JPS631339A - 非接触支持モ−タ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ラジアル磁気軸受を有する非接触支持モー
タ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図は非接触支持モータ装置としての磁気軸受モータ
の従来例を示す。

図において、６０は磁気軸受モータで、中空円柱状の枠
体６１と、この枠体６１内に枠体６１と同軸的に設けた
回転体６２と、この回転体６２を空中に支持するラジア
ル磁気軸受６３およびアキシアル磁気軸受６４と、前記
回転体６２を回転駆動する固定子６５と、前記回転体６
２のラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出す
るラジアル方向変位検出センサ６６．６７およびアキシ
アル方向変位検出センサ６８とにより構成されている。

前記回転体６２は＠６２ｊの上端部に円盤６２ａを同軸
的に取り付け、軸６２ｊの中間部に円盤６２ｂ、６２ｃ
、６２ｄをこの順にそれぞれ間隔を置いて同軸的に取り
付けた構造となっている。

前記ラジアル磁気軸受６３は、上部ラジアル磁気軸受６
３ｕと下部ラジアル磁気軸受６３ＪＺとにより構成され
ている。前記上部ラジアル磁気軸受６３ｕは補記枠体６
１の内側周方向に配設され前記円盤６２ｂの周側面に対
向する複数のヨーク６３ｙにそれぞれ励磁コイル６３ｃ
を捲回して形成している。前記下部ラジアル磁気軸受６
３ｆｉは前記枠体６１の内側周方向に配設され前記円盤
６２ｄの周側面に対向する複数のヨーク６３ｙにそれぞ
れ励磁コイル６３ｃを捲回して形成している。前記アキ
シアル磁気軸受６４は前記円盤６２ａの上面に対向する
環状の電磁石を前記枠体６１の内側に取り付けて形成し
ている。前記固定子６５は前記枠体６１の内側周方向に
配設され前記円盤６２Ｃの周側面に対向するａａのヨー
ク６５ｙにそれぞわ励磁コイル６５ｃを捲回して形成し
ている。

前記ラジアル方向変位検出センサ６６．６７はそれぞれ
前記軸６２ｊの両端部周側面に対向し前記枠体６１の内
側部分に取り付けられ、ラジアル方向の変位を検知する
ようになっている。前記アキシアル方向変位検出センサ
は前記軸６２ｊの下端面に対向し前記枠体６１の内側に
取り付けられ。

アキシアル方向の変位を検出するようになフている。

従来の磁気軸受モータは上記のように構成されているか
ら、回転体６２は、ラジアル方向変位およびアキシアル
方向変位検出センサ６６．６７．６８により検出された
回転体６２の変位に基いて位置制御されるとともに、ラ
ジアル磁気軸受６３およびアキシアル磁気軸受６４によ
り空中に支持され、空中に支持された状態で、固定子６
５により回転駆動される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の磁気軸受モータは回転体６２を構
成する円盤６２ｂ、６２ｄの周側面に対向してラジアル
磁気軸受６３を設け、円盤６２ｃに対向して固定子６５
を設ける構成にしたから、モータは軸方向に長くなり、
近年の小型化の要請に応えることができないという問題
点があった。

第７図はこのような要請に応えるものとして提案されて
いる磁気軸受モータである。図において、７０は磁気軸
受モータで、中空円柱状の枠体７１と、この枠体７１内
に枠体７１と同軸的に設けた回転体７２と、この回転体
７２を空中に支持するラジアル磁気軸受７３およびアキ
シアル磁気軸受７４と、前記回転体７２を回転駆動する
固定子７５と、補記回転体７２のラジアル方向およびア
キシアル方向の変位を検出するラジアル方向変位検出セ
ンサ７６．７７およびアキシアル方向変位検出センサ７
８とにより構成されている。

