JPS63216392A - 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器 - Google Patents

積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器

Info

Publication number
JPS63216392A
JPS63216392A JP62048884A JP4888487A JPS63216392A JP S63216392 A JPS63216392 A JP S63216392A JP 62048884 A JP62048884 A JP 62048884A JP 4888487 A JP4888487 A JP 4888487A JP S63216392 A JPS63216392 A JP S63216392A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
annular body
section
actuator
amplifier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62048884A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadao Inahata
稲畑 忠雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
INAHATA KENKYUSHO KK
Original Assignee
INAHATA KENKYUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by INAHATA KENKYUSHO KK filed Critical INAHATA KENKYUSHO KK
Priority to JP62048884A priority Critical patent/JPS63216392A/ja
Publication of JPS63216392A publication Critical patent/JPS63216392A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、積層アクチェエータのストローク増幅器に関
する。
従来の技術 近年、チタン酸バリウム系セラミックス([1ario
 2 ) 、チタン酸鉛系セラミックス(PbTi03
 ) 、エタニオブ酸鉛(Pl]Nb2OG) 。
ジルコン酸チタン酸鉛(Pb (ZrTi)o3)或い
はPbO:SnO−PbTi 3−PI+ZrO3系等
の三成分系セラミックスが開発され、その圧電特性の利
用が盛んに行われ、例えば、これらの圧電性セラミック
スを積層化したものに櫛歯電極を形成したタイプのアク
チュエータが開発されている。
発明が解決しようとする問題点 上述のアクチュエータは1.000にg/cm2にも達
する出力を発生可能であるものの、その電歪ストローク
すなわち変位出力が1乃至数ミクロンと僅かで、その結
果、各種機器例えば電子機器への応用、実用化に困難を
来している。
本発明は、積層アクチュエータの変位出力を増幅して該
アクチュエータの各種機器への応用を実現可能にした積
層アクチュエータのストローク増幅器を提供することを
目的とする。
問題点を解決するための手段 本発明の積層アクチュエータのストローク増幅器は、積
層アクチュエータに連結された変位入力部と、該変位入
力部に対向する静止部と、各々、両端が前記変位入力部
と前記静止部とにそれぞれ結合されると共に互いに反対
方向かつ外方に膨出した第1.第2の変位増幅部とより
なる環状体を備え、前記変位入力部と前記静止部間距離
を前記第1.第2の変位増幅部の膨出■より大きい値に
設定した構成よりなる。
作  用 積層アクチュエータの変位出力に応じてストローク増幅
器の変位入力部が変位する。この変位入力部に対向する
静止部が固定されているので、変位入力部と静止部とに
両端が結合された第1.第2の変位増幅部が変形する。
このとき変位入力部と静止部間距離が第1.第2の変位
増幅部の外方への膨出量よりも大きい値に設定されてい
るので、変位入力部を介して積層アクチュエータから入
力された変位は、第1.第2の変位増幅部の一方または
双方から増幅されて取り出される。
実施例 第1図及び第2図は本発明の第1の実施例による積層ア
クチュエータのストローク増幅器を示し、同図において
、該ストローク増幅器は全体として横長かつ一体に形成
