JPS63197049U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63197049U JPS63197049U JP1987088872U JP8887287U JPS63197049U JP S63197049 U JPS63197049 U JP S63197049U JP 1987088872 U JP1987088872 U JP 1987088872U JP 8887287 U JP8887287 U JP 8887287U JP S63197049 U JPS63197049 U JP S63197049U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- carrier
- holding
- pores
- distributing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987088872U JPH0713964Y2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 平面研磨装置用キャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987088872U JPH0713964Y2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 平面研磨装置用キャリヤ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63197049U true JPS63197049U (pt) | 1988-12-19 |
| JPH0713964Y2 JPH0713964Y2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=30947352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987088872U Expired - Lifetime JPH0713964Y2 (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 平面研磨装置用キャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713964Y2 (pt) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007015105A (ja) * | 2006-09-25 | 2007-01-25 | Hoya Corp | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 |
| JP2012181897A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板の製造方法及びその方法に用いられるキャリアの反り方向検出装置 |
| JP2015503457A (ja) * | 2011-12-27 | 2015-02-02 | コウベ プレシジョン テクノロジー エスディーエヌ．ビーエイチディー．Ｋｏｂｅ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｄｎ．Ｂｈｄ． | アルミニウム基板ディスク上に改良された研磨線を提供するための装置及び方法 |
| JP2016112646A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 大研工業株式会社 | 薄板ワークの研削方法 |
| JP2018047552A (ja) * | 2017-12-25 | 2018-03-29 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ保持用キャリアの評価方法及び設計方法 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP1987088872U patent/JPH0713964Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007015105A (ja) * | 2006-09-25 | 2007-01-25 | Hoya Corp | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 |
| JP2012181897A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板の製造方法及びその方法に用いられるキャリアの反り方向検出装置 |
| JP2015503457A (ja) * | 2011-12-27 | 2015-02-02 | コウベ プレシジョン テクノロジー エスディーエヌ．ビーエイチディー．Ｋｏｂｅ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｄｎ．Ｂｈｄ． | アルミニウム基板ディスク上に改良された研磨線を提供するための装置及び方法 |
| JP2016112646A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 大研工業株式会社 | 薄板ワークの研削方法 |
| JP2018047552A (ja) * | 2017-12-25 | 2018-03-29 | 信越半導体株式会社 | ウェーハ保持用キャリアの評価方法及び設計方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713964Y2 (ja) | 1995-04-05 |