JPS63216254A - イオンビ−ムモニタ−用フアラデ−カツプ - Google Patents
イオンビ−ムモニタ−用フアラデ−カツプInfo
- Publication number
- JPS63216254A JPS63216254A JP4934387A JP4934387A JPS63216254A JP S63216254 A JPS63216254 A JP S63216254A JP 4934387 A JP4934387 A JP 4934387A JP 4934387 A JP4934387 A JP 4934387A JP S63216254 A JPS63216254 A JP S63216254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- faraday cup
- hole
- monitoring
- rotary shaft
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title abstract description 12
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、荷電粒子ビームを応用した半導体製造装置
に用いるファラデーカップに関するものである。
に用いるファラデーカップに関するものである。
この発明は、荷電粒子ビームを応用した半導体製造装置
に用いるファラデーカップに於いて、非モニタ一時に、
ファラデーカップを回転させ筒体側面の穴からビームを
逃がすことによって、ファラデーカップを移動するスペ
ースを縮小し、装置本体を小型化できるようにしたもの
である。
に用いるファラデーカップに於いて、非モニタ一時に、
ファラデーカップを回転させ筒体側面の穴からビームを
逃がすことによって、ファラデーカップを移動するスペ
ースを縮小し、装置本体を小型化できるようにしたもの
である。
従来の荷電粒子ビームをモニターするファラデーカップ
は、非モニタ一時には直線導入端子１回転導入端子を用
いて、第２図（ａｌ、 （ｂｌの矢印１８．１９の方向
にファラデーカップ全体を平行移動することによってビ
ームライン１から外していた。
は、非モニタ一時には直線導入端子１回転導入端子を用
いて、第２図（ａｌ、 （ｂｌの矢印１８．１９の方向
にファラデーカップ全体を平行移動することによってビ
ームライン１から外していた。
しかし、上記のようなファラデーカップでは、真空容器
内に平行移動した位置にファラデーカップ分のスペース
が必要となる。又、カップを平行移動させるために、ベ
ローズ、直線導入端子等が必要となり、カップを真空容
器内部で移動させる機構も複雑になるという欠点を有し
ていた。
内に平行移動した位置にファラデーカップ分のスペース
が必要となる。又、カップを平行移動させるために、ベ
ローズ、直線導入端子等が必要となり、カップを真空容
器内部で移動させる機構も複雑になるという欠点を有し
ていた。
そこで、この発明は従来のこのような欠点を解決するた
めに、ビームラインからファラデーカップ全体を平行移
動することなしに、ビームのモニター、非モニター（ビ
ームの通り抜け）が出来るファラデーカップを得ること
を目的としている。
めに、ビームラインからファラデーカップ全体を平行移
動することなしに、ビームのモニター、非モニター（ビ
ームの通り抜け）が出来るファラデーカップを得ること
を目的としている。
上記問題点を解決するために、本発明においては、筒体
側面に穴と回転軸を設置することにより、穴からビーム
が通り抜けられるようにした。
側面に穴と回転軸を設置することにより、穴からビーム
が通り抜けられるようにした。
上記のような穴と回転軸が設置されたファラデーカップ
においては、ビームモニター位置から非モニター位置に
移る際、回転軸を９０″回転して、ビームが側面の穴よ
り通り抜けることが出来る。
においては、ビームモニター位置から非モニター位置に
移る際、回転軸を９０″回転して、ビームが側面の穴よ
り通り抜けることが出来る。
このようにして、ビームを通すことにより、ファラデー
カップ全体を平行移動する必要がなくなるので、機構も
節単になり又、真空容器も小型化出来る。
カップ全体を平行移動する必要がなくなるので、機構も
節単になり又、真空容器も小型化出来る。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図（ａｌは、本発明のファラデーカップのビームモニタ
一時における概要図、第１開山）は、非モニタ一時にお
ける概要図である。尚、これら各図及び以後の図におい
て同一のものは同一の符号で示す。
図（ａｌは、本発明のファラデーカップのビームモニタ
一時における概要図、第１開山）は、非モニタ一時にお
ける概要図である。尚、これら各図及び以後の図におい
て同一のものは同一の符号で示す。
第１図において、ファラデーカップはビーム導入口３、
穴５、回転軸６が設置されている筒体４で構成されてい
る。前記回転軸６は、絶縁材７を介して回転導入端子８
に支持され、真空容器２外部から操作できるようになっ
ている。又、ファラデーカップは、ケーブル９を通して
電流導入端子ｌＯと接続し、電流を測定する。
穴５、回転軸６が設置されている筒体４で構成されてい
る。前記回転軸６は、絶縁材７を介して回転導入端子８
に支持され、真空容器２外部から操作できるようになっ
ている。又、ファラデーカップは、ケーブル９を通して
電流導入端子ｌＯと接続し、電流を測定する。
第１図ｔａ＋のようにビームモニタ一時には、ビーム導
入口３をビームライン１に向けることにより、ビームが
ファラデーカップ内に入りケーブル９、電流導入端子１
０を通して電流を測定する。
入口３をビームライン１に向けることにより、ビームが
ファラデーカップ内に入りケーブル９、電流導入端子１
０を通して電流を測定する。
第１開山）のように非モニタ一時には、真空容器２外部
から回転導入端子を操作して、回転軸６を９０°回転さ
せ、穴５をビームライン１に向はビームを通す、これに
よって、ビームを下流域の目的とする位置に導くことが
できる。
から回転導入端子を操作して、回転軸６を９０°回転さ
せ、穴５をビームライン１に向はビームを通す、これに
よって、ビームを下流域の目的とする位置に導くことが
できる。
次に、第３図は他の具体例を示したもので、ビーム導入
口３と穴５が重なっているものの例を示している。
口３と穴５が重なっているものの例を示している。
第４図は、さらに他の具体例を示したもので、回転導入
端子と電流導入端子を一体化したものである。ファラデ
ーカップに接続した回転軸ｌ！を真空容器２外部に出し
、まわりを絶縁材１２を用いて絶縁し、Ｏリング１６で
シールし、ヘアリング１５で支持している。ここで絶縁
材１２は、ボルト１３を使いプレート１４で押さえつけ
られ、０リング１７で真空容器２とシールしである。こ
れによって、回転軸１１で電流測定ができる。
端子と電流導入端子を一体化したものである。ファラデ
ーカップに接続した回転軸ｌ！を真空容器２外部に出し
、まわりを絶縁材１２を用いて絶縁し、Ｏリング１６で