前記回転体７２は軸７２ｊの上端部に円盤７２ａを同軸
的に取り付け、１ｌｈ７２ｊの中間部に円盤７２ｂ、７
２ｄをこの順にそれぞれ間隔を置いて同軸的に取り付け
た構造となっている。前記ラジアル磁気軸受７３は、上
部ラジアル磁気軸受７３Ｕと下部ラジアル磁気軸受７３
ＩＬとにより構成されている。前記上部ラジアル磁気軸
受７３ｕは１符記枠体７１の内（１１１１周方向に配設
され前記円盤７２ｂの周側面に対向する複数のヨーク７
３ｙにそれぞれ励磁コイル７３ｃを捲回して形成してい
る。

前記下部ラジアル磁気軸受７３２は前記枠体７１の内側
周方向に配設され、前記円盤７２ｄの周側面に対向する
複数のヨーク７３ｙにそれぞれ励磁コイル７３ｃを捲回
して形成している。前記アキシアル磁気軸受７４は前記
円盤７２ａの上面に対向する環状の電磁石を前記枠体７
１の内側に取り付けて形成している。前記固定子７５は
前記ヨーク７３ｙに捲回された励磁コイル７３ｃより外
側の前記ヨーク７３ｙの部分に励磁コイル７５ｃを捲回
して形成している。前記ラジアル方向変位検出センサ７
６．７７はそれぞれ前記ｌｌｌ１７２ｊの両端部周側面
に対向して前記枠体７１の内側部分に取り付けられてい
る。前記アキシアル方向変位検出センサ７８は前記軸６
２ｊの下端面に対向して前記枠体７１の内側部分に取り
付けられている。

このような構成にすれば、前記従来例の固定子６５の分
だけ、モータ７０の軸方向の長さが短縮されるため、上
記問題点を解決することは可能である。しかしながら、
回転体７２の回転に寄与する励磁コイル７５ｃのラジア
ル方向の吸引力と、回転体７２のラジアル方向位置制御
に寄与する励磁コイル７３ｃのラジアル方向の吸引力と
が回転体７２の外側に配された励磁コイルによりそれぞ
れ重畳される構成であるから、励磁コイル７３ｃにより
位置制御された回転体７２の回転軸は、固定子７５に設
けた励磁コイル７５ｃの回転磁界の吸引力により幾何学
的中心より変化させられ、この変位を修正する吸引力が
励磁コイル７３ｃに働くので回転体７２を回転させる回
転磁界が乱されるため、回転磁界を強くすることができ
ないし、また、円滑な回転を得ることができないという
問題点があった。

この発明は、高剛性、高負荷容量にして円滑な回転が得
られるコンパクトな非接触支持モータを提供することを
目的としている。

〔問題点を解決−「るための手段〕

この発明に係る非接触支持モータ装置は、強磁性を有す
る筒状のロータと、このロータのラジアル方向変位を検
出するラジアル方向変位検出手段と、ロータの周側部内
側および外側の周方向にそれぞれ配設した内外対をなす
少なくとも３組の電磁石よりなるＴＬ！ｆ！石群と、前
記ラジアル方向変位検出手段により検出されたラジアル
方向変位に応じて前記ロータの周側部内側および外側の
うちの少なくとも一方の前記電磁石を励磁して前記ロー
タの位置を中立位置に制御するラジアル暖気軸受制御手
段と、航記各１組の内外の前記電磁石を同時に励磁して
前記ロータに対する吸引力をバランスさせた状態で回転
磁界を形成する回転磁界制御手段とを設けている。

〔作用〕

この発明に係る非接触支持モータ装置は、ロータの周側
部内側および外側の周方向にそれぞれ配設した内外対を
なす電磁石により少なくとも３組の電磁石よりなる電磁
石群を形成し、かつ、検出されたラジアル方向変位に応
じてラジアル暖気軸受制御手段により前記１！磁石を励
磁すると共に、回転磁界制御手段により、前記１組の内
外の電磁石を同時に励磁して回転磁界を形成する構成に
しだから、ロータのラジアル方向には回転磁界制御手段
による内外の吸引力が相殺されてラジアル磁気軸受制御
手段による吸引力のみが加わった状態にでき、−方、ロ
ータの周方向（回転方向）にはラジアル磁気軸受制御手
段による回転方向の磁石群の吸引力は相殺され回転磁界
制御手段による回転磁界のみの吸引力が加わった状態に
できるので、ロータをラジアル方向に位置制御させた状
態で、回転方向に回転駆動できる。

