JPS62151618U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62151618U JPS62151618U JP3851486U JP3851486U JPS62151618U JP S62151618 U JPS62151618 U JP S62151618U JP 3851486 U JP3851486 U JP 3851486U JP 3851486 U JP3851486 U JP 3851486U JP S62151618 U JPS62151618 U JP S62151618U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- pressure
- valve body
- piezoelectric actuator
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は他の実施例を示す構成図、第３図は従来例を
示す断面図である。 １……基体、２……導入口、３……導出口、４
……流路、６……弁体、７……積層圧電アクチユ
エータ、１４……圧力センサ、Ｆ……流体。
図は他の実施例を示す構成図、第３図は従来例を
示す断面図である。 １……基体、２……導入口、３……導出口、４
……流路、６……弁体、７……積層圧電アクチユ
エータ、１４……圧力センサ、Ｆ……流体。
Claims (1)
- 基体に形成された流体の導入口及び導出口との
間の流路を弁体によつて開度調整することにより
流体圧力を調整するようにした圧力調整器におい
て、前記基体に前記弁体を駆動するための積層圧
電アクチユエータと、前記流路内の流体圧力を検
出するための圧力センサとを設け、該圧力センサ
の検出出力に基づいて前記積層圧電アクチユエー
タを制御し、もつて前記弁体による流路の開度調
整を行うようにしたことを特徴とする圧力調整器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3851486U JPS62151618U (ja) | 1986-03-15 | 1986-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3851486U JPS62151618U (ja) | 1986-03-15 | 1986-03-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151618U true JPS62151618U (ja) | 1987-09-25 |
Family
ID=30850834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3851486U Pending JPS62151618U (ja) | 1986-03-15 | 1986-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62151618U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729871A (en) * | 1980-07-26 | 1982-02-17 | Daikin Ind Ltd | Valve using bimorph piezoelectric element |
| JPS60129482A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-10 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子駆動の制御弁 |
-
1986
- 1986-03-15 JP JP3851486U patent/JPS62151618U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5729871A (en) * | 1980-07-26 | 1982-02-17 | Daikin Ind Ltd | Valve using bimorph piezoelectric element |
| JPS60129482A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-10 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子駆動の制御弁 |