された環状体10よりなり、この環状体10は、剛性が
大きくかつ変形時と復元時との間のヒステリシスが小さ
くかつ熱膨張係数の小さい材料たとえばFe−Cr系合
金、 Hi−Co系合金またはアンバー(Fe−Xl−
Hn−Co系合金)で構成されている。そして、環状体
10は、互いに間隔L1において略平行にの延びる変位
入力部11および静止部12を有し、該変位入力部11
の外側面には図示しない積層アクチュエータが連結され
、また、静止部12は図示しない適宜手段で変位不能に
保持されている。さらに、環状体10は、互いに反対方
向かつ外方に膨出した第1.第2の変位増幅部13.1
4を有し、各変位増幅部は全体として左右対称の円弧状
に形成され、その両端が変位入力部11および静止部1
2の対応端にそれぞれ一体に結合されている。そして、
第1.第2の変位増幅部13.14の中央部分の総膨出
聞L2は上記間隔L1より小さい値、好ましくは、間隔
L1の半分以下の値に設定されている。
次に、上述の構成のストローク増幅器の作用を説明する
積層アクチュエータに制御電圧が印加されると、該アク
チュエータに電歪が生じる。このとき、環状体10の静
止部12が変位不能であるので、アクチュエータが連結
された環状体10の変位入力部11は、第3図に2点鎖
線で誇張して示すように、アクチュエータから圧力を伴
って出力される電歪量に対応する距離ΔLだけ静止部1
2に向かって変位する。そして、この変位入力部11の
変位に伴って、変位入力部11および静止部12と一体
に形成された変位増幅部13.14の各々が外方すなわ
ち互いに離反する方向にかつその円弧半径が小さくなる
ように変形し、この変形の結果、各変位増幅部の中央部
分は、変位入力部11と静止部12とを結ぶ軸線に対し
て略直角の方向に距離ΔL′だけ外方に変位する(第3
図)。この変位量ΔL′はΔL・(L1/L2)に略比
例し、ここでは(L1/L2)>1に設定されているの
で、積層アクチュエータの変位出力ΔLが一方もしくは
双方の変位増幅部の中央部分から各該中央部分の変位量
ΔL′ (〉ΔL)に増幅されて取り出される。
そして、環状体10の剛性が大きくかつ変形時と復元時
との間のヒステリシスが小さいので、環状体10は積層
アクチュエータの変位出力の変化に正確に追従する。ま
た、熱膨張率が小さいので、周囲温度の変化に伴い変形
することがなく、誤出力を生ずることがない。なお、環
状体10各部の実際の変形量は僅かなので、環状体の変
位入出力特性は良好な直線性を備える。
第4図は本発明の第2の実施例によるストローク増幅器
を示し、該ストローク増幅器は、環状体10の内部に第
2の環状体20を配して増幅度をさらに増大させた点が
上記実施例のものく第1図)と相違する。
第4図において、第2の環状体20の両端は環状体10
の第1.第2の変位増幅部13.14の中央部分にそれ
ぞれ一体に結合され、また、第2の環状体20の両端間
距離L’ 1は該環状体20の第1.第2の変位増幅部
23.24間距離L’  2よりも大きい値、好ましく
は2倍以上の値に設定されている。なお、第5図に示す
ように、環状体10.20の円弧形状を直線状セグメン
トで近似して構成しても良く、その他の実施例も同様に
変形可能である。
さて、第4図のストローク増幅器の作用は基本的には第
1図のものと同一で、積層アクチュエータからの変位出
力に応じて環状体10の変位入力部11が距離ΔLだけ
変位し、各変位増幅部の中央部分が距離へL’ (QC
(L1/L2)−△L)だけ外方に変位するく第3図参
照〉。この外方変位に伴い、各々、両端がこれら中央部
分に一体に結合された第2の環状体20の第1.第2の
変位増幅部23.24が内方すなわち互いに近接する方
向にかつその弧状半径が大きくなるように変形する。こ
の変形の結果、第2の環状体20の各変位増幅部の中央
部分は、環状体20の両端を結ぶ軸線に対して略直角の
方向に距離△L″ (図示省略)だけ内方に変位する。
この変位岳ΔL″は(L’1/L’ 2)・ΔL′に略
比例し、(L’l/L”2)>1に設定されているので
、アクチュエータの変位出力ΔLの(2・Ll/L2)
倍に等しい環状体10の増幅出力を更に(L’  1/
L’2)倍に増幅したものが第2の環状体20の変位増
幅部の中央部分から取り出される。
第6図は本発明の第3の実施例によるストローク増幅器
を示し、該ストローク増幅器は、第2の環状体20の内
部に第3の環状体30を配して積層アクチュエータの変
位出力の増幅度をさらに増大させた点が上記第2の実施
例のもの(第4図)と相違する。
第6図において、第3の環状体30の両端は第2の環状
