JPS63201097A - 半絶縁性ガリウム砒素単結晶 - Google Patents
半絶縁性ガリウム砒素単結晶Info
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- JPS63201097A JPS63201097A JP2975687A JP2975687A JPS63201097A JP S63201097 A JPS63201097 A JP S63201097A JP 2975687 A JP2975687 A JP 2975687A JP 2975687 A JP2975687 A JP 2975687A JP S63201097 A JPS63201097 A JP S63201097A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 73
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 33
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 34
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000005204 segregation Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000565 sealant Substances 0.000 abstract description 4
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical group O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 15
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 241000272525 Anas platyrhynchos Species 0.000 description 1
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021386 carbon form Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004033 diameter control Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000029052 metamorphosis Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半絶縁性ガリウム砒素単結晶に関するものであ
る。
る。
液体封止型チョクラルスキー法による半絶縁性ガリウム
砒素(GaAa )単結晶の製造において、従来の技術
として例えば、 ■、FBIるつぼを用いて無添加で結晶引上を行う、あ
るいは、 ■、PBNるつぼあるいは石英るつぼを用いて、クロム
(Or )を添加して結晶引上を行う、などの方法があ
った。方法■においては炭素が主たる化学的な残留不純
物であり、浅いアクセプター型準位を形成する。0濃度
は5 X 1014〜1X10’5+!″″1程度であ
る。この浅いアクセプターは、深いドナー型準位を形成
するKIJ2により補償され、フェルミ準位が禁制帯幅
の中央付近に来ることKより、半絶縁化が実現される。
砒素(GaAa )単結晶の製造において、従来の技術
として例えば、 ■、FBIるつぼを用いて無添加で結晶引上を行う、あ
るいは、 ■、PBNるつぼあるいは石英るつぼを用いて、クロム
(Or )を添加して結晶引上を行う、などの方法があ
った。方法■においては炭素が主たる化学的な残留不純
物であり、浅いアクセプター型準位を形成する。0濃度
は5 X 1014〜1X10’5+!″″1程度であ
る。この浅いアクセプターは、深いドナー型準位を形成
するKIJ2により補償され、フェルミ準位が禁制帯幅
の中央付近に来ることKより、半絶縁化が実現される。
方法■においては、炭素およびケイ素(Sl)が主たる
化学的な残留不純物であり、炭素は前述の如く、浅いア
クセプター型準位を形成し、Siは浅いドナー型準位を
形成する。石英るつぼを用いた場合はslの濃度はI
X 1014〜I X 1×101951−”程度含ま
れている。!’BNるつぼを用いた場合のEii 9度
は1×1019 51−”以下になる。これら浅い準位
を形成する不純物が、前述の如く深いドナー型準位を形
成するKL2 、および深いアクセプター型単位を形成
するOrの適当な組み合わせにより補償され、フェルミ
準位が禁制帯幅の中央付近に来ることにより半絶縁化が
実現されている。
化学的な残留不純物であり、炭素は前述の如く、浅いア
クセプター型準位を形成し、Siは浅いドナー型準位を
形成する。石英るつぼを用いた場合はslの濃度はI