〔実施例〕

第１図および第２図において、１は非接触支持モータ装
置で、枠体２と、ロータ３と、ラジアル方向磁力発生手
段４と、アキシアル方向電力発生手段５と、ラジアル方
向変位検出センサ６と、アキシアル方向変位検出センサ
７とを備えている。

前記枠体２は、−端部にフランジ２３を存する中空の内
円筒２４と、この内円筒２４にかぶさるようにフランジ
２３にボルトｂ１により一方の端部を固定された外円筒
２２と、この外円ＷＩ２２の他方の端部にねしＳｌによ
り固定された蓋体２０よりなり、蓋体２０の中心部には
孔２１が形成されている。

前記ロータ３はカップ状の回転体く強磁性体）３１とさ
れ、この回転体３１の底部中央には内方に張り出したス
リーブが形成され、このスリーブにフランジを有する回
転軸３０を嵌挿しボルトｂ２により回転軸３０を回転体
３１に固定したものである。このロータ３は酵記内円筒
２４の内孔及び面記蓋体２０の孔２１に挿通され回転体
３１の外円筒部は航記内円筒２４と外円筒２２との間の
空間部に挿通されている。なお、回転体３１は後述する
電磁石４０ａ〜４０ｈに対向する部分をけい素鋼板の積
層構造にすると、鉄損を舐少させることができる。

前記ラジアル方向磁力発生手段４は上下２段に配設され
、それぞれけい素鋼板の積層構造の内側ステータＩｓと
外側ステータＯ５を有している。

内側ステータＩｓは円筒状の部材の外面側に８個の磁極
Ｐｉを周方向等間隔に突出させたもので、各磁極Ｐｉに
は励振コイルＣｉが捲回されている。

外側ステータＯＳは円筒状の部材の内面側に８個の磁極
Ｐｏｆ！−Ｊ刈方向等間隔に突出させたもので、各Ｗｔ
極Ｐｏには励磁コイルＣＯが捲回されている。

内側ステータＩｓは間座ｓｐｌにより軸方向に離間され
た状態で枠体の内円筒２４の外面に嵌合し、下側の内側
ステータ■Ｓは枠体の内円筒２４に設けた段部に一方の
端面を当接され上側の内側ステータＩｓは内円筒２４の
端部にねじｓ２により取付けられた止め板との間に配さ
れた間座ｓｐ２より押圧されており、内側ステータＩＳ
は枠体２に固定されている。

外側ステータＯ５は間座ｓｐ３により軸方向に離間され
た状態で枠体の外円筒２２の内面に嵌合し、下側の外側
ステータＯ３は、外円筒２２に設けた段部に一方の端面
を当接され、上側の外側ステータＯ３は蓋体２０から伸
びる円筒部により押圧されており、外側ステータＯ３は
枠体２に固定されている。

内側ステータＩｓと外側ステータＯ８の各磁極は夫々対
向されており、いずれもロータ３のカップ状の外円筒部
に僅かな間隙を介して対向されている。

本実施例はステータのｍ＋が８Ｖ５の例であるので、２
つの磁極を一組として４組の電磁石がロータの内外に形
成される。

即ち、Ｘ方向に電磁石４０ａ、４０ｂおよび電磁石４０
ｃ、４０ｄが形成され、Ｘ方向に対し直角方向のＹ方向
に電磁石４０ｅ、４０ｆおよび電磁石４０ｇ、４０ｈの
内外対をなす４組の電磁石群が形成されている。