体20の第1.第2の変位増幅部23゜24の中央部分
にそれぞれ一体に結合され、また、第3の環状体30の
両端間距離L″1は該環状体30の第1.第2の変位増
幅部33.34間距離L″2よりも大きい値、好ましく
は2倍以上の値に設定されている。
このストローク増幅器の作用は基本的には上記両実施例
のものと同一で、環状体10および20を介してアクチ
ュエータの変位出力を(4・Ll・L’ 1/L2・L
12)倍に増幅した後、さらに第3の環状体30により
(L” 1 /L″2 )倍に増幅して取り出す。
第7図は本発明の第4の実施例によるストローク増幅器
を示し、この装置は、第4のものに比べ、アクチュエー
タを環状体10の変位入力部11の内側面に当接して配
した点、並びに、環状体10により第2の環状体20を
移動自在に支持すると共に第2の環状体の一方の変位増
幅部を変位不能に保持し、他方の変位増幅部から両者の
変位間を取り出し、もって増幅度を2倍にした点が相違
する。
第7図において、第2の環状体20の両端には、環状体
10の変位増幅部13.14の中央部分に形成されたス
ライド溝13a、14aに摺動自在に係合する突起がそ
れぞれ形成されている。また、ストッパ25が第2の環
状体20の一側に配され、このストッパ配設位置は、ス
トッパ25が、自由状態にある第2の環状体の第1の変
位増幅部23の外側面に1度当接するように設定されて
いる。
なお、上記各実施例においてもアクチュエータを変位入
力部の外側面ではなく内側面に配しても良い。
第7図の装置の作用は、第2の環状体20の第1の変形
増幅部23の変形に伴ってこの環状体20全体がスライ
ド溝138,14aに沿って反ストッパ側に変位するよ
うにし、第2の変位増幅部24から両地幅部23.24
の総変位撤を取り出す点以外は第4図のものと略同−で
あるので、説明を省略する。
第8図乃至第10図は、プリンタの印字機構に適用した
本発明の第5図の実施例によるストローク増幅器を示し
、このストローク増幅器は第4図に示す環状体10.2
0を備え、環状体10の静止部11は固定具26に固定
されている。また、積層アクチュエータ40は両環状体
10.20間に配され、その変位出力が環状体10の変
位入力部11の内側に印加されるようになっている。そ
して、ストローク増幅器はテコ機構50をさらに備え、
環状体20からの変位出力を更に増幅すると共に変位出
力を任意の方向に取り出すようにしている。該テコ機構
の可動レバー51の一端は、図示を省略するが、適宜手
段により第2の環状体の第2の変位増幅部24の外側面
に当接した状態に常時保持され、また、レバー51の他
端には図示しない適宜手段により往復動自在に支持され
た連結具52を介して印字ワイヤ60の一端が連結され
ている。なお、レバー51の一端と支点間距離と、他端
と支点間距離との比R(図示路)は1より小さい値に設
定されている。
そして、第10図には印字ワイヤのみを示すが、上述の
構成のストローク増幅器が、印字ヘッドのドツト数すな
わち印字ワイヤと同数、印字ヘッドの周方向に連設され
ている。同図において、参照符号61は印字ワイヤ集合
部である。
次に、上述の構成のストローク増幅器を装備したプリン
タの作用を説明する。
プリンタの制御部(図示路)から送出される印字コード
信号に応じて上記複数のストローク増幅器の所要のもの
に制御電圧が印加されると、各増幅器の積層アクチュエ
ータから変位出力が圧力を伴って環状体10の変位入力
部11に出力される。
この結果、各増幅器が第4図のものと略同様に作動し、
第2の環状体20の変位増幅部23.24が、アクチュ
エータの変位出力ΔLの(2・L1/L2)倍に等しい
環状体10の内方変位の(L’  1/L’  2)倍
だけ外方にそれぞれ変位する。
そして、増幅部24の外方変位は、該増幅部に当接する
テコ機構の可動レバー51の一端に伝達ざ ゛れ、該レ
バーが支点のまわりに図中時計方向に回動し、レバーの
他端およびこれに連結されたワイヤ60が増幅部24の
変位量より大きい距離に亘すワイヤ集合部61側に変位
する。この結果、印字コード信号に応じたドツトパター
ンの印字が行われる。
そして、図示した各部寸法とは一致しないが、例えば、
Ll/L2.L’ 1/L’ 2およびテコ機構での増
幅度Rをそれぞれ5に設定したとすると、各増幅器での
増幅度2・(L1/L2)・(L’  1/L’  2
)・Rの値は250になる。一般に、積層アクチュエー
タの変位出力は1乃至数ミクロンのオーダーで、プリン
タの印字ワイヤ駆動に適用不能であるが、本発明によれ
ば、上記設定例に示すように、印字ワイヤを印字動作に