X 1014〜I X 1×101951−”程度含ま
れている。!’BNるつぼを用いた場合のEii 9度
は1×1019 51−”以下になる。これら浅い準位
を形成する不純物が、前述の如く深いドナー型準位を形
成するKL2 、および深いアクセプター型単位を形成
するOrの適当な組み合わせにより補償され、フェルミ
準位が禁制帯幅の中央付近に来ることにより半絶縁化が
実現されている。
従来この種の方法では、例えば無添加半絶縁性GaAs
結晶においては炭素濃度が結晶70/ト部で大きく、結
晶テイル部で小さくなる様なインゴット成長軸方向に分
布を持っている反面、EL2濃度は軸方向にはほぼ一定
の分布を持つために、補償比が軸方向に大きく変化して
、この結果としてフェルミ準位の位置が変化し、結晶の
比抵抗(P)、移動度(μn)等の電気的特性が軸方向
に大きく変化するという問題点があった。
結晶においては炭素濃度が結晶70/ト部で大きく、結
晶テイル部で小さくなる様なインゴット成長軸方向に分
布を持っている反面、EL2濃度は軸方向にはほぼ一定
の分布を持つために、補償比が軸方向に大きく変化して
、この結果としてフェルミ準位の位置が変化し、結晶の
比抵抗(P)、移動度(μn)等の電気的特性が軸方向
に大きく変化するという問題点があった。
また、例えばOr添加半絶縁性GaAs結晶においては
、補償中心となるOr自体の偏析係数が1より小さい為
に、結晶フロント部ではOr 9度が少々く、結晶ティ
ル部では大きくなる様な軸方向分布を持つため、上述し
たのと同様な理由により結晶の電気的特性が成長軸方向
で大きな分布を持つという問題点があった。
、補償中心となるOr自体の偏析係数が1より小さい為
に、結晶フロント部ではOr 9度が少々く、結晶ティ
ル部では大きくなる様な軸方向分布を持つため、上述し
たのと同様な理由により結晶の電気的特性が成長軸方向
で大きな分布を持つという問題点があった。
またOr濃度がI X 1×1019 5m=以上であ
る結晶においては、イオン注入によるデバイス作成時、
Or の表面方向拡散(言わゆるパイル・アップ現象)
Kより、熱変成を起こしやすいという問題点があった。
る結晶においては、イオン注入によるデバイス作成時、
Or の表面方向拡散(言わゆるパイル・アップ現象)
Kより、熱変成を起こしやすいという問題点があった。
本発明は、炭素を含有する半絶縁性ガリウム砒素単結晶
について、上記の問題点を解決し、成長軸方向に対して
電気的特性の均一性が優れた半絶縁性ガリウム砒素単結
晶を提供しようとするものである。
について、上記の問題点を解決し、成長軸方向に対して
電気的特性の均一性が優れた半絶縁性ガリウム砒素単結
晶を提供しようとするものである。
本発明は、(1)炭素を5 X 10S”−I X 1
01’、−”含むガリウム砒素結晶に対して、偏析係数
が1より小さい元素で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅
中にアクセプター型準位を形成する不純物を5 X 1
01’〜I X 101@創−3含有させたことを特徴
とする半絶縁性ガリウム砒素単結晶、及び(2)炭素を
5 X 1014〜I X 1×1019傭−3含むガ
リウム砒素結晶に対して、偏析係数が1より小さい元素
で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅中にアクセプター型
準位を形成する不純物をs x 1o”〜1×1014
cm″″″、及び、インジウムをI X 1×1019
〜1X 10Hα−3含有させたことを特徴とする半絶
縁性ガリウム砒素単結晶である。
01’、−”含むガリウム砒素結晶に対して、偏析係数
が1より小さい元素で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅
中にアクセプター型準位を形成する不純物を5 X 1
01’〜I X 101@創−3含有させたことを特徴
とする半絶縁性ガリウム砒素単結晶、及び(2)炭素を
5 X 1014〜I X 1×1019傭−3含むガ
リウム砒素結晶に対して、偏析係数が1より小さい元素
で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅中にアクセプター型
準位を形成する不純物をs x 1o”〜1×1014
cm″″″、及び、インジウムをI X 1×1019
〜1X 10Hα−3含有させたことを特徴とする半絶
縁性ガリウム砒素単結晶である。
なお、アクセプター型準位を形成する不純物としてはO
r又はZnを、また、液体封止剤としてはB、0.を用
いることができる。また、結晶原料は、金属ガリウムと
金属砒素を用いるつぼ内で直接合成してG!LA8融液
を形成してもよいし、予じめ調製したGaAs多結晶を
用いることもできる。
r又はZnを、また、液体封止剤としてはB、0.を用
いることができる。また、結晶原料は、金属ガリウムと
