JPS6324072A - Electroless palladium-nickel alloy plating liquid - Google Patents

Electroless palladium-nickel alloy plating liquid

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JPS6324072A
JPS6324072A JP3699987A JP3699987A JPS6324072A JP S6324072 A JPS6324072 A JP S6324072A JP 3699987 A JP3699987 A JP 3699987A JP 3699987 A JP3699987 A JP 3699987A JP S6324072 A JPS6324072 A JP S6324072A
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Abstract

PURPOSE:To develop an excellent electroless plating liquid for a Pd-Ni alloy by using at least one kind of ammonia and amide compd. as a stabilizer and an org. compd. contg. bivalent sulfur in combination with an aq. soln. contg. compd. of Pd and Ni and using a specific reducing agent. CONSTITUTION:0.001-8mol/l at least one kind of the ammonia or amine compd. as the plating stabilizer and 1-500mg/l org. compd. contg. bivalent S such as mercaptane are used in combination with the aq. soln. prepd. by dissolving 0.0001-0.5mol/l soluble Pd compd. such as chloride of Pd and 0.001-1.0mol/l soluble Ni compd. such as Ni chloride, and 0.005-1mol/l at least one kind of a hypophosphoric acid compd. and hydrogenated boron compd. such as dimethylamine borane is used as the reducing agent for Pd ions and Ni ions to prepair the electroless plating liquid for the Pd-Ni alloy as substitutive plating for Au plating to be used for electrical contact parts of electronic parts. Such liquid of 5-11pH is used at 10-90 deg.C liquid temp. The electroless plating liquid for the Pd-Ni alloy having small porosity and high adhesiveness is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、無電解パラジウム−ニッケル合金メッキ液に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an electroless palladium-nickel alloy plating solution.

従来の技術及びその問題点 電子部品の電気接点部分には、耐食性が良好であり、か
つ電気的特性の優れた貴金属による表面被覆を施すこと
が要求され、工業的には主として金の電気メッキが採用
されている。
Conventional technology and its problems Electrical contact parts of electronic components are required to be surface-coated with noble metals that have good corrosion resistance and excellent electrical properties, and industrially, gold electroplating is mainly used. It has been adopted.

近年、金の代替として、他の貴金属の表面処理が種々検
討され、特にパラジウムは白金族金属の中でも最も安価
であることから広い範囲での工業的応用が期待されてい
る。
In recent years, various surface treatments of other noble metals have been investigated as substitutes for gold, and palladium in particular is expected to have a wide range of industrial applications because it is the cheapest among the platinum group metals.

ところがパラジウムは、金の代替として各種の面で満足
しうる性能を有するものの、有機性ガスの存在下では、
パラジウム自身の持つ触媒作用のために、メッキ表面に
ポリマーが形成され、接触障害が生じるという欠点があ
る。そこでこのような欠点のない各種のPd合金メッキ
に関する研究が進められ、一定量以上のNiを含むPd
−Ni合金は有機性ガスの存在下においても表面にポリ
マーを生じることがなく、従って金の代替材料として好
ましいものであることが知られるに至っている。
However, although palladium has satisfactory performance in various aspects as a substitute for gold, in the presence of organic gas,
Due to the catalytic action of palladium itself, a polymer is formed on the plating surface, causing contact failure. Therefore, research has been carried out on various Pd alloy platings that do not have such drawbacks, and Pd alloy plating containing more than a certain amount of Ni
-Ni alloys do not form polymers on their surfaces even in the presence of organic gases, and have therefore come to be known to be preferable as a material to replace gold.

現在行なわれているPc1−Ni合金メッキに関する研
究は、電気メツキ方法によるものがほとんどであるが、
周知の如く、電気メッキでは、微細で複雑な形状の電気
部品に均一な厚さのメッキ皮膜を形成させることは困難
である。無電解メッキ方法によれば、このような問題点
は、解消され、さらにメッキ液の自動管理が容易となり
、析出皮膜がボアフリーとなって耐食性が良好となる等
の利点があるが、従来は、工業的に実用化し得る無電解
Pd−Ni合金メッキ液についての報告はほとんどなさ
れていない。例えばE l ect roch em。
Most of the current research on Pc1-Ni alloy plating is based on electroplating methods.
As is well known, in electroplating, it is difficult to form a plating film of uniform thickness on electrical components having minute and complicated shapes. According to the electroless plating method, these problems are solved, and the plating solution can be easily managed automatically, and the deposited film becomes bore-free and has good corrosion resistance. There have been few reports on electroless Pd-Ni alloy plating solutions that can be put to practical use industrially. For example, Electroch em.

Technology 、  6.427 (1968
)において、硫酸ニッケル0.11モル/l、塩化パラ
ジウム0.011モル/l、38%塩酸4mQ/l、2
5%アンモニア水160mf2/l、次亜リン酸ナトリ
ウム0.094モル/lからなる無電解Pd−Ni合金
メッキ液が報告されているが、このメッキ液は極めて安
定性が悪く、メッキ処理途中にメッキ液中での金属の急
激な析出現象、所謂メッキ液の分解がおこり、それ故実
用には不適当である。
Technology, 6.427 (1968
), nickel sulfate 0.11 mol/l, palladium chloride 0.011 mol/l, 38% hydrochloric acid 4 mQ/l, 2
An electroless Pd-Ni alloy plating solution consisting of 160 mf2/l of 5% ammonia water and 0.094 mol/l of sodium hypophosphite has been reported, but this plating solution has extremely poor stability and cannot be used during the plating process. A rapid precipitation phenomenon of metal in the plating solution, so-called decomposition of the plating solution occurs, and therefore it is unsuitable for practical use.

問題点を解決するための手段 本発明者は、上述した如き従来技術の問題点に鑑みて、
工業的規模においても実用可能な無電解Pd−Ni合金
メッキ液を得るべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、
Pd及びNiの化合物を含む水溶液において、アンモニ
ア及びアミン化合物の少なくとも1種と、二価の硫黄を
含有する有機化合物とを安定剤として添加することによ
り、液の安定性が極めて優れたものとなり、還元剤とし
て、次亜リン酸化合物及び水素化ホウ素化合物から選ば
れた少なくとも1種の化合物を使用する場合に、工業的
規模においても実用可能な無電解パラジウム−ニッケル
合金メッキ皮膜が得られることを見出し、ここに本発明
を完成するに至った。
Means for Solving the Problems In view of the problems of the prior art as described above, the inventor of the present invention
We have carried out extensive research in order to obtain an electroless Pd-Ni alloy plating solution that is practical even on an industrial scale. the result,
By adding at least one of ammonia and amine compounds and an organic compound containing divalent sulfur as a stabilizer to an aqueous solution containing Pd and Ni compounds, the stability of the solution becomes extremely excellent. It has been shown that when at least one compound selected from hypophosphorous acid compounds and boron hydride compounds is used as a reducing agent, an electroless palladium-nickel alloy plating film that is practical even on an industrial scale can be obtained. This finding led to the completion of the present invention.

