JPS6319657A - レジストパタ−ンの修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はレジストパターンの修正方法に関する。

（従来の技術） 従来より、エレクトロニクス装置の回路構造とか配線構
造を形成するのためにレジストパターンを形成した後エ
ツチングを行ういわゆるホトリングラフィ技術が用いら
れている。このような装置として、例えば、エレクトロ
ルミネッセンス（以下、単にＥＬと称する。）表示装置
、液晶表示装置等で代表される表示装置がある。

例えば、このＥＬ表示装置の製造方法を一例として第３
図に示した流れ図に従って主要製造工程につき簡単に説
明すると、ガラス基板上にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　　Ｔ
ｉｎ　　０ｘｉｄｅ）透明導電膜を設け（ステップ１：
以下、ステップをＳで表わす。）、この透明導電膜のホ
トリソグラフィによるパターニングを行って前面電極を
形成しくＳ２）、第−誘電体層の形成（Ｓ３）、発光層
形成（Ｓ４）、第二誘電体層の形成（Ｓ５）、背面電極
の蒸着（Ｓ６）を経た後、この背面電極のホトリソグラ
フィによるパターニングを行い（Ｓ７）、然る後、＃湿
保護封止を行っている。

このような表示装置をグラフィ、り及びキャラクタ用の
表示パネルとして使用する場合には、前面電極及び背面
電極を３〜５本／ｍｍ程度、換言すれば、例えばレジス
トパターンの幅を約２２０ｐｍ及びパターン間隔を約９
０ｐｍで形成すれば良い。しかし、陰極線管と同様に端
末表示部として使用する場合には、６４０Ｘ４００ドツ
トサイズ程度のパネルとして形成することが必要であり
、これに伴ない、基板サイズも大型とする必要があった
。

これがため、前面電極及び背面電極のバターニングの際
に、大面積塗布用に適したロールコータ或はその他の適
当な手段によってレジストを塗布する必要があった。

しかし、ロールコータ等によるレジスト塗布の場合には
、基板前面にレジスト塗布の不良箇所を作ることなくレ
ジストを塗布することは困難である。また、露光、現像
後のレジストパターンに塵埃や未塗布等に起因してレジ
ストパターンに不良箇所が発生する。

第４図（Ａ）及び（Ｂ）はこのような不良箇所を有する
レジストパターンをそれぞれ示す部分的拡大平面図であ
り、１０はレジストパターン、１２はレジストパターン
間に露出した下地例えばＩＴＯ透明導電膜、１４及び１
６はそれぞれ形態の異なる不良箇所である。

このような不良箇所１４または１６が存在するレジスト
パターン１０をそのまま使用して前面電極であるＩＴ○
透明電極或は背面電極であるＡ又電極といったストライ
ブ電極のバターニングを行うと、パターニング時にこれ
ら電極の幅が細くなって断線したり、或は、パターニン
グ後作動時に電圧を印加すると、これら電極が断線した
りすることが度々起っていた。これがため、従来はこの
ようなレジストの不良箇所に針或は筆を用いてレジスト
の塗布修正を行っていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、これら針或は筆を用いてレジストの未塗
布部分にレジストの珂塗布を行う場合、これら針や筆で
は修正に必要な一定量のレジストを塗布することは極め
て困難である。例えば、−度に多量のレジストが塗布さ
れてしまって隣接するレジストパターンと連絡を生じ、
従って電極のバターニング後に対応する箇所の電極導通
部をカントする必要が生じるため、工程が複雑となると
共に、パネル駆動時にそのカット部分が破壊し易くなる
という問題点があった。

また、これら針及び筆の先端部分に少量のレジストを保
持して塗布すると、同一不良箇所に何度も繰り返し塗布
しなければならず、従って、塗布修正に長時間を要する
という問題点があた。

この発明の目的は、このような従来のレジストパターン
の修正方法の問題点に鑑み、容易、確実しかも短時間に
不良箇所の修正を行うことが出来るように構成したレジ
ストパターンの修正方法を提供することにある。