金属砒素を用いるつぼ内で直接合成してG!LA8融液
を形成してもよいし、予じめ調製したGaAs多結晶を
用いることもできる。
結晶成長雰囲気の圧力は2〜50気圧に調整するのがよ
い。
い。
無添加半絶縁性GaAs結晶における半絶縁化のメカニ
ズムは、以下のとおシである。結晶成長中にGaAs
メルト中に混入した炭素(o)は、結晶固化時に、結晶
中に取シ込まれる。この割合を通常偏析係数で表わすが
、0の原子半径が小さい為に、0の偏析係数け1より大
きい。すなわち固化結晶中のO濃度は結晶フロント部で
大きく、結晶テイル部で小さい傾向にある。Cの汚染源
としては、加熱用ヒータ、熱シールド用保温材がいずれ
もグラファイトでできているところから最も可能性が高
いがはっきりとした汚染源はわかっていない。Cは%O
s等の液体封止剤を通してGaAs メルト中に混入す
る。混入度合を制御する方法としてはB20.中の馬O
量、結晶成長中の不活性ガス圧力などがある。いずれK
せよ通常の方法を用いれば、結晶フロント部のC濃度と
して5 X 1×1019〜l×1014藝51″″3
程度のものが得られ、結晶テイル部に向かって、減少し
ていく傾向にある。Oは前述の如く、禁制帯幅中におい
て浅いアクセプター準位を形成する。この浅いアクセプ
ター準位は、IItL2と呼ばれる深いドナー準位によ
り補償され、半絶縁化が達成される。ll1L2の正体
は定かではないが、化学的元素ではなく、内因性欠陥が
関与しているのは事実である。濃度としては1〜2X1
01・d″″S″S程度結晶フロント部からテイル部に
かけては大きな分布は持たず、はぼ一定である。
ズムは、以下のとおシである。結晶成長中にGaAs
メルト中に混入した炭素(o)は、結晶固化時に、結晶
中に取シ込まれる。この割合を通常偏析係数で表わすが
、0の原子半径が小さい為に、0の偏析係数け1より大
きい。すなわち固化結晶中のO濃度は結晶フロント部で
大きく、結晶テイル部で小さい傾向にある。Cの汚染源
としては、加熱用ヒータ、熱シールド用保温材がいずれ
もグラファイトでできているところから最も可能性が高
いがはっきりとした汚染源はわかっていない。Cは%O
s等の液体封止剤を通してGaAs メルト中に混入す
る。混入度合を制御する方法としてはB20.中の馬O
量、結晶成長中の不活性ガス圧力などがある。いずれK
せよ通常の方法を用いれば、結晶フロント部のC濃度と
して5 X 1×1019〜l×1014藝51″″3
程度のものが得られ、結晶テイル部に向かって、減少し
ていく傾向にある。Oは前述の如く、禁制帯幅中におい
て浅いアクセプター準位を形成する。この浅いアクセプ
ター準位は、IItL2と呼ばれる深いドナー準位によ
り補償され、半絶縁化が達成される。ll1L2の正体
は定かではないが、化学的元素ではなく、内因性欠陥が
関与しているのは事実である。濃度としては1〜2X1
01・d″″S″S程度結晶フロント部からテイル部に
かけては大きな分布は持たず、はぼ一定である。
ここで補償比β= (Km、2)/CG)なるものを考
える。
える。
(1!::1.+2) # (0)はそれぞれ!!:L
2 、 Oの濃度を表わす。ここでは浅いドナー準位の
濃度(Nsム)を無視しているが、これを考慮する時は
β= (]EL2)/((0) Nsム)とすれば良
い。通常の引き上げにおいては(C〕>Nsムとなって
いる。さて、結晶の電気的性質はフェルミ準位x1によ
って決定される。補償比βが大きくなるとフェルミ準位
!。
2 、 Oの濃度を表わす。ここでは浅いドナー準位の
濃度(Nsム)を無視しているが、これを考慮する時は
β= (]EL2)/((0) Nsム)とすれば良
い。通常の引き上げにおいては(C〕>Nsムとなって
いる。さて、結晶の電気的性質はフェルミ準位x1によ
って決定される。補償比βが大きくなるとフェルミ準位
!。
は伝導帯側にシフトして、その結果比抵抗Pは小さくな
り、ホール移動度μ■は大きくなる。
り、ホール移動度μ■は大きくなる。
逆に補償比βが小さくなると、フェルミ準位1!!1は
価電子帯側にシフトして、その結果比抵抗Pは大きくな
り、ホール移動度μHは小さくなる。
価電子帯側にシフトして、その結果比抵抗Pは大きくな
り、ホール移動度μHは小さくなる。
さて、通常の無添加半絶縁性結晶の場合を考えてみると
、前述の如((]!L2)は結晶の軸方向でほぼ一定で
あるのに対して、(0)(6るいは(0) Nsムで
も良い)はフロント部で高く、テイル部で低い。すなわ
ち補償比βはフロント部で小さく、テイル部で大きい。
、前述の如((]!L2)は結晶の軸方向でほぼ一定で
あるのに対して、(0)(6るいは(0) Nsムで
も良い)はフロント部で高く、テイル部で低い。すなわ
ち補償比βはフロント部で小さく、テイル部で大きい。
この事は、例えば比抵抗で言うなら、フロント部で高く
、テイル部で低い。
、テイル部で低い。
さて問題点は浅いアクセプター準位を形成するOが結晶
の成長軸方向に大きな分布を持っていることKある。す
なわちフロント部で高く、テイル部で低くなることであ
る。そこで、これを解決する為の手段として、アクセプ
ター準位を形成する不純物元素の中でCと逆の分布傾向
をもつ、すなわち偏析係数が1より小さい元素を、意図
的に、微量に添加してやれば良いことがわかる。こうす
れば、アクセプター準位を形成する不純物の総量として
は、結晶フロント部とテイル部の差は緩和され、均一化
の方向に向う。勿論、半絶縁性を保つ為にはC濃度と、
意図的に添加された第2のアクセプター準位の濃度の総
和が1!fL2fi度より少ない事が必要である。
の成長軸方向に大きな分布を持っていることKある。す
なわちフロント部で高く、テイル部で低くなることであ
る。そこで、これを解決する為の手段として、アクセプ
ター準位を形成する不純物元素の中でCと逆の分布傾向
をもつ、すなわち偏析係数が1より小さい元素を、意図
的に、微量に添加してやれば良いことがわかる。こうす
れば、アクセプター準位を形成する不純物の総量として
は、結晶フロント部とテイル部の差は緩和され、均一化
の方向に向う。勿論、半絶縁性を保つ為にはC濃度と、
意図的に添加された第2のアクセプター準位の濃度の総
和が1!fL2fi度より少ない事が必要である。
第2の添加元素のアクセプター準位は浅いものであって
も、深いものであっても、同じ働きをする事は言うまで
もない。
も、深いものであっても、同じ働きをする事は言うまで
もない。
比較例
無添加の状態で液体封止形チョクラルスキー法によりG
aAs単結晶を引上げた。出発原料としては、HB法で
作成したGaAs ポリ結晶を用いた。Gaと八〇の組
成比は1:1になる様に、五8 部の温度を制御しであ
る。このGaAs ポリ結晶6に9に対して、王水エツ
チングにより前処理を施し、PBN製6インチるつぼに
収納した。
aAs単結晶を引上げた。出発原料としては、HB法で
作成したGaAs ポリ結晶を用いた。Gaと八〇の組
成比は1:1になる様に、五8 部の温度を制御しであ
る。このGaAs ポリ結晶6に9に対して、王水エツ
チングにより前処理を施し、PBN製6インチるつぼに
収納した。
液体封止剤としては含有水分量100 vtppm以下
の酸化ボロン(B*Os)を用いた。これを高圧容器内
に収納し、昇温しでメルトさせ、GaAs種子結晶を用
いて、単結晶を引上げた。結晶回転数は5rpm、るつ
ぼ回転数は2 Orpmとし、それぞれ反対方向に回転
させた。引上速度は8■/111とし、自動直径制御装
置を用いて、84±4■φの結晶を作成した。得られた
結晶はテイル部の一部を除き単結晶であシ、直胴部の長
さは170−であった。この結晶に対して、ET、+2
濃度、0濃度、比抵抗を測定した。]ff1L2濃度は
、波長1.0μ鴨の赤外吸収?i:により求め、0濃度
は遠赤外吸収法(IFTIR法)Kより求め、比抵抗は
、Van der Pauw 型の4端子法により求め
た。結果を第S図、第4図に示す。EL2濃度はインゴ
ット全長に渡シはぼ1.5 X 101@、″3である
。C濃度は結晶フロント部で高(7X10115I−1
であるのに対し、結晶テイル部では2X101151″
″3となっている。この結果、電気的な比抵抗は第4図
の如くインゴット軸方向に&0X107→1.5X10
7Ω・百 と大きく変化していることがわかる。81M
8法により81の濃度を求めたが、いずれも検出限界以
下であった。
の酸化ボロン(B*Os)を用いた。これを高圧容器内
に収納し、昇温しでメルトさせ、GaAs種子結晶を用
いて、単結晶を引上げた。結晶回転数は5rpm、るつ
ぼ回転数は2 Orpmとし、それぞれ反対方向に回転
させた。引上速度は8■/111とし、自動直径制御装
置を用いて、84±4■φの結晶を作成した。得られた
結晶はテイル部の一部を除き単結晶であシ、直胴部の長
さは170−であった。この結晶に対して、ET、+2
濃度、0濃度、比抵抗を測定した。]ff1L2濃度は
、波長1.0μ鴨の赤外吸収?i:により求め、0濃度
は遠赤外吸収法(IFTIR法)Kより求め、比抵抗は
、Van der Pauw 型の4端子法により求め
た。結果を第S図、第4図に示す。EL2濃度はインゴ
ット全長に渡シはぼ1.5 X 101@、″3である
。C濃度は結晶フロント部で高(7X10115I−1
であるのに対し、結晶テイル部では2X101151″
″3となっている。この結果、電気的な比抵抗は第4図
の如くインゴット軸方向に&0X107→1.5X10
7Ω・百 と大きく変化していることがわかる。81M
8法により81の濃度を求めたが、いずれも検出限界以
下であった。
実施例
この様な成長条件下で、第2の7クセプター型不純物と
してOrをドープした。濃度としては結晶フロント部で
2 X 10113−1となる様に設計した。他の結晶
成長条件は、すべて比較例と同じにした。得られた結晶
に対しては比較例と同様の評価を行った。Or濃度はG