即ち、本発明は、 a)パラジウム化合物0.0001〜0.5モル/l b)ニッケル化合物0.001〜1モル/lC)アンモ
ニア及びアミン化合物の少なくとも1種0.001〜8
モル/l d)二価の硫黄を含有する有機化合物1〜500mg/
f2.並びに e)次亜リン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少なく
とも1種0.005〜1モル/lを含む水溶液からなる
ことを特徴とする無電解パラジウム−ニッケル合金メッ
キ液に係る。
That is, the present invention provides: a) Palladium compound 0.0001-0.5 mol/l b) Nickel compound 0.001-1 mol/l C) At least one of ammonia and amine compound 0.001-8
mol/l d) 1 to 500 mg/l of organic compound containing divalent sulfur
f2. and e) an electroless palladium-nickel alloy plating solution comprising an aqueous solution containing 0.005 to 1 mol/l of at least one of a hypophosphorous acid compound and a boron hydride compound.

本発明メッキ液では、Pdの供給源として塩化パラジウ
ム、塩化パラジウムナトリウム、塩化パラジウムカリウ
ム、塩化パラジウムアンモニウム、硫酸パラジウム、硝
酸パラジウム、酢酸パラジウム、酸化パラジウム等のパ
ラジウム化合物を用いる。パラジウム化合物の濃度は0
.0001〜0.5モル/l程度とし、好ましくは0.
001〜0.1モル/l程度とする。0.0001モル
/lを下回る濃度では、メッキ皮膜の析出速度が遅(な
るので実用的ではなく、一方0.5モル/lを上回る濃
度では、析出速度がより向上することはなく、かえって
メッキ液の安定性を阻害することになるので好ましくな
い。
In the plating solution of the present invention, a palladium compound such as palladium chloride, sodium palladium chloride, potassium palladium chloride, palladium ammonium chloride, palladium sulfate, palladium nitrate, palladium acetate, palladium oxide, etc. is used as a Pd source. The concentration of palladium compound is 0
.. 0001 to about 0.5 mol/l, preferably 0.0001 to 0.5 mol/l.
The amount should be approximately 0.001 to 0.1 mol/l. If the concentration is less than 0.0001 mol/l, the deposition rate of the plating film will be slow (so it is not practical), while if the concentration is more than 0.5 mol/l, the deposition rate will not be further improved and the plating will be worse. This is not preferable because it will impede the stability of the liquid.

Niの供給源としては、塩化ニッケル、塩化ニッケルア
ンモニウム、臭化ニッケル、ヨウ化ニッケル、硫酸ニッ
ケル、硫酸ニッケルアンモニウム、硝酸ニッケル、炭酸
ニッケル、スルファミン酸ニッケル、酢酸ニッケル、安
息香酸ニッケル、クエン酸ニッケル、ギ酸ニッケル、酒
石酸ニッケル、しゆう酸ニッケル等のニッケル化合物が
使用できる。ニッケル化合物の濃度は、0.001〜1
モル/l程度とし、好ましくは0.01〜0.5モル/
l程度とする。0.001モル/l未満では、ニッケル
が共析し難くなり、一方1モル/lを上回る濃度では、
メッキ液の安定性が低下し、またニッケル化合物の溶解
のために多ニのアンモニア及び/又はアミン化合物が必
要となり不経済である。特に、アンモニアを用いる場合
には、臭気等により作業環境が悪くなるので好ましくな
い。
Sources of Ni include nickel chloride, nickel ammonium chloride, nickel bromide, nickel iodide, nickel sulfate, nickel ammonium sulfate, nickel nitrate, nickel carbonate, nickel sulfamate, nickel acetate, nickel benzoate, nickel citrate, Nickel compounds such as nickel formate, nickel tartrate, and nickel oxalate can be used. The concentration of nickel compound is 0.001 to 1
About mol/l, preferably 0.01 to 0.5 mol/l
It should be about l. At a concentration of less than 0.001 mol/l, nickel becomes difficult to eutectoid, while at a concentration of more than 1 mol/l,
The stability of the plating solution decreases, and multiple ammonia and/or amine compounds are required to dissolve the nickel compound, which is uneconomical. In particular, when ammonia is used, it is not preferable because it creates a bad working environment due to odor and the like.

本発明メッキ液では、メッキ液中のパラジウム化合物と
ニッケル化合物の濃度比を変化させることにより、析出
皮膜中のパラジウムとニッケルの比率を調整でき、任意
の組成のメッキ皮膜を容易に得ることができる。
In the plating solution of the present invention, by changing the concentration ratio of palladium compounds and nickel compounds in the plating solution, the ratio of palladium to nickel in the deposited film can be adjusted, and a plating film of any composition can be easily obtained. .

本発明メッキ液では、液の安定性を維持するために、ア
ンモニア及びアミン化合物の少なくとも1種と、二価の
硫黄を含有する有機化合物とを組合せて用いることが必
要である。アンモニア及びアミン化合物はメッキ液中の
Pd及びNiと錯体を形成してこれらの成分を液中に安
定に保持する作用をし、液の安定化に寄与する。アンモ
ニア及び/又はアミン化合物の濃度は、0.001〜8
モル/l程度とし、好ましくは0.01〜5モル/l程
度とする。アンモニアを単独で用いる場合には、メッキ
液の安定性向上のために0. 075モル/l程度以上
とすることがより好ましい。アンモニア及び/又はアミ
ン化合物の濃度が高いほど液の安定性は良好になるが、
上記範囲を上回る濃度では、不経済であり、特にアンモ
ニアを用いる場合には臭気等により作業環境が悪くなる
ので好ましくない。また、上記範囲を下回る濃度では液
の安定性が低下して、分解し易くなるので好ましくない
In the plating solution of the present invention, in order to maintain the stability of the solution, it is necessary to use a combination of at least one of ammonia and amine compounds and an organic compound containing divalent sulfur. Ammonia and amine compounds form complexes with Pd and Ni in the plating solution, function to stably hold these components in the solution, and contribute to stabilization of the solution. The concentration of ammonia and/or amine compound is 0.001 to 8
The amount is about mol/l, preferably about 0.01 to 5 mol/l. When ammonia is used alone, 0.0% is used to improve the stability of the plating solution. More preferably, it is about 0.075 mol/l or more. The higher the concentration of ammonia and/or amine compounds, the better the stability of the liquid.
Concentrations exceeding the above range are uneconomical, and especially when ammonia is used, the working environment becomes poor due to odor, which is not preferred. Further, a concentration lower than the above range is not preferable because the stability of the liquid decreases and it becomes easy to decompose.

