JPS63196354A - ダイサ−装置稼動管理システム - Google Patents
ダイサ−装置稼動管理システムInfo
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- JPS63196354A JPS63196354A JP62028283A JP2828387A JPS63196354A JP S63196354 A JPS63196354 A JP S63196354A JP 62028283 A JP62028283 A JP 62028283A JP 2828387 A JP2828387 A JP 2828387A JP S63196354 A JPS63196354 A JP S63196354A
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- Japan
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- Pending
Links
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 12
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005453 pelletization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
- B23Q17/0904—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool before or after machining
- B23Q17/0919—Arrangements for measuring or adjusting cutting-tool geometry in presetting devices
- B23Q17/0947—Monitoring devices for measuring cutting angles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造工程の１つであるペレツタイズ工程
に於けるダイサー装置の診断機能に係り、特にダイシン
グに使用するダイヤモンドブレードの寿命診断に好適な
ダイサー装置稼動管理システムに関する。
に於けるダイサー装置の診断機能に係り、特にダイシン
グに使用するダイヤモンドブレードの寿命診断に好適な
ダイサー装置稼動管理システムに関する。
従来ダイサー装置に於けるダイヤモンドブレードの寿命
による交換時期については、最新半導体工場自動化シス
テム（サイエンスフォーラム発行）に記載の様に、ダイ
サー装置自体には特にその診断機能を設けて居らず、現
場の作業者の経験的判断によるものであった。
による交換時期については、最新半導体工場自動化シス
テム（サイエンスフォーラム発行）に記載の様に、ダイ
サー装置自体には特にその診断機能を設けて居らず、現
場の作業者の経験的判断によるものであった。
本発明の目的は、これ迄現場の作業者に委ねられていた
ダイヤモンドブレードの寿命による交換時期の判断を、
ダイシング回数を把握することにより診断し、これ迄当
該ダイヤモンドブレードの交換時期遅れにより発生した
切断溝の非直角形成。
ダイヤモンドブレードの寿命による交換時期の判断を、
ダイシング回数を把握することにより診断し、これ迄当
該ダイヤモンドブレードの交換時期遅れにより発生した
切断溝の非直角形成。
深さの不均等による歩留り低下、非安定化の問題を解決
することにある。
することにある。
上記目的は、従来の計算機を内蔵したダイサー装置にホ
スト計算機を新たに接続し、ダイシング動作をダイサー
装置内蔵の計算機で捉え、ホスト計算機で、当該ダイシ
ング回数を管理することにより達成される。
スト計算機を新たに接続し、ダイシング動作をダイサー
装置内蔵の計算機で捉え、ホスト計算機で、当該ダイシ
ング回数を管理することにより達成される。
尚、ホスト計算機はＮ （Ｎ≧１）台のダイサー装置を
一括管理するものとする。
一括管理するものとする。
ダイサー装置内蔵の計算機に、これ迄の装置本体の制御
の他に新たに、ダイシング動作の取得機能と、ホスト計
算機への送信機能を付加する必要があるが、この中で外
部機器との関連があるホスト計算機への送信は単方向通
信、即ちダイサー装置内蔵計算機からホスト計算機への
通信である為、若し万が一ホスト計算機がダウンした場
合でも、ダイシング回数の管理によるダイヤモンドブレ
ードの寿命診断機能が停止するだけで内蔵計算機の本来
の目的であるダイサー装置本体の制御への影響は無い。
の他に新たに、ダイシング動作の取得機能と、ホスト計
算機への送信機能を付加する必要があるが、この中で外
部機器との関連があるホスト計算機への送信は単方向通
信、即ちダイサー装置内蔵計算機からホスト計算機への
通信である為、若し万が一ホスト計算機がダウンした場
合でも、ダイシング回数の管理によるダイヤモンドブレ
ードの寿命診断機能が停止するだけで内蔵計算機の本来
の目的であるダイサー装置本体の制御への影響は無い。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ダイ
サー装Ｍ１は内部に当該ダイサー装置制御用に計算機２
を有し、一方、ダイサー装置１のダイヤモンドブレード
の寿命を診断する為のホスト計算機３は、指示入力用の
キーボード４と、結果表示用のＣＲＴ５、及び補助記憶
装置６を有する。
サー装Ｍ１は内部に当該ダイサー装置制御用に計算機２
を有し、一方、ダイサー装置１のダイヤモンドブレード
の寿命を診断する為のホスト計算機３は、指示入力用の
キーボード４と、結果表示用のＣＲＴ５、及び補助記憶
装置６を有する。
また、ダイサー装置内蔵計算機２とホスト計算機３は、
通信インタフェース７を介して、通信回線８により接続
される。
通信インタフェース７を介して、通信回線８により接続
される。
尚、ここでホスト計算機３により管理されるダイサー装
置１は、複数台が対象となる。
置１は、複数台が対象となる。
次に本システムにて実際に行うダイシング回数の管理方
法を以下に説明する。
法を以下に説明する。
先ず、ダイサー装置内蔵の機算機２で、ダイサー装置ｌ
ｌのダイシング動作を把握することが必要となるが、本
来内蔵計算機２の目的はダイサー装置１の制御にあり、
ダイシング動作も本制御に含まれる為、得に新たな機能
及び手段を必要としない、内蔵計算機２により捉えられ
たダイシング動作は、その動作毎に通信インタフェース
７及び通信回線８を介してホスト計算機３へ、通信メツ
セージとして送信される。尚、本メツセージはダイシン
グ動作をホスト計算機２へ伝えることだけを目的として
いることから、特にメツセージフォーマットとして規定
すべき項目は無く、内蔵計算機２とホスト計算機３の間
でマツチングが取れていれば良いことから特に明記はし
ない。
ｌのダイシング動作を把握することが必要となるが、本
来内蔵計算機２の目的はダイサー装置１の制御にあり、
ダイシング動作も本制御に含まれる為、得に新たな機能
及び手段を必要としない、内蔵計算機２により捉えられ
たダイシング動作は、その動作毎に通信インタフェース
７及び通信回線８を介してホスト計算機３へ、通信メツ
セージとして送信される。尚、本メツセージはダイシン
グ動作をホスト計算機２へ伝えることだけを目的として
いることから、特にメツセージフォーマットとして規定
すべき項目は無く、内蔵計算機２とホスト計算機３の間
でマツチングが取れていれば良いことから特に明記はし
ない。
こうしてホスト計算機３にて捉えられたダイシング動作
は、以下の様に各ダイサー装置毎に管理される。即ち、
上記メツセージ受信毎にダイシング回数が装置毎に更新
され、あらかじめキーボード４より入力し、補助記憶装
置６に記憶されたダイヤモンドブレード寿命回数と逐次
比較され、若し当該寿命回数を越えた場合は、その旨が
ＣＲＴ５にて現場作業者に報知される。
は、以下の様に各ダイサー装置毎に管理される。即ち、
上記メツセージ受信毎にダイシング回数が装置毎に更新
され、あらかじめキーボード４より入力し、補助記憶装
置６に記憶されたダイヤモンドブレード寿命回数と逐次
比較され、若し当該寿命回数を越えた場合は、その旨が
ＣＲＴ５にて現場作業者に報知される。
以上、本実施例によれば、ダイサー装置におけるダイヤ
モンドブレードの寿命がホスト計算機により自動診断可
能となる。
モンドブレードの寿命がホスト計算機により自動診断可
能となる。
本発明によれば、従来現場作業者の判断に委ねられてい
たダイサー装置のダイヤモンドブレードの寿命による交
換時期決定が、計算機にて自動診断可能となり、これに
より当該ダイヤモンドブレードの交換時期遅れによる切
換溝の直角非形成。
たダイサー装置のダイヤモンドブレードの寿命による交
換時期決定が、計算機にて自動診断可能となり、これに
より当該ダイヤモンドブレードの交換時期遅れによる切
換溝の直角非形成。
深さの不均等などの諸問題の解決により、歩留り及び安
定化向上を図ることが可能となる。
定化向上を図ることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例のダイサー装置稼動管理シス
テムの構成図である。
テムの構成図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、計算機を内蔵するダイサー装置Ｎ台（Ｎ２１）とＣ
ＲＴ、キーボード、補助記憶装置を有し、当該ダイサー
装置とは通信インタフェース、通信回線を介して接続さ
れるホスト計算機より成るダイサー装置稼動管理システ
ムに於て、当該ダイサー装置に対する診断機能を設けた
ことを特徴とするダイサー装置稼動管理システム。 ２、請求の範囲第１項に於て、ダイシングの際に使用す
るダイヤモンドブレードの寿命をダイシング回数により
診断することを特徴とするダイサー装置稼動管理システ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62028283A JPS63196354A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ダイサ−装置稼動管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62028283A JPS63196354A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ダイサ−装置稼動管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63196354A true JPS63196354A (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=12244273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62028283A Pending JPS63196354A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | ダイサ−装置稼動管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63196354A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013237135A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | スクライブ処理システム |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP62028283A patent/JPS63196354A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013237135A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-11-28 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | スクライブ処理システム |
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