JPS6320085A - 精製水製造装置 - Google Patents
精製水製造装置Info
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- JPS6320085A JPS6320085A JP16239286A JP16239286A JPS6320085A JP S6320085 A JPS6320085 A JP S6320085A JP 16239286 A JP16239286 A JP 16239286A JP 16239286 A JP16239286 A JP 16239286A JP S6320085 A JPS6320085 A JP S6320085A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、精製水製造装置に関する。更に詳しくは、水
を２段階に精製処理する装置において、第１段階の処理
水の純度と第２段階の処理水の純度との検出をそれぞれ
に適した単位で検出表示するようになした精製水製造装
置に関する。
を２段階に精製処理する装置において、第１段階の処理
水の純度と第２段階の処理水の純度との検出をそれぞれ
に適した単位で検出表示するようになした精製水製造装
置に関する。
（従来の技術）
最近、研究、検査、医療、あるいは各種工業分野におい
て、理論純水（比抵抗値１８．２５ＭΩ。
て、理論純水（比抵抗値１８．２５ＭΩ。
ｃｍ）に限りなく近い、いわゆる超純水の使用が盛んに
なってきており、そのための精製水′ｙＡ造装置が市販
されている。これらの装置において、精製水の純度を測
定、検出、表示するため、Ｒ’Ａ水の導電率を検出する
ことが通常なされており、その具体例は、特開昭５５〜
９０８５３号公報、特開昭５６−６４６６３号公報、特
開昭５７−８２７７６号公報、特開昭５”ｌ−１２２３
６５号公報等に記載されている。
なってきており、そのための精製水′ｙＡ造装置が市販
されている。これらの装置において、精製水の純度を測
定、検出、表示するため、Ｒ’Ａ水の導電率を検出する
ことが通常なされており、その具体例は、特開昭５５〜
９０８５３号公報、特開昭５６−６４６６３号公報、特
開昭５７−８２７７６号公報、特開昭５”ｌ−１２２３
６５号公報等に記載されている。
（発明が解決しようとする問題点）
これらの従来技術は、いずれも、水の純度を検出するに
当って、水の導電率または比抵抗のいずれかのみを測定
する形式のものである。水を２段階に精製処理する装置
において、それぞれの段階での精製水の純度は、純度が
かなり異なっているにも拘らず、同じ単位で測定、検出
、表示されていた。すなわち、理論純水の導電率（単位
μ、Ｓ／Ｃｍ）と比抵抗（単位ＭΩ、ｃｍ）とは、それ
ぞれ０．０５４８μ、Ｓ／ｃｍと１８．２５ＭΩ。
当って、水の導電率または比抵抗のいずれかのみを測定
する形式のものである。水を２段階に精製処理する装置
において、それぞれの段階での精製水の純度は、純度が
かなり異なっているにも拘らず、同じ単位で測定、検出
、表示されていた。すなわち、理論純水の導電率（単位
μ、Ｓ／Ｃｍ）と比抵抗（単位ＭΩ、ｃｍ）とは、それ
ぞれ０．０５４８μ、Ｓ／ｃｍと１８．２５ＭΩ。
ｃｍとでおるが、従来多く用いられてぎた前者の導電率
は表示単位が小数第２位に有効数字が現われデータ処理
、データ確認等において取扱いが不便であった。特に純
水と称される比抵抗が１ＭΩ。
は表示単位が小数第２位に有効数字が現われデータ処理
、データ確認等において取扱いが不便であった。特に純
水と称される比抵抗が１ＭΩ。
Ｃｍ以上の領域の水を精製する装置においてこの問題が
顕在化してきた。本発明は、この従来の精製水製造装置
における問題点を解消することを目的としてなされたも
のである。
顕在化してきた。本発明は、この従来の精製水製造装置
における問題点を解消することを目的としてなされたも
のである。
（問題点を解決するための手段）
この目的を達成するための本発明に係る精製水製造装置
の構成は、次の通りでおる。
の構成は、次の通りでおる。
（イ）原水を精製処理し、第１次精製水を製造する第１
次精製水製造要素と、 （ロ）該第１次精製水を精製処理し、第２次精製水を製
造する第２次精製水製造要素と、（ハ）前記第１次精製
水の導電率を検出する第１の検出要素と （ニ）前記第２次精製水の比抵抗を検出する第２の検出
要素と、 （ホ）前記２種類の検出要素により検出される導電率お