本発明では、アミン化合物とは、アミノ酸類も包含する
ものとする。本発明での使用に適するアミン化合物とし
ては、具体的にはモノアミン類として、メチルアミン、
エチルアミン、プロピルアミン、ジメチルアミン、トリ
メチルアミン、ジメチルエチルアミン、ベンジルアミン
、2−ナフチルアミン、イソブチルアミン、イソアミル
アミン等、ジアミン類として、メチレンジアミン、エチ
レンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等、ポリアミン類
として、ジエチレントリアミン、テトラエチレンペンタ
ミン、ペンタエチレンへキサミン、ヘキサエチレンへブ
タミン等、アミノ酸類として、エチレンジアミン四酢酸
又はそのナトリウム塩、N−ヒドロキシエチレンジアミ
ン三酢酸又はそのナトリウム塩、グリシン、N−メチル
グリシン、ジメチルグリシン、イミノジ酢酸、ヒダント
イン酸、グリコシアミン等、イミダシリン類として、イ
ミダシリン、2−メチル−2−イミダシリン、2−フェ
ニル−2−イミダシリン、2−ベンジル−2−イミダシ
リン、1,2−ジフェニル−2−イミダシリン、2,4
.5−トリフェニル−2−イミダシリン、2,2′ −
ビス(2−イミダシリン)、2−クロルメチル−2−イ
ミダシリン等を例示できる。
In the present invention, the amine compound includes amino acids. Amine compounds suitable for use in the present invention include specifically monoamines such as methylamine,
Ethylamine, propylamine, dimethylamine, trimethylamine, dimethylethylamine, benzylamine, 2-naphthylamine, isobutylamine, isoamylamine, etc. Diamines include methylenediamine, ethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, etc., polyamines Examples include diethylenetriamine, tetraethylenepentamine, pentaethylenehexamine, hexaethylenehebutamine, etc. Amino acids include ethylenediaminetetraacetic acid or its sodium salt, N-hydroxyethylenediaminetriacetic acid or its sodium salt, glycine, N-methylglycine , dimethylglycine, iminodiacetic acid, hydantoic acid, glycocyamine, etc., imidacillins such as imidacillin, 2-methyl-2-imidacillin, 2-phenyl-2-imidacillin, 2-benzyl-2-imidacillin, 1,2-diphenyl-2 -Imidacillin, 2,4
.. 5-triphenyl-2-imidacillin, 2,2'-
Examples include bis(2-imidacillin) and 2-chloromethyl-2-imidacillin.

本発明では、上記したアミン化合物及びアンモニアの少
なくとも1種を使用すればよいが、アンモニアを単独で
使用する場合には、メッキの初期発生までの時間、即ち
被メッキ物をメッキ液に浸漬した後、メッキが付着しは
じめるまでの時間が長くなることがある。この様な場合
には、アンモニアと上記したアミン化合物とを併用する
ことによって初期発生時間を短縮することができる。ア
ミン化合換金はアンモニアと併用する場合には0.00
05モル/l程度以上で初期発生時間を短縮する効果が
ある。また、錯化剤として、アミン化合物を配合したメ
ッキ液では、メッキ皮膜の厚付けを行なった場合のメッ
キ皮膜の外観が特に良好になる。
In the present invention, at least one of the above-mentioned amine compound and ammonia may be used. However, when ammonia is used alone, the time until the initial plating occurs, that is, after the object to be plated is immersed in the plating solution. , it may take a long time for the plating to start adhering. In such a case, the initial generation time can be shortened by using ammonia and the above-mentioned amine compound in combination. Amine compound conversion is 0.00 when used in combination with ammonia.
When the amount is about 0.05 mol/l or more, it is effective in shortening the initial generation time. In addition, in a plating solution containing an amine compound as a complexing agent, the appearance of the plating film becomes particularly good when the plating film is thickened.

本発明メッキ液での使用に適する二価の硫黄を含有する
有機化合物としては、具体的には、(CH3) 3 C
SH,CH3(CH2) s CH(CH3) SH。
Specifically, as the organic compound containing divalent sulfur suitable for use in the plating solution of the present invention, (CH3) 3 C
SH, CH3(CH2) s CH(CH3) SH.

CH3(Cl3 ) I + SH,HSCH2C0O
H。
CH3(Cl3) I + SH, HSCH2C0O
H.

H3CH2CH2C0OH。H3CH2CH2C0OH.

等ノメルカブタン類; (C2Hs ) 2 S。isomerkabutans; (C2Hs) 2S.

c6H5−s−c6H5,CH3−3−C6H5゜HO
OCCH2SCH2COOH。
c6H5-s-c6H5, CH3-3-C6H5゜HO
OCCH2SCH2COOH.

HOOCCH2CH2SCH2CH2coOH等ノスル
フイド類; (CH3)2 S2.  (C2H5)2
 S2゜(C3H7)2 S2.C6H5S2−C6H
5゜等を例示できる。これらの硫黄゛含有有機化合物は
単独又は適宜組み合わせて使用できる。硫黄含有有機化
合物の使用量は、1〜500mg/(2種度とし、好ま
しくは5〜100mg/l程度とする。硫黄含有有機化
合物の使用量が上記範囲を上回ると、メッキ皮膜の析出
速度が低下し、また析出したメッキ皮膜の外観も劣化す
るので好ましくない。また上記範囲を下回る濃度では、
メッキ液の安定性が不充分となるので不適当である。
Nosulfides such as HOOCCH2CH2SCH2CH2coOH; (CH3)2 S2. (C2H5)2
S2゜(C3H7)2 S2. C6H5S2-C6H
An example is 5°. These sulfur-containing organic compounds can be used alone or in appropriate combinations. The amount of the sulfur-containing organic compound used is 1 to 500 mg/(two degrees, preferably about 5 to 100 mg/l). If the amount of the sulfur-containing organic compound used exceeds the above range, the precipitation rate of the plating film will decrease. This is not preferable because the appearance of the precipitated plating film will deteriorate.Also, if the concentration is below the above range,
This is unsuitable because the stability of the plating solution will be insufficient.

