JPS63206332A

JPS63206332A - 赤外線反射ガラスの製造方法

Info

Publication number: JPS63206332A
Application number: JP3777787A
Authority: JP
Inventors: Koichi Suzuki; 巧一鈴木; Masashi Tada; 昌史多田; Takuji Oyama; 卓司尾山; Hiroyasu Kojima; 啓安小島
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1987-02-23
Filing date: 1987-02-23
Publication date: 1988-08-25
Also published as: JPH0511053B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は赤外線反射ガラス、特に自動車の窓ガラスに適
した赤外線反射ガラスに関するものである。

［従来の技術］従来、窓ガラスを通して自動車室内に流入する太陽光を
一部カットし、自動車室内部の温度上昇を低減し、冷房
負荷を軽減する目的で、あるいは、直射光を減らすこと
によって感覚的に暑さを低減して快適性を向上させるな
どの目的で、赤外線反射ガラス（ソーラーコントロール
ガラス）あるいは熱線吸収ガラスの採用が検討されてき
た。しかしながら、安全性の面から視認性を確保するた
めに可視光透過率７０％以上という規格が日本及び米国
にあり、またヨーロッパでは７５％以上という規格があ
るため、要求される特性を満足する赤外線反射ガラスに
被着される膜としては、透明酸化物膜／Ａｇ膜（膜厚１
００〜２００人）／透明酸化物膜の構成に限られていた
。（特公昭４７−１１１３１５号公報参照）この構成に
用いられる透明酸化物膜としては、Ｔ１０２１ＺｒＯ２
，ＨｆＯ２、５ｎ０２．　ＺｎＯ，Ｉｎ２Ｏ３あるいは
これらの混合物などからなる膜が知られていた。この構
成を用いた場合には、可視光透過率が８０％を超える赤
外線反射ガラスも容易に得られる。

しかしながら、このＡｇ膜を用いた系の最大の欠点は、
耐擦傷強度や化学的耐久性が極端に悪いことである。大
気中に数日間放置するだけで劣化が始まる。ウェーザー
メーター試験や天然バクロ試験、恒温恒湿試験などでも
、１日とたたないうちに著しい膜の変質を生ずる。した
がって、このＡｇ膜を用いた赤外線反射ガラスは、合せ
ガラス、または複層ガラスとしてしか用いることができ
ず、自動車の窓ガラス用の場合は通常合せガラスとして
用いざるを得ない。

しかしながら、合せガラスとじて用いられるのは、高級
車を除いては自動車の場合フロントガラスのみであり、
特に側面ガラス、リヤガラス用の赤外線反射ガラスとし
ては単板であることがコスト面から要求されている。こ
のような単板で用いられる側面ガラスやリヤガラスに使
える自動車用赤外線反射ガラスはこれまでは実現されて
いなかった。

一方、スウェーデンの研究グループの発表した文献（Ｂ
、Ｋａｒｌｇｓｏｎ、　Ｃ，Ｇ、Ｒｉｂｂｉｎｇ　：　
５ＰＩＥＶｏ１．３２４　　”０ｐｔｉｃａｌ　Ｃｏａ
ｔｉｎｇｓ　ｆｏｒ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｅｆｆｉｃ−ｉｅ
ｎｃｙ　ａｎｄ　５ｏｌａｒ　Ａｐｐ目ｃａｔｉｏｎｓ
”　（１９８２）ｐ、５２〜５７）により、Ｔｉｎ、　
ＺｒＮ、　）ｌｆＮ　（１）薄膜を高屈折率透明誘電体
膜でサンドイッチすることにより、　Ａｇなどの貴金属
薄膜を用いた３層系赤外綿反射膜に代わりうる赤外線反
射膜が得られる可能性があることが示唆されていた。し
かしながら、彼らのデータは、高温ＣＶＤ法により作成
しだ厚膜のＴｉｅ、　ＺｒＮ、　ＨｆＨの光学定数を用
いて透明誘電体膜（ｎ−２，４）／　ＴｉＮ膜、又はＺ
ｒＮｌｌ１、又は）ＨｆＨ膜（膜厚：１００人〜５００
人）／透明誘電体膜（ｎ＝２．４）の構成で計算したも
のである。しかしながら、窒化膜を薄くしていくと、次
第にバルクの光学定数とは異なってくるので、計算どお
りの膜を作成することはきわめて困難である。