よび比抵抗に関する信号を表示する一つの表示手段と、 （へ）該表示手段を第１の検出要素あるいは第２の検出
要素のいずれかに結合させる切替手段とからなる精製水
製造装置でおる。
次精製水製造要素と、 （ロ）該第１次精製水を精製処理し、第２次精製水を製
造する第２次精製水製造要素と、（ハ）前記第１次精製
水の導電率を検出する第１の検出要素と （ニ）前記第２次精製水の比抵抗を検出する第２の検出
要素と、 （ホ）前記２種類の検出要素により検出される導電率お
よび比抵抗に関する信号を表示する一つの表示手段と、 （へ）該表示手段を第１の検出要素あるいは第２の検出
要素のいずれかに結合させる切替手段とからなる精製水
製造装置でおる。
本発明における第１次精製水製造要素としては、逆浸透
膜めるいは限外濾過膜を濾材とした公知の精製水製造装
置が好ましく用いられる。
膜めるいは限外濾過膜を濾材とした公知の精製水製造装
置が好ましく用いられる。
また、本発明における第２次精製水製造要素としては、
活性炭、イオン交換樹脂等を濾材として組み合せた公知
の精製水製造装置が好ましく用いられる。
活性炭、イオン交換樹脂等を濾材として組み合せた公知
の精製水製造装置が好ましく用いられる。
また、更に、本発明における水の導電率ならびに比抵抗
の検出要素としては、公知のものが用いられる。
の検出要素としては、公知のものが用いられる。
更に、本発明における導電率、比抵抗の表示手段として
は、公知のディジタル形式の表示手段、あるいはアナロ
グ形式の表示手段いずれでも良い。
は、公知のディジタル形式の表示手段、あるいはアナロ
グ形式の表示手段いずれでも良い。
次に、本発明を、その一実施態様を用いて、図面を参照
しながら、更に説明する。
しながら、更に説明する。
第１図は、本発明に係る精製水製造装置の主要部である
水の導電率ならびに比抵抗を検出、表示するためのブロ
ック図である。
水の導電率ならびに比抵抗を検出、表示するためのブロ
ック図である。
第１図は、水の導電率検出回路１と、水の比抵抗検出回
路２とが並列的に設けられ、両回路１．２の出力信号電
圧を、切替回路３により、いずれかに選択的に切り換え
、そのいずれかに基づく水質表示を、一つの表示手段４
にて表示する回路を示している。
路２とが並列的に設けられ、両回路１．２の出力信号電
圧を、切替回路３により、いずれかに選択的に切り換え
、そのいずれかに基づく水質表示を、一つの表示手段４
にて表示する回路を示している。
まず、導電率検出回路１において、第１°次精製水５の
導電率検出のための第１の検知端６は、第１次精製水通
水管路Ｂ内に突出し、相互に適切な距離をもって設けら
れた２つの電極６ａ、６ｂからなっている。電極６ａは
、第１次精製水５のインピーダンスを検出するための第
１の交流発信回路８に係合され、電極６ｂは、第１の増
幅回路９に係合されている。この増幅回路９は、第１の
アナログ増幅器１０とこれに並列に接続された抵抗１１
（Ｒ１１）からなっている。また、増幅回路９の出力側
には、第１の整流平滑回路１２と第１の温度補償回路１
３とがこの順に係合されている。
導電率検出のための第１の検知端６は、第１次精製水通
水管路Ｂ内に突出し、相互に適切な距離をもって設けら
れた２つの電極６ａ、６ｂからなっている。電極６ａは
、第１次精製水５のインピーダンスを検出するための第
１の交流発信回路８に係合され、電極６ｂは、第１の増
幅回路９に係合されている。この増幅回路９は、第１の
アナログ増幅器１０とこれに並列に接続された抵抗１１
（Ｒ１１）からなっている。また、増幅回路９の出力側
には、第１の整流平滑回路１２と第１の温度補償回路１
３とがこの順に係合されている。
交流発信回路８の発信周波数は、導電率検出回路１と比
抵抗検出回路２の双方の出力信号電圧が表示計４で処理
し易いレベルになること、ならびに、第１次精製水５の
導電率の程度を考慮して定められるが、たとえば、第１
次精製水５の導電率レベルが０．１μｓ／Ｃｍ 〜１０
０μｓ／Ｃｍに対しては、６００Ｈｚ〜３ＫＨ２とする
のが好ましく、８００Ｈｚ〜２に日２とするのがより好
ましい。
抵抗検出回路２の双方の出力信号電圧が表示計４で処理
し易いレベルになること、ならびに、第１次精製水５の
導電率の程度を考慮して定められるが、たとえば、第１
次精製水５の導電率レベルが０．１μｓ／Ｃｍ 〜１０
０μｓ／Ｃｍに対しては、６００Ｈｚ〜３ＫＨ２とする
のが好ましく、８００Ｈｚ〜２に日２とするのがより好
ましい。