本発明メッキ液は、上記した様に、アンモニア及び/又
はアミン化合物と硫黄含有有機化合物とを併用すること
を必須とするものであり、極めて安定性に優れた工業的
規模での使用に好適なメッキ液である。また、上記した
様にアンモニア及び/又はアミン化合物の使用量範囲が
広く、使用量が少ない場合にも液の安定性が阻害される
ことがないので、メッキ液の管理が容易である。特に低
アンモニア量で使用する場合には、アンモニアの揮発量
が非常に少なくなり、それ故作業環境が良好となるとと
もに、液の長期保存が可能となる。
As mentioned above, the plating solution of the present invention requires the combined use of ammonia and/or amine compounds and sulfur-containing organic compounds, and is extremely stable and suitable for use on an industrial scale. It is a plating solution. Furthermore, as described above, the range of amounts of ammonia and/or amine compounds used is wide, and even if the amount used is small, the stability of the solution is not impaired, so the plating solution can be easily managed. Particularly when using a low amount of ammonia, the amount of ammonia volatilized is extremely small, resulting in a favorable working environment and long-term storage of the liquid.

本発明メッキ液では、Pdイオン及びNiイオンを金属
に還元するための還元剤として、次亜リン酸化合物及び
水素化ホウ素化合物の少なくとも1種を使用する。次亜
リン酸化合物としては、次亜リン酸又はそのアンモニウ
ム、リチウム、ナトリウム、カリウム、カルシウム塩等
を使用でき、水素化ホウ素化合物としてはジメチルアミ
ンボラン、トリメチルアミンボラン、イソプロピルアミ
ンボラン、モルホリンボラン等のアミンボラン類や水素
化ホウ素ナトリウム、水素化ホウ素カリウム等を使用で
きる。還元剤の使用量は、0.005〜1モル/l程度
とし、好ましくは0.01〜0.5モル/l程度とする
。使用量が0.005モル/l未満ではメッキが充分に
析出せず、一方1モル/lを上回るとメッキ液が不安定
になるので好ましくくない。
In the plating solution of the present invention, at least one of a hypophosphorous acid compound and a boron hydride compound is used as a reducing agent for reducing Pd ions and Ni ions to metal. As the hypophosphorous acid compound, hypophosphorous acid or its ammonium, lithium, sodium, potassium, calcium salt, etc. can be used, and as the borohydride compound, dimethylamine borane, trimethylamine borane, isopropylamine borane, morpholine borane, etc. can be used. Amineboranes, sodium borohydride, potassium borohydride, etc. can be used. The amount of the reducing agent used is about 0.005 to 1 mol/l, preferably about 0.01 to 0.5 mol/l. If the amount used is less than 0.005 mol/l, the plating will not be sufficiently deposited, while if it exceeds 1 mol/l, the plating solution will become unstable, which is not preferable.

本発明メッキ液は、前記した様に、アンモニア及び/又
はアミン化合物と特定の硫黄含有有機化合物とを組み合
わせて用いることによる極めて安定性に優れたものであ
り、それ故上記した様に各種の還元剤を使用できる。
As mentioned above, the plating solution of the present invention has extremely excellent stability due to the combination of ammonia and/or amine compounds and a specific sulfur-containing organic compound, and therefore, as mentioned above, it has excellent stability. agent can be used.

本発明メッキ液は、上記した各成分を必須成分とする水
溶液であり、極めて安定性に優れ、良好なメッキ皮膜を
形成することができるものである。
The plating solution of the present invention is an aqueous solution containing the above-mentioned components as essential components, and is extremely stable and capable of forming a good plating film.

上記組成の本発明メッキ液を更にpH5〜11に調整す
る場合には、析出皮膜の応力が低下して、クラックのほ
とんどないメッキ皮膜を形成させることができる。この
様にpHを5〜11に調整したメッキ液から形成される
クラックのほとんどないメッキ皮膜は、ハンダのぬれ性
が良く、ハンダ付は性が良好である。メッキ液のpH調
整は、例えばHCQ 、 H2S 04等の酸やN a
 OH等のアルカリ化合物によって行なえばよい。
When the pH of the plating solution of the present invention having the above composition is further adjusted to 5 to 11, the stress of the deposited film is reduced, and a plating film with almost no cracks can be formed. A plating film with almost no cracks formed from a plating solution whose pH is adjusted to 5 to 11 in this way has good solder wettability and good solderability. To adjust the pH of the plating solution, use an acid such as HCQ or H2S04 or Na.
This may be carried out using an alkali compound such as OH.

本発明メッキ液は、10〜90°Cという広い範囲の温
度においてメッキ可能であり、特に25〜70°C程度
の液温のときに、平滑で光沢のある最も良好なメッキ皮
膜が得られる。この様に、比較的低温でメッキを行ない
得ることから、メッキ液の管理が容易なものとなり、特
にアンモニアを用いる場合には、アンモニアの揮発を抑
えることが可能となり、従って作業環境を良好に保つこ
とができる。また、本発明メッキ液では、液温か高い程
、メッキ皮膜の析出速度が速くなる傾向にあり、上記し
た温度範囲内で適宜温度を設定することにより任意の析
出速度とすることができる。
The plating solution of the present invention is capable of plating at a wide temperature range of 10 to 90°C, and in particular, the best smooth and glossy plating film can be obtained at a solution temperature of about 25 to 70°C. In this way, plating can be performed at a relatively low temperature, making it easier to manage the plating solution, and especially when using ammonia, it is possible to suppress the volatilization of ammonia, thus maintaining a good working environment. be able to. Furthermore, in the plating solution of the present invention, the higher the temperature of the solution, the faster the deposition rate of the plating film tends to be, and by appropriately setting the temperature within the above-mentioned temperature range, any deposition rate can be achieved.

