JPS63194381A - 薄膜ガラスレ−ザ−及びその製造方法 - Google Patents

薄膜ガラスレ−ザ−及びその製造方法

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JPS63194381A
JPS63194381A JP2780887A JP2780887A JPS63194381A JP S63194381 A JPS63194381 A JP S63194381A JP 2780887 A JP2780887 A JP 2780887A JP 2780887 A JP2780887 A JP 2780887A JP S63194381 A JPS63194381 A JP S63194381A
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JP
Japan
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glass
laser
thin
sol
oscillation source
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Pending
Application number
JP2780887A
Other languages
English (en)
Inventor
Motoyuki Toki
元幸 土岐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/16Solid materials
    • H01S3/17Solid materials amorphous, e.g. glass

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は薄膜状のガラスレーザー及びその製造方法に関
する。
〔従来の技術〕
従来のガラスレーザーは、リン酸塩系ガラスやシリカ系
ガラスに適当な方法で、Nd1Er1Ce等のレーザー
発振源となる元素をドーピングしたものであり、形吠は
主に、ロッドVやスラブ吠であった。
(発明が解決しようとする問題点) しかし、前述の従来技術では、レーザー発振パワーを大
きくするため大型のロッド状ガラスにしたものや、発振
°中の発熱を冷却するためスラブ伏のガラスにしたもの
ばかりで、小型、軽量で各種デバイスとの一体化を考え
た構造はなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、小型軽量で各種デバイスとの一
体化の容易なガラスレーザを提供するところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のF9膜ガラスレーザーは、適当な基板上に、レ
ープ−発振源となる元素を含むガラス層を形成してなる
ことを特徴きする。
上記ガラス層は、発振光が膜内を4波するような光導波
層あるいは光導波路となっていると、効率よくレーザー
が発振することになる。
一方、本発明の薄膜ガラスレーザーは、CVDやプラズ
マCVDWの手法により得られるガラスに発振源となる
元素をドープする方法によっても得られるが、アルキル
シリケートあるいは微粉末シリカ等を原料とするゾル−
ゲル法を用いると、均一に容易に発振源となる元素がド
ーピングできるのでを効である。このゾル−ゲル法によ
るFvv!、ガラスレーザーp製造方法は以下の工程に
よる。
a)アルキルシリケートあるいは微粉末シリカの少なく
とも一方を原料としてなるゾル−ゲル法のゾル溶液に、
発振源となる元素の化合物を添加し、ゾル溶液とする。
b)複当な材質の基板に上記ゾルをディプピングやスピ
ンコーティングやワイヤバー等の手法で塗布し、FW膜
ココ−ティングる。
C)適当な温度で熱処理し上記薄膜をガラス化し、薄膜
ガラスレーザーとする工程、 なお、レーザー発振源となる元素としては、Nd%Ce
s lシ「、C「、Sr1等の元素が考えられる。また
、薄膜コーティングの材質はシリカ系ガラスやリン酸塩
系ガラスなどが考えられる。
〔実施例〕
実施例1 エチルシリケート1モルに水を2モル、塩酸を触媒量、
エタノールを4モル、微粉末シリカを60g加え、更に
、硝酸セリウム0.02モルを添加し、よ(撹拌しゾル
とした。このゾルに石英ガラス板をつけディッピングし
、石英ガラス板上にセリウムを添加したゾルをコーティ
ングした。ゲル化後、よく乾燥し、高温で熱処理すると
、ガラス化し、石英ガラス板上に、セリウム含をのシリ
カガラスの薄膜レーザーガラスが作製できた。
実施例2 トリエトキシメチルシラ71モルに水を3モル、エタノ
ール4モル、塩酸を触媒flt′tk加し加水分解した
。更にこれに、Srイオンを0.02モル加え、よく撹
拌し、ゾルとした。
このゾルをガラス板に、スピンフートシ、ゲル化させ、
よく乾燥することで、ゲルコーティングのガラス板を作
製した。これを熱処理するとガラス化し、ストロンチウ
ム含有のシリカガラスのFg膜レーザガラスが作製でき
た。
実施例3 エチルシリケート1モルに水を3モル、塩酸を触媒量、
エタノールを5モル加え、加水分解した。この溶液にト
リエトキンネオジムを加えよく撹拌した。このゾル溶液
を石英ガラス板の表面にワイヤーバーで塗布し、ゲル化
した。よく乾燥した後、熱処理によりガラス化し、石英
ガラス板上にネオジム含有のシリカガラスの薄膜レーザ
ーガラスが作製できた。
実施例4 エチルシリケート1モルに水10モル、塩酸を触媒量添
加し加水分解した。これに微粉末シリカ(Aeros:
10X50:デグサ社)を00gを加えよく分散した。
この溶液にトリプロポキシドエルビウムを添加しよ(撹
拌した。この溶液にアンモニア水を加えて、pHを4,
0に:A*t。
た、このゾルを石英ガラス板上にコーティングし、ゲル
化した。よ(乾燥後、熱処理によりガラス化し、石英ガ
ラス板上にネオジム含有のシリカガラスの薄膜レーザー
ガラスが作製できた。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、薄膜状のガラスレ
ーザがコーティングにより作製できるので、小型軽量で
、各種デバイスとの一体化の容易なガラスレーザーが作
製できる。
このような薄膜ガラスは、各種デバイスと集積化され、
光通信や、光学素子へ太きく]′【献することになるで
あろう。
以  上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)適当な基板上に、レーザー発振源となる元素を含む
    ガラス層を形成してなることを特徴とする薄膜ガラスレ
    ーザー 2)上記ガラス層が光導波層あるいは光導波路となって
    いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の薄膜
    ガラスレーザー 3)レーザー発振源となる元素を含むガラス層を以下の
    工程で作製することを特徴とする薄膜ガラスレーザーの
    製造方法 a)アルキルシリケートあるいは微粉末シリカの少なく
    とも一方を原料としてなるゾルーゲル法のゾル溶液に、
    発振源となる元素の化合物を添加し、ゾル溶液とする。 b)適当な材質の基板に上記ゾルをディッピングやスピ
    ンコーティングやワイヤバー等の手法で塗布し、薄膜状
    にコーティングする。 c)適当な温度で熱処理し上記薄膜をガラス化し、薄膜
    状ガラスレーザーとする工程。
JP2780887A 1987-02-09 1987-02-09 薄膜ガラスレ−ザ−及びその製造方法 Pending JPS63194381A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0225083A (ja) * 1988-07-14 1990-01-26 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ガラス導波路レーザおよび増幅器の製造方法
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US5569979A (en) * 1992-02-28 1996-10-29 General Electric Company UV absorbing fused quartz and its use for lamp envelopes

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