JPS63195167U - - Google Patents

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JPS63195167U
JPS63195167U JP8642987U JP8642987U JPS63195167U JP S63195167 U JPS63195167 U JP S63195167U JP 8642987 U JP8642987 U JP 8642987U JP 8642987 U JP8642987 U JP 8642987U JP S63195167 U JPS63195167 U JP S63195167U
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JP
Japan
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valve member
valve
fluid
opening
piezo
Prior art date
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JP8642987U
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  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1〜4図は本考案に係るピエゾバルブの第1
実施例を示す図であり、第1図はその正面断面図
、第2図は第1図の―′矢視断面図、第3図
はその弁体の開口部を示す拡大平面図、第4図は
その開口面積の特性を示す図、第5〜7図は本考
案に係るピエゾバルブの第2実施例を示す図であ
り、第5図はその弁体の開口部を示す拡大平面図
、第6図はその開口面積の特性を示す図、第7図
はその逆の開口面積の特性を示す図、第8,9図
は本考案に係るピエゾバルブの第3実施例を示す
図であり、第8図はその弁体の開口部を示す拡大
平面図、第9図はその開口面積の特性を示す図、
第10,11図は本考案に係るピエゾバルブの第
4実施例を示す図であり、第10図はその弁体の
開口部を示す拡大平面図、第11図はその開口面
積の特性を示す図、第12図は従来のピエゾバル
ブを示す縦断面図である。 29……流体通路、31……弁体(弁部材)、
32……開口部、33……圧電体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧電体の変位力により開閉する弁部材を流体通
    路の一部に設け、流体の流量を調節するピエゾバ
    ルブにおいて、前記弁部材の開閉方向を流体の流
    れ方向と異ならせるとともに、弁部材の開口面積
    を非直線的に変化させることを特徴とするピエゾ
    バルブ。
JP8642987U 1987-06-02 1987-06-02 Pending JPS63195167U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8642987U JPS63195167U (ja) 1987-06-02 1987-06-02

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JP8642987U JPS63195167U (ja) 1987-06-02 1987-06-02

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Publication Number Publication Date
JPS63195167U true JPS63195167U (ja) 1988-12-15

Family

ID=30942727

Family Applications (1)

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JP8642987U Pending JPS63195167U (ja) 1987-06-02 1987-06-02

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JP (1) JPS63195167U (ja)

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