また、本発明メッキ液では、メッキ皮膜の析出速度は、
液温の他に、Pd及びN 1418度にも依存すること
から、Pd濃度を適宜設定することによってもメッキ皮
膜の析出速度を調整できる。この様に本発明メッキ液の
析出速度は、液温と金属濃度とに依存するが、他の成分
の濃度やメッキ液のpHの変動にはほとんど影響を受け
ないので、メッキ皮膜の膜厚のコントロールが容易であ
る。
In addition, in the plating solution of the present invention, the deposition rate of the plating film is
Since it depends not only on the liquid temperature but also on the Pd and N 1418 degrees, the deposition rate of the plating film can also be adjusted by appropriately setting the Pd concentration. As described above, the deposition rate of the plating solution of the present invention depends on the solution temperature and metal concentration, but is almost unaffected by changes in the concentration of other components or the pH of the plating solution. Easy to control.

本発明メッキ液によりメッキ処理を行なうには、前記し
た温度範囲内の液中に、Pd−Ni合金皮膜の還元析出
に対して触媒性のある基質を浸漬すればよい。触媒性の
ある基質としては、例えば、Fe5CoSNi、Cu、
SnSAg、Au。
In order to carry out plating treatment using the plating solution of the present invention, a substrate having catalytic properties for the reduction and precipitation of the Pd--Ni alloy film may be immersed in the solution within the temperature range described above. Examples of catalytic substrates include Fe5CoSNi, Cu,
SnSAg, Au.

Pt、Pd及びこれらの合金等を示すことができる。ま
た、樹脂、ガラス、セラミックス、W等の触媒性のない
基質であっても、例えば、センシタイジングーアクチベ
ータ法、キャタリスト−アクセラレータ−法等の公知の
方法で触媒性を付与することによって、上記方法と同様
にメッキ液中に浸漬してメッキ処理を行なうことができ
る。
Examples include Pt, Pd, and alloys thereof. In addition, even if the substrate does not have catalytic properties such as resin, glass, ceramics, W, etc., the above-mentioned method can be applied by imparting catalytic properties using known methods such as the sensitizing-activator method and the catalyst-accelerator method. The plating process can be performed by immersing it in a plating solution in the same manner as in the above method.

本発明メッキ液によるパラジウム−ニッケル合金皮膜の
析出は、自己触媒的に進行し、このため有孔度が小さく
、しかも密着性の高い皮膜が得られる。
The deposition of the palladium-nickel alloy film by the plating solution of the present invention proceeds in an autocatalytic manner, resulting in a film with low porosity and high adhesion.

発明の効果 本発明無電解パラジウム−ニッケル合金メッキ液は、以
下の様な優れた特性を有する。
Effects of the Invention The electroless palladium-nickel alloy plating solution of the present invention has the following excellent properties.

(イ)極めて安定性に優れたメッキ液である。(a) It is a plating solution with extremely high stability.

(ロ)得られるメッキ皮膜の外観が良好であり、膜厚を
厚くした場合にも良好な外観のメッキ皮膜となる。
(b) The resulting plating film has a good appearance, and even when the film thickness is increased, the plating film has a good appearance.

(ハ)自己触媒性の析出であることから析出皮膜の有孔
度が小さく、耐食性が良好であり、また、素地に対する
密着性が良い。
(c) Since the precipitation is self-catalytic, the porosity of the deposited film is small, the corrosion resistance is good, and the adhesion to the substrate is good.

(ニ)低アンモニア量でも、メッキ液の安定性が良いの
で、低アンモニア量として、アンモニアの揮発を抑制す
ることができる。またアミン化合物を使用するメッキ液
では、メッキ作業中や保存中にアミン化合物が揮発する
ことはない。
(iv) Since the stability of the plating solution is good even with a low amount of ammonia, volatilization of ammonia can be suppressed by setting a low amount of ammonia. Furthermore, in a plating solution that uses an amine compound, the amine compound does not volatilize during plating work or storage.

このため、メッキ液の保存安定性が良く、また作業環境
も良好である。
Therefore, the storage stability of the plating solution is good, and the working environment is also good.

(ホ)低温で析出可能であるため、作業性が良く、また
、アンモニア浴の場合にも、アンモニアの揮発が少く、
メッキ液の管理が容易である。
(e) Since precipitation can be performed at low temperatures, workability is good, and even in the case of an ammonia bath, there is little volatilization of ammonia.
It is easy to manage the plating solution.

(へ)PdとNiとの合金皮膜となるため、有機性ガス
雰囲気中でも析出皮膜の表面にポリマーを生じることが
なく、信頼性の要求される電気接点部品への応用に最適
である。
(f) Since the film is an alloy film of Pd and Ni, no polymer is formed on the surface of the deposited film even in an organic gas atmosphere, making it ideal for application to electrical contact parts that require reliability.

(ト)液中のPdとNiの比を変化させることにより、
用途に応じた任意の組成のPd−Ni合金メッキが容易
に得られるっ (チ)析出速度は、金属濃度と液温にのみ依存し、他の
成分の濃度や液のp)Iには、はとんど影響を受けない
ので、メッキ膜厚のコントロールが容易である。
(g) By changing the ratio of Pd and Ni in the liquid,
Pd-Ni alloy plating with any composition depending on the application can be easily obtained. Since it is hardly affected, the plating film thickness can be easily controlled.

(す)pHを5〜11に調整することによって、クラッ
クの非常に少ないメッキ皮膜が得られる。
(S) By adjusting the pH to 5 to 11, a plated film with very few cracks can be obtained.

この様なメッキ皮膜はハンダ付は性が良好であり、電子
部品への応用に適するものである。
Such a plating film has good solderability and is suitable for application to electronic parts.

(ヌ)pHを中性付近に設定することにより、使用でき
る被処理物、レジストインキ等の種類が多くなり、また
メッキ設備の材質としても多種類のものが使用できる。
(v) By setting the pH to around neutrality, a wide variety of objects to be treated, resist inks, etc. can be used, and a wide variety of materials can be used for plating equipment.

本発明メッキ浴は、上記した様に優れた特性を有するも
のであり、電子部品において高い信頼性を要求される接
点部品への応用や金メツキ皮膜の長寿命化のための下地
メッキ皮膜としての応用等に極めて有用であり、更に、
その他、特に耐食性が要求される部品等に対して広く使
用し得るものである。
The plating bath of the present invention has excellent properties as described above, and can be applied to contact parts that require high reliability in electronic components, and as a base plating film to extend the life of gold plating films. It is extremely useful for applications, etc., and furthermore,
In addition, it can be widely used for parts that particularly require corrosion resistance.

