JPS63223546A - スパ−ク光のスペクトル測定装置 - Google Patents
スパ−ク光のスペクトル測定装置Info
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- JPS63223546A JPS63223546A JP5809887A JP5809887A JPS63223546A JP S63223546 A JPS63223546 A JP S63223546A JP 5809887 A JP5809887 A JP 5809887A JP 5809887 A JP5809887 A JP 5809887A JP S63223546 A JPS63223546 A JP S63223546A
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- JP
- Japan
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- spark
- image sensor
- light
- spectrum
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- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 abstract description 2
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 abstract description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、スパーク放電を光源とする発光分光分析装置
に関する。
に関する。
口、従来の技術
スパーク放電を光源とする発光分析装置は、従来は検出
部に光電子増倍管等を用いるのが一般的であるが、光電
子増倍管は広い検出面積を有する単一検出器であるから
、画像解像力がなく、単独でスペクトル像を解像しよう
とすると波長走査を行わねばならない、従って１パルス
のスパーク光毎にスペクトル像のデータを得ることは不
可能であった０発光分析では輝線スペクトルを測定する
のであるが、ベースライン補正のため、一つの輝線に対
しても、輝線波長を中心に成る波長範囲で輝線のスペク
トル像のデータを入手する必要があり、従来におけるス
ペクトル測定には、写真分光測光による方法が一般的に
用いられていた。しかし、写真分光測光では、乾板で受
光した光子像を現像するのであるから、１パルスのスパ
ーク光のスペクトル像を得ることはできるが、連続した
複数パルスのスペクトル像を得ようとした場合、乾板を
交換しないで測光すれば、複数パルスのスペクトル像が
重畳し、個々のスペクトル像を測定することが困難であ
り、又−スパーク毎に乾板の交換をしようとすれば、乾
板の交換にはある程度の時間が必要であるから、連続し
た複数パルスのスペクトル像を得ることは不可能である
と云う問題がある。
部に光電子増倍管等を用いるのが一般的であるが、光電
子増倍管は広い検出面積を有する単一検出器であるから
、画像解像力がなく、単独でスペクトル像を解像しよう
とすると波長走査を行わねばならない、従って１パルス
のスパーク光毎にスペクトル像のデータを得ることは不
可能であった０発光分析では輝線スペクトルを測定する
のであるが、ベースライン補正のため、一つの輝線に対
しても、輝線波長を中心に成る波長範囲で輝線のスペク
トル像のデータを入手する必要があり、従来におけるス
ペクトル測定には、写真分光測光による方法が一般的に
用いられていた。しかし、写真分光測光では、乾板で受
光した光子像を現像するのであるから、１パルスのスパ
ーク光のスペクトル像を得ることはできるが、連続した
複数パルスのスペクトル像を得ようとした場合、乾板を
交換しないで測光すれば、複数パルスのスペクトル像が
重畳し、個々のスペクトル像を測定することが困難であ
り、又−スパーク毎に乾板の交換をしようとすれば、乾
板の交換にはある程度の時間が必要であるから、連続し
た複数パルスのスペクトル像を得ることは不可能である
と云う問題がある。
ハ０発明が解決しようとする問題点
本発明は、上述したような連続した複数パルスのスパー
ク光のスペクトル像を個別に測定できる適当な装置がな
いと云う問題を解消することを目的とする。
ク光のスペクトル像を個別に測定できる適当な装置がな
いと云う問題を解消することを目的とする。
二１問題点解決のための手段
試料をスパークさせるスパーク光源と、スパークによっ
て試料から放出される光を波長分光する分光器と、分光
器のスペクトル像面に配置された一次元撮像素子と、ス
パークパルスと同期して上記一次元撮像素子の出力を読
出し信号処理を行う手段とを設けた。
て試料から放出される光を波長分光する分光器と、分光
器のスペクトル像面に配置された一次元撮像素子と、ス
パークパルスと同期して上記一次元撮像素子の出力を読
出し信号処理を行う手段とを設けた。
ホ１作用
スパーク光のスペクトル測定装置において、検出部に光
電素子を一次元アレー状に並べたイメージセンサ−（撮
像素子）を用いることにより、１パルスによるスパーク
光を一定波長範囲で一度に検出することができる。
電素子を一次元アレー状に並べたイメージセンサ−（撮
像素子）を用いることにより、１パルスによるスパーク
光を一定波長範囲で一度に検出することができる。
このようにすることにより、放電パルスに対応するスペ
クトルデータを連続して測定することが可能になる。
クトルデータを連続して測定することが可能になる。
へ、実施例
第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、Ｓ
は試料、１はスパーク電源で、スパーク電極２と試料Ｓ
間に高電圧のパルスを印加して、電極２と試料Ｓ間でス
パーク放電を起こす。このスパーク放電によって発生し
た光を入口スリット３で規制して分光器４に入射させる
。分光器４に入射した光をグレーティング５で分光し、
分光させた光をスペクトル像面上の一次元イメージセン
サー６で受光する、イメージセンサ−６は図上分光方向
（紙面に平行）に光電素子を並べたもので、分光方向に
分解能を有する受光器である。イメージセンサ−６で得
られた出力信号はイメージセンサ−コントローラ７に送
られる。イメージセンサ−コントローラ７はスパーク電