前記アキシアル方向磁力発生手段５は前記蓋体２２に形
成され前記ロータの回転体３１の底部の端面に近接する
環状突部に設けられた環状の周溝に捲回された励磁コイ
ル５０と、内円筒のフランジ２３に形成され前記ロータ
の回転体３１の外円筒の外端面に近接する環状突部に設
けられた環状の周溝に捲回された励磁コイル５１とを有
している。

前記ラジアル方向変位検出センサ６は前記回転体３１の
両端の周側部に僅かな間隙を介して対向された状態で枠
体２のＸ方向に固定された２つのＸ方向変位センサ６０
ｘおよびＸ方向変位センサ６０、ｙとから成り、このラ
ジアル方向変位検出センサは、前記ロータ３のＸ方向お
よびＸ方向変位に応した′賀正を取り出すためのもので
ある。ラジアル方向変位検出センサ６０ｘ、６０Ｙが上
下に配されているのはロータの傾きを制御するためであ
る。

Ｏｉｆ記アキシアル方向変位センサ７は前記蓋体２２に
取り付けられたロータの回転体３１の底部に僅かな間隙
を介して対向されており、このアキシアル方向変位検出
センサは前“記ロータ３のアキシアル方向変位に応した
？に圧を取り出すためのものである。アキシアル方向変
位センサ７はロータの上下に設けても良い。

第３図において、８はＸ方向変位検出装置で、ローパス
フィルタ８１と、位相補償回路８２と、変位イ３号発生
回路８３を４ｆＬ／、［１仔記Ｘ方向変位センサ６０ｘ
からの信号と基準電圧ｖｓｘに基づきロータ３のＸ方向
変位Δｄｘ信号を出力する。

９はＸ方向磁気軸受の印加電圧制御装置で、ＰｒＤ（ｐ
ｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ　　ｉｎｔｅｇｒａｌ　　ａｎ
ｄ　　ｄｉｆｆｅｒｃｎｊｉａｌ）調節回路９１と、加
算回路９２と、処理回路９３．９４とを備え、前記ＰＩ
Ｄ調節回路９１は積分回路９１１、比例回路９１ｐおよ
び微分回路９１ｄを有し、前記Ｘ方向変位検出装置８か
らの変位１３号とその積分およびその微分の和に比例す
る制御信号を加算回路９２を介して前記処理回路９３．
９４に出力し、前記処理回路９３は加算回路９２の出力
電圧ｖｉｘとロータ３のラジアル方向の基準位置に対応
する基準電圧ｖｓｘとの和を算出し、前記処理回路９４
は前記加算回路９２の出力電圧ｖｉｘと基？＄主電圧ｓ
ｘとの差を算出する。前記Ｘ方向磁気軸受の印加電圧制
御装置９はＸ方向変位検出装置η８により検出されたＸ
方向変位（Δｄｘ）に応じて、それぞれパワーアンプ１
０ｂ、１０ｃに（ｖｓｘ＋ｖｉｘ）の制御信号をパワー
アンプ１０ａ、１０ｄに（ｖｓｘ−ｖｉＸ）の制御信号
を出力しており、Ｘ方向磁気軸受４０ｘ、すなわち電磁
石４０ｂ、４０ｃと電磁石４０ａ、４０ｄにはパワーア
ンプ１０ａ　〜１０ｄにより増幅された磁気軸受制御電
圧（それぞれα（ｖｓｘ＋ｖｉｘ）、ａ（ｖｓｘ−ｖｉ
ｘ））が供給される。この場合磁界は外側ステータの極
からロータ３を貫通して内側ステータＩＳの極に入り、
内側ステータ■Ｓを円周方向に通って隣りの内側ステー
タＩＳの極からロータ３を貫通して外側ステータＯ５の
極に入り外側ステータｏＳの外側を通って始めの褌に戻
る環状の磁界となっている。αはパワーアンプ１０ａ〜
１０ｄの増幅率である。