IFA法で求めた。結果を第1図、第2図に示す。Ga
As結晶中のOrの偏析係数はa9X10−4 と1に
比べ非常に小さな為、はぼ’ / (1−g)に比例し
て増加していく。ここでgは固化率を表わす。GIFA
法で求めた結晶中のクロム濃度は第1図に示した如く、
はぼ設計値通シにドーグされていることがわかった。第
2図には電気的な比抵抗の軸方向分布を示しであるが、
軸方向に対してほぼ一定になっていることがわかる。
してOrをドープした。濃度としては結晶フロント部で
2 X 10113−1となる様に設計した。他の結晶
成長条件は、すべて比較例と同じにした。得られた結晶
に対しては比較例と同様の評価を行った。Or濃度はG
IFA法で求めた。結果を第1図、第2図に示す。Ga
As結晶中のOrの偏析係数はa9X10−4 と1に
比べ非常に小さな為、はぼ’ / (1−g)に比例し
て増加していく。ここでgは固化率を表わす。GIFA
法で求めた結晶中のクロム濃度は第1図に示した如く、
はぼ設計値通シにドーグされていることがわかった。第
2図には電気的な比抵抗の軸方向分布を示しであるが、
軸方向に対してほぼ一定になっていることがわかる。
使用例
インゴット成長軸方向の電気的特性の分布が均一化され
る事から、この基板を用いて作成した各種デバイスの緒
特性の軸方向分布も均一化されることが容易に予想され
る。これを実証するために、以下の実験を行った。基板
性が最も良くそのデバイス特性に反映される例として、
イオン注入法により作成したFIT (電界効果型トラ
ンジスタ)のvth (閾値電圧)がある。イオン注入
法により、能動層を基板表面内部に直接作るために、基
板特性が直接的に影響を与えるためである。前述した2
本の半絶縁性GaAs結晶、すなわち1本は無添加で作
成した結晶であり、他の1本は、Crを微量に意図的に
ドープして作成した結晶を用いて、イオン注入法でIP
I!iTを作成して、vthを測定した。イオン注入条
件はX=m 120 Kav、φ! t5X I D”
、”で雪mB1を打ち込んだ。活性化の為のアニールは
820℃、15m1nでアルシン雰囲気中で、面と面を
対向配置して行った。IPI!:Tは200p%ピッチ
でウェハ全面に作成した。ゲート長は、短チャンネル効
果を防ぐためKLg−2μ鴨とし、またソース・ドレイ
/間距離は5μ惧とした。結果を第3図に示す。無添加
半絶縁性結晶の場合、C濃度がフロントからティルにか
けて減少していくために、vthは負側にずれてい((
ONシフト)ことがわかる。一方、微量にOrを添加し
た半絶縁性結晶ではvthのそのようなずれはなく、フ
ロントからテイルKかけて若干正側にずれて(0FIF
シフト)いくものの、そのズレは無添加の場合に比べて
極めて小さいと言える。フロント、テイル間でのvth
の差Δvthをウェハ1枚尚たりに換算すると、無添加
の場合4m17枚であるのに対して、微量にOrをドー
プした場合は(L7m’7/枚となっている。ところで
GaAs工0が工業的規模で生産される一つの前提とし
て、Δvthが1m’77枚以下であることが要求され
ているが、今回の結果はこの基準をクリアしていること
がわかる。
る事から、この基板を用いて作成した各種デバイスの緒
特性の軸方向分布も均一化されることが容易に予想され
る。これを実証するために、以下の実験を行った。基板
性が最も良くそのデバイス特性に反映される例として、
イオン注入法により作成したFIT (電界効果型トラ
ンジスタ)のvth (閾値電圧)がある。イオン注入
法により、能動層を基板表面内部に直接作るために、基
板特性が直接的に影響を与えるためである。前述した2
本の半絶縁性GaAs結晶、すなわち1本は無添加で作
成した結晶であり、他の1本は、Crを微量に意図的に
ドープして作成した結晶を用いて、イオン注入法でIP
I!iTを作成して、vthを測定した。イオン注入条
件はX=m 120 Kav、φ! t5X I D”
、”で雪mB1を打ち込んだ。活性化の為のアニールは
820℃、15m1nでアルシン雰囲気中で、面と面を
対向配置して行った。IPI!:Tは200p%ピッチ
でウェハ全面に作成した。ゲート長は、短チャンネル効
果を防ぐためKLg−2μ鴨とし、またソース・ドレイ
/間距離は5μ惧とした。結果を第3図に示す。無添加
半絶縁性結晶の場合、C濃度がフロントからティルにか
けて減少していくために、vthは負側にずれてい((
ONシフト)ことがわかる。一方、微量にOrを添加し
た半絶縁性結晶ではvthのそのようなずれはなく、フ
ロントからテイルKかけて若干正側にずれて(0FIF
シフト)いくものの、そのズレは無添加の場合に比べて
極めて小さいと言える。フロント、テイル間でのvth
の差Δvthをウェハ1枚尚たりに換算すると、無添加
の場合4m17枚であるのに対して、微量にOrをドー
プした場合は(L7m’7/枚となっている。ところで
GaAs工0が工業的規模で生産される一つの前提とし
