JPS63232956A - 研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、研磨装置に関し、特に金属、ガラス光学素子
等の曲面形状を高精度に研磨するのに好適な研磨装置に
関する。

［従来の技術］ 従来のこの種研磨装置は例えば、第１３図に示すように
回転するレンズ等の被研磨材ａに対して三角形状の揺動
アームｂの先端部に回転自在に設けた研磨工具Ｃを軸ｄ
を揺動中心として、クランク駆動でもって矢印ｅの方向
に揺動させつつ被研磨材ａの半径方向に移動させて被研
磨材ａの表面を研磨している。

そして、その研磨工具Ｃは、第１４図に示すように、回
転軸ｆとボールジヨイント結合され首振りが自由とされ
ており、かつ回転力を伝達するため図示はしないがボー
ル部にピンが植設され研磨工具のソケット部に設けた条
溝にビンが係合するようになっている。

しかしながら、かかる従来装置においては被研磨材ａの
表面が球面形状をしていると中心から離れた部分では第
１４図に示すように回転軸ｆに対し研磨工具Ｃが傾き位
置によって研磨工具Ｃから加わる研磨加工圧力が異なる
ことから、研磨量が位置によって異なり安定した研磨が
得られないという欠点があフた。すなわち、被研磨材ａ
の曲率の中心を０とすると、中心部における加工圧力を
Ｆとするどきθ、の角度傾けた点における加工圧力Ｆ′
　はＦ　ｃｏｓθ（どなる。また、揺動アームｂの揺動
に伴う研磨工具Ｃの被研磨材ａの中心から離れる方向へ
の程動時と、中心方向への移動時とでは研磨工具Ｃの面
圧が大きく異なり研磨が安定しないという問題があった
。このように研＠量を管理するのは非常に困難で従来装
置では高精度の研磨カリニが行ないにくいという問題が
あった。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は、かかる従来装置の問題を解消し、高精
度の研磨加工ないしは研削加工を行うことのできる研磨
装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コ 上記目的を達成するために、本発明は、被研磨材を回転
させる騒動手段と、被研磨材に対向圧接する研磨工具を
回転させる騒動手段と、研磨工具を被研磨材の半径方向
に揺動する手段と、研磨工具を被研磨材の半径方向に送
る送り装置を備えた研磨装置において、被研磨材を研磨
工具の送り方向と直交する軸の回りに旋回可能に駆動す
る手段を設けたことを特徴とする。

［作　用］ 本発明によれば、研磨工具が送り装置によって被研磨材
の半径方向に送られると、被研磨材はこの送り方向と直
交する軸の回りに旋回駆動されることから、研磨工具の
被研磨材の加工面に対する傾きが生じず研磨量が安定す
る。また研磨工具の揺動によっても、その揺動運動の方
向の違いによる研磨工具の面圧の差が生ずることがなく
、研磨量が一定となる。

従って、高精度の研磨が可能となるのである。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を添附図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す外観斜視図であり、第
２図は第１図におけるＭ−Ｍ線断面図である。

両図において、１はコラム３，３および水平ガイド５．
５を支える本体ベースである。

まず、被研磨材たるワークを所定角度旋回駆動させる機
構につき説明する。７は、支持ベースであり、一端に駆
動アーム９、他端に支持アーム１１が設けられ、これら
両アーム９，１１をそれぞれ貫通して設けられた旋回Ｉ
［１１１３，１３をコラム３．３に設けた軸受け１５．
１５で支承することにより、旋回軸１３．１３を中心と
して所定角度旋回可能とされている。１３Ｂは、この旋
回軸１３の旋回角度検出のためのエンコーダである。

駆動アーム９は、第３図からも明らかなように先端部が
広がった扇形状をなしていてその円弧部分には歯型９Ａ
が形成されており、駆動ギア１７を介して駆動モータ１
９により前述したように支持ベース７が所定角度旋回可
能とされている。１９Ａは駆動モータ１９の回転速度を
得るためのタコジェネレータ、１９Ｂはエンコーダであ
る。

