JPS6321567A - プロ−ブコンタクト - Google Patents
プロ−ブコンタクトInfo
- Publication number
- JPS6321567A JPS6321567A JP61166441A JP16644186A JPS6321567A JP S6321567 A JPS6321567 A JP S6321567A JP 61166441 A JP61166441 A JP 61166441A JP 16644186 A JP16644186 A JP 16644186A JP S6321567 A JPS6321567 A JP S6321567A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contact pin
- insulator
- reference electrode
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体測定装置であるプローブコンタクトに関
する。
する。
従来、この種のプローブコンタクトは第２図に示すよう
にコンタクトピン２をばね３にて支持し、該コンタクト
ピン２を中空の基準電極４内に挿通した構造になってお
り、この構造の複数本のプローブコンタクトを用いて半
導体素子等の測定を行っている。
にコンタクトピン２をばね３にて支持し、該コンタクト
ピン２を中空の基準電極４内に挿通した構造になってお
り、この構造の複数本のプローブコンタクトを用いて半
導体素子等の測定を行っている。
上述した従来のプローブコンタクトはコンタクトピン２
をばね３にて支持しているが、コンタクトピン２と基準
電極４との間はその両者間にスペースをあけておくこと
により空気層の介在により絶縁しているため、コンタク
トピン２が左右に振れて電極４に直接接触してしまうこ
とがあり、基＄電極４を通してコンタクトピン相互間の
干渉（クロストーク）が生じ、測定上、不安定な信号を
生じてしまうという問題点があった。
をばね３にて支持しているが、コンタクトピン２と基準
電極４との間はその両者間にスペースをあけておくこと
により空気層の介在により絶縁しているため、コンタク
トピン２が左右に振れて電極４に直接接触してしまうこ
とがあり、基＄電極４を通してコンタクトピン相互間の
干渉（クロストーク）が生じ、測定上、不安定な信号を
生じてしまうという問題点があった。
本発明の目的はコンタクトピン相互間のクロストークを
除去するプローブコンタクトを提供することにある。
除去するプローブコンタクトを提供することにある。
本発明はコンタクトピンをばねにて支持して、該コンタ
クトピンを中空の基準電極内に挿通してなるプローブコ
ンタクトにおいて、基準電極とコンタクトピンとの間に
絶縁体を介装したことを特徴とするプローブコンタクト
である。
クトピンを中空の基準電極内に挿通してなるプローブコ
ンタクトにおいて、基準電極とコンタクトピンとの間に
絶縁体を介装したことを特徴とするプローブコンタクト
である。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図に示すように、本実施例はコンタクトピン２をば
ね３にて支持して、該コンタクトピン２を中空の基準電
極４内に挿通し、筒状の絶縁体１の大径の貫通孔ｌａ内
にコンタクトピン２を通して該絶縁体１によりコンタク
トピン２の外周を取り巻いて絶縁体１を基準電極４の内
周壁に装着したものである。
ね３にて支持して、該コンタクトピン２を中空の基準電
極４内に挿通し、筒状の絶縁体１の大径の貫通孔ｌａ内
にコンタクトピン２を通して該絶縁体１によりコンタク
トピン２の外周を取り巻いて絶縁体１を基準電極４の内
周壁に装着したものである。
したがって、コンタクトピン２が左右に振れたとしても
、その外周に絶縁体１が存在するため。
、その外周に絶縁体１が存在するため。
該絶縁体１によりコンタクトピン２と基準電極４との接
触が回避されることとなり、コンタクトピン相互間にク
ロストークが生ずることはない。
触が回避されることとなり、コンタクトピン相互間にク
ロストークが生ずることはない。
以上説明したように本発明はコンタクトピンと基準電極
とを絶縁体にて絶縁するようにしたので、基準電位の安
定化を図ることにより、コンタクトピン間の干渉（クロ
ストーク）、雑音等を除去し。
とを絶縁体にて絶縁するようにしたので、基準電位の安
定化を図ることにより、コンタクトピン間の干渉（クロ
ストーク）、雑音等を除去し。
安定した信号を送り、半導体素子等を正確に測定できる
効果がある。
効果がある。
第１図は本発明のプローブコンタクトを示す斜視図、第
２図は従来のプローブコンタクトを示す斜視図である。
２図は従来のプローブコンタクトを示す斜視図である。
Claims (1)
- （１）コンタクトピンをばねにて支持して、該コンタク
トピンを中空の基準電極内に挿通してなるプローブコン
タクトにおいて、基準電極とコンタクトピンとの間に絶
縁体を介装したことを特徴とするプローブコンタクト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61166441A JPS6321567A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | プロ−ブコンタクト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61166441A JPS6321567A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | プロ−ブコンタクト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321567A true JPS6321567A (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=15831459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61166441A Pending JPS6321567A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | プロ−ブコンタクト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321567A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101434A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-16 | Hitachi Ltd | プロ−ブカ−ド |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP61166441A patent/JPS6321567A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58101434A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-16 | Hitachi Ltd | プロ−ブカ−ド |
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