JPS63190778A - 金属カーバイドの製造 - Google Patents
金属カーバイドの製造Info
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- JPS63190778A JPS63190778A JP62272519A JP27251987A JPS63190778A JP S63190778 A JPS63190778 A JP S63190778A JP 62272519 A JP62272519 A JP 62272519A JP 27251987 A JP27251987 A JP 27251987A JP S63190778 A JPS63190778 A JP S63190778A
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Landscapes
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- Ceramic Products (AREA)
- Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ケイ素、チタン及びバナジウムの少くとも一
種のカーバイドの形状体又は成形品の製造方法に関する
。
種のカーバイドの形状体又は成形品の製造方法に関する
。
従来の技術及びその問題点
シリコーンカーバイドの形状体を製造する方法は、例え
ば、山田等、セラミックプレチン、6.4(2) 、p
p319−321.1985にに記載されているように
、公知である。山田等の方法では、粉末ケイ素と粉末炭
素とを圧粉体の形で適当なコンテナ内に保持し、一つの
表面に着火し、ケイ素と炭素殿間で反応を起こさせる。
ば、山田等、セラミックプレチン、6.4(2) 、p
p319−321.1985にに記載されているように
、公知である。山田等の方法では、粉末ケイ素と粉末炭
素とを圧粉体の形で適当なコンテナ内に保持し、一つの
表面に着火し、ケイ素と炭素殿間で反応を起こさせる。
この発熱性自己持続反応は、一つの反応フロントを保持
しつつ圧粉体全体に進行していく。
しつつ圧粉体全体に進行していく。
この方法には、以下のような問題点がある:即ち、劣質
の製品が製造されないように、均一な反応フロントを維
持することが必要である;原料を容器内に保持する必要
がある;高圧が必要である;高い着火温度が要求される
。
の製品が製造されないように、均一な反応フロントを維
持することが必要である;原料を容器内に保持する必要
がある;高圧が必要である;高い着火温度が要求される
。
その他の製造方法は、望ましい形状への冷間圧縮及び高
温での焼結、並びに有機ケイ素化合物の析出等の工程を
含む。このような従来技術による方法を開示する参考文
献としては、次にあげられるものがある。
温での焼結、並びに有機ケイ素化合物の析出等の工程を
含む。このような従来技術による方法を開示する参考文
献としては、次にあげられるものがある。
ディー・アール・ホームズ、ニー・ラーメル編、ニス・
プロチャスカ著、「シンタリング オブシリコーン カ
ーバイド=(マテリアルズ アンド コーチインゲス
トウ レジスト ハイ テンパラチャア コロ−ジョン
)」(アプライドサイエンス パブリッシャー刊、英国
、1978);ディー・アール・ホームズ、ニー・ラー
メル編、アール・ニーΦアリエグロ著、「プロセシング
アンド フアプリケーション オブ ノン−ホット プ
レスト シリコーン カーバイド−(マテリアルズ ア
ンド コーチインゲス トウ レジスト ハイ テンパ
ラチャア コロ−ジョン)」(アプライげ サイエンス
・パブリッシャー刊、英国、1978);米国特許第3
495939号;米国特許第2938807号;米国特
許第2964823号;ケネディ、シエナン、「エンジ
ニアリング アプリケーション オプ レフエル シリ
コーン カーバイド」、ニー・ティ・オー・エム 20
6、pp260−267 ;ヒリグ他著「シリコーン/
シリコーン カーバイド コンポジッツ(ジェネラル
エレクトリック カンパニー、テクニカル インフォー
メーション シリーズ)」;ポツパー「スペシャル セ
ラミクス」pp209−11960 (ヘイウッド、ロ
ンドン);ピーΦポツパー編、シー拳ダブリューのフオ
レスト、ピー・ケネディ、ジエー・ヴイ・シエナン著「
ザ フアプリケーション アンド プロパティーズ オ
ブ セラム セルフ−ボンディッドシリコーン カーバ
イド ボディーズ−(スペシャル セラミクス 5)J
、p99,1972(プリティシュ・セラミクス拳リ
サーチ・アソシエーション) チタン及びバナジウムの