必要な数百ミクロン以上に亘すストロークさせることが
でき、従って、従来印字駆動系に用いられている電磁ソ
レノイドに比べて応答性に優れ、また、発熱量も少ない
積層アクチュエータをプリンタの駆動源に使用できる。
上記実施例では、環状体をFe−Cr系合金等で構成し
たが、これをセラミックで構成しても良い。
この場合、剛性の観点からは各種セラミックを使用可能
であるが、好ましくは、弾性率の比較的高いもの、例え
ば部分安定化ジルコニア等の靭性セラミックを使用する
発明の効果 上述のように、本発明によれば、積層アクチユエータに
連結された変位入力部およびこれに対向する静止部に、
全体として入力部と静止部間距離より大きい量だけ膨出
させた第1.第2の変位増幅部の各々の両端を結合させ
、変位入力部を介して入力した積層アクチュエータの変
位出力を第1゜第2の変位増幅部の一方または双方から
増幅して取り出せるようにしたので、積層アクチュエー
タを各種機器の駆動源として使用可能な程度まで該アク
チュエータの変位出力を増幅できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例による積層アクチュエー
タのストローク増幅器を示す概略水平断面図、第2図は
第1図の増幅器の概略側面図、第3図は上記増幅器の動
作を説明するための図、第4図は本発明の第2の実施例
によるストローク増幅器を示す概略水平断面図、第5図
は第4図の増幅器の変形例を示す概略平面図、第6図は
本発明の第3の実施例によるストローク増幅器を示す概
略平面図、第7図は本発明の第4の実施例によるストロ
ーク増幅器を示す一部断面概略平面図、第8図は本発明
の第5の実施例によるストローク増幅器を示す概略平面
図、第9図は第8図の増幅器の概略側面図、および第1
0図は第8図のストローク増幅器が搭載されたプリンタ
のワイヤ集合部の半部を示す部分概略端面図である。 10.20.30・・・環状体、11・・・変位入力部
、12・・・静止部、13.23.33・・・第1の変
位増幅部、14.24.34・・・第2の変位増幅部、
13a、14a・・・スライド溝、40・・・積層アク
チュエータ、50・・・テコ機構、60・・・印字ワイ
ヤ。 筐10 第3図 J1!7  図 ′$ 8 回 5!17−コa!イ鼻

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)積層アクチュエータに連結された変位入力部と、
    該変位入力部に対向する静止部と、各々、両端が前記変
    位入力部と前記静止部とにそれぞれ結合されると共に互
    いに反対方向かつ外方に膨出した第1、第2の変位増幅
    部とよりなる環状体を備え、前記変位入力部と前記静止
    部間距離を前記第1、第2の変位増幅部の膨出量より大
    きい値に設定した積層アクチュエータのストローク増幅
    器。
  2. (2)前記環状体はその内部に順次配されかつ互いに結
    合された少なくとも一つの第2の環状体を有し、各該第
    2の環状体は、互いに反対方向かつ外方に膨出した第1
    、第2の変位増幅部を有すると共にその両端が当該第2
    の環状体を収容するものの前記第1、第2の変位増幅部
    の中央部分にそれぞれ結合され、また、その両端間距離
    が当該第2の環状体の第1、第2の変位増幅部の膨出量
    より大きい値に設定された特許請求の範囲第1項記載の
    積層アクチュエータのストローク増幅器。
  3. (3)前記環状体が、剛性が大きく、変形時と復元時と
    の間のヒステリシスが小さく、かつ、熱膨張係数の小さ
    い材料で構成された特許請求の範囲第1項または第2項
    記載の積層アクチュエータのストローク増幅器。
JP62048884A 1987-03-05 1987-03-05 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器 Pending JPS63216392A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62048884A JPS63216392A (ja) 1987-03-05 1987-03-05 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62048884A JPS63216392A (ja) 1987-03-05 1987-03-05 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63216392A true JPS63216392A (ja) 1988-09-08