次に、被研磨材たるワークを回転させる機構として、２
１は支持ベース７の下部に設けたハウジングであり、軸
受２３，２３を介して、被研磨材２５が取付けられるワ
ーク軸体２７を支承する。このハウジング２１の下部に
はワーク軸体２７を駆動するためのモータ２９を固定す
るためのモータベース３１が設けられ、モータ２９は駆
動ギア３３を介してワーク軸体２７を回転駆動する。２
９層よモータ２９の回転速度を得るためのタコジェネレ
ータ、２７Ｂはワーク軸体２７の回転角度検出のための
エンコーダであり、モータベース３１に設けたブラケッ
ト３５に支持されている。

さらに、研磨工具を回転駆動する機構および揺動させる
機構につき説明する。

砥石等からなる研磨工具４１を回転自在に支承する揺動
アーム４３はフレーム体４３八、４３Ｂ、４３Ｇからな
る三角フレーム形状をなしており、フレーム体４３Ａお
よび４３Ｂが結合する頂点部分において、＋１１１１受
４５を介して、先端部において研磨工具４１とボールジ
ヨイント結合される回転軸４７を支承している。このボ
ールジヨイント部ではボール部に植設したピンとソケッ
ト部に設けた条溝との係合により研磨工具４１に回転駆
動力が伝達される。一方、回転１１ｉｌｌ１４７の他端
にはプーリ４９が固着され、フレーム体４３への他端に
設けた駆動モータ５１によりベルト５３を介して回転軸
４７、ずなわち研磨工具４１が回転駆動される。５１Ａ
ｉよ駆動モータ５１の回転速度を得るためのタコジェネ
レータである。

また、フレーム体４３Ｂとフレーム体４３Ｇの結合部に
はクランク機構５５が連結されている（第１図参照）６
すなわち、５５Ａはクランク、５５Ｂは連結アームであ
り、クランク５５Ａは揺動用モータ５７によって駆動さ
れる。５７Ａは揺動用モータ５７の回転速度を得るため
のタコジェネレータ、５７Ｂはエンコーダである。そし
て、揺動アーム４３全体は、後述する上下スライド体８
１に植設された枢支軸５９に回転自在に枢支された支持
台６１にフレーム体４３Ｃを軸支させることにより前述
のクランク機構５５の作動に伴い図示矢印Ａ方向に揺動
運動が可能とされている。６３は一端部がフレーム体４
３Ｃあるいはこれと一体的に構成した部分に固着された
バランスアームであり、バランスウェイト６５が位置調
整可能に設けられている。従って、このバランスウェイ
ト６５の位置調整により支持台６１に軸支されたフレー
ム体４３Ｇを支点として揺動アーム４３全体との左右の
釣合を調整し研磨工具４１による被研磨材２５への加圧
力が調整可能とされている。

次に、この揺動アーム４３全体を第１図に示す水平方向
であるＸ方向および上下方向であるＺ方向に移動させる
機構を説明する。

７１は水平スライド体で本体ベース１に設けられた水平
ガイド５．５に沿って移動し、その駆動は周知の如く送
りネジ７３を水平駆動用モータ７５！にて回動すること
により行なわれる。７５Ａはモータ７５の回転速度を得
るためのタコジェネレータ、７５Ｂはエンコーダである
。スライド体７１のＸ方向位置すなわち、研磨工具４１
の被研磨材２５に対する半径方向位置は、スケールユニ
ット７７によって検出される。８１は上下スライド体で
、水平スライド体７１に設けた上下ガイド７９に沿って
移動し、その駆動は水平スライド体７１と同様に送りネ
ジ８３を上下駆動用モータ８５にて回動することにより
行なわれる。

８５八はモータ８５の回転速度を得るためのタコジェネ
レータ、８５Ｂはエンコーダである。上下スライド体８
１の上下方向の位置すなわちＺ方向位置はスケールユニ
ット８７によって検出される。