実施例 以下に、実施例を示して、本発明を更に詳細に説明する
EXAMPLES The present invention will be explained in more detail by way of examples below.

実施例1 下記の配合組成のメッキ液を調製した。Example 1 A plating solution having the following composition was prepared.

PdCQ2         o、01モル/lN i
 CQ 2 ・6H20下記変量828%アンモニア水
   200mQ/lチオジグリコール酸    20
mg/lN a N2 P 02  ・N20 0. 
08モル/l※ N1CQ2 争6H20は0゜005
.0.01.0,02.0.05.0. 1及び0.2
モル/lの6通りに変化させた。
PdCQ2 o, 01 mol/lN i
CQ 2 ・6H20 The following variables 828% ammonia water 200mQ/l Thiodiglycolic acid 20
mg/lN a N2 P 02 ・N20 0.
08 mol/l* N1CQ2 War 6H20 is 0°005
.. 0.01.0, 02.0.05.0. 1 and 0.2
It was changed in 6 ways in mol/l.

得られたメッキ液を用いて、液温40°Cで銅板に1時
間メッキを行なった。メッキ液中のNiとPdの比率と
析出物中のNi量との関係を第1図に示す。第1図から
明らかな様に、メッキ液中のNiとPdの比を調整する
ことにより、任意の組成の析出物が得られることが判る
。また、得られた析出物の外観は良好であり、J I 
5−Z−2248に準じて曲げ試験を行なった結果、す
べての試料について異状が生じることはなく、密着性は
良好であった。
Using the obtained plating solution, a copper plate was plated for 1 hour at a solution temperature of 40°C. FIG. 1 shows the relationship between the ratio of Ni to Pd in the plating solution and the amount of Ni in the precipitate. As is clear from FIG. 1, by adjusting the ratio of Ni to Pd in the plating solution, a precipitate with an arbitrary composition can be obtained. In addition, the appearance of the obtained precipitate was good, and J I
As a result of conducting a bending test according to 5-Z-2248, no abnormality occurred in any of the samples, and the adhesion was good.

更に、上記メッキ液の安定性を調べるために、90°C
への加熱、25°Cでの密閉保存、及び25℃での開放
保存を行なった結果を第1表に示す。
Furthermore, in order to investigate the stability of the above plating solution,
Table 1 shows the results of heating to 25°C, closed storage at 25°C, and open storage at 25°C.

第  1  表 また、比較として、チオジグリコール酸を含有せず、他
の成分は上記メッキ液の組成と同様なメッキ液(N i
 CQ 2 ・6H20ハ0. 1モル/ Q )を用
いて保存試験をを行なった結果、25°Cで保存すると
約1時間で液の分解を生じ、40 ’Cでは5分以内に
液の分解を生じた。
Table 1 Also, for comparison, a plating solution (N i
CQ 2 ・6H20ha0. As a result of a storage test using 1 mol/Q), the solution decomposed in about 1 hour when stored at 25°C, and within 5 minutes at 40'C.

以上の結果から、本発明メッキ液が高温での安定性及び
常温での長期保存性に優れたものであることが判る。尚
、開放保存では、4〜7日間で液の分解を生じたが、こ
れは従来のメッキ液に比して極めて優れた結果である。
From the above results, it is clear that the plating solution of the present invention has excellent stability at high temperatures and long-term storage stability at room temperature. Note that when stored in the open, the solution decomposed within 4 to 7 days, which is an extremely superior result compared to conventional plating solutions.

また、この開放保存によるメッキ液の分解は、アンモニ
アの揮発に起因するものであり、適宜アンモニアを補給
することにより、長時間の開放保存も可能である。
Further, the decomposition of the plating solution due to this open storage is caused by the volatilization of ammonia, and by appropriately replenishing ammonia, open storage for a long time is also possible.

実施例2 下記組成のメッキ液を調製した。Example 2 A plating solution having the following composition was prepared.

PdC1220,01モル/l N i CQ2  ・6H200,1モル/l28%ア
ンモニア水   200mf2/lチオジグリコール酸
    20mg/lNaH2PO211H20 又はNaBH40,08モル/l このメッキ液を用いて、液温40℃で銅板上にメッキを
行なった場合のメッキ時間と析出量との関係第2図に示
す。尚、図中、○印は、NaH2PO2・H20を用い
た場合、Δ印は、NaBH工を用いた場合の結果を示す
。第2図からNaH2PO2・H2Oを用いた場合には
、析出速度は1.4mg/cm2 ・hrであり、Na
BH4を用い場合には、析出速度は1 、 7 mg/
 cm2  ・hrであって、いずれの場合にもメッキ
時間と析出量との間に直線関係が認められ、自己触媒的
析出であることが判る。尚、析出物中のNiff1は、
NaH2PO,L−H2Oを用いた場合には、約30重
量%であり、NaBH,を用いた場合には、約35重量
%であった。
PdC1220,01 mol/l Ni CQ2 ・6H200,1 mol/l 28% ammonia water 200 mf2/l Thiodiglycolic acid 20 mg/l NaH2PO211H20 or NaBH40,08 mol/l Using this plating solution, plate a copper plate at a solution temperature of 40°C. Figure 2 shows the relationship between plating time and amount of precipitation when plating is performed. In the figure, the ◯ marks indicate the results when NaH2PO2.H20 was used, and the Δ marks indicate the results when NaBH was used. From Figure 2, when NaH2PO2・H2O is used, the precipitation rate is 1.4 mg/cm2・hr, and NaH2PO2・H2O is used.
When BH4 is used, the precipitation rate is 1.7 mg/
cm 2 ·hr, and in all cases, a linear relationship was observed between plating time and the amount of precipitation, indicating that the precipitation was autocatalytic. In addition, Niff1 in the precipitate is
When NaH2PO, L-H2O was used, it was about 30% by weight, and when NaBH was used, it was about 35% by weight.

実施例3 下記の配合組成のメッキ液を調製した。Example 3 A plating solution having the following composition was prepared.

PdC920,,01モル/l NiCQ2  ・6H200,1モル/l28%アンモ
ニア水   200mfl/l硫黄含有有機化合物x 
  20ffIg/lN a H2P 02  ・H2
00,08モル/l※ 硫黄含有有機化合物としては、
チオジグリコール酸、チオジプロピオン酸及び2−メル
カプトベンゾチアゾールの3種類を用いた。
PdC920, 01 mol/l NiCQ2 ・6H200, 1 mol/l 28% ammonia water 200 mfl/l sulfur-containing organic compound x
20ffIg/lN a H2P 02 ・H2
00.08 mol/l* As a sulfur-containing organic compound,
Three types were used: thiodiglycolic acid, thiodipropionic acid, and 2-mercaptobenzothiazole.

このメッキ液を用いて、液温を変化させて銅板上に1時
間メッキを行なった場合の液温と析出速度との関係を第
3図に示す。また、液温と析出物中のNiftとの関係
を第4図に示す。尚、図中、O印は、チオジグリコール
酸を用いた場合、Δ印は、チオジプロピオン酸を用いた
場合、口印は、2−メルカプトベンゾチアゾールを用い
た場合の結果を示す。以上の結果から、液温か高い程メ
ッキ速度が増加し、また析出物中のNiff1か増加す
る傾向にあることが判る。尚、得られたメッキ皮膜は、
チオジグリコール酸、チオジプロピオン酸及び2−メル
カプトベンゾチアゾールのいずれを用いた場合にも良好
な外観であった。
FIG. 3 shows the relationship between the solution temperature and the deposition rate when plating was performed on a copper plate for 1 hour using this plating solution while changing the solution temperature. Moreover, the relationship between the liquid temperature and Nift in the precipitate is shown in FIG. In the figure, the O mark indicates the result when thiodiglycolic acid was used, the Δ mark indicates the result when thiodipropionic acid was used, and the mouth mark indicates the result when 2-mercaptobenzothiazole was used. From the above results, it can be seen that the higher the liquid temperature, the higher the plating rate, and the more Niff1 in the precipitate tends to increase. In addition, the obtained plating film is
A good appearance was obtained when any of thiodiglycolic acid, thiodipropionic acid, and 2-mercaptobenzothiazole was used.

実施例4 下記組成のメッキ液を調製した。Example 4 A plating solution having the following composition was prepared.

PdC(1!2         0.01モル/lN
iCQ2  ・6H200,1モル/lNH2CH2C
H2NH20,’08モル/lチオジグリコール酸  
   20mg/9NaH2PO2・H200,08モ
ル/lこのメッキ液を用いて、液温40℃で銅板に1時
間メッキを行なった。その結果析出物中のNi量は約3
0重量%であり、得られた析出物の外観、密着性は共に
良好であった。また上記メッキ液を90°Cに加熱して
もメッキ液の分解が生じることはなく、また25℃で4
ケ月間開放保存した場合にもメッキ液の分解は生じなか
った。
PdC (1!2 0.01 mol/lN
iCQ2 ・6H200, 1 mol/lNH2CH2C
H2NH20,'08 mol/l thiodiglycolic acid
20 mg/9NaH2PO2.H200.08 mol/l Using this plating solution, a copper plate was plated for 1 hour at a solution temperature of 40.degree. As a result, the amount of Ni in the precipitate was approximately 3
0% by weight, and both the appearance and adhesion of the obtained precipitate were good. In addition, even if the above plating solution is heated to 90°C, the plating solution does not decompose, and at 25°C it does not decompose.
No decomposition of the plating solution occurred even when it was stored open for several months.

実施例5 実施例4に示すメッキ液を下記第2表に示す各pH値に
HCQ及びN a OHで調製し、液温40℃で銅板上
に1μm厚にメッキ皮膜を形成させ、メッキ速度を測定
した。次いで、得られたメッキ皮膜の状態を走査型電子
顕微鏡(3000倍)で観察した後、下記の方法でハン
ダ付は性試験を行なった。結果を第2表に示す。
Example 5 The plating solution shown in Example 4 was prepared with HCQ and NaOH to each pH value shown in Table 2 below, and a plating film with a thickness of 1 μm was formed on a copper plate at a solution temperature of 40°C. It was measured. Next, the state of the obtained plating film was observed with a scanning electron microscope (3000x magnification), and then a solderability test was conducted using the method described below. The results are shown in Table 2.

0ハンダ付は性試験 メッキ皮膜を形成させた試料(25mmX 25mmx
Q、  3[1111)をロジンフラックス(ロジン2
5%イソプロピルアルコール溶液)に浸漬して前処理し
た後、メニスコグラフ(フィリップス社製)を使用し、
230°Cで溶融させた6/4ハンダ(スズ:鉛=6:
4)中に試料をハンダ面に垂直に12mmの深さまで浸
漬し、ハンダと試料面との接触角が90度になるまでの
時間を測定してゼロクロスタイムとした0viILL 
 5TD−883Bに準する)。ゼロクロスタイムが短
い程メッキ皮膜に対するハンダのぬれ性が良好であると
いえる。
0 soldering is a sample (25mm x 25mm x
Q.3 [1111] is used as rosin flux (rosin 2
After pretreatment by immersion in 5% isopropyl alcohol solution), using a meniscograph (manufactured by Philips),
6/4 solder (tin: lead = 6:
4) The sample was immersed perpendicularly to the solder surface to a depth of 12 mm, and the time until the contact angle between the solder and the sample surface reached 90 degrees was measured, and the zero cross time was determined as 0viILL.
5TD-883B). It can be said that the shorter the zero cross time, the better the wettability of the solder to the plating film.

次いで、ゼロクロスタイムを測定した後の試料について
、付着したハンダの状態を観察し、ハンダの付着性を調
べた。結果を次の記号で示す。
Next, after measuring the zero cross time, the state of the adhered solder was observed on the sample, and the adhesion of the solder was investigated. The results are shown with the following symbols.

○・・・ハンダが均一に付着 △・・・一部不均一であるが浸漬面の98%以上にハン
ダが付着 ×・・・ハンダの付着面が98%未満であり、付着状態
が不均一である。
○...Solder adheres uniformly △...Solder adheres to 98% or more of the immersed surface although it is partially uneven ×...Solder adheres to less than 98% of the surface and the adhesion is uneven It is.

第  2  表 実施例6 下記組成のメッキ液を調製した。Table 2 Example 6 A plating solution having the following composition was prepared.