１１はＹ方向変位検出装置で、ローパスフィルタ１１１
と、位相補償回路１１２と、変位信号発生回路１１３と
を備え、前記Ｙ方向変位センサ６０ｙからの信号と基準
電圧Ｖｓｙに基づきＹ方向の変位をΔａｙを出力する。

館記ラジアル方向変位センサ６およびＸ方向、Ｙ方向変
位検出装置８．１１によりラジアル方向変位検出手段を
構成している。

１２はＹ方向磁気軸受の印加電圧制御装置で、積分回路
１２１ｉ、比例回路１２１ｐおよび微分回路１２１ｄを
存するＰｒＤ調節回路１２１と、而記比例回路１２１Ｐ
および微分回路１２１ｄの出力電圧を加算する加算回路
１２２と、この加算回路１２２の出力電圧ｖｌｙとロー
タ３のラジアル方向の基準位置に対応する基準電圧ｖｓ
ｙとの和を算出する処理回路１２３と、前記加算回路１
２２の出力電圧ｖｉｙと基１！電圧ｖｓｙとの差を算出
する処理回路１２４とを存し、前記Ｙ方向変位検出装置
１１により検出されたＹ方向変位（Δｄｙ）に応じて、
それぞれパワーアンプ１３ｆ、１３ｇに（ｖｓｙ＋ｖｉ
ｙ）の制御信号を、パワーアンプ１３ｅ、１３ｈに（ｖ
ｓｙ−ｖｉｇ）の制御信号を出力しており、上部Ｙ方向
電気軸受４０ｙ、すなわち電磁石４０ｆ、４０ｇと電磁
石４０ｅ、４０ｈに印加する磁気軸受制御電圧（それぞ
れａ　（ｖｓｙ＋ｖｉｙ）、ａ　（ｖｓｙ−ｖｉｙ））
を供給している。αはパワーアンプ１３ａ〜１３ｄの増
幅率である。このＸ方向変位検出装置８とＸ方向磁気軸
受の印加電圧制御装置９とパワーアンプ１０ａ〜１０ｄ
及びＹ方向変位検出装置１１とＹ方向磁気軸受の印加電
圧制御装置１２とパワーアンプ１３ｅ〜１３ｈによりラ
ジアル磁気軸受手段が形成されている。

１４は非接触支持モータの駆動制御装置で、発信回路１
４１と、タイミング回路１４２と、駆動；ｔｌＩＩ御回
路１４３とを備え、パルス列を成形、分配して、順次、
前記パワーアンプ１０ａ、１０ｂ、パワーアンプ１３ｇ
、１３ｈ、パワーアンプ１０ｃ、１０ｄ、パワーアンプ
１３ｅ、１３ｆに位相の異った回転磁界ルｊ御信号（Ｖ
ｌ〜Ｖ４）を出力し゛ｔト暖石４０ａ、４０ｂ、電磁石
４０ｇ、４０ｈ、電磁石４０ｃ、４０ｄ、電６１石４０
ｅ、４０ｆ　ニ’ｒｉ夫々ａＶＩ　、ａＶ２　、ａＶ３
　、ａＶ４　の回転磁界：＆ｌＩ　Ｎ電圧が前記６ｄ気
軸受：ｂ制御電圧と重畳された形で印加している。