上記の機械的構成を備えた研磨装置は、制御ユニット１
００からの制御信号に基づき制御される。

この制御ユニット１００の一実施例のブロック図を第３
図に示す。

同図において、１０１は中央制御部（以下ｃｐｕと称す
）、１０２は後述する制御ユニットの制御プログラムお
よび制御手順等が格納されるエリアを有するＲＯＭおよ
び加工データ人力部１０３からの入力データ、位置検出
データ等を一時的に格納するエリアを有するＲＡＭから
構成されるメモリである。

１０４はＸ軸制御部で水平駆動用モータ７５、タコジェ
ネレータ７５八およびエンコーダ７５Ｂ　と接続されて
いる。

１０５はＺ軸制御部で上下駆動用モータ８５．タコジェ
ネレータ８５Ａ、エンコーダ８５Ｂと接続されている。

１０［ｉは、旋回角度制御部であり、ワーク軸体２７の
旋回角を制御するために駆動アーム９の円弧部の歯型９
八に噛合する駆動ギヤを駆動するモータ１９、タコジェ
ネレータ１９Ａ、エンコーダ１９Ｂ　と接続されている
。

１０７は、ワーク軸体２７を回転駆動するモータ２９の
回転速度を制御するためのワーク軸体ドライバ部であり
モータ２９およびタコジェネレータ２９八と接続され、
１０Ｂは研磨工具４１を駆動するモータ５１の回転速度
を制御するための研磨工具ドライバ部でありモータ５Ｉ
およびタコジェネレータ５１Ａ　と接続され、さらに、
１０９は揺動アーム４３を駆動するモータ５７の回転速
度を制御するための揺動モータドライバ部でありモータ
５７．タコジェネレータ５７Ａ。

エンコーダ５７１１　と接続されている。

１１０は総称的に各駆動部の現在位置を検出しく：ＰＩ
１１０１に信号を送るための現在位置入力部であり、Ｘ
　ｆｉｂ方向現在位置人力部１１０Ａはスケールユニッ
ト７７と、ＺＩＩＩＴｏ方向現在位置人力部１１０Ｂは
スケールユニット８７と、揺動アーム４３の現在位置人
力部１１０Ｃはエンコーダ５７Ｂ　と、ワーク軸体２７
、すなわち被研磨材２５の回転角θを示す現在位置人力
部１１０Ｄはエンコーダ２７Ｂ　と、ワーク軸体２７の
傾きすなわち被研磨材２５の旋回角θ、を示す現在位置
人力部１１０Ｅはエンコーダ１３Ｂと、それぞれ、接続
されている。

以上の構成において、曲率半径Ｒの曲面を持つ被研磨材
２５を研磨加工するとき、研磨工具４１をＸ軸およびＺ
＠力方向移動させつつ、被研磨材２５を所定角度旋回さ
せるが、このとき研磨量を安定させるために被研磨材２
５の中心軸から半径ｒ　ｌ’Ｊｆれた接点Ｐ、において
研磨工具４１の回転軸心を、被研磨材２５の法線および
重力方向に一致させる原理について説明する。第４図な
いし第６図において０ｈｌを旋回軸１３の中心、ＯＷｏ
を旋回角度θ、が０°の時の被研磨材２５の曲率中心、
０．、を旋回角度Ｏｔｌ“の時の被研磨材２５の曲率中
心の移動位置、Ｐ”　　（Ｘ、、７１′）を旋回角度θ
、のときの点Ｐ、のＸ−Ｚ座標上における移動位置、Ｌ
を被研磨材２５の頂点部分Ｐ０と０．４との距離とする
。

一般に、旋回軸１３の中心ＯＭと被研磨材２５の曲率中
心とを一致させることは困難であり、中心０４と中心Ｏ
Ｗ。とは距離Ｒ＋Ｌだけずれている。

そこで、被研磨材２５の中心軸から半径ｒ＋″離れた接
点Ｐ１において研磨工具４１の回転軸心を被研磨材２５
の法線および重力方向と一致させるためには、被研磨材
２５を旋回４ｉ１ｊ１３の中心ＯＭを中心として角度θ
１．′だけ旋回させ接点Ｐ、を、Ｐ′（×１″、Ｚｌ“
）の位置へ移動させると共に、研磨工具４１の位置を同
一点Ｐ’　　（ＸＩ“、ｚ、“）へ移動すればよいこと
となる。