（問題点を解決するだめの手段） この目的の達成を図るため、この発明のレジストパター
ンの修正方法によれば、次のような手段をとる。

すなわち、この発明では、マイクロディスペンサを用い
てレジストパターンの不良箇所にその箇所の不良程度に
応じた適量のレジストを塗布することを特徴とする。

この場合、塗布作業中にマイクロディスペンサのノズル
から不要なレジストが滴下するのを防止するため、好ま
しくは、このノズルに例えばタングステンその他の適当
な材質からなる細線状部材例えばワイヤを挿入しておく
のが良い。

（作用） このように、この発明では従来はレジストの修正塗布作
業に用いられていなかったマイクロディスペンサを用い
てレジストの塗布を行う。このマイクロディスペンサの
構成の一例を第２図に示す。この構成は従来既知である
ので簡単に説明すると、２０は例えば約１００ｇｍの直
径の金属ノズル、２２はバレル、２４はバレル２２内に
入れた修正用のレジスト、２６はアダプタチューブ、２
日は圧力印加タイマ、３０は排圧針、３２は圧力計、３
４は圧力調節弁、３６は排圧調節弁、３日はガス供給源
（図示せず）に連結される外部圧力ホース、４０はこの
ディスペンサのスイッチ例えばフットスイッチである。

先ず、外部圧力ホース３８をガス供給源に接続し、圧力
調節弁３４を用いて適当な圧力に設定する。この圧力は
、スイッチ４０をオンにすると、アダプタチューブ２６
を通じてバレル２２中のレジスト２４に加わり、ノズル
２０から一定量のレジストを排出する。この際、圧力の
印加時間によって約１００　ｇｍの直径のノズルからの
レジスト排出量を調節することが出来るので、この印加
時間を短く設定するほど、排出量を少なくすることが出
来る。

従って、幅が例えば約２２０ｐｍ程度のレジストパター
ンに生じている不良箇所のその不良の程度すなわちレジ
ストの塗布が欠落している領域の大きさに対応して圧力
印加時間を設定し修正用のレジストの排出量（吐出量）
を決めて、スイッチ４０をオンとすることにより、ノズ
ル２０から修正用のレジスト２４を不良箇所に適量だけ
塗布することが出来る。

この場合、ノズル２０からのレジスト２４のたれ（不要
な滴下）を防ぐため、排出時短外は排圧調節弁３４の調
節を行ってアダプタチューブ２６を通じてバレル２２内
の圧力を負圧にするが、これに代わりノズル２０に細線
状部材を挿入しておけば、排圧が掛かっていない場合に
は、毛細管現象によって、レジスト２４のたれを防ぐこ
とが出来る。

（実施例） 以下１図面を参照してこの発明のレジストパターンの修
正方法につき説明する。

第１図は不良箇所を有するレジストパターンに第２図に
示したマイクロディスペンサを用いてレジストの修正を
行った後の状態を示す部分的拡大平面図であり、５０は
レジストパターン、５２は下地、５４及び５Ｂはそれぞ
れ形態の異なる不良箇所である。そして５８は修正レジ
ストである。

このような修正を行うに当り、先ず、マイクロディスペ
ンサのノズル２０として現在入手出来る最小直径約１０
０ｇｍのノズルとし、修正用のレジスト２４として、レ
ジストパターンの形成に用いたレジスト例えば０ＦＰＲ
８００（東京応化部のポジ型レジストの商品名；粘度３
０　ｃ　ｐ）と同じレジストとした。外部圧力ホース３
８を例えば６〜７ｋｇ／ｃｍ２のＮ２ガス供給源に接続
し、圧力調節弁３４を例えば０．５〜１．０ｋｇ／ｃｍ
２程度に調節した。排出圧を０．２ｋｇ／ｃｍ２　と設
定し、顕微鏡下で不良箇所５４及び５Ｂの領域の大きさ
を確認し、それに対応する圧力印加時間を０，５秒と設
定した。その場合のノズル２０からのレジスト２４の排
出量（吐出量）はレジストの拡がりがなく、１ｌ１０−
１２０ｐ程度のスポット径が得られるような排出量であ
った。この条件下でレジストパターン５０の不良箇所５
４及び５６を修正した状態を顕微鏡下で観察したところ
、模式的に平面図として第１図に示したようにレジスト
の不良箇所の修正が行われている状態を得た。