第４図において、２５はアキシアル方向変位検出装置で
、ローパスフィルタ２５１と、（ｑ相補倍回路２５２と
、変位信号発生回路２５３とを４４し、前記アキシアル
方向変位センサ７からの信号と基準電圧ｖｓｚに基づき
アキシアル方向の変位をΔｄｚ信号を出力する。２６は
アキシアル方向磁気軸受の印加電圧制御装置で、積分回
路２６１１、比例回路２６１ｐ、および微分回路２６６
ｄよりなるＰＩＤ調節回路２６１と、１前記比例回路２
３１ｐおよび微分回路２６１ｄの出力電圧を加算する加
算回路２６２と、この加算回路２６２の出力電圧ｖｉｚ
と基準電圧ｖｓｚとの和を算出する処理回路２６３と、
直配加算回路２６２の出力電圧ｙ　ｉ　ｚと基準電圧ｖ
ｓｚとの差を算出する処理回路２６４とを備え、直配ア
キシアル方向変ｔ・７検出装置２５により検出されたア
キシアル方向変位（Δｄｚ）に応して、そわぞれパワー
アンプ２７ａに（ｖｓｘ＋ｖｉｚ）のル制御信号を、パ
ワーアンプ２７ｂに（ｖｓｚ−ｖｉｚ）の；ト制御信号
を出力しておりアキシアル方向電気軸受５、すなわち電
磁石５０と電磁石５１にはパワーアンプ２７ａ、２７ｂ
により増幅されたアキシアル磁気軸受ＩＩＩ　ｇａ定電
圧それぞれａ　（ｖｓｚ＋ｖｉｚ）、ａ　（ｖｓｚ−ｖ
ｉｚ））が供給される。αは前記パワーアンプ２７ａ、
２７ｂの増幅率である。前記アキシアル方向変位センサ
７とアキシアル方向変位検出装置２５とにより、前記ロ
ータのアキシアル方向変位を検出するアキシアル方向変
位検出手段を構成している。

この実施例の非接触支持モータ装置は、電磁石４０ａ〜
４０ｄをロータ３の周側部に僅かな隙間を介してＸ方向
に対向させて内円筒２４および外円ｎ２２に、また、電
磁石４０ｅ〜４０ｈをロータ３の周側部に僅かな隙間を
介してｙ方向に対向させて内円筒２４および外円筒２２
に配設し、これら電磁石４０ａ〜４０ｈに印加する電圧
を、Ｘ方向変位センサ６０ｘおよびＸ方向変位検出装置
８と、Ｙ方向変位センサ６０ｙおよびＹ方向変位検出装
置１１とによりそれぞれ検出されたＸ方向変位およびＹ
方向変位に応じて、Ｘ方向磁気軸受の印加電圧制御装置
９およびＹ方向磁気軸受の印加電圧制御装置１２により
制御する構成にしだから、ロータ３のラジアル方向の位
置制御が行なわれ、ロータ３は幾何学的中立位置に支持
される。

また、この実施例の非接触支持モータ装置は、モータ駆
動制御装置１４によりパルス列を成形、分配して、順次
、前記パワーアンプ１０ａ、１０ｂ、パワーアンプ１３
ｇ、１３ｈ、パワーアンプ１０ｃ、１０ｄ、パワーアン
プ１３ｅ、１３ｆを介して、前記電磁石４０ａ、４０ｂ
、電磁石４０ｇ、４０ｈ、電磁石４０ｃ、４０ｄ、電磁
石４０ｅ、４０ｆに回転磁界を形成させる電圧Ｖｌ〜ｖ
４を重畳させて印加する構成にしたから、回転磁界が形
成されるとともに、Ｘ、Ｙ方向のそれぞれの吸引力成分
、例えば、電磁石４０ａ、４０ｂに同時に電圧が印加さ
れる場合は電磁石４０ａにはａ　（ｖｓｘ−ｖｉｘ＋ｖ
ｉ）の電圧が加わり、電磁石４０ｂにはａ　（ｖｓｘ＋
ｖｉｘ＋ｖｌ　）の電圧が加わるので回転磁界成分のＸ
方向の吸引力成分は相殺され、ロータ３のラジアル磁気
軸受制御の吸引力を乱すことがないのでロータは安定し
た状態で回転できる。

なお、アキシアル方向の位置制御は、ラジアル方向の位
置制御と同様であるから説明を省略する。

この実施例では、４極の磁気軸受モータを説明したが、
極数は少なくとも３つあれば良い、また極数を増加させ
るほどロータを円滑に回転させることができることは勿
論である。