源１で発生する高電圧パルス信号に同期してＣＰＵｌ０
がら送られてくる制御信号により、イメージセンサ−６
がら信号を取出しアンプ８に入力すると共にイメージセ
ンサ−６をリセットする。コントローラ７によって読出
された検出信号はアンプ８で増幅され、Ａ／Ｄ変換器９
でディジタル信号に変換される。ＣＰＵｌ０はディジタ
ル化された検出信号を各パルス単位毎にイメージセンサ
−の受光素子側のアドレスを付加して記憶装置１１に記
憶させると共に、この記憶装置１１に記憶されたデータ
をＤ／Ａ変換器１２で再生して第２図に示すような受光
素子に対応する光強度分布図（スペクトル分布図）をＣ
ＲＴ等の表示装置１３に表示したり、又は第２図に示す
バックグランド値Δｈを算出し真のピーク強度をｈを求
めたり等のデータ処理を行う。
は試料、１はスパーク電源で、スパーク電極２と試料Ｓ
間に高電圧のパルスを印加して、電極２と試料Ｓ間でス
パーク放電を起こす。このスパーク放電によって発生し
た光を入口スリット３で規制して分光器４に入射させる
。分光器４に入射した光をグレーティング５で分光し、
分光させた光をスペクトル像面上の一次元イメージセン
サー６で受光する、イメージセンサ−６は図上分光方向
（紙面に平行）に光電素子を並べたもので、分光方向に
分解能を有する受光器である。イメージセンサ−６で得
られた出力信号はイメージセンサ−コントローラ７に送
られる。イメージセンサ−コントローラ７はスパーク電
源１で発生する高電圧パルス信号に同期してＣＰＵｌ０
がら送られてくる制御信号により、イメージセンサ−６
がら信号を取出しアンプ８に入力すると共にイメージセ
ンサ−６をリセットする。コントローラ７によって読出
された検出信号はアンプ８で増幅され、Ａ／Ｄ変換器９
でディジタル信号に変換される。ＣＰＵｌ０はディジタ
ル化された検出信号を各パルス単位毎にイメージセンサ
−の受光素子側のアドレスを付加して記憶装置１１に記
憶させると共に、この記憶装置１１に記憶されたデータ
をＤ／Ａ変換器１２で再生して第２図に示すような受光
素子に対応する光強度分布図（スペクトル分布図）をＣ
ＲＴ等の表示装置１３に表示したり、又は第２図に示す
バックグランド値Δｈを算出し真のピーク強度をｈを求
めたり等のデータ処理を行う。
ト、効果
本発明によれば、連続パルスによるスパーク光の輝線ス
ペクトルのプロファイルが測定可能になったので、各ス
パーク毎にバックグランド補正された輝線強度を得るこ
とができ、分析精度を向上させることが可能となる。
ペクトルのプロファイルが測定可能になったので、各ス
パーク毎にバックグランド補正された輝線強度を得るこ
とができ、分析精度を向上させることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は検出信号
のグラフである。 Ｓ・・・試料、１・・・スパーク電源、２・・・スパー
ク電極、３・・・入口スリット、４・・・分光器、５・
・・グレーティング、６・・・イメージセンサ−１７・
・・イメージセンサ−コントローラ、８・・・アンプ、
９・・・Ａ／Ｄ変換器、１０・・・ＣＰＵ、１１・・・
記憶装置、１２・・・Ｄ／Ａ変換器、１３・・・表示装
置。
のグラフである。 Ｓ・・・試料、１・・・スパーク電源、２・・・スパー
ク電極、３・・・入口スリット、４・・・分光器、５・
・・グレーティング、６・・・イメージセンサ−１７・
・・イメージセンサ−コントローラ、８・・・アンプ、
９・・・Ａ／Ｄ変換器、１０・・・ＣＰＵ、１１・・・
記憶装置、１２・・・Ｄ／Ａ変換器、１３・・・表示装
置。
Claims (1)
- 試料をスパークさせるスパーク光源と、スパークによっ
て試料から放出される光を波長分光する分光器と、分光
器のスペクトル像面に配置された一次元撮像素子と、ス
パークパルスと同期して上記一次元撮像素子の出力を読
出し信号処理を行う手段とを設けたことを特徴とするス
パーク光のスペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5809887A JPS63223546A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | スパ−ク光のスペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5809887A JPS63223546A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | スパ−ク光のスペクトル測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63223546A true JPS63223546A (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=13074479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5809887A Pending JPS63223546A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | スパ−ク光のスペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63223546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114034709A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-02-11 | 国网上海市电力公司 | 一种融合光谱与图像特征的高压外绝缘状态检测系统 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5809887A patent/JPS63223546A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114034709A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-02-11 | 国网上海市电力公司 | 一种融合光谱与图像特征的高压外绝缘状态检测系统 |
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