JP7201868B2 - 分光測定装置および分光測定方法 - Google Patents
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- 第1方向に波長軸が延び第2方向に波長ごとの像が延びる被測定光の分光像のスペクトルデータを取得する分光測定装置であって、
前記第1方向及び前記第2方向の双方に沿って複数の画素が配列された第1領域と、前記第2方向において前記第1領域に隣接し前記第1方向及び前記第2方向の双方に沿って複数の画素が配列された第2領域とを有する受光面と、前記第1領域において生成された電荷が転送され第1電圧値として読み出す第1水平シフトレジスタと、前記第2領域において生成された電荷が転送され第2電圧値として読み出す第2水平シフトレジスタと、を有するCCDイメージセンサと、
前記第1電圧値を第1デジタル値に変換する第1AD変換器と、
前記第2電圧値を第2デジタル値に変換する第2AD変換器と、
前記第1デジタル値に基づく第1部分スペクトルデータと、前記第2デジタル値に基づく第2部分スペクトルデータとをつなぎ合わせて、前記被測定光のスペクトルデータを求める解析部と、
を備え、
前記第2領域における第2露光時間は、前記第1領域における第1露光時間より長い、
分光測定装置。 - 前記波長ごとの像が前記受光面の前記第1領域および前記第2領域にわたって形成されるように前記被測定光の分光像を形成する分光素子をさらに備える、請求項1に記載の分光測定装置。
- 前記第1部分スペクトルデータは前記被測定光の飽和波長帯のスペクトルデータであり、前記第2部分スペクトルデータは前記被測定光の非飽和波長帯のスペクトルデータである、請求項1又は2に記載の分光測定装置。
- 前記第1露光時間及び前記第2露光時間の少なくとも一方は電子シャッタにより設定される、請求項1~3の何れか1項に記載の分光測定装置。
- 前記第1領域の読み出し動作及び前記第2領域の読み出し動作は同期して行われる、請求項1~4の何れか1項に記載の分光測定装置。
- 前記第1水平シフトレジスタは、前記第1領域の複数の画素で生成された電荷を前記第2方向における画素列ごとに足し合わせ、
前記第2水平シフトレジスタは、前記第2領域の複数の画素で生成された電荷を前記第2方向における画素列ごとに足し合わせる、
請求項1~5の何れか1項に記載の分光測定装置。 - 被測定光の分光像のスペクトルデータを取得する分光測定方法であって、
第1方向に波長軸が延び第2方向に波長ごとの像が延びる被測定光の分光像を形成する分光ステップと、
前記第1方向及び前記第2方向の双方に沿って複数の画素が配列された第1領域と、前記第2方向において前記第1領域に隣接し前記第1方向及び前記第2方向の双方に沿って複数の画素が配列された第2領域とを有する受光面と、前記第1領域において生成された電荷が転送され第1電圧値として読み出す第1水平シフトレジスタと、前記第2領域において生成された電荷が転送され第2電圧値として読み出す第2水平シフトレジスタと、を有するCCDイメージセンサを用いて、前記第1電圧値及び前記第2電圧値を読み出す読み出しステップと、
前記第1電圧値を第1デジタル値に変換し、前記第2電圧値を第2デジタル値に変換する変換ステップと、
前記第1デジタル値に基づく第1部分スペクトルデータと、前記第2デジタル値に基づく第2部分スペクトルデータとをつなぎ合わせて、前記被測定光のスペクトルデータを求める解析ステップと、
を備え、
前記分光ステップにおいて、前記波長ごとの像が前記受光面の前記第1領域および前記第2領域にわたって形成されるように前記被測定光の分光像を形成し、
前記読み出しステップにおいて、前記第2領域における第2露光時間は、前記第1領域における第1露光時間より長い、
分光測定方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2022185133A JP2022185133A (ja) | 2022-12-13 |
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JP (1) | JP7201868B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Patent Citations (6)
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Title |
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浜松ホトニクス株式会社,技術資料 電子シャッタ機能付レジスティブゲート型CCDリニアイメージセンサ,日本,浜松ホトニクス株式会社,2016年05月,第1頁-第35頁 |
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