このマイクロディスペンサにおいてレジストのたれを防
止するため、排圧を掛けて使用する場合があるが、その
場合にはバレル２２中のレジスト２４がディスペンサの
他の構成部分へアダプタチューブ２６を経て入り込んで
しまう恐れがあるので、排圧を掛けずにマイクロディス
ペンサを使用することが望ましい。

これがため、細線状部材例えばタングステン等の適当な
材料からなるワイヤをノズル２０に差し込んで通し、ノ
ズル先端から約０．１〜０．２ｍｍ程度突出させるよう
にしておくと、毛細管現象によってノズル２０から不要
な余分なレジストのだれを防止することが出来る。この
ようにすると、マイクロディスペンサ自体のメインテナ
ンスを軽減出来る。

この発明は上述した実施例にのみ限定されるものではな
い。従って、実施例で説明した数値的条件はもとより、
この発明の実施に用いる装置の構成等は何等実施例に限
定されるものではなく、設計に応じて、或は、レジスト
の不良箇所の大きさに応じて適当に設定することが出来
る。

（発明の効果） 上述した説明から明らかなように、この発明によるレジ
ストパターンの修正方法によれば、マイクロディスペン
サを用いて修正作業を行うので、一定量のレジストを不
良箇所に正確かつ容易にしかも短時間に塗布して修正す
ることが出来る。

例えば、３木／　ｍ　ｍ程度のレジストパターンの修正
では、１００牌ｍ程度のスポットの修正レジストを塗布
出来るので、レジストパターン間ヲ短絡するような余分
な修正レジストを塗布する恐れはない、従って、電極エ
ツチング後に、ストライブ電極間に導通部が形成されな
いので、従来のような導通部の除去作業を必要としせず
、信頼性の向上を図ることが出来る。

このような利点あるため、この発明の方法は液晶表示パ
ネル、ＥＬ表示パネル等の単純な駆動パネルの電極形成
に適用して特に好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のレジストパターンの修正方法によっ
て不良箇所が修正された状態を模式的に示すレジストパ
ターンの部分的平面図、第２図はこの発明のレジストパ
ターンの修正方法に使用するマイクロディスペンサの構
成例を示す図、 第３図は従来のＥＬパネルの製造工程の説明に供する流
れ図、 第４図（Ａ）及び（Ｂ）はレジストパターンの不良箇所
の説明に供する図である。 ２０・・・ノズル、　　　　　　２２・・・バレル２４
・・・レジスト、　　　　２６・・・アダプタチューブ
２８・・・圧力印加タイマ、　３０・・・排圧針３２・
・・圧力計、　　　　　３４・・・圧力調節弁３Ｂ・・
・排圧調節弁、　　　３８・・・外部圧力ホース４０・
・・スイッチ、　　　　　５０・・・レジストパターン
５２・・・下地、　　　　　　５４．５６・・・不良箇
所５８・・・修正レジスト。 特許出願人　　　　沖電気工業株式会社偵トヱこれ斥し
シストパターンの平面図マイクロディスペンサの横版図 第２図 ＥＬパネルの殻正工程 第３図 トジストハ０ターン不良ＩＰケ 第４図 手昂売ネ甫正書 昭和６２年５月６日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レジストパターンの不良箇所を修正するに当り、 レジストパターンの不良箇所に対し、マイクロディスペ
   ンサを用いて、前記不良箇所の不良程度に応じた量のレ
   ジストを塗布して正常なレジストパターンに回復させる
   こと を特徴とするレジストパターンの修正方法。
2. （２）前記マイクロディスペンサはそのノズルに細線状
   部材を挿入してなることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のレジストパターンの修正方法。