また、交流発信回路８の電源電圧は、１０〜２０Ｖが好
ましい。また、更に、電圧変換回路９による変換率は、
１１５０倍〜１／２００倍が望ましい。なお、第１次精
製水５の抵抗をＲ５とし、増幅前の信号電圧をＥｉとす
ると、増幅後の信号電圧Ｅ○は、Ｅｏ＝−（Ｒ１１／Ｒ
５）ＸＥ ｉ （Ｖ）となる。
ましい。また、更に、電圧変換回路９による変換率は、
１１５０倍〜１／２００倍が望ましい。なお、第１次精
製水５の抵抗をＲ５とし、増幅前の信号電圧をＥｉとす
ると、増幅後の信号電圧Ｅ○は、Ｅｏ＝−（Ｒ１１／Ｒ
５）ＸＥ ｉ （Ｖ）となる。
一方、比抵抗検出回路２において、第２次精製水１４の
比抵抗検出のための第２の検知端１５は、第２次精製水
通水管Ｃ内に突出し、相互に適切な距離をもって設けら
れた２つの電極１５ａ、１５ｂからなっている。電極１
５ａは、第２次精製水１４のインピーダンスを検出する
ための第２の交流発信回路１７に抵抗１８（Ｒ１８）を
介して係合され、また第２の増幅回路１９に係合され、
電極１５ｂは、増幅回路１９の出力側に係合されている
。この増幅回路１９は、第２のアナログ増幅器２０から
なっている。また増幅回路１９の出力側には、第２の整
流平滑回路２１と第２の温度補償回路２２とがこの順に
係合されている。交流発信回路１７の発信周波数は、導
電率検出回路１と比抵抗検出回路２の双方の出力信号電
圧が表示計４で処理し易いレベルになること、ならびに
、第２次精製水１４の比抵抗の程度を考慮して定められ
るが、たとえば、第２次精製水１４の比抵抗レベルが３
ＭΩ〜１８ＭΩに対しては、５０Ｈ２〜５００Ｈ２とす
るのが好ましく、８０Ｈｚ 〜２００Ｈｚとするのがよ
り好ましい。なあ、抵抗１８（Ｒ１８）は、前記抵抗１
１（Ｒ１１）と異なり、逆数表示とするために、アナロ
グ増幅器２０の前に直列に入れられている。また、アナ
ログ増幅器２０は、比抵抗検知端１５に対して並列的に
設けられている。なお、また、アナログ増幅器２０の出
力電圧ＥＯは、抵抗１８の抵抗をＲ１８、第２次精製水
１４の抵抗をＲ１４、増幅前の電圧をＥｉとすると、Ｅ
Ｏ＝ −（Ｒ１４／Ｒ１８） ＸＥ １（Ｖ）となる。
比抵抗検出のための第２の検知端１５は、第２次精製水
通水管Ｃ内に突出し、相互に適切な距離をもって設けら
れた２つの電極１５ａ、１５ｂからなっている。電極１
５ａは、第２次精製水１４のインピーダンスを検出する
ための第２の交流発信回路１７に抵抗１８（Ｒ１８）を
介して係合され、また第２の増幅回路１９に係合され、
電極１５ｂは、増幅回路１９の出力側に係合されている
。この増幅回路１９は、第２のアナログ増幅器２０から
なっている。また増幅回路１９の出力側には、第２の整
流平滑回路２１と第２の温度補償回路２２とがこの順に
係合されている。交流発信回路１７の発信周波数は、導
電率検出回路１と比抵抗検出回路２の双方の出力信号電
圧が表示計４で処理し易いレベルになること、ならびに
、第２次精製水１４の比抵抗の程度を考慮して定められ
るが、たとえば、第２次精製水１４の比抵抗レベルが３
ＭΩ〜１８ＭΩに対しては、５０Ｈ２〜５００Ｈ２とす
るのが好ましく、８０Ｈｚ 〜２００Ｈｚとするのがよ
り好ましい。なあ、抵抗１８（Ｒ１８）は、前記抵抗１
１（Ｒ１１）と異なり、逆数表示とするために、アナロ
グ増幅器２０の前に直列に入れられている。また、アナ
ログ増幅器２０は、比抵抗検知端１５に対して並列的に
設けられている。なお、また、アナログ増幅器２０の出
力電圧ＥＯは、抵抗１８の抵抗をＲ１８、第２次精製水
１４の抵抗をＲ１４、増幅前の電圧をＥｉとすると、Ｅ
Ｏ＝ −（Ｒ１４／Ｒ１８） ＸＥ １（Ｖ）となる。
次に、これら導電率、比抵抗の２種類の検出信号電圧
は、温度補償回路１３と温度補償回路２２とからそれぞ
れ切替回路３に入力されるが、切替回路３に係合された
表示回路４にて、いずれのデータを表示するかは、検出
者によって、切替回路３を選択的に切換ることによって
なされ、表示回路４に表示される。
は、温度補償回路１３と温度補償回路２２とからそれぞ
れ切替回路３に入力されるが、切替回路３に係合された
表示回路４にて、いずれのデータを表示するかは、検出
者によって、切替回路３を選択的に切換ることによって
なされ、表示回路４に表示される。
第２図は、本発明に係る精製水製造装置の一実施例の全
体を示すフロー図であり、第１図に示した導電率検出端
６及び比抵抗検出端１５が、第１次精製水通水管路Ｂお
よび第２次精製水通水管路Ｃ中に設けられていることが
示されている。
