JPS63229315A - パタ−ン検知装置 - Google Patents

パタ−ン検知装置

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Publication number
JPS63229315A
JPS63229315A JP6242387A JP6242387A JPS63229315A JP S63229315 A JPS63229315 A JP S63229315A JP 6242387 A JP6242387 A JP 6242387A JP 6242387 A JP6242387 A JP 6242387A JP S63229315 A JPS63229315 A JP S63229315A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear light
light blocking
blocking body
pattern
black line
Prior art date
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Pending
Application number
JP6242387A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Oka
浩司 岡
Moritoshi Ando
護俊 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS63229315A publication Critical patent/JPS63229315A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 本発明は線状遮光体(ブラックライン)および補助線状
遮光体(サブブラックライン)を用いてブランクライン
照明法によるパターン検知を行う装置において、サブブ
ラックラインに通電できるようにし、その結果、サブブ
ラックラインに付着するほこりまたはごみを焼き去るよ
うにして、これ等によるパターン検知における妨害を除
くようにするものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント配線板表面におけるような、不透明な
配線パターンをブラックライン照明法を用いて検知する
パターン検知装置に関する。
〔従来の技術〕
まず、ブラックライン照明法を用いたパターン検知装置
について簡単に説明する。被検知対象であるプリント基
板は、基材上に銅箔による配線パターンが形成されてC
)る、この配線パターンを検出するため、光源からの光
を線状の遮光物質を介してプリント配線板の表面に斜め
上方から照射し結像させる。すると、プリント配線板上
には、上記遮光物質と対応したブラックライン領域が形
成される。銅箔は光拡散性がないので、銅箔上のブラッ
クライン領域はそのまま保たれるが、基材上のブラック
ライン領域は周囲からの拡散光によって殆ど消える。そ
こで、その垂直方向への反射光を反射光結像用レンズを
介してラインセンサの光検知面に結像させる。すると、
ラインセンサでは銅箔上のブラックライン領域のみを他
の部分と区別して検知できるので、プリント配線板をX
およびY方向に移動させながら、その表面全体を光走査
することにより、w4箔の全体のパターンを検知できる
。この装置は銅箔の表面の状態にかかわらずパターンの
検知が確実にできる。
上述の装置にさらに補助的な線状遮光体(サブブラック
ライン)を設けたものがある。この装置の構成の概要が
第4図に示される。線状光源lからの光はブラックライ
ン2により遮光され、マスク結像用レンズ3により収束
されてサブブラックライン41でさらに遮光されて被検
知パターン14に照射される。被検知パターン14の導
体部8または基材部7からの反射光はミラー9およびミ
ラー10で方向を変えられ、反射光結像用レンズ11で
収束されCCDラインセンサ12に達する。この装置は
前述の装置に比較してサブブラックライン41が被検知
パターン14の近傍に配置される点が異なる。サブブラ
ックライン41はブラックライン領域内部への光の漏入
を減少し、光反射率の高いプリント配線板のパターン検
知をより確実に行うために、マスク結像用レンズ3とプ
リント配線板(被検知パターン14)の間に配設される
このサブブラックラインは、プリント配線板から高さ数
ミリメートルの所に配置しであるために、比較的大きな
「はこり」や「ごみ」が付着しやすい。はこり等が付着
した場合、第2図に示すように、検知パターン中のはこ
り42の付着位置に幅lだけのパターン抜°けが発生し
てしまう。これはほこり等によりブラックライン領域6
の両側の明かるい部分5の光が乱反射または回折される
ためである。
このようなほこり等を除去する手段としては、サブブラ
ックラインに空気等を吹き付けるのが一般的であるが、
エアブロ−によりサブブラックラインが湾曲する可能性
がある。また付着方向によっては多方向から吹き付けを
行わなければならないために構造上複雑になるという問
題点がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
前述のサブブラックラインの設置に伴う、はこりの付着
によるパターン抜けが生ずるという問題点にかんがみ、
本発明の目的はサブブラックラインに付着するほこり等
の影響を効果的に除去することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のパターン検知装置は、被検知パターン14を照
射する線状光源1と、被検知パターン14と線状光源1
との間に設けられ線状光源1からの光ビームを遮光する
線状遮光体2と、線状遮光体2と被検知パターン14と
の間に被検知パターン14に近接して設けられ、前記光
ビームをさらに遮光する金属材料から成る補助線状遮光
体4と被検知パターン14からの反射光を検知するセン
サ12と、このほかに補助線状遮光体4に電流を供給す
るための電源13を具備する。そして、検知操作に先立