て、Δvthが1m’77枚以下であることが要求され
ているが、今回の結果はこの基準をクリアしていること
がわかる。
一方、ウニ八面内でのvthのバラツキは、GaAs工
Cの集積規模を決定する上で重要な因子である。vth
のバラツキをσvth (標準偏差)で表わした時、無
添加結晶においては、σvth=25〜100 mV
程度であったのに対し、微量にOrをドープした場合は
σVth=10〜50mVとなった。GaムaLs工を
実現するための1つの目安として、[σvthが50m
Vより小さい事」と言われているが、今回この結果は、
その基準をクリアしていることがわかる。しかし′なが
ら、現在のところ、σvth の改善の原因については
定かではない。
Cの集積規模を決定する上で重要な因子である。vth
のバラツキをσvth (標準偏差)で表わした時、無
添加結晶においては、σvth=25〜100 mV
程度であったのに対し、微量にOrをドープした場合は
σVth=10〜50mVとなった。GaムaLs工を
実現するための1つの目安として、[σvthが50m
Vより小さい事」と言われているが、今回この結果は、
その基準をクリアしていることがわかる。しかし′なが
ら、現在のところ、σvth の改善の原因については
定かではない。
〔発明の効果〕
本発明は、上記構成を採用することKより、炭素含有半
絶縁性ガリウム砒素単結晶に対して、微量にOr等をド
ープして、軸方向の電気的特性の均一性を改善すること
ができ、GaAsIC用基板として利用すると効果的で
あることがわかった。
絶縁性ガリウム砒素単結晶に対して、微量にOr等をド
ープして、軸方向の電気的特性の均一性を改善すること
ができ、GaAsIC用基板として利用すると効果的で
あることがわかった。
4、面の簡単な説明
第1図は微量にOrを添加して作成された半絶縁性Ga
As結晶中の成長軸方向におけるEL2、炭素(C)、
りC1ム(Or )の濃度分布のグラフ、 第2図は第1図で示した結晶の電気的比抵抗(P)の成
長軸方向分布のグラフ、 第3Mは従来の無添加で作成された半絶縁性GaAs結
晶中の成長軸方向における ■L2と炭素(C)の濃度分布のグラフ、第4図は第3
図で示した結晶の電気的比抵抗(P)の成長軸方向分布
のグラフ、 第3図はイオン注入法により作成されたF’ETのvt
h (閾値電圧)の成長軸方向分布のグラフである。
As結晶中の成長軸方向におけるEL2、炭素(C)、
りC1ム(Or )の濃度分布のグラフ、 第2図は第1図で示した結晶の電気的比抵抗(P)の成
長軸方向分布のグラフ、 第3Mは従来の無添加で作成された半絶縁性GaAs結
晶中の成長軸方向における ■L2と炭素(C)の濃度分布のグラフ、第4図は第3
図で示した結晶の電気的比抵抗(P)の成長軸方向分布
のグラフ、 第3図はイオン注入法により作成されたF’ETのvt
h (閾値電圧)の成長軸方向分布のグラフである。
Claims (4)
- (1)炭素を5×10^1^4〜1×10^1^6cm
^−^3含むガリウム砒素結晶に対して、偏析係数が1
より小さい元素で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅中に
アクセプター型準位を形成する不純物を5×10^1^
4〜1×10^1^6cm^−^3含有させたことを特
徴とする半絶縁性ガリウム砒素単結晶。 - (2)アクセプター型準位を形成する不純物としてクロ
ム又は亜鉛を用いることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の半絶縁性ガリウム砒素単結晶。 - (3)炭素を5×10^1^4〜1×10^1^6cm
^−^3含むガリウム砒素結晶に対して、偏析係数が1
より小さい元素で、かつ、ガリウム砒素の禁制帯幅中に
アクセプター型準位を形成する不純物を5×10^1^
4〜1×10^1^6cm^−^3、及び、インジウム
を1×10^1^9〜1×10^2^1cm^−^3含
有させたことを特徴とする半絶縁性ガリウム砒素単結晶
。 - (4)アクセプタ型準位を形成する不純物としてクロム
を用いることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の
半絶縁性ガリウム砒素単結晶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62029756A JPH0788277B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 半絶縁性ガリウム砒素単結晶 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62029756A JPH0788277B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 半絶縁性ガリウム砒素単結晶 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63201097A true JPS63201097A (ja) | 1988-08-19 |