体を示すフロー図であり、第１図に示した導電率検出端
６及び比抵抗検出端１５が、第１次精製水通水管路Ｂお
よび第２次精製水通水管路Ｃ中に設けられていることが
示されている。
原水通水管路Ａの一端は、水通（図示せず）に連結され
、他端は、逆浸透膜が収納された第１の；濾過ユニット
（第１次精製水製造要素）２７の入口に連結されている
。原水通水管路Ａ中には、プレフィルタ−２３、圧力ス
イッチ２４、第１の給水電磁弁２５、第１の給水ポンプ
２６がこの順に介在している。第１の；濾過ユニット２
７の出口には、第１次精製水通水管路Ｂの一端が連結さ
れ、この管路Ｂの他端は、活性炭、イオン交換体が収納
された第２の濾過ユニット（第２次精製水製造要素）３
４の入口に連結されている。第１次精製水通水管路Ｂ中
には、導電率検知端６、精製水貯留タンク３１、第２の
給水ポンプ３２、第２の給水電磁弁３３がこの順に介在
している。第２の濾過ユニット３４の出口には、第２次
精製水通水管路Ｃの一端が連結され、この管路Ｃの他端
は、ファイナルフィルター３５を介して第２次精製水供
給コック３６に連結されている。一方、精製水貯留タン
ク３１には、第１次精製水導出管路Ｆの一端が連結され
、この管路Ｆの他端は、第１次精製水供給コック３７に
連結されている。また、第１の濾過ユニット２７からは
、排水管路りが導出され、排水管路りには、自動フラッ
シュ弁２８が設けられ、かつ排水管路りには、自動フラ
ッシュ弁２８を挟んで並列に、排水補助管路Ｅが併設さ
れ、排水補助管路Ｅには、運転圧設定弁２９が設けられ
ている。
、他端は、逆浸透膜が収納された第１の；濾過ユニット
（第１次精製水製造要素）２７の入口に連結されている
。原水通水管路Ａ中には、プレフィルタ−２３、圧力ス
イッチ２４、第１の給水電磁弁２５、第１の給水ポンプ
２６がこの順に介在している。第１の；濾過ユニット２
７の出口には、第１次精製水通水管路Ｂの一端が連結さ
れ、この管路Ｂの他端は、活性炭、イオン交換体が収納
された第２の濾過ユニット（第２次精製水製造要素）３
４の入口に連結されている。第１次精製水通水管路Ｂ中
には、導電率検知端６、精製水貯留タンク３１、第２の
給水ポンプ３２、第２の給水電磁弁３３がこの順に介在
している。第２の濾過ユニット３４の出口には、第２次
精製水通水管路Ｃの一端が連結され、この管路Ｃの他端
は、ファイナルフィルター３５を介して第２次精製水供
給コック３６に連結されている。一方、精製水貯留タン
ク３１には、第１次精製水導出管路Ｆの一端が連結され
、この管路Ｆの他端は、第１次精製水供給コック３７に
連結されている。また、第１の濾過ユニット２７からは
、排水管路りが導出され、排水管路りには、自動フラッ
シュ弁２８が設けられ、かつ排水管路りには、自動フラ
ッシュ弁２８を挟んで並列に、排水補助管路Ｅが併設さ
れ、排水補助管路Ｅには、運転圧設定弁２９が設けられ
ている。
プレフィルタ−２３は、水道水中に含まれているゴミ、
＠濁固形物質等を予め除くためのものである。圧力スイ
ッチ２４は、給水圧力が規定圧力以下であるとき、第１
の給水電磁弁２５および第１の給水ポンプ２６が作動し
ないように、インターロックするための圧力検出器であ
る。この第１の給水ポンプ２６で送られた水道水は、逆
浸透膜が収納された第１の；濾過ユニット２７で精製処
理され、精製水貯留タンク３１に流入し、第１次精製水
として貯留される。この間に、導電率検出端６で、第１
次精製水の導電率が検出される。自動フラッシュ弁２８
は、第１の；濾過ユニット２７に一定時間通水されない
場合に、自動的にフラッシングさせて、第１の）濾過ユ
ニット２７中の逆浸透膜の保護を図るためのものであり
、運転圧設定弁２９は、）濾過ユニットの運転圧力を設
定するためのものである。また、排水管路りに介在する
圧力計３０は、第１の濾過ユニット２７の運転圧力を知
るためのものである。
＠濁固形物質等を予め除くためのものである。圧力スイ
ッチ２４は、給水圧力が規定圧力以下であるとき、第１
の給水電磁弁２５および第１の給水ポンプ２６が作動し
ないように、インターロックするための圧力検出器であ
る。この第１の給水ポンプ２６で送られた水道水は、逆
浸透膜が収納された第１の；濾過ユニット２７で精製処
理され、精製水貯留タンク３１に流入し、第１次精製水
として貯留される。この間に、導電率検出端６で、第１
次精製水の導電率が検出される。自動フラッシュ弁２８
は、第１の；濾過ユニット２７に一定時間通水されない
場合に、自動的にフラッシングさせて、第１の）濾過ユ
ニット２７中の逆浸透膜の保護を図るためのものであり
、運転圧設定弁２９は、）濾過ユニットの運転圧力を設
定するためのものである。また、排水管路りに介在する
圧力計３０は、第１の濾過ユニット２７の運転圧力を知
るためのものである。
精製水貯留タンク３１に溜められた精製水は、第２の給
水ポンプで、第２の給水電磁弁３３を経て第２の；濾過
ユニット３４に送水される。この第２の濾過ユニット３
４で、精製処理されて得られた第２次精製水は、比抵抗
検出端１５でその水質をチェックされた後、ファイナル
フィルター３５を経て、第２次精製水供給コック３６か
ら取り出され利用に供される。また、第１次精製水供給
コック３７を開放することにより、第１次精製水を利用
に供することができる。
水ポンプで、第２の給水電磁弁３３を経て第２の；濾過
ユニット３４に送水される。この第２の濾過ユニット３
４で、精製処理されて得られた第２次精製水は、比抵抗
検出端１５でその水質をチェックされた後、ファイナル
フィルター３５を経て、第２次精製水供給コック３６か
ら取り出され利用に供される。また、第１次精製水供給
コック３７を開放することにより、第１次精製水を利用
に供することができる。
上記導電率ならびに比抵抗の検出、表示は、次のように
してなされる。導電率検出回路１において、交流電源電
圧を発信回路８に印加すると、発信回路８の発信周波数
ωにより、第１次精製水５″のインピーダンスＩＺ１に
応じた数■の方形波信号電圧Ｅｉが生じる。これは、ア
ナログ増幅器１０で、１７１００倍に増幅された後、整
流平滑回路１２で整流される。しかる復、温度補償回路
１３で出力信号電圧が調整され、切換回路３に印加され
る。この時点における整流された出力信号電圧は、Ｏ■
〜１■である。また、同様にして比抵抗検出回路２で得
られた出力信号電圧ＥＯは、切換回路３に印加される。
してなされる。導電率検出回路１において、交流電源電
圧を発信回路８に印加すると、発信回路８の発信周波数
ωにより、第１次精製水５″のインピーダンスＩＺ１に
応じた数■の方形波信号電圧Ｅｉが生じる。これは、ア
ナログ増幅器１０で、１７１００倍に増幅された後、整
流平滑回路１２で整流される。しかる復、温度補償回路
１３で出力信号電圧が調整され、切換回路３に印加され
る。この時点における整流された出力信号電圧は、Ｏ■
〜１■である。また、同様にして比抵抗検出回路２で得
られた出力信号電圧ＥＯは、切換回路３に印加される。
切換回路３にそれぞれ印加されている検出信号は、いず
れの検出信号の表示を望むか、切換回路３で切換え選択
し、表示回路４中に設けられた発光ダイオード（図示せ
ず〉により表示計にディスプレイされる。
れの検出信号の表示を望むか、切換回路３で切換え選択
し、表示回路４中に設けられた発光ダイオード（図示せ
ず〉により表示計にディスプレイされる。
本発明に係る精製水製造装置においては、第１次精製水
の導電率が、１μＳ／Ｃｍ〜１０００μＳ／Ｃｍの範囲
で、第２次精製水の比抵抗が、３ＭΩ、Ｃｍ〜１８ＭΩ
、Ｃｍの範囲において好まし〈実施することができた。
の導電率が、１μＳ／Ｃｍ〜１０００μＳ／Ｃｍの範囲
で、第２次精製水の比抵抗が、３ＭΩ、Ｃｍ〜１８ＭΩ
、Ｃｍの範囲において好まし〈実施することができた。
なお、上記実施例においては、第１次精製水の水質検出
のために、導電率検出回路１のみを、また第２次精製水
の水質検出のために、比抵抗検出回路２のみを用いてい
るが、第１次精製水の水質検出のために、比抵抗検出回
路を併設し、また第２次精製水の水質検出ために、導電
率検出回路を併設しておいても良い。。
のために、導電率検出回路１のみを、また第２次精製水
の水質検出のために、比抵抗検出回路２のみを用いてい
るが、第１次精製水の水質検出のために、比抵抗検出回
路を併設し、また第２次精製水の水質検出ために、導電
率検出回路を併設しておいても良い。。
（発明の効果）
本発明は、水を２段階に精製処理する装置において、第
１段階の処理水の純度と第２段階の処理水の純度との検
出を、それぞれに適した単位で、検出表示するようにな
したため、従来の水の純度を検出するに当って、水の導
電率または比抵抗のいずれかのみを測定する形式を用い
ている精製水製造装置における水質に関するデータ処理
、データ確認等における不便さが解消され、特に超純水
と称される比抵抗が１０ＭΩ、Ｃｍ以上の領域の水を精
製する装置におけるこの不便さの問題を児事に解決する
ことができた。
１段階の処理水の純度と第２段階の処理水の純度との検
出を、それぞれに適した単位で、検出表示するようにな
したため、従来の水の純度を検出するに当って、水の導
電率または比抵抗のいずれかのみを測定する形式を用い
ている精製水製造装置における水質に関するデータ処理
、データ確認等における不便さが解消され、特に超純水
と称される比抵抗が１０ＭΩ、Ｃｍ以上の領域の水を精
製する装置におけるこの不便さの問題を児事に解決する
ことができた。
第１図は、本発明に係る精製水製造装置の主要部である
水の導電率ならびに比抵抗を検出、表示するためのブロ
ック図、第２図は、第１図に示した計測手段を内蔵した
本発明に係る精製水製造装置の全体フロー図である。 図面の簡単な説明 １：導電率検出回路 ２二比抵抗検出回路 ３：切換回路 ４：表示回路 ５：第１次精製水 ６：第１の検知端 ６ａ、６ｂ：電極 ８：第１の交流発信回路 ９：第１の増幅回路 １０：第１のアナログ増幅器 １１：抵抗 １２；第１の整流平滑回路 １３：第１の温度補償回路 １４：第２次精製水 １５：第２の検知端 １５ａ、１５ｂ：電極 １７：第２の発信回路 １８：抵抗 １９：第２の増幅回路 ２０：第２のアナログ増幅型 ２１：第２の整流平滑回路 ２２：第２の温度補償回路 ２３ニブレフイルター ２４：圧力スイッチ ２５：第１の給水電磁弁 ２６：第１の給水ポンプ ２７：第１の；濾過ユニット ２８二自動フラツシユ弁 ２９：運転圧設定弁 ３０：圧力計 ３１：精製水貯留タンク ３２：第２の給水ポンプ ３３：第２の給水電磁弁 ３４：第２の；濾過ユニット ３５：ファイナルフィルター ３６：第２次精製水供給コック ３７：第１次精製水供給コック へ二原水通水管路 Ｂ：第１次精製水通水管路 Ｃ：第２次精製水通水管路 Ｄ：排水管路 Ｅ：排水補助管路 Ｆ：第１次精製水導出管路
水の導電率ならびに比抵抗を検出、表示するためのブロ
ック図、第２図は、第１図に示した計測手段を内蔵した
本発明に係る精製水製造装置の全体フロー図である。 図面の簡単な説明 １：導電率検出回路 ２二比抵抗検出回路 ３：切換回路 ４：表示回路 ５：第１次精製水 ６：第１の検知端 ６ａ、６ｂ：電極 ８：第１の交流発信回路 ９：第１の増幅回路 １０：第１のアナログ増幅器 １１：抵抗 １２；第１の整流平滑回路 １３：第１の温度補償回路 １４：第２次精製水 １５：第２の検知端 １５ａ、１５ｂ：電極 １７：第２の発信回路 １８：抵抗 １９：第２の増幅回路 ２０：第２のアナログ増幅型 ２１：第２の整流平滑回路 ２２：第２の温度補償回路 ２３ニブレフイルター ２４：圧力スイッチ ２５：第１の給水電磁弁 ２６：第１の給水ポンプ ２７：第１の；濾過ユニット ２８二自動フラツシユ弁 ２９：運転圧設定弁 ３０：圧力計 ３１：精製水貯留タンク ３２：第２の給水ポンプ ３３：第２の給水電磁弁 ３４：第２の；濾過ユニット ３５：ファイナルフィルター ３６：第２次精製水供給コック ３７：第１次精製水供給コック へ二原水通水管路 Ｂ：第１次精製水通水管路 Ｃ：第２次精製水通水管路 Ｄ：排水管路 Ｅ：排水補助管路 Ｆ：第１次精製水導出管路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （イ）原水を精製処理し、第１次精製水を製造する第１
次精製水製造要素と、 （ロ）該第１次精製水を精製処理し、第２次精製水を製
造する第２次精製水製造要素と、 （ハ）前記第１次精製水の導電率を検出する第１の検出
要素と、 （ニ）前記第２次精製水の比抵抗を検出する第２の検出
要素と、 （ホ）前記２種類の検出要素により検出される導電率お
よび比抵抗に関する信号を表示する一つの表示手段と、 （ヘ）該表示手段を第１の検出要素あるいは第２の検出
要素のいずれかに結合させる切替手段とからなる精製水
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16239286A JPS6320085A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 精製水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16239286A JPS6320085A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 精製水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320085A true JPS6320085A (ja) | 1988-01-27 |
Family
ID=15753710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16239286A Pending JPS6320085A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 精製水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012184966A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Horiba Ltd | 測定装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838181B2 (ja) * | 1978-12-22 | 1983-08-20 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 歯科用ハンドピ−ス |
| JPS59102491A (ja) * | 1982-12-06 | 1984-06-13 | Japan Organo Co Ltd | 純水送水系の水質管理システム |
| JPS59127611A (ja) * | 1982-12-31 | 1984-07-23 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 濾過方法 |
| JPS59166285A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-19 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水の比抵抗制御装置 |
| JPS603019A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-09 | Canon Inc | 電子機器 |
| JPS60209204A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-21 | Kimihiko Okanoe | 超純水製造方法 |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP16239286A patent/JPS6320085A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838181B2 (ja) * | 1978-12-22 | 1983-08-20 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 歯科用ハンドピ−ス |
| JPS59102491A (ja) * | 1982-12-06 | 1984-06-13 | Japan Organo Co Ltd | 純水送水系の水質管理システム |
| JPS59127611A (ja) * | 1982-12-31 | 1984-07-23 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 濾過方法 |
| JPS59166285A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-19 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水の比抵抗制御装置 |
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| JPS60209204A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-21 | Kimihiko Okanoe | 超純水製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012184966A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Horiba Ltd | 測定装置 |
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