JPS6319728A - 熱陰極 - Google Patents
熱陰極Info
- Publication number
- JPS6319728A JPS6319728A JP61163859A JP16385986A JPS6319728A JP S6319728 A JPS6319728 A JP S6319728A JP 61163859 A JP61163859 A JP 61163859A JP 16385986 A JP16385986 A JP 16385986A JP S6319728 A JPS6319728 A JP S6319728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot cathode
- radiators
- thermion
- magnetic fields
- making
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 6
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910025794 LaB6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004533 TaB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003340 mental effect Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は熱電子を発生させるための熱陰極、とくに磁界
の発生を防止した熱陰極に関する。
の発生を防止した熱陰極に関する。
（従来の技術）
タングステン、タンタルなどの金属からなる熱電子放射
体をラセン状に巻くことによって輻射による熱損失を小
さく、かつ小型化した熱陰極は一般に知られている（公
知文献例：石川頭三著「イオン源工学」昭和６１年５月
アイオニクス■発行）。
体をラセン状に巻くことによって輻射による熱損失を小
さく、かつ小型化した熱陰極は一般に知られている（公
知文献例：石川頭三著「イオン源工学」昭和６１年５月
アイオニクス■発行）。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、ラセン状に巻かれた熱電子放射体からな
る熱陰極は磁界が発生しやすいという欠点がある。
る熱陰極は磁界が発生しやすいという欠点がある。
たとえば、ＬＳＩの製造プロセスおよびその他の分野で
用いられる電子衝撃型イオン源において、イオン源に導
入したガスに熱電子を衝突させて放電を形成させるため
に熱陰極が用いられるが、熱陰極で磁界が発生すると、
磁界によシ熱電子の飛程が乱れ、ガスの放電が不均一な
ものになる（参考文献： Ｙ、 ０ｈａｒａ ｅｔａｌ
、、 ” ３ Ｄ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆｔｈ
ｅ Ｐｒｉｍａｒｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ ０ｒｂｉｔｓ
ｉｎ ａ ＭａｇｎｅｔｉｃＭｕｌｔ、１ｐｏｌｅ
Ｐｌａｓｍａ ５ｏｕｒｃｅ”、 Ｐｒｏｃ、 １Ｑｔ
ｈ ｓｙｍｐ。
用いられる電子衝撃型イオン源において、イオン源に導
入したガスに熱電子を衝突させて放電を形成させるため
に熱陰極が用いられるが、熱陰極で磁界が発生すると、
磁界によシ熱電子の飛程が乱れ、ガスの放電が不均一な
ものになる（参考文献： Ｙ、 ０ｈａｒａ ｅｔａｌ
、、 ” ３ Ｄ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆｔｈ
ｅ Ｐｒｉｍａｒｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ ０ｒｂｉｔｓ
ｉｎ ａ ＭａｇｎｅｔｉｃＭｕｌｔ、１ｐｏｌｅ
Ｐｌａｓｍａ ５ｏｕｒｃｅ”、 Ｐｒｏｃ、 １Ｑｔ
ｈ ｓｙｍｐ。
ｏｎ ｌ３ＩＡＴ ＸＴｏｋｙｏ、＋８６、ｐ １５７
（１９８６））。
（１９８６））。
本廃明は発生する磁界が効果的に打消され、小型でかつ
輻射による熱損失の小さい熱陰極を提供することを目的
とする。
輻射による熱損失の小さい熱陰極を提供することを目的
とする。
（問題点を解決するだめの手段）
本発明者らは熱電子放射体の構造について検討を重ねた
結果、きわめて効果的に磁界が打消される構造を見出し
た。
結果、きわめて効果的に磁界が打消される構造を見出し
た。
すなわち、本発明は、２本の並行らせん巻熱電子放射体
の各一端を電気的に閉じ、他の各一端金給電端子とする
熱陰極である。
の各一端を電気的に閉じ、他の各一端金給電端子とする
熱陰極である。
以下、本発明について詳しく説明する。第１図は本発明
の熱陰極である。２本の熱電子放射体１ａｓ１ｂは並行
らせん巻とし、その各一端は折返し点２で電気的に閉じ
ており（いいかえれば、電気的に接続しており）、他の