JPH0788277B2 JPH0788277B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=12284924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62029756A Expired - Lifetime JPH0788277B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 半絶縁性ガリウム砒素単結晶 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0788277B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6452700A (en) * | 1987-05-08 | 1989-02-28 | Furukawa Electric Co Ltd | Semi-electrical insulating gaas single crystal with impurity concentration controlled and production thereof |
JPH01103995A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-21 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | 高比抵抗3−5族化合物単結晶 |
JPH01215799A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Nippon Mining Co Ltd | 半絶縁性GaAs化合物半導体単結晶及びその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59121195A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半絶縁性砒化ガリウム結晶 |
JPS60122798A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-07-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 砒化ガリウム単結晶とその製造方法 |
-
1987
- 1987-02-13 JP JP62029756A patent/JPH0788277B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59121195A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半絶縁性砒化ガリウム結晶 |
JPS60122798A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-07-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 砒化ガリウム単結晶とその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6452700A (en) * | 1987-05-08 | 1989-02-28 | Furukawa Electric Co Ltd | Semi-electrical insulating gaas single crystal with impurity concentration controlled and production thereof |
JPH01103995A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-21 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | 高比抵抗3−5族化合物単結晶 |
JPH01215799A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Nippon Mining Co Ltd | 半絶縁性GaAs化合物半導体単結晶及びその製造方法 |
JPH0476355B2 (ja) * | 1988-02-24 | 1992-12-03 | Nippon Mining Co |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0788277B2 (ja) | 1995-09-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |