JPS63196322A - 電解複合鏡面研磨における回転工具退避方法 - Google Patents

電解複合鏡面研磨における回転工具退避方法

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JPS63196322A
JPS63196322A JP2546487A JP2546487A JPS63196322A JP S63196322 A JPS63196322 A JP S63196322A JP 2546487 A JP2546487 A JP 2546487A JP 2546487 A JP2546487 A JP 2546487A JP S63196322 A JPS63196322 A JP S63196322A
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JP
Japan
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disc
rotary tool
electrode
polishing
tool
Prior art date
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Pending
Application number
JP2546487A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeo Isoda
磯田 繁雄
Suguru Motonishi
本西 英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
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Publication of JPS63196322A publication Critical patent/JPS63196322A/ja
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、電子機器の記録体として使用するディスク等
のアルミニウムおよびアルミニウム合金製薄板円板の鏡
面器M6るいは電解複合鏡面研磨によシ得る場合の研磨
作業方法の改良に関する。
(従来の技術) アルミニウム薄板円板の電解複合鏡面研磨については、
従来、研究報告、特許出願が多数ある。これらの従来技
術においては、電解複合鏡面研磨の加工条件それ自体に
ついての検討結果については詳しく報じられているが、
研磨加工完了後の電極兼用回転工具を研磨円板から退避
させる方法、手段、そO影響については開示が見当らな
い。
しかし電解複合鏡面研磨での研磨作業完了後の電極兼用
回転工具の離隔および通電遮断は、装置構成上、次の2
つになると考えられる。
fil  平行離隔 第6図(イ)のように、被加工物[alの研磨面(a)
に対し電極兼用回転工具(blを平行方向(clに移動
さ亡て離隔し、その後印加電圧を遮断する。
(i)  垂直離隔 実開昭60−4544、実開昭60−18+147 、
実開昭60−183152等に開示のアルミニウム円板
の両面同時の電解複合鏡面研磨等では、装置構成上、第
6図(ロ)のように、被加工物(alの研磨面(alに
対し電極兼用回転工具(blを垂直方向(田に移動さ亡
て離隔し、印加電圧を遮断する。
円板両面研磨の他、軸物、箱型構造物でも垂直離隔が多
い。
(発明が解決しようとする問題点) 電解複合鏡面研磨の目標とする加工面あらさは0.1μ
m Rmax以上に設定することが一般的である。
ところが、前記従来技術実開の改良の先願特願昭61−
273793でも加工表面疵の発生による加工面あら逼
の悪化が経験された。
(問題点を解決するだめの手段) アルミニウム円板の両面同時の電解複合鏡面研磨におけ
る前記の加工表面あらさの悪化の従来技術の問題点を鋭
意検討の結果、電解複合鏡面研磨の条件は水平離隔でも
同じのため差等なく、研磨完了後の電極兼用回転工具の
垂直離隔と印加電圧遮断時期とに加工表面あらさの悪、
化の原因があることが究明された。
これに円板材質がアルミニウム等で金属曝露表面となる
鏡面が酸化され易いということが関係している。
電極兼用回転工具の水平離隔とすることは、薄板円板の
両面研磨の場合、研磨装置の構造が複雑となシ、装置費
用の増加を招く。