各一端を給電端子３ａ。
の熱陰極である。２本の熱電子放射体１ａｓ１ｂは並行
らせん巻とし、その各一端は折返し点２で電気的に閉じ
ており（いいかえれば、電気的に接続しており）、他の
各一端を給電端子３ａ。
３ｂとする。
なお、当然のことながら上記折返し点２はとぐに閉じる
操作を行なうことなく、始めから連続しているものでも
よい。たとえば、熱電子放射体が折曲げ可能の線状であ
れば、熱電子放射体をその途中で折曲げて、そこを折返
し点２としてもよい。
操作を行なうことなく、始めから連続しているものでも
よい。たとえば、熱電子放射体が折曲げ可能の線状であ
れば、熱電子放射体をその途中で折曲げて、そこを折返
し点２としてもよい。
本発明において熱電子放射体はＷＸＴａ、Ｒｅ’ｉＭｏ
等の金属の外、炭素も適しており、また原子番号５７か
ら７１までのランタン系元素もしくはアルカリ土類から
なる六ホウ化物、または周期律表の■〜■族元素の炭化
物、窒化物等の無機化合物も用いられる。これらの無機
化合物はたとえば８ｒＢ６ 、ＬａＢ６ 、ＴｉＢ２
、ＺｒＢ２ 、ＴａＢ２ 、ＴｉＣ。
等の金属の外、炭素も適しており、また原子番号５７か
ら７１までのランタン系元素もしくはアルカリ土類から
なる六ホウ化物、または周期律表の■〜■族元素の炭化
物、窒化物等の無機化合物も用いられる。これらの無機
化合物はたとえば８ｒＢ６ 、ＬａＢ６ 、ＴｉＢ２
、ＺｒＢ２ 、ＴａＢ２ 、ＴｉＣ。
ＺｒＣＸＨｆＣなどであシ、単結晶または焼結体が用い
られる。
られる。
加工法は熱電子放射体が金属の柔軟な線であれば曲げ加
工により上記の通シラセン状に巻くことが可能である。
工により上記の通シラセン状に巻くことが可能である。
熱電子放射体が単結晶、セラミックスまたは硬質の金属
である場合にはそれらの材料の管状体からワイヤカット
放電加工法によシ加工することができる。
である場合にはそれらの材料の管状体からワイヤカット
放電加工法によシ加工することができる。
管状体の製作方法は熱電子放射体が単結晶の場合には単
結晶を旋盤、研削盤等により加工するか、またはワイヤ
カット放電加工機によって切断すればよい。熱電子放射
体が焼結体の場合には焼結時の型によシ管状体の焼結体
を得るか、または焼結体を上記同様切削または切断すれ
ばよい。
結晶を旋盤、研削盤等により加工するか、またはワイヤ
カット放電加工機によって切断すればよい。熱電子放射
体が焼結体の場合には焼結時の型によシ管状体の焼結体
を得るか、または焼結体を上記同様切削または切断すれ
ばよい。
第６図はワイヤカット放電加工法によシ管状体から本発
明の熱陰極の製造法を示すものである。
明の熱陰極の製造法を示すものである。
管状体の端にワイヤカット放電加工機のワイヤ７を当て
、管状体をその軸を中心に回転させながら、管状体を軸
方向に移動させることによって管状体を切シ進むことに
よって２本の並行らせん巻の熱電子放射体が得られる。
、管状体をその軸を中心に回転させながら、管状体を軸
方向に移動させることによって管状体を切シ進むことに
よって２本の並行らせん巻の熱電子放射体が得られる。
上記のワイヤカット放電加工法において、ワイヤによる
切シ始めを管状体端末でなく、端末近傍とすることによ
って折返し点が連続した並行らせん巻となる。
切シ始めを管状体端末でなく、端末近傍とすることによ
って折返し点が連続した並行らせん巻となる。
（作用）
途中で折返して２条とした熱電子放射体が並行して巻か
れているので熱電子放射体に流れる電流が折返し点を境
にして互に逆方向になる。そのため各条の周囲に生ずる
磁界の方向も互に逆方向になるので磁界の打消し合いに
なシ、磁界が消える。
れているので熱電子放射体に流れる電流が折返し点を境
にして互に逆方向になる。そのため各条の周囲に生ずる
磁界の方向も互に逆方向になるので磁界の打消し合いに
なシ、磁界が消える。
（実施例）
以下、実施例によシ本発明の熱陰極について具体的に説
明する。第２図から第５図までは本発明の熱陰極の具体
例を示したものである。
明する。第２図から第５図までは本発明の熱陰極の具体
例を示したものである。
熱陰極材料としてタングステンを用いワイヤカット放電
加工法により、外径１０ｍｍ、内径７龍、高さ２８朋の
円筒状に加工をおこなった。ついで、円筒の一万の端部
を二つの給電端子３ａＳ３ｂとするため、ワイヤカット
放電加工によりスリット４を形成した。他方の端部近傍
に貫通する穴５をあけてワイヤを通し、タングステン製
円筒をその軸を中心に回転させながら軸方向に移動させ
て切断を進めピッチ４．１ｍｍ、らせんとらせんの間の
切ｐ代０．３ｕの２条らせん体を形成した。
加工法により、外径１０ｍｍ、内径７龍、高さ２８朋の
円筒状に加工をおこなった。ついで、円筒の一万の端部
を二つの給電端子３ａＳ３ｂとするため、ワイヤカット
放電加工によりスリット４を形成した。他方の端部近傍
に貫通する穴５をあけてワイヤを通し、タングステン製
円筒をその軸を中心に回転させながら軸方向に移動させ
て切断を進めピッチ４．１ｍｍ、らせんとらせんの間の
切ｐ代０．３ｕの２条らせん体を形成した。
得られた熱陰極を真空チャンバー内の支持電極に取シ付
けるためにメンタル製帯状板６ａ＋６ｂをスポット溶接
により給電端子３ａ、３ｂに取り付けた。帯状板５ａ、
５ｈに直流電源を接続し、Ｉ Ｘ １０”−５Ｔｏｒｒ
の真空中で通電することによって加熱を行なった。光高
温計でラセン体の温度を測定しながら電源電圧の調節を
行なった。その結果、ラセン体の温度を２０００’Ｏに
維持するための電流は９８アンペア、所要電力は４９０
ワツトであった。この電力は同形状の１．５ Ｘ １．
７５ｍｍの断面を持つ角棒状のフィラメントと比較して
約３割小さかった。
けるためにメンタル製帯状板６ａ＋６ｂをスポット溶接
により給電端子３ａ、３ｂに取り付けた。帯状板５ａ、
５ｈに直流電源を接続し、Ｉ Ｘ １０”−５Ｔｏｒｒ
の真空中で通電することによって加熱を行なった。光高
温計でラセン体の温度を測定しながら電源電圧の調節を
行なった。その結果、ラセン体の温度を２０００’Ｏに
維持するための電流は９８アンペア、所要電力は４９０
ワツトであった。この電力は同形状の１．５ Ｘ １．
７５ｍｍの断面を持つ角棒状のフィラメントと比較して
約３割小さかった。
ガウスメーターによ）ラセン体から５ｃＩｎ離れた空間
の磁界を測定したところその値は０．１ガウス以下であ
った。
の磁界を測定したところその値は０．１ガウス以下であ
った。
（発明の効果）
本発明の熱陰極は磁界の発生がきわめて小さく、輻射に
よる熱損失が小さく、かつ小型である。さらに、熱陰極
がらせん構造であるため弾性を有し、熱応力に耐えて寿
命が長い。本発明の熱陰極は電子衝撃型イオン源のほか
、電子ビーム露光装置、電子顕微鏡、陰極線管、微小磁
気測定計器など磁気による妨害を受けやすい装置に組込
まれる熱陰極としてとくに適している。
よる熱損失が小さく、かつ小型である。さらに、熱陰極
がらせん構造であるため弾性を有し、熱応力に耐えて寿
命が長い。本発明の熱陰極は電子衝撃型イオン源のほか
、電子ビーム露光装置、電子顕微鏡、陰極線管、微小磁
気測定計器など磁気による妨害を受けやすい装置に組込
まれる熱陰極としてとくに適している。
第１図から第５図までは本発明の熱陰極であ択第１図お
よび第２図は斜視図、第３図および第４図は正面図、第
５図は平面図である。第６図は本発明の熱陰極の製造法
を示す斜視図である。 符号 １ａｌｌｂ・・・熱電子放射体、２・・・折返し
点、３ａ１３ｂ・・・給電端子、４・・・スリット、５
・・・穴、ｓａ、ｓｂ・・・帯状板、７・・・ワイヤ、
８・・・ワイヤ保持具 特許出願人 電気化学工業株式会社 第７図 Ｄ 第２図 第３図 第４図 第５図 １ｏ−・ １ｂ−−一 熟宅子ンΣ黛；肘イｔ（２−一
一折ｉＬ Ｌ 、針、 ３ｄ、８ｂ−−一球克嶋モ ４ −ｍ−不リット ５ −−− 々 ８ｃＬ６ｂ−、ｆｒＦＪＪｒＦｔ ７ −−−フイで ８ −−−フイｉ−イＡミ丁手兵手 続
補 正 占 昭和６１年９月１６日 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 １、事件の表示 昭和６１年特許願第１６３８５９号 ２、発明の名称 熱陰極 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ■１００ 東京都千代田区有楽町１丁目４＠１号
明細書の発明の詳細な説明の憫 ５、補正の内容 明細書第７頁第３行〜第４行に記載の「電子衝撃型イオ
ン源のほか、」を削除し、その代りに［カウフマン（Ｋ
ａｕｒｍａｎ）型、フリーマン（Ｆ撃型イオン源のほか
、ニールセン（Ｎ ｉ ｅ ｌ ｓ ｅｎ）型、スカン
ジナビアン（Ｓｃａｎｄｉｎａｖｉ ａ ｎ）型等の電
子振動型イオン源、ビームプラズマ型イオン源、ヒル・
アンド・ネルマン（Ｈｉｌｌ ａｎｄ Ｎｅ１ｓｏ
ｎ）型等のスパンタイオン源、ＰＩＧ型イオン源、モノ
プラズマトロン、デュオプラズマトロン、デュオピガト
ロン、二指スパッタリング装置、電子ビーム溶接装置、
」を挿入する。 昭和６２年２月２８日 １、事件の表示 昭和６１年特許願第１６３８５９号 ２、発明の名称 熱陰極 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ■１００ 東京都千代田区有楽町１丁目４番１
号図面の第３図および第４図 ５、補正の内容 別紙の通り 、ｌ−−１Ｎ５ 第３図 第４図
よび第２図は斜視図、第３図および第４図は正面図、第
５図は平面図である。第６図は本発明の熱陰極の製造法
を示す斜視図である。 符号 １ａｌｌｂ・・・熱電子放射体、２・・・折返し
点、３ａ１３ｂ・・・給電端子、４・・・スリット、５
・・・穴、ｓａ、ｓｂ・・・帯状板、７・・・ワイヤ、
８・・・ワイヤ保持具 特許出願人 電気化学工業株式会社 第７図 Ｄ 第２図 第３図 第４図 第５図 １ｏ−・ １ｂ−−一 熟宅子ンΣ黛；肘イｔ（２−一
一折ｉＬ Ｌ 、針、 ３ｄ、８ｂ−−一球克嶋モ ４ −ｍ−不リット ５ −−− 々 ８ｃＬ６ｂ−、ｆｒＦＪＪｒＦｔ ７ −−−フイで ８ −−−フイｉ−イＡミ丁手兵手 続
補 正 占 昭和６１年９月１６日 特許庁長官 黒 １）明 雄 殿 １、事件の表示 昭和６１年特許願第１６３８５９号 ２、発明の名称 熱陰極 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ■１００ 東京都千代田区有楽町１丁目４＠１号
明細書の発明の詳細な説明の憫 ５、補正の内容 明細書第７頁第３行〜第４行に記載の「電子衝撃型イオ
ン源のほか、」を削除し、その代りに［カウフマン（Ｋ
ａｕｒｍａｎ）型、フリーマン（Ｆ撃型イオン源のほか
、ニールセン（Ｎ ｉ ｅ ｌ ｓ ｅｎ）型、スカン
ジナビアン（Ｓｃａｎｄｉｎａｖｉ ａ ｎ）型等の電
子振動型イオン源、ビームプラズマ型イオン源、ヒル・
アンド・ネルマン（Ｈｉｌｌ ａｎｄ Ｎｅ１ｓｏ
ｎ）型等のスパンタイオン源、ＰＩＧ型イオン源、モノ
プラズマトロン、デュオプラズマトロン、デュオピガト
ロン、二指スパッタリング装置、電子ビーム溶接装置、
」を挿入する。 昭和６２年２月２８日 １、事件の表示 昭和６１年特許願第１６３８５９号 ２、発明の名称 熱陰極 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 ■１００ 東京都千代田区有楽町１丁目４番１
号図面の第３図および第４図 ５、補正の内容 別紙の通り 、ｌ−−１Ｎ５ 第３図 第４図
Claims (1)
- ２本の並行らせん巻熱電子放射体の各一端を電気的に
閉じ、他の各一端を給電端子とする熱陰極。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61163859A JPS6319728A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 熱陰極 |
| GB8712116A GB2192751B (en) | 1986-07-14 | 1987-05-22 | Method of making a thermionic cathode structure. |
| DE19873717974 DE3717974A1 (de) | 1986-07-14 | 1987-05-27 | Gluehkathode |
| US07/222,300 US4878866A (en) | 1986-07-14 | 1988-07-22 | Thermionic cathode structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61163859A JPS6319728A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 熱陰極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319728A true JPS6319728A (ja) | 1988-01-27 |
| JPH0456415B2 JPH0456415B2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=15782114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61163859A Granted JPS6319728A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | 熱陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319728A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0393605U (ja) * | 1989-10-19 | 1991-09-25 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155456A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-03 | Insutoron Japan Co Ltd | Heater for scan electron microscope |
| JPS6123197U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-10 | 株式会社東芝 | タングステンヒ−タ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4059578A (en) * | 1974-09-09 | 1977-11-22 | Smithkline Corporation | 7-Substituted mercaptoacetamido cephamycins |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP61163859A patent/JPS6319728A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155456A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-03 | Insutoron Japan Co Ltd | Heater for scan electron microscope |