事実１通常のマグネトロンスパッタ法で１作成したＴｉ
Ｎ薄膜の光学定数を用いて計算したところ、可視域での
視感度透過率は最適膜厚の組み合わせで最大７０％であ
り、試作結果では８０％ぐらいであった。

次に、本発明者らは、通常のマグネトロンスパッタに高
周波プラズマを付加することにより、スパッタ圧力を１
０１Ｔｏｒｒから１０−’Ｔｏｒｒ台に下げた結果、高
品質のＴｉＮ　ＩＩＩｅＺｒＮ膜が得られることを見い
出した。その膜の光学定数は、通常のスパッタ膜よりは
バルクのそれに近く、高い赤外反射率を示した。その膜
を使用して、Ｔ　ｉ０２／　ＴｉＮ　／　ＴｉＯ＋＋の
膜構成で可視光透過率がどこまで向上するか調べたが、
実際上８５％が限度であった０文献（Ｒ，Ｐ、Ｈｏｗｓ
ｏｎ、　Ｍ、１．Ｒ４ｄｇｅ、Ｋ。

５ｕｚｕｋｉ　：５ＰＩＥ　Ｖｏｌ、４２Ｂ　”０ｐｔ
ｉｃａｌ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ａｎｄＰｒｏｃｅｓｓ
　　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｆｏｒ　　Ｅｎｅｒｇ７　
　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙａｎｄ　５ｏｌａｒ　Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ”　ｐ、１４〜２１参照）［発明の解
決しようとする問題点］従来の自動車用高透過赤外線反射ガラス、即ちソーラー
コントロールガラスは前述のように　１００〜２００人
のＡｇ薄膜を透明酸化物膜でサンドイッチした構成を有
しているので、耐擦傷強度、化学的な耐久性が著しく悪
く、よって合せガラスや複層ガラスとしてしか用いるこ
とができないという問題点を有していた。

また、Ｔｉｅ、　ＺｒＮ、　ＨｆＮなどの膜を透明酸化
物膜又は誘電体膜でサンドイッチした構成は、これまで
の蒸着やスパッタなどで作成した窒化物薄膜の光学定数
が、バルクのそれと大きくかけはなれているために、理
論的には、可視光透過率が７０％以上になるということ
は知られていたにもかかわらず、実際には８５％という
のが、実現されたにとどまっていた。

［問題点を解決するための手段］本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、本発明は、ガラス基板面に少なくとも透明誘電体膜
又は透明導電性酸化物膜からなる第１層と、窒化膜から
なる第２層と、透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜か
らなる第３層が形成されてなり、上記窒化膜はＺｒ、　
Ｔｉ及びＨｆの少なくとも１種を含む窒素含有合金を主
成分とするものであって、該窒化膜はアーク蒸着法によ
り形成されていることを特徴とする赤外線反射ガラスを
提供するものである。

第１図は、本発明に係る赤外線反射ガラスの一部断面図
を示したものであり、ｌはソーダライムシリケートガラ
スからなる普通板ガラス。

フロート板ガラス、各種色調の熱線吸収ガラス、アルミ
ノシリケートガラス、リジウムアルミノシリケートガラ
ス、硼珪酸塩ガラスその他各種ガラスから選ばれるガラ
ス基板、２は透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜から
なる第１層、３は窒化膜からなる第２層、４は透明誘電
体膜又は透明導電性酸化物膜からなる第３層を示す。

本発明は、上記した様な３層構成の赤外反射性膜が形成
されるものであるが、場合によってはガラス基板と赤外
反射性膜との間に１層又は複数層のガラスからのアルカ
リ成分溶出防止膜や付着性向上膜やその他塔種機能膜を
形成してもよいし、あるいは又上記赤外反射性膜の上層
に１層又は複数層の保護膜や各種機能膜を形成してもよ
い。

本発明における最も大きな特徴は、窒化膜をアーク蒸着
法により形成していることにある。

文献（ＳＰＩＥ　Ｖｏｌ、３２４　ｐ、５２〜５７）に
記載されているＴｉＯ２膜／ＴｉＮ膜／ＴｉＯ２膜、Ｚ
　ｒ０２膜／ＺｒＮ１１ｉ／ＺｒＯ２膜、ＨｆＯ２膜／
ＨｆＮ膜／ＨｆＯ２膜の分光特性は、すべて高温ＣＶＤ
法によって作成した厚１１ＴｔＮ、ＺτＮ、　Ｈｆ１４
の光学定数を用いて算出したものである。したがって、
可視光透過率が７０％以上のものが、得られるように示
されているが、これに用いられるＴｉＮ、　ＨｆＮ、　
ＺｒＮの薄い膜で、バルクに近い高温ＣＶＤ法で作成し
た膜の光学定数を再現することはきわめて困難である。

この場合要求されるのは　１００〜２００人の膜厚で平
坦で、かつ、バルクの特性に近いことであり、高温ＣＶ
Ｄ法では、このような膜を実現することは不可能である
。即ち、高温ＣＶＤ法では粒成長しやすいため島状構造
をとりやすく、連続した薄い平坦性の優れた膜を作るこ
とはきわめて難しい、また、実際上、自動車に用いられ
る光学特性の均一性はきわめて厳しいので、面内分布が
生じやすく、しかも高温加熱が必要とされるＣＶＤ法は
適しているとは言えない。

次に考えられるのは、物理的な手法、即ち蒸着法やスパ
ッタ法やイオンブレーティング法を用いることである。

蒸着法は、反応性に乏しく、窒化膜を形成することはで
きない、生産性を考えると最も適しているのが、スパッ
タ法である。特に、プレーナーマグネトロンスパッタ法
は、建築用赤外線反射ガラス、自動車用赤外線反射ガラ
スの生産に使われており、優れた均一性と生産性を有し
ている。このスパッタ法により窒化膜を形成することは
可能である。しかしながら、このスパッタ法も光学的反
応性、エネルギーが不足しており、十分な特性を有した
窒化膜を得ることは困難である０図２に、この方法で試
作した中で最もバルクに近い特性を有すると考えられる
スパッタ法によるＴｉＮ膜（３００ム）の光学定数を用
いて、計算したＴｉＯ２膜（屈折率２．３）　／　Ｔｉ
Ｎ膜／ＴｉＯ２膜（屈折率２．３）の３層系膜を有した
ガラスの分光透過率（Ｔｉ値）を示した。これから明ら
かなように、３００人の膜の光学定数を有した１００人
のＴｉＮ膜の場合で可視光透過率（Ｔｉ）は７０％にぎ
りぎり到達するが、実際には、実用を考えた場合、７０
％を超えることは不可能と言わざるを得ない。

次に文献（ＳＰＩＥ　Ｖｏｌ、４２８　ｐ、１４〜２１
）　ニ示される低圧力高周波プラズマ支１１０Ｃマグネ
トロンスパッタ法の場合について説明する。この方法は
、通常のマグネトロンスパッタ法の基板とターゲットの
間に高周波導入用コイルを設け、高周波プラズマを発生
させることによって、スパッタの作業圧力を２Ｘ　１０
−’Ｔｏｒｒ近傍まで広げたものである。この方法の特
徴は、　１０−’Ｔｏｒｒ台で得られるＴｉｅ、　Ｚｒ
Ｎ膜などが、金色で高い赤外反射性能を示し、バルク特
性に近くなることにある、したがって、この方法で作成
した膜を用いることにより、前述の７０％以上の可視光
透過率′　を有する赤外線反射膜を形成できるはずであ
る。しかしながら、図３に示すように、６５％前後の可
視光透過率が得られたにとどまり、今のところ７０％を
越えるものは実現されていない。

アーク蒸着法とは、文献（Ｐｒｏｃ、　ＩＰＡＴ　’８
５゜Ｍｕｎｉｃｈ　１１３８５　ｐ、２０５　：　Ｐ、
Ｈａｆｆｏ　ａｎｄ　Ｄ、Ｇ、Ｔｅｅｒ。

文献）などに記載されている手法であり、その特徴は、
蒸発物質及びガスの著しく高いイオン化率にある０文献
によると、　１００％の金属がイオン化されるとも言わ
れている。その結果、非常に高い反応性が得られ、金属
と窒素が十分反応し、しかも、イオン化率の影響により
、バルクに近い特性を有した緻密な硬い窒化膜（特にＴ
ｔＮ　）が得られるとされている。

本発明においては、窒化膜のバルク特性を１００〜２０
０人前後の薄膜で実現するために上記のアーク蒸着法を
採用した。

透明誘電体膜又は透明電導性酸化物膜の形成方法として
は、特に規定するものではないが、アーク蒸着法との組
み合わせが可能なスパッタ法などが適している。

しかし、より硬い膜が必要な場合には、ＲＦバイアスス
パッタ法や、イオンブレーティング法などを用いてもよ
いし、また、窒化膜と同じアーク蒸着法を用いてもかま
わない。光学特性面からは窒化膜の形成方法が問題であ
る。

ここでいうアーク蒸着法は、前記文献の方法のみではな
く、アーク放電を利用して作成した高密度のプラズマを
用いた薄膜形成手段でもかまわない、必要なことは、窒
化膜を形成する際に著しく高い密度のプラズマにより金
属がほとんどイオン化あるいは励起化されることが必要
なのである。

図４にＴ　ｉ０２膜／ＺｒＮ膜／ＴｉＯ２膜の構成で、
ＴｉＯ２膜の屈折率２．５０、吸収係数０、ＺｒＮ膜の
屈折率、吸収係数を高温ＣＶＤ膜（文献値）の値と仮定
して光学特性（可視光透過率Ｔｖ＋太陽光透過率ＴＥ）
を計算した結果を示している。横軸はＴｉ０ｚｌｌ！厚
である０図から明らかなように、ＺｒＮ膜が１０（１人
の場合、Ｔｖａ＋ａｘｓ７９％であり、その時、ＴＥ−
８５％となる。また、ＺｒＮ　ＩＩＩが２００人の場合
はＴｖｍａｘ−７５％であり、その時Ｔ［・５４％とな
る。

図５は、Ｔｉｈ膜の屈折率が２．３の場合であり、Ｚｒ
Ｎ膜が１００人のときはＴＶ−７９％となり、そのとき
↑Ｅ−６６％、　ＺｒＮ　ＩＩＩが２００人のときは。

丁ＶＩａ１１〜７４％であり、そのとき　ＴＥ寓５３％
となる。

図２は、ＴｉＯ２膜／スパッタ法により形成したＴｉＮ
膜／Ｔｉ０ｚ膜の３層構成について、中間のＴｉＮｌｌ
５１でＣＶＤ法によるＴｉＮ膜の場合と比較して、Ｔｖ
値のＴｉＣｈ膜厚依存性を示している０図から明らかな
ようにＺｒＮ膜１００人で、　ＴＢａｘ館７１％であり
、バルクに近いＴｉＮ膜を使った場合とＴｖｍａｉに大
きな違いがあることがわかる。よって、従来のスパッタ
法を使うかぎりにおいてはＴｖ＞７０％を達成すことは
きわめて難しいと言わざるを得ない。

［作用］本発明の透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜／窒化膜
／透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜の三層構成にお
いて、第２層の窒化膜は赤外線反射機能を受は持つもの
であり、できるだけバルク特性に近いことが必要とされ
る。バルクに近い窒化物薄膜は、高い赤外反射率を示し
、かつ適度な可視光透過率を有する。その膜厚は必要と
されるＴＶ値にもよるが７０〜４００人の範囲から選択
される。特に、自動車用窓として要求されるＴｖ≧７０
％以上を得るためには、１００〜３００人が適当である
。アーク蒸着法は上記のようなバルクに近い窒化膜を７
０〜４００人の厚さで作ることを可能にする。これは、
前にも述べたように、蒸発物質及び反応ガスのほぼ１０
０％がイオン化あるいは活性化されるために、高い反応
性かつ、高密度、高硬度の膜が実現できる。

一方、第１層及び第３層の透明誘電体膜又は透明導電性
酸化物膜は窒化膜の可視域での反射防止機能を受は持つ
、必要とされる屈折率は高いほど望ましく、通常２．０
〜２．５の範囲で選択される。もちろん、この範囲外で
も使用可能である。その厚みは、屈折率、必要とされる
分光特性から決められ、通常２５０〜７００人の範囲が
適当である。特に自動車用窓として要求されるＴＶ≧７
０％以上を得るためには３００〜６００人が適当である
。具体的な材料としては、？ｉ０２．ＺｒＯ２゜ＨｆＯ
２、Ｔａ２０５．ダイヤモンドカーボン、ｃ−ＢＮ。

などの透明誘電体膜が、又透明導電膜としては５１１０
２．１＋１２０３．　ＺｎＯなどが適している。その製
法は規定するものではないが、生産性のすぐれたスパッ
タ法やそれを改良したＲＦバイアススパッタ法、イオン
ブレーティング法あるいはアーク蒸着法などが適してい
る。

本発明の赤外線反射ガラスは、高透過率でかつ、すぐれ
た耐久性を有することから、種々の用途に用いることが
できる。特に単板として用いることができる。又、自動
車以外の車両用窓ガラスや建築用赤外線反射ガラスやそ
の他高い可視光透過率を維持したまま、太陽光をカット
じたい用途に最適である。

また、本発明はガラスを基板としているが、プラスチッ
クの上に上記した３層構成の赤外線反射膜にコートした
プラスチックフィルムにも本発明と同じ要領で作成可能
である。

［実施例］実施例１ガラス基板をスパッタ装置の真空槽にセットし、　ＩＸ
　１Ｏ−６Ｔｏｒｒまで排気した０次に酸素ガスを真空
槽内に導入し、圧力を　１．？Ｘ　１Ｏ−３Ｔｏｒｒと
し、亜鉛ターゲットを高岡波マグネトロンスパッタして
、基板上に第一層としてＺｎＯの膜を形、成した。この
ときの膜厚は約５００人となるようにした０次にこのガ
ラスをアーク蒸着装置にセットし、　ＩＸ　１Ｏ−５Ｔ
ｏｒｒまで排気した。次に窒素ガスを真空槽内に導入し
、圧力を２Ｘ　１０−３↑ｏｒｒとし、Ｔｉをアークタ
ーゲットとして、アーク放電を開始させ、アーク蒸着法
によりＴｉＮ膜をＺｎＯ膜の上に形成した。このときの
アーク電流値は４０Ａであり、所定時間コートし、膜厚
は１００人になるようにした０次いで第１層と同じ条件
でＺｎＯの第３層を約５００人形成した。

％を示しており、近赤外域では激減している。

このことから高い可視光透過率と有効な太陽光遮断性能
を有していることがわかる。このとき可視光透過率は７
４％、太陽光透過率は５Ｏ％、膜面側反射率５．０％と
いう性能が得られ、かつ、ウェザ−メーター８００ｈｒ
、恒温恒湿テスト（８０°Ｃ８５％ＲＨ）　１週間でも
まったく変化は見られず、Ａｇ膜系に比べて著しく耐久
性の優れた赤外線反射膜が得られた。

図７はスパッタ法によるＺｎＯ膜／アーク蒸着法による
ＴｉＮ膜／スパッタ法によるＺｎＯ膜／ガラス基板にお
いてＺ！１０　ＩＩ！の膜厚を変えたときの分光特性を
示している。このことから、可視光透過率を最大にする
ＺｎＯ膜の最適膜厚が存在することがわかる。

第８図はアーク蒸着法によるＴｉＮ膜の膜厚を変えた場
合のＴｉＮ単層膜の分光特性を示している。

実施例２ガラス基板をスパッタ装置にセットし、　ｌ×１Ｏ−６
Ｔｏｒｒまで排気した０次に酸素ガスを導入し、圧力を
　３Ｘ　１Ｏ−３Ｔｏｒｒとし、Ｔｉターゲットを用い
て、反応性ＤＣマグネトロンスパッタ法により、Ｔ　ｉ
０２膜を５００人形成した０次いで、このガラス基板を
アーク蒸着装置にセットし、　ｌ×１Ｏ−５↑ｏｒｒま
で排気したのち、窒素ガスを導入し、圧力を　５Ｘ　１
Ｏ−３Ｔｏｒｒとしな、Ｚｒをアークターゲットとして
、アーク放電を開始させ、アーク蒸着法により、　Ｚｒ
Ｎ膜をＴｉＯ２膜の上に形成した。このときのアーク電
流値は８０Ａであり、所定時間コートし、膜厚は１００
人ぐらいになるようにした０次いで第１層と同じ要領で
、　ＴｉＯ２膜の第３層を約５００人形成した。

こうして得られた試料の分光透過率、反射率を図９に示
す、可視域の透過率の最高値は７６％を示している。こ
のとき、視感透過率Ｔ、は７３％、太陽エネルギー透過
率ＴＥは４８％である。

これらの膜は、耐久性や強度にすぐれ、ウェザ−メータ
ー８００ｈｒ、恒温恒湿テスト（ｅｏ℃９５％ＲＨ）　
１週間でもまったく外観には変化は見られず、すぐれた
特性を示した。

【図面の簡単な説明】

図１は、本発明の膜構成を示す図である。図２は、　ＲＦプラズマ支援低圧力ＤＣマグネトロンス
パッタ法で作成したＴｉＯ膜／ＴｉＮ膜／Ｔ＋０２膜／
ガラス基板の分光特性を示す図である。図３は、Ｔ　ｉ０２膜／スパッタ法によるＴｉＮ膜／Ｔ
ｉＯ２膜のＴマ値のＴ　ｉ０２膜の膜厚依存性を、Ｔｉ
Ｏ２膜／ＣＶＤ法ニヨ；ｂ　ＴｉＮ膜／ＴｉＯ２膜、及
びＴｉＯ２膜／ＣＶＤ法によるＺｒＮ膜／ＴｉＯ２膜の
場合と比較して示した図である。図４は、Ｔ　ｉ０２膜の屈折率が２．５の場合のＴ　ｉ
０２膜／ＣＶＤ法によるＺｒＮ膜／ＴｉＯ２膜のＴｖ、
　ＴＥのＴｉＯ２膜の膜厚依存性を示す図である。図５はＴｉＯ２膜の屈折率が２．３の場合のＴ　ｉ０２
膜／ＣＶＤ法によるＺｒＮ膜／ＴｉＯ２膜のＴＶ＋　Ｔ
ＥのＴｌＯ２膜の膜厚依存性を示す図である。図６は、試作したスパッタ法によるＺｎＯ膜／アーク法
によるＴｉＮ膜／スパッタ法によるＺｎＯ膜の分光特性
を示す、　ａ、ｂ、ｃ、ｄは測定場所による違いである
。図７は、スパッタ法によるＺｎＯ膜／アーク蒸着法によ
るＴｉＮ膜／スパッタ法にょるＺｎＯ膜において、Ｚｎ
Ｏ膜の膜厚を変えた場合の分光特性を示す図である。図８は、膜厚の異なるアークＴｉＮ膜の分光特性を示す
図である。図９は、試作したスパッタ法によるＴｉＯ２膜／アーク
蒸着法によるＺｒＮ膜／スパッタ法によるＴｉＯ２１ｔ
ｌの分光特性を示す図である。諏りびＪ頭ｄ　　１図面の浄書凹　１図２図３図４図５入しψリーンＣｂ）図ム図面の浄書　　　　　　　　　　　　　　　　力紙３団
　７国θ 図面の浄書　　　　　　別ｆんｒン（（〕−ン回　ｑ手続補正指令書）％式％１、事件の表示昭和６２年特許願第３７７７７号２、発明の名称赤外線反射ガラス３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　　東京都千代田区丸の内二丁目１番２号名称　
（ＯＯ４）旭硝子株式会社昭和６２年４月２８日（手続補正指令書の発送日）８、
補正により増加する発明の数　　　　なし７、補正の対
象（１）図面８、補正の内容

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ガラス基板面に、少なくとも透明誘電体膜又は透
明導電性酸化物膜からなる第１層と、窒化膜からなる第
２層と、透明誘電体膜又は透明導電酸化物膜からなる第
３層が形成されてなり、上記窒化膜は、Ｚｒ、Ｔｉ及び
Ｈｆの少なくとも１種を含む窒素含有合金を主成分とす
るものであって、該窒化膜はアーク蒸着法により形成さ
れていることを特徴とする赤外線反射ガラス。
（２）可視光透過率が７０％以上、太陽光透過率が６０
％以下、膜面側可視光反射率が８％以下であることを特
徴とする自動車の窓ガラスに適した赤外線反射ガラス。