シールし、ヘアリング１５で支持している。ここで絶縁
材１２は、ボルト１３を使いプレート１４で押さえつけ
られ、０リング１７で真空容器２とシールしである。こ
れによって、回転軸１１で電流測定ができる。
この発明は、以上説明したようにファラデーカップの筒
体の側面に穴と回転軸を設け、回転軸を回して、穴から
ビームを通すことにより、非モニタ一時にファラデーカ
ップを逃がすスペースが必要がないので、機構の簡単化
、真空容器の小型化に効果を有する。
体の側面に穴と回転軸を設け、回転軸を回して、穴から
ビームを通すことにより、非モニタ一時にファラデーカ
ップを逃がすスペースが必要がないので、機構の簡単化
、真空容器の小型化に効果を有する。
第１図（ａｌは、ビームモニタ一時の断面図、第１図（
ｂｌは、非モニタ一時の断面図、第２図（ｆｌ）及びｆ
ｂｌは、従来のファラデーカップの移動時の斜視図、第
３図は、ファラデーカップの形状の一例を示す正面図、
第４図は、回転導入機構と電流導入端子を一体化したも
のの一例を示す断面図である。 １・・・ビームライン ３・・・ビーム導入口 ４・・・穴 ５・・・筒体 ６・・・回転軸 ８・・・回転導入端子 、 １１・・・回転軸 １２ ・ ・ ・ １色縁材 １５・・・ベアリング １６・・・０リング 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ヒ゛−４ｔニター閂の吋面図 第１図（ａ） 井をニアー吋力ＩＦｒ面図 第１図（ｂ） （疋釆の７アウテ”−力・、）゛の羽１力方向の斜視図
第２図（ａ） 径太／”１７了ラブ一方ツ７゛のネ多朽方向〇茫了！図
第２図（ｂ）
ｂｌは、非モニタ一時の断面図、第２図（ｆｌ）及びｆ
ｂｌは、従来のファラデーカップの移動時の斜視図、第
３図は、ファラデーカップの形状の一例を示す正面図、
第４図は、回転導入機構と電流導入端子を一体化したも
のの一例を示す断面図である。 １・・・ビームライン ３・・・ビーム導入口 ４・・・穴 ５・・・筒体 ６・・・回転軸 ８・・・回転導入端子 、 １１・・・回転軸 １２ ・ ・ ・ １色縁材 １５・・・ベアリング １６・・・０リング 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ヒ゛−４ｔニター閂の吋面図 第１図（ａ） 井をニアー吋力ＩＦｒ面図 第１図（ｂ） （疋釆の７アウテ”−力・、）゛の羽１力方向の斜視図
第２図（ａ） 径太／”１７了ラブ一方ツ７゛のネ多朽方向〇茫了！図
第２図（ｂ）
Claims (1)
- 筒体と、前記筒体側面に設けられた穴と回転軸と、前記
回転軸の一端と接続された回転導入端子とからなるファ
ラデーカップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4934387A JPS63216254A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | イオンビ−ムモニタ−用フアラデ−カツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4934387A JPS63216254A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | イオンビ−ムモニタ−用フアラデ−カツプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63216254A true JPS63216254A (ja) | 1988-09-08 |
Family
ID=12828356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4934387A Pending JPS63216254A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | イオンビ−ムモニタ−用フアラデ−カツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63216254A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159543A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 粒子加速器のビームモニタ装置 |
| JPH07302563A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Shimadzu Corp | 分析装置 |
| CN101952942A (zh) * | 2008-02-14 | 2011-01-19 | 瓦里安半导体设备公司 | 测量粒子束特性的装置及其方法 |
| CN102569117A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-11 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入束线法拉第 |
| CN103675888A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 中国科学院电子学研究所 | 法拉第筒探头 |
-
1987
- 1987-03-04 JP JP4934387A patent/JPS63216254A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159543A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 粒子加速器のビームモニタ装置 |
| JPH07302563A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Shimadzu Corp | 分析装置 |
| CN101952942A (zh) * | 2008-02-14 | 2011-01-19 | 瓦里安半导体设备公司 | 测量粒子束特性的装置及其方法 |
| US8097866B2 (en) * | 2008-02-14 | 2012-01-17 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus for measuring beam characteristics and a method thereof |
| CN102569117A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-11 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入束线法拉第 |
| CN103675888A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 中国科学院电子学研究所 | 法拉第筒探头 |
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