また、本実施例ではモータ駆動制御回路１４３からパル
ス状の電圧Ｖｌ〜■４を発生させているが、この波形は
サインカーブ状の電圧とすればモータの回転は滑らかに
なる。

さらに、ラジアル磁気軸受制御手段が内側及び外側の＠
、−石の電力を制御しているが、内外いずれか一方の電
磁石のみにより磁気軸受制御を行なわせるようにしても
良い。

さらにまた、本実施例ではロータが中心軸を有している
か、この中心軸は必らずしも必要でないし、スラスト軸
受として本実施例では制御形スラスト磁気軸受を用いた
が、スラスト軸受としては空気軸受等の静圧軸受を使用
しても良いことはもちろんである。

′ｆＪ５図はこの発明の他の実施例を示す図で、第１図
と同一または相当部分には同一符号を付しである。これ
は回転体３１の外円筒部が軸方向の両側に張り出したも
のでその中間部において、回転軸３０に取り付けた例で
、ロータの外円筒部が長い片持構造でないので剛性が高
い・利点があるが前記実施例と作用、効果において、差
異はないので説明は省略する。

〔発明の効果〕

この発明は、ロータの周側部内側および外側の周方向に
それぞれ配設した内外対をなす少なくとも３組の電磁石
よりなる電磁石詳を形成し、ラジアル方向変位検出手段
により、検出されたラジアル方向変位に応じて前記内側
および外側のうち少なくとも一方の電磁石を励磁して前
記ロータの位置を中立位置に制御するとともに、順次、
前記各１組の内外の電磁石を同時に励磁して回転磁界を
形成する構成にしたから、軸方向の長さが短縮されて小
型化され、さらに、ロータは非接触幾状態で幾何学的中
心に高蹟度で支持されながら円滑な回転をし、かつ、ロ
ータの周側部分内側および外側の両側面を軸受面として
使用するから通常の約２倍のラジアル軸受剛性および負
荷容量を有するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図はこの発明の一実施例を示す図で、
第１図は非接触支持モータ装置の縦断面図、第２図は第
１図の１ｌ−ＩＩ線断面図、第３図は第１図に示す非接
触支持モータ装置のラジアル磁気軸受制御装置およびモ
ータ駆動制御装置を示す図、第４図はアキシアル磁気軸
受制御装置を示す図である。第５図はこの発明の他の実
施例を示す図、第６図及び第７図はそれぞれ磁気軸受モ
ータの従来例を示す図である。 図において、３・・・ロータ、４・・・ラジアル方向磁
力発生手段、５・・・アキシアル方向磁力発生手段、６
・・・ラジアル方向変位検出センサ、７・・・アキシア
ル方向変位検出センサ、８・−Ｘ方向変位検出装置、９
・−・Ｘ方向磁気軸受の印加電圧制御装置、１０　ａ　
〜１０　ｄ、　　１３　ｅ　〜１３　ｈ−パワーアンプ
、１１・・・Ｙ方向変位検出装置、１２−Ｙ方向磁気軸
受の印加電圧制御装置、１４・・・モータ制御駆動装置
、２５・・・アキシアル方向変位検出装置、４０ａ〜４
０ｈ・・・電磁石である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性を有する筒状のロータと、このロータのラジアル
   方向変位を検出するラジアル方向変位検出手段と、前記
   ロータの周方向に配され、該ロータの周側部内側および
   外側に夫々僅かな隙間を介して対向する内外対をなす電
   磁石の組を少なくとも３組有する電磁石群と、前記ラジ
   アル方向変位検出手段により検出されたラジアル方向変
   位に応じて前記ロータの周側部内側および外側のうちの
   少なくとも一方の前記電磁石を励磁して前記ロータの位
   置を中心位置に制御するラジアル磁気軸受制御手段と、
   前記各１組の内外の電磁石を同時に励磁して前記ロータ
   に対する内外の吸引力を相殺させた状態で回転磁界を形
   成する回転磁界制御手段とを備えたことを特徴とする非
   接触支持モータ装置。