本発明はこれらの問題の解決のため創作されたものであ
って、本発明の電解複合鏡面研磨における回転工具退避
方法は、鏡面加工しようとする円板をその外周において
複数のローラによって回転可能に支持しその被加工面に
電極兼用回転工具を押付けて電解複合鏡面研磨する場合
に、研磨作業完了後に電極兼用回転工具を円板から被加
工面の垂直方向に可及的速かな退避速度を以って退避さ
きるとともに退避開始から可及的短時間に印加電圧を遮
断するようにしたことを特徴とする。
前記の電極兼用回転工具の退、避速度は定量的には12
鰭/秒以上とし、電極兼用回転工具の退避開始から印加
電圧遮断までの時間は定量的には0〜0.2秒とする。
(作用) 電解複合鏡面研磨においては電極兼用回転工具の先端に
弾力性ある研磨布、通常不織布が装着されておシ、被加
工物のアルミニウム円板は供給される電解液を通じて電
極兼用回転工具から電解作用を受け、また工具は適切な
押付圧を以って押付けられ砥粒により機械的な研磨作用
を受け、この両者Oバランスによって加工面ららさの微
少な鏡面に加工されるものである。この両者のバランス
を失して電解作用が優越すると加工表面が白色化し、逆
に機械的研磨作用が大きいと擦過底が生じ易くなる。
電解複合鏡面研磨時には、弾力性のある不織布表面が0
.5&qMd程度の適切な押付圧で押付けられているの
で、研磨完了時に電極兼用回転工具を被加工面から退避
させる際には、剛体同志の接触の場合と異シ、この不織
布表面の弾性復元によシ、回転工具が被加工面から完全
に離れるまでにおる程度の遅れが生じこの間に押付圧が
低下してゆき、この間に電解作用と砥粒研磨作用とのバ
ランスが失われる傾向となり、加工表面の鏡面の悪化の
原因となる。
これに対し本発明では、研磨完了時の電極兼用回転工具
の垂直方向退避速度を可及的に速かとしかつ印加電圧の
遮断は退避開始時期よシ可及的に短時間として上記の退
避過渡時期の影響を少くする。
(実施例) 第1図は本発明方法を実施する装置・01例を示す。両
面の鏡面加工しようとするアルミニウム円板(1)は周
上6ケ所のローラ(2)により壬直姿勢に支持され、回
転し、かつ電源の1極に通電接続される。その両面と相
対して第1図の左右にはポリシングパッドとして弾性体
不織布表面を有する電極兼用回転工具(3) (3)が
スプライン付軸(4) [4)の先端に装着されスピン
ドル台(5) (5)に回転可能に支持されている。そ
の回転駆動は、両軸モータ(6)からカップリング(7
)、タイミングベルト(8) (8) 、軸受側プーリ
(9) (9)を介しスプライン付軸(4) +4)に
伝動することによシなされる。回転工具+3) (3)
の押付けは送り軸モータQOQ(eからポールねじ(6
)qηを介してスピンドル台+5) (5)に伝動し左
右移動さ亡ることにニジなされる。押付力は回転トルク
検出器@@を用いてクローズトループで調整される。ア
ルミニウム円板(1)の被研磨面の部分に電解液、砥粒
を供給しながら、電極兼用回転工具(3) (3)を電
源の他極に接続して通電しつつ電極兼用回転工具を押付
けることによシミ解複合鏡面研磨がなされる。
電解複合鏡面研磨完了後の電極兼用回転工具(3)のア
ルミニウム円板(1)からの退避は、送シにボールねじ
を用いたことによシ軽快に移動し可及的速かな退避速度
を以って行なわれる。またその際の電圧の遮断は急速遮
断特性のサーキットブレーカを用いることにより可及的
短時間になされる。そして両操作の連繋は電気的なやり
とシでラシ、そのタイミングの微調整は容易である。
第2図は、アルミニウム円板の径150M、周速27f
l/秒の場合を例として、縦軸の回転工具の退避速度(
−/秒)および横軸の退避開始から電圧遮断までの時間
(秒)を変更し、その影響を示したものである。本発明
方法による正常部領域(4)では回転工具退避時におけ
る疵の発生はなく鏡面が維持される。
これに反し、擦過疵発生領域Q3+は、回転工具退避前
に電圧を遮断した場合であり、退避速度に関係なく砥粒
による引っかき疵が発生する。
送りマーク発生領域(01Fi、回転工具退避速度が小
さい場合で、押付力が徐々に小さくなって研磨作用が減
少してゆくが、電解作用か殆んど変化がないことから、
電解作用によって加工面が酸化され白色化してゆく。こ
の現象は退避速度、円板周速に依存し、円板周速/退避
速度が大きいほど、全面が白色化し、小さくなるtlど
次の工具マークに近づく0工具マ一ク発生領域(至)は
送シマークと同一現象であるが円板周速/退避速度が小
さい場合で円板の1点だけが酸化白色化される。領域(
Oa中に円板■表面疵の態様を記入して示しである。
電解複合鏡面研磨では回転工具先端に弾力性のある研磨
布を装着しているため、回転工具が円板から完全に離れ
るまでの時間は工具押付圧によって若干具なる0第2図
は、押付圧0.5kgf/d以下の場合であるが、押付
圧がそれ以上になると、鏡面の正常部領域は若干右方向
にずれることになる。
しかしアルミニウムの鏡面研磨では回転工具の押付圧は
0.5&9f /d以下が適切であり、これ以上の押付
圧では退避操作に関係なくピットや送りマークが発生し
やすいので、前工程で大きな押付圧をかけて素地を除去
し、次工程で小さな押付圧にて鏡面に仕上げると本発明
方法を一層適切に実施することができる。
(発明の効果) 本発明方法によると、酸化されやすいアルミニウムおよ
びその合金等の材質の円板の両面の電解複合鏡面研磨に
おいて、電極兼用回転工具の水平退避の他、垂直退避に
際しても、加工面の表面擦過疵、白色化マーク等の欠陥
を招くことなく表面ららさ0.1μm Rmax以下の
鏡面・に確実に加工することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を実施する装置の1例の正面図、第
2図は本発明の実施結果を縦軸の回転工具の退避速度と
横軸の退避開始から電圧遮断までの時間との関係におい
て示す図表、第3図(イ)は従来技術の水平方向工具退
避状況を示す略図、第3図(ロ)は垂直方向回転工具退
避状況を示す略図である。 (υ・・アルミニウム円板、(2)・φローラ、(3)
・−電極兼用回転工具、(4)・・スプライン付軸、(
5ンψ・スピンドル台、(6)・・両軸モータ、(7)
・・カンプリング、(8)・・タイミングベルト、(9
)・・プーリ、αQ・・送)軸モータ、■・・ボールね
じ、@・・回転トルク検出器、囚・◆正常部領域、(8
)拳・擦過流発生領域、(O・・送りマーク発生領域、
Cl1)−・工具マーク発生領域、(a)・・被加工物
、ta)・・研磨面、(b)・・電極兼用回転工具、(
cl・・平行方向、(d)・・垂直方向。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)鏡面加工しようとする円板をその外周において複
    数のローラによつて回転可能に支持しその被加工面に電
    極兼用回転工具を押付けて電解複合鏡面研磨する場合に
    、研磨作業完了後に電極兼用回転工具を円板から被加工
    面の垂直方向に可及的速かな退避速度を以つて退避させ
    るとともに退避開始から可及的短時間に印加電圧を遮断
    するようにしたことを特徴とする電解複合鏡面研磨にお
    ける回転工具退避方法。
  2. (2)電極兼用回転工具の前記退避速度を12mm/秒
    以上とする特許請求の範囲第1項記載の電解複合鏡面研
    磨における回転工具退避方法。
  3. (3)印加電圧の遮断を電極兼用回転工具の退避開始時
    点から0〜0.2秒の間に行う特許請求の範囲第1項記
    載の電解複合鏡面研磨における回転工具退避方法。
JP2546487A 1987-02-05 1987-02-05 電解複合鏡面研磨における回転工具退避方法 Pending JPS63196322A (ja)

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JPS63196322A true JPS63196322A (ja) 1988-08-15

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JP (1) JPS63196322A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004041467A1 (ja) * 2002-11-08 2004-05-21 Ebara Corporation 電解加工装置及び電解加工方法
CN111230617A (zh) * 2020-03-02 2020-06-05 重庆国际复合材料股份有限公司 一种短切机及短切机胶辊在线自动打磨装置

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