JPS62146209U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62146209U JPS62146209U JP2870386U JP2870386U JPS62146209U JP S62146209 U JPS62146209 U JP S62146209U JP 2870386 U JP2870386 U JP 2870386U JP 2870386 U JP2870386 U JP 2870386U JP S62146209 U JPS62146209 U JP S62146209U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- chamber
- inlet
- outlet
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は同実施例を記号で示す図、第３図は本考案の
他の実施例を示す断面図、第４図は同実施例を記
号で示す図、第５図は従来のフローコントローラ
を示す断面図、第６図は第５図のフローコントロ
ーラを記号で示す図である。 １０……ダイヤフラム、１４……流体入口、１
６……第２の弁としてのニードル弁、３０，４０
……第１の弁、３４，３６……ダイヤフラムが設
けられている室。
図は同実施例を記号で示す図、第３図は本考案の
他の実施例を示す断面図、第４図は同実施例を記
号で示す図、第５図は従来のフローコントローラ
を示す断面図、第６図は第５図のフローコントロ
ーラを記号で示す図である。 １０……ダイヤフラム、１４……流体入口、１
６……第２の弁としてのニードル弁、３０，４０
……第１の弁、３４，３６……ダイヤフラムが設
けられている室。
Claims (1)
- ダイヤフラムにより調整される第１の弁を経て
入口又は出口を前記ダイヤフラムが設けられてい
る一方の室に接続し、この室を第２の弁の一方の
側に接続し、この第２の弁の他方の側を前記ダイ
ヤフラムが設けられている他方の室に接続し、こ
の他方の室を出口又は入口に接続したフローコン
トローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2870386U JPS62146209U (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2870386U JPS62146209U (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62146209U true JPS62146209U (ja) | 1987-09-16 |
Family
ID=30831914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2870386U Pending JPS62146209U (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62146209U (ja) |
-
1986
- 1986-02-27 JP JP2870386U patent/JPS62146209U/ja active Pending