このとき ＸＩ”＝（Ｒ＋Ｌ）ｓｉｎθｔ＋’　　　　　　　　　
””（ｔ）Ｚ１″−（Ｒ＋Ｌ）−、／ｉ可てπ”　　　
　　・・・（２）θｔ、”−ａｒｃ　　ｓｉｎ　　（Ｘ
、”／（Ｒ＋Ｌ））　　　　　　・・・（３）と表わさ
れる。

同様に、被研磨材２５の中心軸から半径ｒ２″離れた接
点Ｐ２においても、被研磨材２５を旋回軸１３の中心Ｏ
Ｍを中心として角度θｔ２”だけ旋回させ接点Ｐ２をＰ
”（Ｘ２″、７２′）の位置へ移動させ、同時に研磨工
具４１の位置をＰ″（Ｘ２’、Ｚ２”）へ移動させる。

このようにして、研磨工具４１の上下方向の位置Ｚおよ
び旋回角度θ、は、いずれもＸの関数としてとらえるこ
とができ、任意の曲率半径Ｒを有する被研磨材２５に対
し上述の関係式　（１）ないしく３）を満すように制御
することにより、常に研磨工具４１の回転軸中心は被研
磨材２５の法線および重力方向と一致させることができ
るのである。

次に、被研磨材２５を全面あるいは一部分に亘って研磨
する場合のその基本動作について説明する。ワーク軸体
２７に固着された被研磨材２５は制御ユニット１００に
外部から人力された研磨加工データをもとに、同ユニッ
ト１００からの指令を受け、ワーク軸体２７のエンコー
ダ２７Ｂからの位置検出信号およびタコジェネレータ２
９Ａからの速度検出信号により位置および速度制御をさ
れつつワーク軸体駆動モータ２９により回転駆動される
。同様にして研磨工具４１は、揺動アーム４３に支持さ
れた状態でバランスウェイト６５とのアンバランス分だ
け被研磨材２５の加工部位を加圧しながら、タコジェネ
レータ５１Ａからの速度検出信号により速度制御されつ
つ回転する。揺動アーム４３は制御ユニット１００から
の指令によりエンコーダ５７Ｂ、タコジェネレータ５７
Ａから位置および速度検出信号に基づき位置および速度
制御を受けつつ、揺動クランク機構５５を介して駆動モ
ータ５７により駆動され、研磨工具４１に矢印Ａの方向
（第１図参照）に揺動枢支！Ｆｌｋ５９を中心とした揺
動運動を伝える。研磨工具４１の揺動幅は、クランク機
構５５における連結点を変更する等の可変機構により調
整できる。これは、ぼかし研磨等を行う際に有効である
。また、揺動の開始点はエンコーダ５７Ｂにより角度位
置検出を行っているので、常に一定にすることができる
。

これらのワーク軸体２７、研磨工具４１．揺動アーム４
３の動作開始位置および速度が制御ユニット１００によ
って制御されつつ、被研磨材２５の旋回角度θ、および
研磨工具４１のＸ１１！Ｉｉ１方向、Ｚ軸方向の位置（
Ｘ、Ｚ）は前述した関係式（１）〜（３）に基づいて制
御ユニット１００により演算処理され、その結果の移動
指令に基づいて位置制御が行なわれる。

すなわち、被研磨材２５の旋回角制御は、エンコーダ１
３Ｂによる現在位置人力信号およびエンコーダ１９Ｂに
よる位置検出信号とタコジェネレータ１９八による速度
検出信号とに基づき駆動モータ１９の回転制御を行うこ
とによりなされる。一方、研磨工具４１の水平（Ｘ軸）
方向制御は、スケールユニット７７による現在位置入力
信号およびエンコーダ７５Ｂによる位置検出信号とタコ
ジェネレータ７．５Ａによる速度検出信号とに基づぎ駆
動モータ７５の回転制御を、上下（２軸）方向制御は、
スケールユニット８７による現在位置人力信号およびエ
ンコーダ８５Ｂによる位置検出信号とタコジェネレータ
８５＾による速度検出信号とに基づき駆動モータ８５の
回転制御を行うことによりなされる。