| JPS6123197U (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-10 | 株式会社東芝 | タングステンヒ−タ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0393605U (ja) * | 1989-10-19 | 1991-09-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0456415B2 (ja) | 1992-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3883760A (en) | Field emission x-ray tube having a graphite fabric cathode | |
| US7667379B2 (en) | Industrial hollow cathode with radiation shield structure | |
| US20050029917A1 (en) | Magnetron | |
| Luhmann et al. | Determination of HID electrode falls in a model lamp II: Langmuir-probe measurements | |
| US7965818B2 (en) | Field emission X-ray apparatus, methods, and systems | |
| US5170422A (en) | Electron emitter for an x-ray tube | |
| JPS6319728A (ja) | 熱陰極 | |
| McDonald et al. | Note: Improved heater design for high-temperature hollow cathodes | |
| US20040000853A1 (en) | Industrial hollow cathode | |
| KR101956540B1 (ko) | 탄소나노튜브 실을 포함한 초소형 엑스레이 소스 및 이를 이용한 엑스레이 발생장치 | |
| EP0520445B1 (en) | Heater coil for electron tube | |
| US3356887A (en) | Fe cathode redesign | |
| JP2975543B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
| KR101615337B1 (ko) | 탄소나노튜브 실을 포함한 엑스레이 소스 및 이를 이용한 엑스레이 발생장치 | |
| US4176293A (en) | Thermionic cathode heater having reduced magnetic field | |
| JPH0614391Y2 (ja) | 磁界フリ−型熱陰極構造体 | |
| US3504213A (en) | Nonemissive carbide elements for grids for power tubes | |
| Lim et al. | X-ray tube based on carbon nanotube field emitter for low dose mini C-arm fluoroscopy | |
| JP2747288B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
| Piosczyk | A coaxial magnetron injection gun (CMIG) for a 2 MW, 170 GHz coaxial cavity gyrotron | |
| KR101961759B1 (ko) | 탄소나노튜브 실과 비드구조물을 포함하는 엑스레이 소스 및 이를 이용한 엑스레이 발생장치 | |
| JPH01309234A (ja) | マグネトロン | |
| Ribbing et al. | Miniature X-ray Source—Development of a Prototype | |
| JPS5820090B2 (ja) | 電子衝撃加熱方式によるマグネトロン型イオン発生装置 | |
| JPH02204952A (ja) | Ｘ線発生用熱陰極 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |