び５６Ｃ２・・・、５６Ｃの内、隣
接するもの同士は１／４ピツチずれた位相をもって配設
されている。このため、本実施例では、対向する一対の
極片歯列５４Ｃ，５６Ｃにより１組の極片歯列が形成さ
れ、この組の極片歯列とこれに隣接する一方の組の極片
歯列との二組により基本グループが形成されている。そ
して、この基本グループが各段に４個づつ形成されてい
る。

さらに、前記極片５４Ｂ、・・・、５４Ｂ及び５゛６Ｂ
、・・・、５６Ｂの根幹部分には、図示のようにラジア
ル方向の支承のための軸受用励磁コイル５８ａ、　・・
・、　　５１３　ｈ及び６−Ｏａ、　−、６０ｈが各別
に巻装されて、これにより、ラジアル方向支承用電磁石
３８ａ、−，３８ｈ及び３−９　ａ、　・・・、　　３
９　ｈが構成されている。そして、ロータ２ＢＢの内外
の対向する電磁石の対（例えば３８ａと３９ａ）により
一組が形成され、全体で各段に８組が設けられている。

また、極片歯列５４Ｃ１・・・、５４Ｃ及び５６Ｃ２・
・・、５６Ｃには、後述するようにロータ２ＢＢ全体を
所定方向に回転させるための回転駆動用励磁コイル６２
ａ、　・、６２ｈ及び５４ａ、　・・・、６４ｈが各段
で各々巻装され、これにより、回転駆動用電磁石４２ａ
、−，４２ｈ及び４３　ａ、　・・・、　　４３ｈが構
成されている。そして、ロータ２ＢＢの内外の対向する
電磁石の対（例えば、４２ａと４３３）により一組が形
成され、隣接する組同士（例えば４２ａと４３ａ及び４
２ｂと４３ｂ）によリーグループが形成されており、全
体で各段の４グループが配設されている。また、各極片
歯列５４Ｃ及び５６Ｃにおいて、互いに隣接する極片歯
ａ、・・・、ｈ及びａ　１．・・・、ｈ′は互いに逆向
き極性を有して励磁されるように、駆動用励磁コイル６
２ａ、　・・・、６２ｈ及び５４ａ、　・・・、６４ｈ
が巻装されている。

更に、前記アキシアル方向支承用電磁石４０は、前記蓋
体４８内にあって前記回転体５０の肩部５０Ｂに対向す
□る所定位置に装備された環状の軸受用励磁コイル６６
と、前記内円筒４４内にあって前記回転体５０の鍔部５
０Ｄに対向する所定位置に装備された環状の軸受用励磁
コイル６８とを有して構成されている。

一方、Ｘ方向変位センサ３２Ｘ、３２Ｘ及びＹ方向変位
センサ３２Ｙ、３２Ｙは、ともに第１図に示すように、
前記回転体５０の肩部５０Ｂ及び鍔部５０Ｄに近接する
所定位置に装備され、当該回転体５０．即ちロータ２８
ＢのＸ方向及びＹ方向の変位を検出しこれに応じた検出
信号ｄｘ及びｄ）ｙを制御装置３０に供給する。ここで
、センサ３２Ｘ、３２Ｘ、３２Ｙ、３２Ｙが軸方向の上
下段に配設されているのは、ロータ２ＢＢの傾きを検出
するためである。

また、前記アキシアル方向センサ３４は、回転体５０の
肩部５０Ｂに近接する所定位置に装備され、ロータ２８
Ｂのアキシアル方向の変位を検出し、これに応じた検出
信号ｄｚを制御部３０に供給する。

ここで、各センサ３２Ｘ、３２Ｘ、３２Ｙ、３２Ｙ、３
４は、ロータ２８Ｂが予め定められた回転のための基準
位置にある場合には、所定基準値の検出信号を出力し、
この基準位置からセンサ位置までの距離が大または小に
なるよう変位する場合には、基準値より小又は大の検出
信号を出力するようになっている。

次に、制御装置３０の構成について説明する。

制御装置３０は、第３図に示すように、上段及び下段の
Ｘ方向変位信号ｄｘを入力し、これに基づいて上段及び
下段のＸ方向の位置決めを行う上段及び下段Ｘ方向位置
決め部３０ＸＵ及び３０ＸＤと、上段及び下段のＹ方向
変位信号ｄｙを入力し、これに基づいて上段及び下段の
Ｙ方向の位置決めを行う上段及び下段Ｙ方向位置決め部
３０ＹＵ及び３０ＹＤと、アキシアル方向の変位信号ｄ
２を入力し、これに基づいてアキシアル方向の位置決め
を行うアキシアル方向位置決め部３０Ｚと、ロータ２８
Ｂの回転駆動を制御する回転駆動制御部３０Ｒとから構
成されている。