このように、上述した動作は連続的に人力された加工デ
ータに対応して制御ユニット＋００により研磨工具４１
の回転軸心が、被研磨材２５の如何なる位置においても
常に被研磨材２５の法線方向および重力方向に一致する
ように制御される。

次に、上述した未実施例の制御手順の一例を第７図に示
すフローチャートを参照して説明する。

制御が開始すると、まず、ステップＳ　２０１で加工デ
ータ人力部１０３から既に被研磨材に関して曲率、加工
位置、研磨量等について外部から人力された加工データ
を読み込みメモリ１０２へ記ｆ、ａさせる０次にステッ
プ５２０２であらかじめメモリ１０２に記憶されている
加ニブログラムと加工データに基づいて研磨装置の各部
、すなわち被研磨材２５の旋回角度、研磨工具４１のＸ
ｌ１１１方向、Ｚ　Ｍ方向位置等を加工開始位置へ移動
する。そして、ステップ５２０３においてスケールユニ
ット７７でＸｌ［１１方向位置、スケールユニット８７
でＺ軸方向位置、エンコーダ５７Ｂで揺動アーム位置、
エンコーダ２７Ｂでワーク軸体２７の回転位置およびエ
ンコーダ１３Ｂで被研磨材２５の旋回角度の現在位置（
各々Ｘ、、Ｚ、、Ｓ、。

θ１．θ２．とする）をそれぞれ現在位置入力部１１０
より人力し、メモリ１０２へ記憶する。ステップ５２０
４で、この現在位置が加工終了点かどうかを判断し、終
了点であればステップ５２１１へ進み加工を終了する。

終了点でなければ次のステップ５２０５へ進む。

ステップ５２０５においては、加工データに基づき現在
位置における最適な被研磨材２５の回転速度、研磨工具
４１の回転速度および揺動速度を決定し、ワーク軸体ド
ライバ部１０７．研磨工具ドライバ部１０８、揺動モー
タトライバ部１０９へそれぞれ駆動指令を行なう。更に
ステップ５２０６で加工データと現在位置を基にＸ軸方
向の移動速度を演算し、Ｘ軸制御部１０４へ移動指令を
出力する。ステップ５２０７ではステップ５２０３で人
力されたＸ軸の現在位置Ｘ、から被研磨材２５の形状に
応じたＺ軸方向の最適な位置、例えば前述した加工例に
おいてはＺｏ・（Ｒ＋Ｌ）−ｆｆ下）２−Ｘ、２　　を
演算する。そして、ステップ３２０８で、この演算で求
めた位置ｚｏへの移動指令をＺ！１Ｉｉｌｈ制御部１０
５へ出力する。次にステップ５２０３で人力されたＸ！
Ｆｔｈの現在位置Ｘ１から被研磨材２５の形状に応じた
ワークへの最適な旋回角度、例えば前述した加工例にお
けるθｔｏ・ａｒｃ　ｓｉｎ　（Ｘ、／（Ｒ＋Ｌ））を
演算する。

そして、ステップＳ　２１０でこの演算で求めた位置θ
ｔｏへの移動指令を旋回角度制御部１０６へ出力する。

以上のステップ３２０３〜ステツプ５２１０の手順をス
テップ５２０４で加工終了判断がされるまで繰り返す。

なお、上記制御手順では、Ｚ軸方向の移動指令と旋回軸
の移動指令がシリアルに流れているが、ＣＰＩＪＩＯＩ
の処理速度は、機械の移動速度より速いために加工上問
題が生ずることはない。