ち補助線状遮光体4に電源13から通電し、補助線状遮
光体4に付着したほこりまたはごみを焼却する。
〔作 用〕
前述の装置を用いれば、検知操作に先立ち補助線状遮光
体4に通電して加熱し、付着したほこりまたはごみを炭
化させかつ離脱容易とし、補助線状遮光体の性能低下を
防止する。
〔実施例〕 本発明の一実施例としてのパターン検知装置の概略の構
成が第1図に示される。この装置は、線状光源1、ブラ
ックライン2、マスク結像用レンズ3、サブブラックラ
イン4、ミラー9および10、反射光結像用レンズ11
、およびCCDラインセンサ12を具備する。CCDラ
インセンサ12以降の電気回路および被検知パターン1
4を載置するステージ等は記載を省略する。
線状光源1から照射された光はブラックライン2および
マスク結像用レンズ3を介して被検知パターンであるプ
リント基板14へ到達する。プリント基板14の近傍に
はブラックライン2の効果を増強するためサブブラック
ライン4が配設される。サブブラックライン4はニクロ
ム線等の電流により発熱が容易なものを用いる。サブブ
ラックライン4はその両端に電源13の出力が接続され
る。プリント基板14からの反射光はミラー9および1
0で方向を変えられ、反射光結像用レンズ11で収束さ
れてCCDラインセンサ12へ供給され、プリント基板
14における導体部8の検知データが得られる。
この装置は、検知操作に先立ち、電源13をオンしてサ
ブブラックライン4に通電し、サブブラックライン4を
赤熱させて付着したほこりまたはごみを焼却する。焼却
によってほこり等が取り去られると、検知操作に入る。
ヰ★知操作中はサブブラックライン4の通電は行わない
前述の予備操作を行えば、サブブラックライン4はほこ
りが取り去られるかまたは黒色の不透明体となるから反
射等のない無害のものとなり、第2図に例示したような
パターン抜けがなくなり、第3図に示された第2図の例
に対応する検知信号波形(線■−■部分に対応)のよう
な、はこりによる反射光に起因する突出部分31を生ず
ることがなくなる。そしてブラックライン2およびサブ
ブラックライン4の協働により、尚一層理想的なブラッ
クライン領域6が得られ、周囲の明かるい部分5からの
光の悪影響を受けることがなくなる。
上述したような通電によってサブブラックラインのほこ
り等を除去することができるようになると、人手によっ
て行われていた除去作業を自動化することも可能となり
、保守が容易となる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、サブブラックラインに付着するほこり
等を容易に除去または無害なものとすることができ、そ
れによりサブブラックライン上のほこり等の除去の自動
化が可能となり、サブプラノクラインの清掃等の保守が
容易となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例としてのパターン検知装置の
構成図、 第2図はほこりの付着と検知パターンの関係を説明する
図、 第3図は第2図の検知パターンの線■−■の部分に対応
する検知信号波形を示す図、および第4図は従来型のパ
ターン検知装置の構成図である。 図において、 ■・・・線状光源、    2・・・ブラックライン、
3・・・マスク結像用レンズ、 4・・・サブブラックライン、 5・・・明かるい部分、 6・・・ブラックライン領域、 7・・・基材部、    8・・・導体部、9.10・
・・ミラー、 11・・・反射光結像用レンズ、 12・・・CCDラインセンサ、 13・・・電源、 14・・・被検知パターン(プリント基板)、41・・
・サブブラックライン、 42・・・はこり。 本発明の実施例の構成図 第1図 はこりと検知パターンの関係を説明する同第2図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 被検知パターン(14)を照射する線状光源(1)と、
    前記被検知パターン(14)と前記線状光源(1)との
    間に設けられ前記線状光源(1)からの光ビームを遮光
    する線状遮光体(2)と、前記線状遮光体(2)と前記
    被検知パターン(14)との間に前記被検知パターン(
    14)に近接して設けられ、前記光ビームをさらに遮光
    する金属材料から成る補助線状遮光体(4)と、前記被
    検知パターン(14)からの反射光を検知するセンサ(
    12)を具備するパターン検知装置において、 前記補助線状遮光体(4)に電流を供給する電源(13
    )を設け、検知操作に先立ち前記補助線状遮光体(4)
    に通電を行い、前記補助線状遮光体(4)に付着したほ
    こりまたはごみを焼却するようにしたことを特徴とする
    パターン検知装置。
JP6242387A 1987-03-19 1987-03-19 パタ−ン検知装置 Pending JPS63229315A (ja)

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JP6242387A JPS63229315A (ja) 1987-03-19 1987-03-19 パタ−ン検知装置

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JP6242387A JPS63229315A (ja) 1987-03-19 1987-03-19 パタ−ン検知装置

Publications (1)

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JPS63229315A true JPS63229315A (ja) 1988-09-26

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JP6242387A Pending JPS63229315A (ja) 1987-03-19 1987-03-19 パタ−ン検知装置

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