この内、上段Ｘ方向位置決め部３０ＸＵ及び上段Ｙ方向
位置決め部３０ＹＵは、第４図に示すように構成されて
いる。これを詳述すると、上段Ｘ方向位置決め部３０Ｘ
Ｕは、上段のＸ方向変位センサ３２Ｘから出力されるＸ
方向変位信号ｄｘに基づきＸ方向の基準位置からの変位
量及び変位方向を演算しこれに応じた変位差信号Δｄｘ
を算出するＸ方向変位差演算手段７２と、このＸ方向変
位差演算手段７２からの変位差信号Δｄｘに基づいて後
述する位置決め信号を出力するＸ方向磁気軸受制御手段
７４と、このＸ方向磁気軸受制御手段７４からの位置決
め信号を増幅しく増幅率α）前記軸受用励磁コイル５８
ａ、５８’ｂ、５８ｅ。

５８ｆ、６０ａ、６０ｂ、６０ｅ、６０ｆに励磁電流を
各々出力するパワーアンプ７６Ａ、７６Ｂとにより構成
されている。

また、これと同様にして、上段Ｙ方向位置決め部３０’
ＹＵは、上段のＹ方向変位センサ３２Ｙから出力される
Ｙ方向変位信号ｄｙに基づきＹ方向の基準位置からの変
位量及び変位方向を演算しこれに応じた変位差信号Δａ
ｙを算出するＹ方向変位差演算手段７８と、このＹ方向
変位差演算手段７８からの変位差信号Δｄｙに基づいて
後述する位置決め信号を出力するＹ方向磁気軸受制御手
段８０と、このＹ方向磁気軸受制御手段８０からの位置
決め信号を増幅しく増幅率α）前記軸受用励磁コイル５
８ｃ、５８ｄ、５８ｇ、５８ｈ、６０ｃ、　　６０　ｄ
、　　６０　ｇ、　　６０　ｈに励磁電流を各々出力す
るパワーアンプ８２Ａ、８２Ｂとにより構成されている
。

この内、Ｘ方向変位差演算手段７２は、入力するＸ方向
変位信号ｄｘに対してノイズ除去を行うローパスフィル
タ８４と、このローパスフィルタ８４の出力の位相を補
償する位相補償回路８６と１、この位相補償回路８６の
出力とＸ方向の基準位置に相当する基準信号ｖ１゜えと
を比較し変位差信号Δｄｘ＝Ｖ、。、−ｄｘを演算する
比較回路８８とを有している。

また、Ｘ方向磁気軸受制御手段７４は、入力するＸ方向
の変位差信号Δｄｘに対してＰＩ演算及びＩＤ演算を施
すＰＩＤ回路９０　（比例回路９０ｐ、積分回路９０ｉ
、微分回路９０ｄから成る）と、このＰＩＤ回路９０か
らのＰＩ演算出力信号及びＩＤ演算出力信号を加算して
加算信号Ｖｉｘを得る加算回路９２とを備え、さらに、
加算信号Ｖｉとバイアス信号Ｖ□８とを加算して位置決
め信号ｒＶｓ＋ｘ＋ＶｔＪを出力する加算回路９４と、
バイアス信号ｖｓ□から加算信号Ｖｉｘを引算して位置
決め信号ｒ　ＶＩＩＸ　　ＶｉｘＪを出力する引算回路
９５とを有して構成されている。

そして、加算回路９４の出力側は、パワーアンプ７６Ａ
を介してモータ本体２８の軸受用励磁コイルｒ５８ａ＋
５８ｂＪおよび「５Ｑｅ＋６゜ｆ」を並列に介してアー
スに至る。また減算回路９５の出力側は、パワーアンプ
７６Ｂを介してモータ本体２８の軸受用励磁コイルｒ６
０ａ＋６０ｂ」およびｒ５８ｅ＋５８ｆＪを並列に介し
てアースに至る。

一方、前記Ｙ方向変位差演算手段７８は、前述したＸ方
向の場合と同様に、ローパスフィルタ９６、位相補償回
路９８．比較回路１００を有して構成され、Ｙ方向の基
準位置に相当する基準信号Ｖ、。、と、変位信号ｄｙと
の比較により変位量及びその方向に応じた変位差信号Δ
ｄｙを出力する。

また、Ｙ方向磁気軸受制御手段８０は、前述したＸ方向
の場合と同様に、ＰＩＤ演算回路１０２゜加算回路１０
４．加算回路１０６．減算回路１０８を有して構成され
、入力する変位差信号Δｄｙを処理して位置決め信号ｒ
　ＶＩＩＦ　”　ＶＪＦＪ及びｒＶｓ＋ｙ−ＶｔｙＪを
パワーアンプ８２ＡｊＪＬび８２Ｂ（増幅率α）に各別
に出力するように設定されている。この内、パワーアン
プ８２Ａの出力側は、軸受用励磁コイルｒ５８ｇ＋５８
ｈＪと「６０Ｃ＋５ＱｄＪとを並列に介してアースに至
る。また、パワーアンプ８２Ｂの出力側は、軸受用コイ
ルｒ６０ｇ＋６０ｈＪとｒ５８ｃ＋５８ｄＪとを並列に
介してアースに至る。

ここで、下段Ｘ方向位置決め部３０ＸＤ及び下段Ｙ方向
位置決め部３０ＹＤは、前述した上段Ｘ方向位置決め部
３０ＸＵ及び上段Ｙ方向位置決め部３０ＹＵと同様に構
成されている。

また、アキシアル方向位置決め部３０Ｚは、入力するＺ
方向変位信号ｄｚに基づきＺ方向の基準位置からの変位
量及びその方向を演算しこれに応じた変位差信号Δｄｚ
を演算するＺ方向変位差演算手段１１０と、この２方向
度位差演算手段１１Ｏからの変位差信号Δｄｚに基づい
て後述する位置決め信号を出力するＺ方向磁気軸受制御
手段１′１２と、このＺ方向磁気軸受制御手段１１２か
らの位置決め信号を増幅しく増幅率α）前記軸受用励磁
コイル６６．６８に励磁電流を出力するパワーアンプ１
１４Ａ、１１４Ｂ　（増幅率α）とにより構成されてい
る。

そして、２方向度位差演算手段１１０は、前述した各Ｘ
方向、Ｙ方向の場合と同様に、ローパスフィルタ１１６
９位相補償回路１１Ｂ、比較回路１２０を有して構成さ
れ、比較回路１２０は、前述の基準位置に相当する基準
信号Ｖ、。、と変位信号ｄｚとの比較を行うようになっ
ている。また、Ｚ方向磁気軸受制御手段１１２は、前述
したものと同様に、ＰＩＤ演算回路１２２．加算回路１
２４、加算回路１２６．減算回路１２７を有して構成さ
れ、入力する変位差信号Δｄｙを処理して位置決め信号
ｒ　Ｖ　ｓｌｚ　＋Ｖ　ｔｇＪ及びｒｖ、□−■。

２」をパワーアンプ１１４Ａ及び１１４Ｂに各別に出力
するようになっている。パワーアンプ１１４Ａ及び１１
４Ｂの出力側は、各々、軸受用励磁コイル６６及び６８
に各別に接続されている。

更に、回転駆動制御部３０Ｒは、方形波を発振する発振
器１２８と、この発振器１２８の出力である方形波列か
ら所定タイミング毎に方形波を抽出し、これを第１〜第
４番目の回転駆動信号Ｖ。

〜■４として並列に出力するタイミング回路１３０と、
このタイミング回路１３０の出力の内、第３．４番目の
出力ｖ３、ｖ４に対しては、その信号を反転させる反転
回路１３２．１３４と、これらの第１〜第４番目の回転
駆動信号■、〜Ｖ、を各別に増幅するパワーアンプ１３
６Ａ〜１３６Ｄ（増幅率α）とを備えて構成されている
。ここで、各回転駆動信号Ｖ、〜ｖ４は、各々、前の信
号の立ち下がり又ルよ立ち上がりに同期して、次の信号
がアースレベルから所定レベルまで順次立ち上がり又は
立ち下がるようになっている。

そして、パワーアンプ１３６Ａ、１３６Ｇの出力側が各
々、駆動用励磁コイル６２ｂ、６４ｂ、６２ｄ、６４ｄ
、６２ｆ、６４ｆ、６２ｈ、６４ｈを並列に介してアー
スに至り、閉回路が形成されている。また、パワーアン
プ１３６Ｂ、１３６Ｄの出力側が各々、駆動用励磁コイ
ル６２ａ、６４ａ、６２ｃ、６４ｃ、６２ｅ、６４ｅ、
６２ｇ。

６４ｇを並列に介してアースに至り、閉回路が形成され
ている。

次に、本実施例の動作を説明する。

本装置の電源が投入されると、各電気回路がオンとなり
、磁気軸受動作及び回転駆動動作が開始される。

まず、磁気軸受けの動作について説明する。

モータ本体２８に装備されているＸ方向変位センサ３２
Ｘ、３２Ｘ、、Ｙ方向センサ３２Ｙ、３２Ｙ、及びアキ
シアル方向変位センサ３４は、それぞれの方向成分の変
位位置に応じてアナログ直流電圧の変位信号ｄｘ、ｄｙ
、及びｄｚを検出し、これを各方向の変位差演算手段？
２，７２．７８゜７８、及び１１０に出力する。

ここで、上段におけるＸ方向の場合について説明する。

Ｘ方向変位信号ｄｘは、Ｘ方向変位差演算手段７２によ
り、前述したように、ロータ２８Ｂがその基準位置から
変位していた方向及びその量に応じて正または負の値の
変位差信）Δｄｘに変換され、Ｘ方向磁気軸受制御手段
７４に出力される。そして、変位差信号Δｄｘは、Ｘ方
向磁気軸受制御手段７４において前述したように処理さ
れ、位置決め信号ｒ　Ｖｉｅｗ　＋　ＶｔｘＪ　ｒ　Ｊ
ｖ自＋ｘ　−Ｖ、ＸＪがパワーアンプ７６Ａ、７６Ｂに
各々出力される。これらの位置決め信号ｒ　Ｖ　ｓ　ｒ
　ｘ　＋　Ｖ　４　ＸＪ及び「Ｖ□−−’ＶｔｘＪ−は
、各々、パワーアンプ７６Ａ及び７６Ｂでα倍され、軸
受用励磁コイルｒ５８ａ＋５８ｂＪとｒ６０ｅ＋６０ｆ
Ｊ及びｒ６０ａ＋６０ｂＪとｒ５８ｅ＋５８ｆＪに各列
に印加され、回転体５０を介する左側及び右側のコイル
に対しては、磁力の強弱が反対になる。

例えば、ロータ２ＢＢがその基準位置より第２゜４図に
おける右側に変位していた場合には、変位信号ｄｘが基
準信号ｖ１゜８より小さくなり、ΔｄＸ及びＶｌ、が正
の値となる。このため、α（Ｖ、。

＋１　＋Ｖ　ｉｘ）が基準位置における値より大きくな
り、反対にα（Ｖｉｅｗ−Ｖ＝ｘ）が基準位置における
値より小さくなる。従って、左側のコイル「５８ａ＋５
８ｂＪとｒ６０ｅ＋６０ｆＪでは、ロータ２８Ｂに対す
る吸引力が強められ、右側のコイルｒ６０ａ＋６０ｂＪ
とｒ５８ｅ＋５８ｆＪでは、その吸引力が弱められ、結
局、ロータ２８Ｂは、第２．４図台ける左側に戻される
。

これとは反対に、ロータ２８Ｂがその基準位置より第２
．４図における左側に変位していた場合には、変位信号
ｄｘが基準信号ｖ５゜８より大きくなり、Δｄｘ及びＶ
　ｉ　ｘが負の値となる。このため、α（Ｖｉｅｗ　＋
Ｖ＋ｘ）が基準位置における値より小さくなり、反対に
α（Ｖｓ＋ＸＶＡＸ）が基準位置における値より大きく
なり、上述とは反対に作用して、ロータ２ＢＢは右側に
戻される。

このようにして、ロータ２８Ｂは、このロータ２８Ｂに
対する吸引力が均衡する位置、即ち基準位置に保持され
る。そして、基準位置に位置決めされると、変位信号ｄ
ｘ＝基準信号Ｖ　Ｓｅｌ！であるから、変位信号ｄｘか
ら求められる値ｖｉＸは零となる。このため、左右の軸
受用励磁コイル「５８ａ＋５８ｂＪ、ｒ６０ｅ＋６０ｆ
Ｊ及び「６０ａ＋６０ｂＪ、ｒ５８ｅ＋５８ｆＪに各列
に印加される位置決め信号は、ともに相等しいαｖｓＩ
Ｘとなり、ロータ２８Ｂはそのまま基準位置に保持され
る。

ところで、上述の基準位置での保持状態における外側の
軸受用励磁コイル５８ａ、５８ｂおよび内側の軸受用励
磁コイル６０ａ、６０ｂにかかるラジアル方向支承用電
磁石３８ａ、３８ｂ及び３９ａ、３９ｂによる磁気回路
を、第７図に示す。

このラジアル方向支承用電磁石３８ａ、３８ｂ及び３９
ａ、３９ｂは、同図に示すように、交互に反対極性とな
るよう励磁される。このとき、例えば電磁石３８ａのＮ
極から出た磁力線（同図中の点線参照）は、鉄心５４を
介して両隣の電磁石３８ｂ、３８ｈのＳ極に入る。そし
て、電磁石３８ｂ、３８ｈのＮ極から出た磁力線は、各
々、極片歯ａ、・・・、ｈ、空隙、突出歯５３．・・・
、５３、回転体５０の側部５０Ｃ１再び、突出歯５３．
・・・。

５３、空隙、及び極片歯ａ、・・・、ｈを順次介して、
電磁石３８ａ　（及び３８　ｃ、　　３８　ｇ）のＳ極
にもどり、これによって閉磁路が形成される。

また、上記電磁石３８ａ、３８ｂに対向するロータ内側
の電磁石３９ａ、３９ｂは、電磁石３８ａ、３８ｂに反
発する向きに各々励磁される。このときの磁路も、上述
と同様にして、図中の点線矢印で示す閉ループになる。

このとき、前述したように、各極片歯列５４Ｃ９・・・
、５４Ｃ及び５６Ｃ１・・・、５６Ｃは、突出歯５３、
・・・、５３に対して、その位相が１／２ピツチ又は（
１／２）　＋（１／４）ピッチずれているため、例えば
第７図に示す位置（電磁石３８ｂ、３９ｂの各々の極片
歯す、ｄ、ｆ、ｇと二個おき毎の突出歯５３．・・・、
５３の位相が合致する位置）°に静止している。このよ
うにして、各々対向する電磁石３８ａ、３９ａ及び３８
ｂ、３９ｂ同士による吸引力が均衡しく他の電磁石の組
でも同様）ロータ２８Ｂが非接触で保持されている。

一方、前述したＸ方向の位置制御は、モータ本体２８に
おける下段側の経路でも独立して同様に実行される。こ
のため、ロータ２ＢＢのＸ−Ｚ平面内での傾きも合わせ
て是正される。

また、Ｙ方向の磁気軸受の動作も上述と同様にして行わ
れる。つまり、ロータ２８ＢのＹ方向の変位量及び変位
方向に応じて検出されたＹ方向変位信号ｄｙに基づいて
、当該変位を是正する量の位置決め信号α（■□ｙ＋Ｖ
ｉｙ）、α（Ｖ□、−Ｖｔｙ）が形成される。そして、
この信号により、ロータ２８ＢのＹ方向の変位が前述の
場合と同様にして是正され基準位置に戻される。このと
き、この位置決めがその上、下段で行われるため、Ｙ−
２平面内での傾きも是正される。

従って、前述したＸ方向、Ｙ方向の位置決めにより、ロ
ータ２８ＢはＸ−Ｙ平面に対して垂直に非接触で支承さ
れる。

更にまた、Ｚ方向の磁気軸受の動作も上述と同様にして
行われる。つまり、ロータ２８ＢのＺ方向の変位量及び
変位方向に応じて検出されたＺ方向変位信号ｄｚに基づ
いて、バイアス信号Ｖ　３１　ｚ、Ｖｓｔｚにより位置
決め信号α（Ｖｓｔｚ　＋　Ｖｉｇ）　。

ａ　Ｃｖｓｔｗ−Ｖｔｇ）が形成され、スｆ−タ２８Ａ
上下の環状の軸受用励磁コイル６６．６８に供給される
。これにより、コイル６６．６８は、ロータ２８Ｂの回
転体５０を相互に吸引する磁力を発生するため、ロータ
２８Ｂは、ステータ２８Ａに対してアキシアル方向に基
準位置で非接触で保持される。基準位置では、ロータ２
ＢＢが上下方向にαＶＳｌ１ｇ＋　αｖｓ、に対する吸
引力で引き合われる。そして、αｖ、１８とαＶｓｔｌ
＋による吸引力の差がロータ２８Ｂの自重と釣り合うこ
ととなる。

以上の動作により、ロータ２８Ｂが、ラジアル方向であ
るＸ、Ｙ方向及びアキシアル方向であるＺ方向に対して
非接触で支承され、しかも予め定められた基準位置に的
確に位置決めされる。

そして、後述する回転駆動等において、負荷変動等の外
乱によりロータ２８Ｂの回転軸がその回転基準位置から
ずれた場合には、この変位状況が各センサ３２Ｘ、３２
Ｘ、３２Ｙ、３２Ｙ、及び３４により直ちに検出され、
これに基づき前述したと同様の位置修正動作が実行され
る。したがって、ロータ２８Ｂは、直ちに元の基準位置
に復帰・する・次に、回転駆動動作を第８図乃至第１１図に基づいて説
明する。これらの図は、前述した基本グループの一つで
ある回転駆動用電磁石４２ａ、４２ｂの組及び４３ａ、
４３ｂの組について示す。

まず、前述した第７図に示す状態において、回転駆動制
御部３０Ｒから回転駆動信号Ｖ、が回転励磁用コイル６
２ｂ及び６４ｂの入力端子ＩＮのみに同時に供給される
と、第８図の如く励磁電流が流れる。このとき、電磁石
４２ｂ及び４３ｂのす、ｄ、ｆ、ｈの極片歯では、電磁
石３８ｂによる磁力線と電磁石４２ｂによる磁力線ケ同
−向きであるので強められ、またａ、Ｃ，ｅ、ｇの極片
歯では、磁力線が反対向きであるので相殺又は弱められ
る。このとき、電磁石４２ａ、４３ａは非励磁の状態で
あり、突出歯の５３．・・・、５３の内の第８図におけ
る任意の歯■、■′に着目すると、この歯■、■′は極
片歯ｅ、ｅ’に対して、１／４ピツチの距離にあり、一
番近接している。

上述の状態から、第９図の如く、回転駆動信号ｖ１の立
ち下がりに同期して回転駆動信号■２がコイル６２ａ、
６４ａの入力端子ＩＮのみに同時に印加される。これに
より、電磁石４２ａ及び４３ａのａ、　　ｃ、　　ｅ、
　　ｇ及びａＺ　　Ｃ′、”＋　　ｇ′の極片歯では、
各々、電磁石３８ａ及び３９ａによって磁力線が強めら
れ、またす、ｄ、ｆ、ｈ及びｂ’、ｄ’、ｆ’、ｈ’の
極片歯では、磁力線が相殺又は弱められる。このため、
前述した歯■、■′が各々極片歯ｅ、ｅ’に吸引され、
該極片歯ｅ、ｅ’の位置に到達する。即ち、ロータ２８
Ｂ全体が反時計方向に１／４ピツチだけ回転することと
なる。このとき、突出歯の５３．・・・、５３の内の第
９図における任意の他の歯■、■′に着目すると、この
歯■、■′は、電磁石４２ｂ。

４３ｂの極片歯ａ、ａ’に対して、一番近接し１／４ピ
ツチの距離にある。

さらに、上述の状態から、第１０図の如く、回転駆動信
号ｖ２の立ち下がりに同期して回転駆動信号ｖ３がコイ
ル６２ｂ、６４ｂの入力端子ＩＮのみに同時に印加され
る。これにより、電磁石４２ｂ、４３ｂは前述した第８
図と反対に励磁される。このため、前述した歯■、■′
が磁気力により極、片面　、ａＺの位置まで吸引される
。即ち、ロータ２８Ｂ全体が更に反時計方向に１／４ピ
ツチだけ回転する。このとき、電磁石４２ａ、４３ａ側
では、■、■′の前の歯■、■′が極片歯ｆ。

ｆ′に各々１／４ピツチの距離にあり一番接近している
。　　　　　　。

さらに、上述の状態から、第１１図に示す如く、回転駆
動信号■、の立ち上がりに同期して回転駆動信号ｖ４が
コイル６２ａ、６４ａのＩＮのみに同時に印加される。

これにより、電磁石４２ａ。

４３ａは前述した第９図と反対に励磁される。このため
、前述した歯■、■′が磁気力により極片歯ｆ、ｆ’の
位置まで吸引される。即°ち、ロータ２８Ｂ全体が更に
反時計方向に１／４ピツチだけ回転する。

このようにして、回転駆動信号■１〜ｖ４の繰り返し入
力により前述した第８図乃至第１１図の回転動作が繰り
返され、しかもこの動作は他の３グループ（６組）の電
磁石４２Ｃ，４３Ｃ，・・・。

４２ｈ、４３ｈでも同様にして行われるから、ロータ２
ＢＢは反時計方向に加えられた信号に比例する量だけ連
続的に回転する。このとき、その回転に伴うラジアル方
向の吸引力は、ロータ２８Ｂの内外で各組毎に相殺され
るので、前述した磁気軸受には何ら影響を及ぼさないこ
ととなる。また回転駆動信号Ｖ　Ｉ”　Ｖ’　４の繰り
返し周期を短くすることにより、より高速で回転させる
ことができる。

本実施例は以上のようであるから、種々の利点を有する
。まず、ロータ２ＢＢを介して対向する内外の対向位置
において磁気吸引力による回転力をロータ２８Ｂに作用
させているため、そのラジアル方向の回転力成分が相殺
され、磁気軸受位置に対し回転に伴う偏心等の影響を及
ぼさないことから、ロータ２ＢＢのラジアル方向の位置
決めをより高精度に行うことができ、高速回転させるこ
とができる。これとともに、ロータ２８Ｂ全周囲の内外
で吸引駆動していることから、その一方のみの場合に比
較してより大きな回転トルクを得ることができる。また
、ロータ２ＢＢの突出歯とステータ２８Ａの極片歯との
間では、常に、それらの位相が合致する歯が、円周方向
において常に平均して分布するようになっているため、
その合致する歯が局所的なものに比較して、ロータ２８
Ｂの歪をより小さくさせることができ、これによって、
ロータ２８Ｂの高精度な位置制御及び高速回転を促進さ
せることができる。

また、回転駆動用励磁コイル６２ａ、・・・、６２ｈ及
び６４ａ、＝・、６４ｈは、極片５４Ｂ、−。

５４Ｂ及び５６Ｂ、・・・、５６Ｂに各々設けた極片歯
ａ、・・・、ｈ及びａ′、・・・、ｈ′に巻装させてい
るため、軸受用励磁コイル５８ａ、・・・、５８ｈ及び
６０ａ、・・・、６０ｈによる閉磁路とは異なった閉磁
路を形成することから、これらの磁路を共通とする場合
のように、回転駆動信号ｖ１〜■４によって軸受用励磁
コイル５８ａ、・・・、５８ｈ及び６０ａ、・・・、６
０ｈに逆起電力を生じさせ磁気軸受を乱すということが
なく、従って、当該信号Ｖ１〜ｖ４の繰り返し周期をよ
り短くして、高速回転させることができる。

さらに、ステータ２８Ａ側の極片歯ａ、・・・、ｈ及び
ａ′、・・・、ｈ′を単なる磁路とぜず、これに回転駆
動用励磁コイル６２ａ、・・・、６２ｈ及び６４ａ、・
・・、６４ｈを巻き、積極的に利用していることから、
極片歯ａ、・・・、ｈ及びａ　１．・・・、ｈ′とは別
の位置に当該コイル６２ａ、・・・、６２ｈ及び６４ａ
、・・・、６４ｈを巻装する場合に比較して、モータ本
体２８全体をより小型化できるという利点も有している
。

なお、上述した実施例においては、ロータ２８Ｂの内外
で回転駆動用電磁石４２ａ、・・・、４２ｈ°及び４３
ａ、・・・、４３ｈを対向させるとしたが、これは、ロ
ータ２８Ｂの回転軸に対して、対称位置であり磁気軸受
用及び回転用の磁気力のラジアル方向成分が、外側又は
内側同士で相殺されるならば、ロータ２８Ｂの外側のみ
、又は内側のみであってもよい。

次に、本発明のその他の実施例を説明する。

まず、第２実施例は、前述した第１実施例において、回
転開始時に、軸受用励磁コイル５８ａ。

・・・、５８ｈ及び６０ａ、・・・、６０ｈに対しても
、回転駆動信号ＶＩ〜Ｖ、（共に正又は負のパルス信号
）を軸受用信号に重畳させて印加させるという構成を付
加したものである。これによれば、その作用効果は前述
した実施例のものと同等になるほか、回転開始トルクを
大きくすることができるという利点を有する。

また、第３実施例としては、前述した第１実施例におい
て、磁気軸受用電磁石に永久磁石を使用し、回転駆動用
コイル６２ａ、・・・、６２ｈ及び６４ａ、・・・、６
４ｈは極力、インダクタンスが小さいコイルとしたもの
である。これによれば、その作用効果は前述した第１実
施例と同等になるほか、回転駆動信号Ｖ、〜ｖ４の立ち
上がり又は立ち下がりにおいて、回転駆動コイルに生じ
る自己誘導逆起電力が小さくなり、より剛性を高めるこ
とができる。

更に、第４実施例を、第１２図に示す。即ち、この第１
２図では、ステータ１４０の内側には、円柱状のロータ
１４２が第１実施例と同様にして磁気軸受されるととも
に、ロータ１４２を回転させる回転駆動用電磁石１４４
ａ、・・・、１４４ｈ（１４５ａ、・・・、１４５ｈは
回転駆動用励磁コイル）がロータ１４２の中心軸を介す
る対向位置に配設された極片１４０Ａの極片歯ａ、・・
・、ｄに設けられている。そして、ロータ１４２の周囲
全体に沿って設けられている突出歯１４２Ａのピッチ（
これを１ピツチとする）に対して、各極片歯ａ。

・・・、ｄのピッチは１．５倍であり、しかも、一方の
組の電磁石１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｅ、１４４ｇの
各極片歯ａ、・・・、ｄは、他方の組の電磁石１４４ｂ
、１４４ｄ、１４４ｆ、１４４ｈの各極片歯ａ、・・・
、ｄに対して、各々、１／４ピツチずれた対称位置に設
けられている。ここで、１４６ａ、・・・、１４６ｈは
、磁気軸受用コイルである。

このように構成し、前述した第１実施例における回転駆
動用信号Ｖ、−Ｖ４を、第１実施例と同様にして、前記
駆動用励磁コイル１４５ａ、１４５ｃ、１４５ｅ、１４
５ｇ及び１４５ｂ、１４５ｄ、１４５ｆ、１４５ｈに供
給することにより、第１実施例と同様に作動する。これ
により、第１実施例と略同等の効果を得ることができる
他、その構成が簡単化されるという利点がある。

なお、この第４実施例においては、４つの磁気回路を磁
気軸受モータのラジアル方向に形成させるとしたが、ア
キシアル（軸）方向に形成させるとしてもよく、その場
合に、磁気回路を少なくとも上下二段に渡って形成させ
る構成とし、ロータ１４２のアキシアル方向の傾きも併
せて制御するとようにしてもよい。

更にまた、第５実施例を、第１３図に示す。この第１３
図では、前述した第４実施例と同様の構成を有している
が、等角度をもって配設された１２個の磁気軸受用の電
磁石１４７ａ、・・・、１４７１及びこれに対応した回
転駆動用の電磁石１４４ａ、・・・、１４４！とを有し
て構成されている。しかも、回転駆動用電磁石１４４ａ
、・・・、１４４４！の各々の極片歯ａ、・・・、ｄは
、電磁石１４４ａ。

１４４ｂ、１４４ｅ、１４４ｆ、１４４ｉ、１４４ｊで
は同一の位相をもって配設され、一方、電磁石１４４ｃ
、１４４ｄ、１４４ｇ、１４４ｈ。

１４４に、１４４／では同一の位相をもって配設され、
これらの内、前者の電磁石の各極片歯ａ。

・・・、ｄは、後者のそれに対して１／４ピツチだけ図
示のようにずれて配設されている。また、電磁石１４４
ａの励磁コイル１４５ａと電磁石１４４ｂの励磁コイル
１４５ｂとが接続され、電磁石１４４Ｃの励磁コイル１
４５Ｃと電磁石１４４ｄの励磁コイル１４５ｄとが接続
され、以下、電磁石１４４ｅ、・・・、１４４Ｊにおい
てもこれと同様に接続されている。その他の構成は第１
２図と同様になっている。

そして、このため、磁気軸受用電磁石１４７ａ。

・、１４７１の励磁コイル１４６ａ、　・、１４６１に
図示の如く励磁電流を供給した状態において、回転駆動
用の励磁コイルｒ１４５ａ＋１４５ｂＪ、ｒ１４５ｅ＋
１４５ｆＪ、及びｒ１４５ｉ＋１４５ｊＪを一方の組と
し、励磁コイルｒ１４５ｃ＋１４５ｄＪ、ｒ１４５ｇ＋
１４５ｈＪ、及び「１４５に＋１４！Ｍ！Ｊを他方の組
として、前述した各実施例と同様にして回転駆動用信号
Ｖ　Ｉ””　Ｖ　ａを供給することにより、ロータ１４
２が所定方向に回転する。この場合、回転駆動に伴うラ
ジアル方向成分は、各信号ｖ１〜Ｖ４の印加の度に、第
１３図中の点線で示すように１２０度づつ位相がずれた
三方向に作用するが、この三方向の成分の合力は全体と
して零になってバランスする。

従って、この第５実施例においても第４実施例と同様に
作用し、その効果も同等のものが得られる他、全体の磁
気軸受源及び回転駆動源が多くなっている分だけ安定し
た磁気軸受及び回転駆動をさせ得る。

なお、前記各実施例では、三相電源を用いるときには、
隣接する極片歯列相互は１／６ピッチずれた位相をもっ
て配設する構成とし、前述の各実施例と同様に動作させ
ればよい。

また、前述した各実施例では、回転駆動用電磁石のグル
ープ数、突出歯、極片歯のピッチ、及び極片歯の位相の
ずれは、必ずしも前述したものに・限定されない。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明によれば、ロータを
非接触で支承した状態で、当該ロータを介する対称位置
から回転駆動のための磁気力を同時に同量だけ当該ロー
タに作用させ、これを複数の組で繰り返すことにより当
該ロータを回転させることとしたため、ロータに作用す
る回転駆動力のラジアル方向成分が相殺される回転駆動
により、磁気軸受の制御が乱されるという事態を排除で
き、ロータのラジアル方向の位置決めをより精度よく行
うことができる。一方、磁気軸受用の閉磁路と回転駆動
用の閉磁路とが重畳しない構成になっているため、回転
駆動用の励磁電流によって磁気軸受の磁路を乱すという
事態を回避でき、これがため、複数組の回転駆動用励磁
コイルに対する切換をより高速で行うことができること
から、従来技術に比較して、より円滑で高剛性の磁気軸
受モータを得ることができるという優れた効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例にかかるモータ本体を示
す縦断面図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿った横断面
図、第３図は第１実施例の制御装置を示すブロック図、
第４図は第３図の制御装置の内のラジアル方向としての
Ｘ方向、Ｙ方向位置決め部のブロック図、−第５図は第
３図の制御装置の内のアキシアル方向位置決め部のブロ
ック図、第６図は第３図の制御装置の内の回転駆動制御
部のブロック図、第７図は磁気軸受状態の磁気経路の一
部分を示す説明図、第８図乃至第１１図は回転動作を説
明するための説明図、第１２図及び第１３図はこの発明
のその他の実施例（第４及び第５実施例）を示す概略図
、第１４図は従来例を示す概略図である。図中、２８Ａはステータ、２８Ｂはロータ、３０Ｒは回
転駆動制御部、３８　（３８ａ、　・、３８ｈ）　、３
９　（３９ａ、＝ｚ　　３９ｈ）はラジアル方向支承用
電磁石、４０はアキシアル方向支承用電磁石、５３．・
・・、５３は突出歯、５４Ｂ、・・・、５４Ｂ、５６Ｂ
、・・・、５６Ｂは極片、５４Ｃ１・・・。５４Ｃ１５６Ｃ，−，５６Ｃは極片歯列、６２ａ。・・・、６２ｈ、６４ａ、・・・、６４ｈは回転駆動用
励磁コイル、ａ、・・・、ｈＳａ’、、・・・、ｈ′は
極片歯・　　である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）同心的に配設された環状のロータ及びステータと
、該ステータのロータに対向する側であって前記ロータ
に対して対称となる等間隔位置に各々設けられた複数組
の極片と、該各極片に各々設けられた磁気軸受用電磁石
とを備え、前記ロータを前記ステータに対して非接触で
回転可能に支承するようにした磁気軸受モータにおいて
、前記ステータの各極片に対向する前記ロータの側部には
所定ピッチの突出歯を均一に形成し、前記ロータの突出
歯に対向する前記極片の面には前記突出歯とは異なるピ
ッチの極片歯からなる極片歯列を各々設け、この複数組の極片歯列の内、一の組は隣接する他方の組
に対し所定位相のずれをもって配設するとともに、前記複数組の極片歯列の極片歯に対し、隣接する極片歯
同士が相互に逆極性に励磁されるよう回転駆動用励磁コ
イルを各々巻装し、この複数組の回転駆動用励磁コイルの内、ロータに対し
て対称的な各組励磁コイルに同時に励磁電流を供給する
回転駆動制御部を備えたことを特徴とする磁気軸受モー
タ。
（２）前記ロータは円筒状に形成され、前記複数組の極
片歯列の各々は該円筒状ロータを挟んで対向する複数組
の対称位置に配設された極片歯で構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気軸受モータ
。
（３）前記ロータは円筒状に形成され、前記複数組の極
片歯列の各々は該円筒状ロータを介する３点の点対称位
置に配設された極片歯で構成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の磁気軸受モータ。
（４）前記ロータはカップ状に形成され、且つ、前記ス
テータは当該ロータの内外に位置するよう形成され、前
記複数組の極片歯列の各々は当該カップ状ロータの内外
に対向する対称位置に配設された極片歯で構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気軸
受モータ。