次に、上述した基本動作に基づいた基本的な研磨量エバ
ターンとその動作について説明する。

第８図は曲率半径Ｒの被研磨材２５をその中心から半径
ｒ、′〜ｒ２“までの間を０１″〜０２″の角度範囲に
ついて他の部分とは研磨量を変えて除去研磨加工すなわ
ち修正研磨する場合を示す。そのためにはワーク軸体２
７をエンコーダ２７Ｂにて角度位置検出しつつ、０１′
〜θ２“の範囲で被研磨材２５の回転速度を変えること
により、研磨工具４１のこの範囲における滞留時間を変
えるか被研磨材２５の回転速度は一定のまま研磨工具４
１の回転速度あるいは、揺動速度を変化させるか、両者
を組合わせて行えはよい。制御ユニット１００には外部
から被研磨材２５についての諸元として、被研磨材２５
の頂点Ｐｏと旋回軸中心ＯＭとの距離り２曲率半径Ｒ９
上述の加工範囲データ（ｒ♂＋ｒ２”、θ８”、０２“
）および第９図、第１Ｏ図のデータテーブルに示すよう
な、予め、用意された加工データを入力する。第９図（
ａ）〜（Ｃ）において、ワーク軸体２７の回転速度（Ｖ
ｗｉｌは被研磨材２５の半径方向加工範囲（例えばｒ、
〜「２１）をｒ０〜「Ｌまで分割し、その各々の同心内
部分を０１゜〜θ目まで角度分割した時の、ワーク軸体
２７の角度θ１．〜θ１゜間の回転速度、同様にして研
磨工具４１の回転速度ＶＴＩハ揺動速度Ｖｙｌｊを定め
ている。第１０図において、Ｖ　Ｘ　ＩはＸ軸位置ｒ１
〜「８．１におけるＸ軸移動速度を表わす。

これらのデータは、前述したフローチャートに従って、
制御ユニット１００により順次処理され、これに対応し
て、被研磨材２５が旋回すると同時に研磨工具４１は第
５図および第６図に示すようにＰ’　　（Ｌ”、Ｌ”）
からＰ″（Ｘ２”、Ｚ２’）　ヘと図に示すような軌跡
を描いて移動する。

そして、この間、先に掲げた第９図および第１０図のデ
ータに基づいて、被研磨材２５上の分割された領域（第
８図に示した特定領域）における、ワーク軸体回転速度
、研磨工具回転速度、揺動速度を必要に応じて他の領域
と変えて制御することにより、この特定領域での研磨量
を他の領域を変え研磨量を増大させるのである。なお、
第９図に示したデータテーブルでは、ワーク軸体回転速
度、研磨工具回転速度および揺動速度の全てについて分
割個数および分割範囲を一致させたが、これらは適宜そ
の特定の速度について分割個数を増減したり、分割範囲
を異ならせてもよい。このようにするとぼかし研磨を有
効に行うことができる。

第１１図は、同様の被研磨材２５の中心から半径ｒ、“
〜ｒ２″の同心円上の部分全体を研磨除去する場合を示
す、この場合は被研磨材２５上のｒ、〜「２″の範囲を
ｒｏからｒＩ＋１まで分割した一部分子ｌ〜「Ｉ＋１が
軸を中心として回転した場合に成す同心内部分を一様に
研磨すればよく、研磨工具４１がこの同心円上に滞留し
ている間はワーク軸体回転速度Ｖｗｉｊ　、研磨工具回
転速度ＶＴｌｊｓ揺勅速度揺動ＩＪは一定とし、研磨量
はＸ釉速度Ｖｘｌや、を変えて変化させる。

従って人力する加工データは、第９図におけるｒ０〜ｒ
Ｉ＋１のみに対応するｖｗ。〜ｖＷ　ｌ　＋　ｖＴ　Ｏ
〜ｖＴｌ＋Ｖ、。〜ＶＴＩからなるデータのみおよび第
１０図のデータとすればよい。

これらのデータに基づいて、制御ユニット１００により
各駆動モータは制御され、その結果、第１１図に示す特
定領域の研磨除去加工を行なうことが可能である。

第１２図は被研磨材２５の上面を中心部から周辺部に渡
り連続的に研磨除去する場合を示しているが、途中で被
研磨材の曲率が異なる場合である。

この場合も上述した例と同様にあらかじめ被研磨材２５
について途中で曲率が異なる加工データを人力し、その
加工曲面に通した速度で各駆動モータを制御して研磨を
行なえばよい。

なお、本実施例では凸面形状の被研磨材を研磨する例に
つき説明したが、加工データの入力によって凹面形状の
被研磨材にも適用でき、さらに、研磨加工のみに限らず
研削加工する場合にあっても有効であることはいうまで
もない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなるように本発明によれば、被研
磨材の中心から離れた位置においても常に加工圧力を一
定にすることが可能であるから安定した研磨量を得るこ
とができ、また、研磨量の管理を容易に行うことかでき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す外観斜視図、 第２図は第１図のＭ−Ｍ線断面図、 第３図は制御ユニットの一例を示すブロック図、 第４図ないし第６図は本発明の実施例の作動原理を説明
する線図、 第７図は本発明の実施例の制御手順の一例を示すフロー
チャート、 第８図は加エバターンの一例を説明する線図、 第９図および第１Ｏ図は加工データの一例を示すデータ
テーブル図、 第１１図は加エバターンの他の例を説明する線図、 第１２図は加エバターンのさらに他の例を説明する線図
、 第１３図は従来例を示す平面図、 第１４図は従来例を示す側面図である。 １・・・本体ベース、 ７・・・支持ベース、 ９・・・駆動アーム、 １３・・・旋回軸、 １３８．１９Ｂ、２７Ｂ、５７Ｂ、７５Ｂ、８５Ｂ・・
・エンコーダ、１９．２９，５１，５７，７５．８５・
・・駆動モータ、１９Ａ、２９八、５１Ａ、５７八、７
５八、８５Δ・・・タコジェネレータ、２５・・・被研
磨材、 ２７・・・ワーク軸体、 ４１・・・研磨工具、 ４３・・・揺動アーム、 ４７・・・回転軸、 ５５・・・クランク機構、 ７１・・・水平スライド体、 ７７・・・スケールユニット、 ８１・・・上下スライド体。 １００・・・制御ユニット、 １０４・・・Ｘ軸制御部、 １０５・・・Ｚ軸制御部、 １０６・・・旋回角度制御部、 １０７・・・ワーク軸体ドライバ部、 １０８・・・研磨工具ドライバ部、 １０９・・・揺動モータドライバ部、 １１０・・・現在位置入力部。 ７本、勇ち日月の火！が６４列のイ乍中刀２兎埋を寝危
明する線区第４図 本Ａ５０月り大方乞イ列０イ乍ψカフ原戸Ｐをを６明す
る木鼠区第５図 カロエパターン０−イタｌ」を在式明オる重置４囚第８
図 加ｘ−ｒ−タ０−イ列をホすチータテ−プル区第１Ｏ図 力ロエバターン０さう１ニイ也のイ列を説明１ろホ摩、
磨第１２図 ｄ １禎米イ列を示す￥面図 第１３図 イ疋　釆　イダ１」　を　力＼　すイ興弓面　ト］第１
４図 手続補正書 昭和６３年３月１１日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被研磨材を回転させる駆動手段と、 被研磨材に対向圧接する研磨工具を回転させる騒動手段
   と、 研磨工具を被研磨材の半径方向に揺動する手段と、 研磨工具を被研磨材の半径方向に送る送り装置を備えた
   研磨装置において、前記被研磨材を前記研磨工具の送り
   方向と直交する軸の回りに旋回可能に駆動する手段を設
   けたことを特徴とする研磨装置。
2. （２）前記旋回可能に駆動する手段は、研磨加工時に前
   記研磨工具の回転中心軸方向と被研磨材の加工面の法線
   方向とが一致する様に被研磨材を旋回駆動することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の研磨装置。