PdCC!2       0.01モル/lNiC9
2・6H200,1モル/l アミン化合物”      0.08モル/lチオジグ
リコール酸    20mg/9NaH2PO2・H2
00,06モル/l※ アミン化合物としては、ジメチ
ルアミン、ジメチルエチルアミン、メチレンジアミン、
テトラメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ペン
タエチレンへキサミン、N−ヒドロキシエチレンジアミ
ン三酢酸、グリシン、イミダシリン、及び2−ベンジル
−2−イミダシリンを各々単独で用いた。
PdCC! 2 0.01 mol/lNiC9
2・6H200, 1 mol/l Amine compound” 0.08 mol/l Thiodiglycolic acid 20mg/9NaH2PO2・H2
00,06 mol/l*Amine compounds include dimethylamine, dimethylethylamine, methylenediamine,
Tetramethylenediamine, diethylenetriamine, pentaethylenehexamine, N-hydroxyethylenediaminetriacetic acid, glycine, imidacilline, and 2-benzyl-2-imidacyline were each used alone.

これらのメッキ液を塩酸でpH8に調整し、液温60°
Cで銅板上にメッキを行なった。その結果、密着性及び
外観ともに良好な皮膜が形成された。
These plating solutions were adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and the solution temperature was 60°.
Plating was performed on a copper plate using C. As a result, a film with good adhesion and appearance was formed.

また得られたメッキ皮膜はクラックがなく、ハンダ付は
性が良好であった。更に、上記各メッキ液について、加
熱時の安定性及び保存安定性を調べたところ良好な安定
性を示した。
Furthermore, the obtained plating film had no cracks and had good soldering properties. Furthermore, the stability during heating and storage stability of each of the above plating solutions was investigated and showed good stability.

実施例7 下記組成のメッキ液を調製した。Example 7 A plating solution having the following composition was prepared.

PdCl22         0.01モル/lN 
i CQ 2  ・6H200,1モル/lNH2CH
2CH2NH20,08モル/l硫黄含有有機化合物”
    20mg/(!NaH2PO2・H200,0
6モル/l※ 硫黄含有有機化合物としては、H3CH
2COOH。
PdCl22 0.01 mol/lN
i CQ 2 ・6H200, 1 mol/lNH2CH
2CH2NH20.08 mol/l sulfur-containing organic compound”
20mg/(!NaH2PO2・H200,0
6 mol/l* As a sulfur-containing organic compound, H3CH
2 COOH.

を各々単独で用いた。were used alone.

これらのメッキ液を塩酸でpH8に調整し、液温60°
Cで銅板上にメツ千を行なった。その結果、密着性及び
外観ともに良好な皮膜が形成された。
These plating solutions were adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and the solution temperature was 60°.
Metsusen was performed on the copper plate at C. As a result, a film with good adhesion and appearance was formed.

また得られたメッキ皮膜はクラックがなく、ハンダ付は
性が良好であった。更に、上記各メッキ液について、加
熱時の安定性及び保存安定性を調べたところ良好な安定
性を示した。
Furthermore, the obtained plating film had no cracks and had good soldering properties. Furthermore, the stability during heating and storage stability of each of the above plating solutions was investigated and showed good stability.

実施例8 下記組成のメッキ液を調製した。Example 8 A plating solution having the following composition was prepared.

PdCQ2        0.01モル/lN i 
CQ 2  ・6H200,1モル/lNH2CH2C
H2NH20,08モル/lチオジグリコール酸   
   20mg/l還 元 剤”        0.
06モル/l※ 還元剤としては、ジメチルアミンボラ
ン、イソプロピルアミンボラン、モルホリンボラン及び
水素化ホウ素ナトリウムを各々単独で用いた。
PdCQ2 0.01 mol/lN i
CQ 2 ・6H200, 1 mol/l NH2CH2C
H2NH20.08 mol/l thiodiglycolic acid
20mg/l reducing agent” 0.
06 mol/l* As reducing agents, dimethylamine borane, isopropylamine borane, morpholine borane, and sodium borohydride were each used alone.

これらのメッキ液を塩酸でpH8に調整し、液温60℃
で銅板上にメッキを行なった。その結果、密着性及び外
観ともに良好な皮膜が形成された。
These plating solutions were adjusted to pH 8 with hydrochloric acid, and the solution temperature was 60°C.
Plating was performed on a copper plate. As a result, a film with good adhesion and appearance was formed.

また得られたメッキ皮膜はクラックがなく、ハンダ付は
性が良好であった。更に、上記各メッキ液について、加
熱時の安定性及び保存安定性を調べたところ良好な安定
性を示した。
Furthermore, the obtained plating film had no cracks and had good soldering properties. Furthermore, the stability during heating and storage stability of each of the above plating solutions was investigated and showed good stability.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、液中のNiとPdO比と析出物中のNi量と
の関係を示すグラフ、第2図はメッキ時間と析出量との
関係を示すグラフ、第3図は液温と析出速度の関係を示
すグラフ、第4図は液温と析出物中のNi量との関係を
示すグラフである。 (以 上) 第1図 5N”rnNi/(Ni+pd)(wtz)第2図 時間(h「) 第3図 第4図
Figure 1 is a graph showing the relationship between the Ni and PdO ratio in the solution and the amount of Ni in the precipitate, Figure 2 is a graph showing the relationship between plating time and amount of precipitation, and Figure 3 is a graph showing the relationship between the liquid temperature and the amount of Ni deposited. A graph showing the relationship between speed and FIG. 4 is a graph showing the relationship between liquid temperature and the amount of Ni in the precipitate. (That's all) Figure 1: 5N"rnNi/(Ni+pd) (wtz) Figure 2: Time (h") Figure 3: Figure 4

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)a)パラジウム化合物0.0001〜0.5モル
/l b)ニッケル化合物0.001〜1モル/lc)アンモ
ニア及びアミン化合物の少なくとも1種0.001〜8
モル/l d)二価の硫黄を含有する有機化合物1〜500mg/
l、並びに e)次亜リン酸化合物及び水素化ホウ素化合物の少なく
とも1種0.005〜1モル/lを含む水溶液からなる
ことを特徴とする無電解パラジウム−ニツケル合金メッ
キ液。
(1) a) Palladium compound 0.0001-0.5 mol/l b) Nickel compound 0.001-1 mol/lc) At least one of ammonia and amine compound 0.001-8
mol/l d) 1 to 500 mg/l of organic compound containing divalent sulfur
and e) an aqueous solution containing 0.005 to 1 mol/l of at least one of a hypophosphorous acid compound and a boron hydride compound.
(2)pHが5〜11である特許請求の範囲第1項に記
載の無電解パラジウム−ニッケル合金メッキ液。
(2) The electroless palladium-nickel alloy plating solution according to claim 1, which has a pH of 5 to 11.
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