Family

ID=12815709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62048884A Pending JPS63216392A (ja) 1987-03-05 1987-03-05 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63216392A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06310771A (ja) * 1993-04-22 1994-11-04 Nec Corp 圧電素子変位増幅機構およびその駆動方法
CN102983777A (zh) * 2012-11-20 2013-03-20 西安交通大学 级联放大式可调步长压电作动器
CN103001531A (zh) * 2012-11-20 2013-03-27 西安交通大学 单压电堆大位移作动器
CN103022339A (zh) * 2012-12-28 2013-04-03 东南大学 正交型压电位移放大机构
CN106516104A (zh) * 2016-11-30 2017-03-22 哈尔滨工业大学 用于降低旋翼振动的装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06310771A (ja) * 1993-04-22 1994-11-04 Nec Corp 圧電素子変位増幅機構およびその駆動方法
CN102983777A (zh) * 2012-11-20 2013-03-20 西安交通大学 级联放大式可调步长压电作动器
CN103001531A (zh) * 2012-11-20 2013-03-27 西安交通大学 单压电堆大位移作动器
CN103022339A (zh) * 2012-12-28 2013-04-03 东南大学 正交型压电位移放大机构
CN106516104A (zh) * 2016-11-30 2017-03-22 哈尔滨工业大学 用于降低旋翼振动的装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20040101150A1 (en) Piezoelectric driver device with integral sensing layer
US5083056A (en) Displacement generating apparatus
JP3042333B2 (ja) 電気信号変位変換装置、当該変換装置を用いた機器、および当該変換装置を用いた流体搬送装置の駆動方法
US6118637A (en) Piezoelectric assembly for micropositioning a disc drive head
US5103361A (en) Magnetic head apparatus having non-magnetic metal interposed between piezoelectric members
EP0901172A1 (en) Piezoelectric actuator
KR20020023960A (ko) 온도 보상되는 압전 액추에이터
JPS63216392A (ja) 積層アクチユエ−タのストロ−ク増幅器
KR20040064268A (ko) 곡선진 전기-활성 작동기
JP6673579B2 (ja) アクチュエータ
JPS6237835A (ja) 機械的増幅機構
GB2365206A (en) Piezoelectric driver device with integral piezoresistive sensing layer
JPH0455355B2 (ja)
JPS5945165A (ja) インパクト印字ヘツド
JP2606069B2 (ja) 圧電素子変位増幅機構およびその駆動方法
JPS631383A (ja) 圧電アクチユエ−タ
JPH01185175A (ja) 機械的増幅機構
JP2021019051A (ja) 圧電アクチュエータおよびその製造方法
JPH0434039Y2 (ja)
JP2706083B2 (ja) 圧電アクチュエータ
JPH0438152B2 (ja)
JPH0519994B2 (ja)
JPH0432284Y2 (ja)
JPH0746908B2 (ja) 位置決め装置
JPH0438177A (ja) 圧電アクチユエータ