カーバイドの固体形の既知の製造方法もまた、困難を伴
う。
プロチャスカ著、「シンタリング オブシリコーン カ
ーバイド=(マテリアルズ アンド コーチインゲス
トウ レジスト ハイ テンパラチャア コロ−ジョン
)」(アプライドサイエンス パブリッシャー刊、英国
、1978);ディー・アール・ホームズ、ニー・ラー
メル編、アール・ニーΦアリエグロ著、「プロセシング
アンド フアプリケーション オブ ノン−ホット プ
レスト シリコーン カーバイド−(マテリアルズ ア
ンド コーチインゲス トウ レジスト ハイ テンパ
ラチャア コロ−ジョン)」(アプライげ サイエンス
・パブリッシャー刊、英国、1978);米国特許第3
495939号;米国特許第2938807号;米国特
許第2964823号;ケネディ、シエナン、「エンジ
ニアリング アプリケーション オプ レフエル シリ
コーン カーバイド」、ニー・ティ・オー・エム 20
6、pp260−267 ;ヒリグ他著「シリコーン/
シリコーン カーバイド コンポジッツ(ジェネラル
エレクトリック カンパニー、テクニカル インフォー
メーション シリーズ)」;ポツパー「スペシャル セ
ラミクス」pp209−11960 (ヘイウッド、ロ
ンドン);ピーΦポツパー編、シー拳ダブリューのフオ
レスト、ピー・ケネディ、ジエー・ヴイ・シエナン著「
ザ フアプリケーション アンド プロパティーズ オ
ブ セラム セルフ−ボンディッドシリコーン カーバ
イド ボディーズ−(スペシャル セラミクス 5)J
、p99,1972(プリティシュ・セラミクス拳リ
サーチ・アソシエーション) チタン及びバナジウムの
カーバイドの固体形の既知の製造方法もまた、困難を伴
う。
問題点を解決するための手段
本発明においては、所望の金属(ケイ素、チタン又はバ
ナジウム)の粒子と炭素粒子との混合物を調製し、該混
合物を、金属が溶融するのに十分な温度まで外部から加
熱する。反応は、該金属の溶融温度以上で且つ該温度を
大巾に越えない温度を維持することにより、固体状炭素
と液状金属の間で起こる。
ナジウム)の粒子と炭素粒子との混合物を調製し、該混
合物を、金属が溶融するのに十分な温度まで外部から加
熱する。反応は、該金属の溶融温度以上で且つ該温度を
大巾に越えない温度を維持することにより、固体状炭素
と液状金属の間で起こる。
まず、ケイ素と炭素とからシリコーン カーバイドを製
造する方法から、本発明を記述する。
造する方法から、本発明を記述する。
本発明に従って炭素固体相/ケイ素液体相の反応を行な
うに際し、ケイ素粒子及び炭素粒子の混合物をケイ素の
融点に迅速に加熱し、固体状態での反応を最小にする。
うに際し、ケイ素粒子及び炭素粒子の混合物をケイ素の
融点に迅速に加熱し、固体状態での反応を最小にする。
炭素粒子及びケイ素粒子は、前記と同様の目的、即ち炭
素及びケイ素間の固体状態での反応を最小にするため、
幾分粗い方が望ましい。固体用の反応が起こる場合、製
品は、柔らかで、非結合性であるなどの点で、品質の劣
ったものとなる。
素及びケイ素間の固体状態での反応を最小にするため、
幾分粗い方が望ましい。固体用の反応が起こる場合、製
品は、柔らかで、非結合性であるなどの点で、品質の劣
ったものとなる。
チタン カーバイド及びバナジウム カーバイドの製造
に際しても、同様の考慮が必要である。
に際しても、同様の考慮が必要である。
以下に本発明の原料、各工程での条件等について詳しく
説明する。
説明する。
炭素源材料:如何なる形態の炭素でも使用できる。冶金
用や鋳造用コークスのような安価な原料を使用すること
が好ましい。炭素の他の適当な形態は、無定形炭素、木
炭及びグラファイトである。
用や鋳造用コークスのような安価な原料を使用すること
が好ましい。炭素の他の適当な形態は、無定形炭素、木
炭及びグラファイトである。
また、これらの形態の炭素の2種或いはそれ以上の混合
物も、使用できる。
物も、使用できる。
ケイ素、チタン及びバナジウムの原料:例えば90%以
上の、高純度の市販されている如何なる形態のものも本
発明で使用できる。例えば1、冶金用グレード、電子機
器用グレード、ソーラー機器用グレード、単結晶又はポ
リシリコーンのスクラップ等があり、チタン及びバナジ
ウムについても、同様のグレードのものが使用し得る。
上の、高純度の市販されている如何なる形態のものも本
発明で使用できる。例えば1、冶金用グレード、電子機
器用グレード、ソーラー機器用グレード、単結晶又はポ
リシリコーンのスクラップ等があり、チタン及びバナジ
ウムについても、同様のグレードのものが使用し得る。
これらの金属相互の適当な合金、又は、チタンの場合に
は、チタン−ニッケル合金も使用できる。一般に、ケイ
素、チタン又はバナジウムと、所望のカーバイドの形成
を妨げない他金属との合金、例えば、チタン−ニッケル
合金が存在していてもよい。その様な合金形成金属、例
えば、チタン−ニッケル合金の場合のニッケルは、弱い
カーバイド形成材となるであろう。
は、チタン−ニッケル合金も使用できる。一般に、ケイ
素、チタン又はバナジウムと、所望のカーバイドの形成
を妨げない他金属との合金、例えば、チタン−ニッケル
合金が存在していてもよい。その様な合金形成金属、例
えば、チタン−ニッケル合金の場合のニッケルは、弱い
カーバイド形成材となるであろう。
粒子径の範囲:炭素の粒子径は、通常約0.05−10
mmであり、0.05−1mmがより好ましい。金属の
粒子径は、通常約0.05−1011II11であり、
0.05−1m+aがより好ましい。
mmであり、0.05−1mmがより好ましい。金属の
粒子径は、通常約0.05−1011II11であり、
0.05−1m+aがより好ましい。
ケイ素の粒子径は、炭素の粒子径よりもかなり大きいこ
とが好ましい。
とが好ましい。
バインダー:バインダーの使用は、好ましいが、必ずし
も必要ではない。従って、シリコーン カーバイド砂の
ような非成形品は、バインダーを用いずに製造できる。
も必要ではない。従って、シリコーン カーバイド砂の
ような非成形品は、バインダーを用いずに製造できる。
バインダーを使用する場合、炭素及び金属を適当なバイ
ンダーと良く混合する。
ンダーと良く混合する。
バインダーとしては、原料を結合させて生の成形物を形
成するに役立ち且つ例えば250−500°Cの中程度
の加熱で揮発及び/又は分解するものを使用する。適当
なバインダーとしては、ポリエチレングリコール、ポニ
ビニルアルコール、ピッチ及びタールが例示できる。
成するに役立ち且つ例えば250−500°Cの中程度
の加熱で揮発及び/又は分解するものを使用する。適当
なバインダーとしては、ポリエチレングリコール、ポニ
ビニルアルコール、ピッチ及びタールが例示できる。
成形:炭素、金°属及びバインダーの混合物(いわゆる
“生の”混合物)を最終製品として望ましい形状と大き
さに成形する。本発明の利点の1つとして、相対的な大
きさの変動が殆んど無く、望ましい形状及び寸法とする
ために、反応生成物を加工する必要が殆んど或いは全く
無いことが挙げられる。
“生の”混合物)を最終製品として望ましい形状と大き
さに成形する。本発明の利点の1つとして、相対的な大
きさの変動が殆んど無く、望ましい形状及び寸法とする
ために、反応生成物を加工する必要が殆んど或いは全く
無いことが挙げられる。
反応条件:生の成形物は、その後、金属の溶融温度以上
に急速に加熱され、金属と炭素との反応が実質的に完了
して金属カーバイドが形成されるに十分な時間該温度を
保持される。加圧は、必要ではない。加熱速度は、金属
の実質量が溶融し、液状で反応し得るように、十分に大
きくするべきである。固体相聞の実質的反応を許容する
低加熱速度は、避けるべきである。好ましい加熱速度は
、金属及び炭素の粒子径、カーバイドへ転換されつつつ
ある部分の寸法、及び炭素の種類により定まる。粒子が
小さくなるほど、固体相の反応程度を最小にするため、
より迅速な加熱が要求される。
に急速に加熱され、金属と炭素との反応が実質的に完了
して金属カーバイドが形成されるに十分な時間該温度を
保持される。加圧は、必要ではない。加熱速度は、金属
の実質量が溶融し、液状で反応し得るように、十分に大
きくするべきである。固体相聞の実質的反応を許容する
低加熱速度は、避けるべきである。好ましい加熱速度は
、金属及び炭素の粒子径、カーバイドへ転換されつつつ
ある部分の寸法、及び炭素の種類により定まる。粒子が
小さくなるほど、固体相の反応程度を最小にするため、
より迅速な加熱が要求される。
同様に、非晶質炭素は、結晶質炭素(グラファイト)よ
りも反応が遅(、更に、非黒鉛化コークスは、黒鉛化物
質よりも反応性が低い。
りも反応が遅(、更に、非黒鉛化コークスは、黒鉛化物
質よりも反応性が低い。
金属及び炭素の比率:該比率は、広い範囲で変わりうる
。例えば、化学量論的比率で用いられることもあれば、
炭素が過剰に存在するか或いは金属が過剰に存在してい
ても良い。通常は、炭素を過剰に使用することが好まし
く、コークスのような安価な形態の場合には、特にそう
である。過剰の炭素を使用する場合の付加的な利点は、
より高価な成分である金属が、より多量に反応すること
にある。炭素:金属の好ましい割合は、原子を基準にし
て1:1〜5:1の間にある。
。例えば、化学量論的比率で用いられることもあれば、
炭素が過剰に存在するか或いは金属が過剰に存在してい
ても良い。通常は、炭素を過剰に使用することが好まし
く、コークスのような安価な形態の場合には、特にそう
である。過剰の炭素を使用する場合の付加的な利点は、
より高価な成分である金属が、より多量に反応すること
にある。炭素:金属の好ましい割合は、原子を基準にし
て1:1〜5:1の間にある。
過剰の炭素の除去:また、未反応の過剰炭素は、酸化に
より除去され得る。例えば、生成物を空気Ill 80
0〜1200℃の温度範囲で加熱することにより、最終
製品に望ましい気孔率を与え、以て絶縁性を高める。
より除去され得る。例えば、生成物を空気Ill 80
0〜1200℃の温度範囲で加熱することにより、最終
製品に望ましい気孔率を与え、以て絶縁性を高める。
実施例
下記に実施例を示し、本発明を更に詳細に説明する。
ケイ素カーバイドの製造
実施例1
使用した成分は、見掛けの粒子径0. 1mm。
0.5mm及び1.001111の鋳造用コークス、該
粒子径と同じ見掛は粒子径の3種のケイ素粒子及びバイ
ンダーとしてのポリエチレングリコール(分子m=40
00)であった。(見掛けの粒子径とは、篩分けによる
粉度分画中の大多数の粒子の概略粒子径を意味している
。)即ち、次の如く9種の混合物が得られた:混合物N
o、1−0. 1mmコークス、0、lll1mケイ素
;混合物NQ、2−0.llll11コークス、0.5
mmケイ素;混合物No、3−0. 1a+mコークス
、1.0mmケイ素;混合物No、4−0. 5mmコ
ークス、0.1mmケイ素等である。ケイ素に対するコ
ークス(純粋炭素として換算)の元素比は、1:1であ
った。
粒子径と同じ見掛は粒子径の3種のケイ素粒子及びバイ
ンダーとしてのポリエチレングリコール(分子m=40
00)であった。(見掛けの粒子径とは、篩分けによる
粉度分画中の大多数の粒子の概略粒子径を意味している
。)即ち、次の如く9種の混合物が得られた:混合物N
o、1−0. 1mmコークス、0、lll1mケイ素
;混合物NQ、2−0.llll11コークス、0.5
mmケイ素;混合物No、3−0. 1a+mコークス
、1.0mmケイ素;混合物No、4−0. 5mmコ
ークス、0.1mmケイ素等である。ケイ素に対するコ
ークス(純粋炭素として換算)の元素比は、1:1であ
った。
混合物は、2500〜40000ps1の範囲内の圧力
で円筒型ダイ中で圧縮された。この圧力範囲内では、生
の試料での密度の変化は、殆んど認められなかった。
で円筒型ダイ中で圧縮された。この圧力範囲内では、生
の試料での密度の変化は、殆んど認められなかった。
バインダーの除去(ディワックス)は、水素中で400
°Cに加熱することにより、行なった。次いで、各試料
は、炭素抵抗炉中で真空下に800℃に加熱され、その
後アルゴン雰囲気中、50°C/分の昇温速度で155
0℃の反応温度まで加熱された。試料は、1550℃で
90分間保持された。結果は、表1に示す通りである。
°Cに加熱することにより、行なった。次いで、各試料
は、炭素抵抗炉中で真空下に800℃に加熱され、その
後アルゴン雰囲気中、50°C/分の昇温速度で155
0℃の反応温度まで加熱された。試料は、1550℃で
90分間保持された。結果は、表1に示す通りである。
焼結した試料の顕微鏡的観察及び物理的測定により、下
記の重要な点が明らかとなった。即ち、焼結した試料の
寸法は、生の試料の寸法と大きくは変わっていなかった
。従って、例えば、炉の内張り用の耐火レンガ又はタイ
ル等の用途に供する為に、後加工を行なう必要が殆んど
或いは全くない製品を得ることができる。焼結試料のマ
クロポア−の寸法は、コークスの粒子径よりもケイ素の
粒子径に依存している。未反応のケイ素は、粒子を覆う
ものと思われる。シリコーン カーバイドの収率は、コ
ークスの粒子径が小さくなるにつれ、増大する。
記の重要な点が明らかとなった。即ち、焼結した試料の
寸法は、生の試料の寸法と大きくは変わっていなかった
。従って、例えば、炉の内張り用の耐火レンガ又はタイ
ル等の用途に供する為に、後加工を行なう必要が殆んど
或いは全くない製品を得ることができる。焼結試料のマ
クロポア−の寸法は、コークスの粒子径よりもケイ素の
粒子径に依存している。未反応のケイ素は、粒子を覆う
ものと思われる。シリコーン カーバイドの収率は、コ
ークスの粒子径が小さくなるにつれ、増大する。
実施例2
資料の直径が2.863cmで、反応温度(1550℃
)での反応時間が異ることを除き、同様の実験が行なわ
れた。結果は、表2に示す通りである。
)での反応時間が異ることを除き、同様の実験が行なわ
れた。結果は、表2に示す通りである。
第 2 表
1550度における粒子径及び時間の関数としてのケイ
素から炭化ケイ素への転換の程度 51 180 0.1 9.5 82.70.
5 1.27 55.0 1.0 0.72 40.0 47 360 0、 1 >15.0 >720
.5 1.28 55.0 1.0 1.39 54.1 49 720 0.1 7.7 78.40.
5 1.42 57.0 1.0 1.32 53.8 ※ 転換率は、観察されたSiC/Si比及び質量損失
により算出された。7%の質量損失は、結合剤の減量及
び湿度によるものと仮定し、その残りがケイ素の減量に
よるものとみなした。
素から炭化ケイ素への転換の程度 51 180 0.1 9.5 82.70.
5 1.27 55.0 1.0 0.72 40.0 47 360 0、 1 >15.0 >720
.5 1.28 55.0 1.0 1.39 54.1 49 720 0.1 7.7 78.40.
5 1.42 57.0 1.0 1.32 53.8 ※ 転換率は、観察されたSiC/Si比及び質量損失
により算出された。7%の質量損失は、結合剤の減量及
び湿度によるものと仮定し、その残りがケイ素の減量に
よるものとみなした。
炭化ケイ素への転換は、粒子が細かいほど大きいことが
結論づけられた。しかしながら、焼結試料は、低密度で
あり、質量損失がより大きく、寸法の変化もより著しく
、該焼結試料は、結合力が弱かった。これらの結果は、
粒子が細かいほど、固体状態での反応が活発に生じるこ
とを示している。
結論づけられた。しかしながら、焼結試料は、低密度で
あり、質量損失がより大きく、寸法の変化もより著しく
、該焼結試料は、結合力が弱かった。これらの結果は、
粒子が細かいほど、固体状態での反応が活発に生じるこ
とを示している。
実施例3
3種の異なるコークス原料(鋳造用コークス、冶金用コ
ークス及び針状コークス)を、原子比1:1で用いた。
ークス及び針状コークス)を、原子比1:1で用いた。
ケイ素及びコークスの粒子径はどちらも0. 5ma+
であった。未焼結の生の試料は、上述の実施例1と同様
にして調製した。結果を表3に示す。
であった。未焼結の生の試料は、上述の実施例1と同様
にして調製した。結果を表3に示す。
第 3 表
異種のコークスより製造されたペレットの特性直径(c
m) 2.863 2.957
長さくcm) 2.839
2.856重量(g) 29.9
76 27.576かさ密度(g −cm−3)
1.64 1.41SiC/Siモル比
1.68冶金用コークス 直径(cm) 2.863 2
.920長さくcm) 2.837
2.891重量(g) 2
9.979 27.786かさ密度(g−cm′
″3) 1.64 1.44SiC/Si
モル比 1.66針状コークス 直径(cm) 2.863 2
.956長さくcm) 2.76
0 2.872重量(g)
29.877 26.866かさ密度(g−cm
−3) 1.68 1.36SiC/Si
モル比 1.15米 ケイ素及び
コークスの粒子径は0. 5aonであり、反応温度は
1550℃で、該温度を360分間維持した。
m) 2.863 2.957
長さくcm) 2.839
2.856重量(g) 29.9
76 27.576かさ密度(g −cm−3)
1.64 1.41SiC/Siモル比
1.68冶金用コークス 直径(cm) 2.863 2
.920長さくcm) 2.837
2.891重量(g) 2
9.979 27.786かさ密度(g−cm′
″3) 1.64 1.44SiC/Si
モル比 1.66針状コークス 直径(cm) 2.863 2
.956長さくcm) 2.76
0 2.872重量(g)
29.877 26.866かさ密度(g−cm
−3) 1.68 1.36SiC/Si
モル比 1.15米 ケイ素及び
コークスの粒子径は0. 5aonであり、反応温度は
1550℃で、該温度を360分間維持した。
実施例4
過剰量のコークスを含有するケイ素及びコークスの非化
学量論的混合物を調製し、加熱保持時間を360分間と
した以外は実施例1と同様の手順で焼結した。結果を表
4に示す。
学量論的混合物を調製し、加熱保持時間を360分間と
した以外は実施例1と同様の手順で焼結した。結果を表
4に示す。
第 4 表
非化学量的炭化ケイ素の混合物より製造されたシリコー
ンカーボンペレットの特徴 長さくc!Il) 2.962
2.985重量(g) 30
.02B 27.844かさ密度(g −cm
−3) 1.575 1.387SiC/S
iモル比 〉20長さくcm)
3.045 3.019重
量(g) 30.053 28
.090かさ密度(g −cm−3) 1.533
1.398SiC/Siモル比
a長さくcm) 3.
071 3.057重量(g)
30.048 27.80かさ密度(g −
cm−3) 1.520 !、382Si
C/Siモル比 −a 長さくcm) 3.153
3.180重量(g) 30.02
6 bかさ密度(g−cm−3) 1.
479 bSiC/Siモル比 −
a a ケイ素の存在はX線回折では検出できなかった。テ
クニックの感度に基づき、30以上と見積もられた比率
。
ンカーボンペレットの特徴 長さくc!Il) 2.962
2.985重量(g) 30
.02B 27.844かさ密度(g −cm
−3) 1.575 1.387SiC/S
iモル比 〉20長さくcm)
3.045 3.019重
量(g) 30.053 28
.090かさ密度(g −cm−3) 1.533
1.398SiC/Siモル比
a長さくcm) 3.
071 3.057重量(g)
30.048 27.80かさ密度(g −
cm−3) 1.520 !、382Si
C/Siモル比 −a 長さくcm) 3.153
3.180重量(g) 30.02
6 bかさ密度(g−cm−3) 1.
479 bSiC/Siモル比 −
a a ケイ素の存在はX線回折では検出できなかった。テ
クニックの感度に基づき、30以上と見積もられた比率
。
b 試料の一部は、ディワックス炉から焼結炉に移動す
る間に損なわれた。
る間に損なわれた。
これらの結果は、実質的に過剰のコークスを用いること
により、ケイ素単位量当りより高い収率で炭化ケイ素が
得られることを示している。過剰量のコークスを使用す
ることは、ケイ素がコークスに比べ高価な反応原料であ
ることからも、より経済的であるといえる。より微小の
粒子を用いることにより、炭化ケイ素への転換は増加す
るが、望ましくない固体状態の反応が生じることが観察
された。
により、ケイ素単位量当りより高い収率で炭化ケイ素が
得られることを示している。過剰量のコークスを使用す
ることは、ケイ素がコークスに比べ高価な反応原料であ
ることからも、より経済的であるといえる。より微小の
粒子を用いることにより、炭化ケイ素への転換は増加す
るが、望ましくない固体状態の反応が生じることが観察
された。
実施例5
実施例1と同様の工程にて、長さ8 cm、幅1.7c
m、厚さ1.6cmの焼結棒を製造した。各棒は、厚さ
0.7cm及び厚さ0.9cmの2本の棒に切り分けら
れ、試験された。結果を表5に示す。
m、厚さ1.6cmの焼結棒を製造した。各棒は、厚さ
0.7cm及び厚さ0.9cmの2本の棒に切り分けら
れ、試験された。結果を表5に示す。
第 5 表
焼結ペレットの破壊率
41 >0.1 0.8.0.3
180 7.654−1 0.1
0.5 360 8.854−2
0.1 0.5 380 15.6
42 0.8.0.3 0.8.0.3
180 12.846 0.8、OJ
O,8,0,336010,8400,80,89
09,7 56bO,50,536010,2 57° 0.5 0.5 360 11.
656− Ox O,50,512,957−
Ox O,50,511,2a 破壊率は4ケ
所の荷重で測定された。
180 7.654−1 0.1
0.5 360 8.854−2
0.1 0.5 380 15.6
42 0.8.0.3 0.8.0.3
180 12.846 0.8、OJ
O,8,0,336010,8400,80,89
09,7 56bO,50,536010,2 57° 0.5 0.5 360 11.
656− Ox O,50,512,957−
Ox O,50,511,2a 破壊率は4ケ
所の荷重で測定された。
b コークスからケイ素への転換率=1.5Cコークス
からケイ素への転換率=2.0d 棒は900℃で、6
時間酸化された。
からケイ素への転換率=2.0d 棒は900℃で、6
時間酸化された。
チタンカーバイド及びバナジウムカーバイドの製造
純度99%以上のチタン、バナジウム及びチタン−ニッ
ケル合金(24,5%ニッケル)を使用した。これらは
、見掛は粒子径が0. 1m+n。
ケル合金(24,5%ニッケル)を使用した。これらは
、見掛は粒子径が0. 1m+n。
0.511IIIl及び1.0北のものを使用し、コー
クスの粒子径も同様であった。X線回折により、チタン
−ニッケル合金は、Ti2Ni相及び過剰のチタンと少
量の合金化していないニッケルとで構成されていること
が判明した。
クスの粒子径も同様であった。X線回折により、チタン
−ニッケル合金は、Ti2Ni相及び過剰のチタンと少
量の合金化していないニッケルとで構成されていること
が判明した。
各金属は、同じ見掛は粒子径のコークスと混合された。
バインダーとして、ポリエチレングリコール(分子量−
4000)が、チタン−コークス及びバナジウム−コー
クスの場合には、5%、チタン−ニッケルーコークスの
場合には、ペレットの圧縮が困難なために、10%の割
合で、用いられた。
4000)が、チタン−コークス及びバナジウム−コー
クスの場合には、5%、チタン−ニッケルーコークスの
場合には、ペレットの圧縮が困難なために、10%の割
合で、用いられた。
円柱型ダイ(直径2.863cm)を使用して、乾燥し
た混合物に69 M P a −207M P aの圧
力をかけて、圧縮した。アルゴン中で450℃に圧縮ペ
レットを加熱し、バインダーを除去(ディワックス)し
た。その後、ペレットを高温炭素抵抗炉中で真空下に、
まず10℃/分の速度で800℃まで加熱し、次いで、
50℃/分の速度で、反応温度にまで加熱した。焼結反
応後、該ペレットを冷却し、種々の試験に供した。
た混合物に69 M P a −207M P aの圧
力をかけて、圧縮した。アルゴン中で450℃に圧縮ペ
レットを加熱し、バインダーを除去(ディワックス)し
た。その後、ペレットを高温炭素抵抗炉中で真空下に、
まず10℃/分の速度で800℃まで加熱し、次いで、
50℃/分の速度で、反応温度にまで加熱した。焼結反
応後、該ペレットを冷却し、種々の試験に供した。
金属から対応するカーバイドへの転換程度は、X線回折
から推測した。焼結ペレットのかさ密度は、重量及び外
部寸法大から算出した。見掛けの密度は、ASTMによ
る試験方法C330−83により、測定した。破壊係数
は、長方形の焼結体(2X 2 X 8cm)を切断し
て得た棒を用いて、4点曲げテストを行って、測定した
。
から推測した。焼結ペレットのかさ密度は、重量及び外
部寸法大から算出した。見掛けの密度は、ASTMによ
る試験方法C330−83により、測定した。破壊係数
は、長方形の焼結体(2X 2 X 8cm)を切断し
て得た棒を用いて、4点曲げテストを行って、測定した
。
実施例6
チタン−コークス混合物
0.1.0.5及び1.0mmの粒子径のチタン−コー
クス混合物から数個の円柱型ペレットをダイ成形した。
クス混合物から数個の円柱型ペレットをダイ成形した。
ペレットのかさ密度は、成形圧に依存しており、69M
Paの圧力の場合の2.0±0、 1g/cm3から2
07MP aの圧力の場合の2、 5g/c+n3まで
変動した。一定の成形圧力では、粒子径が変わっても、
かさ密度の有意的な変動は認められなかった(±0.
1 g/cm3)。
Paの圧力の場合の2.0±0、 1g/cm3から2
07MP aの圧力の場合の2、 5g/c+n3まで
変動した。一定の成形圧力では、粒子径が変わっても、
かさ密度の有意的な変動は認められなかった(±0.
1 g/cm3)。
0.1〜1.0mmの範囲の粒子径について、50°C
/分の加熱速度が、固体状態での反応を抑制するのに適
切であることが判明した。反応温度は、1750℃〜1
960℃、時間は、0.25〜2時間とした。
/分の加熱速度が、固体状態での反応を抑制するのに適
切であることが判明した。反応温度は、1750℃〜1
960℃、時間は、0.25〜2時間とした。
焼結ペレットの大きさは、生ペレットに比べ、抑か7−
15%増加したのみであった。ペレットのかさ密度及び
見掛けの密度は、夫々1.4から1、7g/cm3及び
3.5から4.4g/c+n3の変動があった。これら
の密度は、粒子径、焼結温度や時間と、明確な関係はな
く、幾分無秩序に変動した。
15%増加したのみであった。ペレットのかさ密度及び
見掛けの密度は、夫々1.4から1、7g/cm3及び
3.5から4.4g/c+n3の変動があった。これら
の密度は、粒子径、焼結温度や時間と、明確な関係はな
く、幾分無秩序に変動した。
反応焼結後に、2〜4重量%の僅かな質量損失が観察さ
れた。2000K (1723℃)での液状チタンの蒸
気圧は、約1×10″″5atmであり、従って、チタ
ンのいくらかめ蒸発が予想される。
れた。2000K (1723℃)での液状チタンの蒸
気圧は、約1×10″″5atmであり、従って、チタ
ンのいくらかめ蒸発が予想される。
チタンとコークス中の二酸化ケイ素の様な灰化鉱物とが
反応して揮発性の生成物(酸化ケイ素、−酸化チタン)
を形成することも、観察された質量損失の原因となった
ものと推測される。
反応して揮発性の生成物(酸化ケイ素、−酸化チタン)
を形成することも、観察された質量損失の原因となった
ものと推測される。
粒子径0.1.0.5及び1.0mmのチタン粒子及び
コークス粒子から製造された試験棒の顕微鏡写真から、
マクロポア−の大きさは、粒子の大きさに依存すること
が明らかとなった。0. 1mmの粒子を用いると、ポ
アー径は0.1〜0. 2mmとなり、0.5及び1.
0mmの粒子を用いると、ポアー径は各々2〜3++o
n及び5〜7ma+となった。
コークス粒子から製造された試験棒の顕微鏡写真から、
マクロポア−の大きさは、粒子の大きさに依存すること
が明らかとなった。0. 1mmの粒子を用いると、ポ
アー径は0.1〜0. 2mmとなり、0.5及び1.
0mmの粒子を用いると、ポアー径は各々2〜3++o
n及び5〜7ma+となった。
マクロポア−の大きさは、粒子の大きさに伴い変化する
が、気孔率(58±5%)は、有意的には変動しなかっ
た。
が、気孔率(58±5%)は、有意的には変動しなかっ
た。
1750℃における液状チタンとコークスとの反応は、
迅速であった。X線回折により、1750℃で15分間
の反応後、0. 5a+mの粒子を用いた場合には、チ
タンの5重世%が未反応のまま存在していることが示さ
れた。1.0mmの粒子の場合には、15分間の反応後
、この値は、幾分高く10重量%であった。試験された
全粒子径において、1750℃で1時間の反応後には、
未反応チタンに対応するピークはみられなかった。
迅速であった。X線回折により、1750℃で15分間
の反応後、0. 5a+mの粒子を用いた場合には、チ
タンの5重世%が未反応のまま存在していることが示さ
れた。1.0mmの粒子の場合には、15分間の反応後
、この値は、幾分高く10重量%であった。試験された
全粒子径において、1750℃で1時間の反応後には、
未反応チタンに対応するピークはみられなかった。
試験棒の破壊係数(MOR)は、1750℃で30分間
焼結後に、測定された。MOHの測定値は、0.1mm
及び0:5I!1fflの粒子で製造された棒の場合の
5.8MPaから1.0111!++の粒子で製造され
た棒の場合の7.5MPaに変動した。高多孔質のセラ
ミックの場合、MORは、欠陥又は気孔構造に決定的に
依存し、高密度のセラミックのMORよりは常に低値で
ある。
焼結後に、測定された。MOHの測定値は、0.1mm
及び0:5I!1fflの粒子で製造された棒の場合の
5.8MPaから1.0111!++の粒子で製造され
た棒の場合の7.5MPaに変動した。高多孔質のセラ
ミックの場合、MORは、欠陥又は気孔構造に決定的に
依存し、高密度のセラミックのMORよりは常に低値で
ある。
実施例7
バナジウム−コークス混合物
バナジウムの融点(1888℃)は、チタンのそれ(1
668℃)よりも相当高い。従って、バナジウム−コー
クスの混合物の反応焼結は、1900℃から2000℃
の温度範囲で実施された。反応温度の上昇及び加熱速度
の低下を除き、実験条件は、チタン−コークス混合物の
実験条件と同様であった。
668℃)よりも相当高い。従って、バナジウム−コー
クスの混合物の反応焼結は、1900℃から2000℃
の温度範囲で実施された。反応温度の上昇及び加熱速度
の低下を除き、実験条件は、チタン−コークス混合物の
実験条件と同様であった。
68.9MPaの一定圧縮圧により、生ペレットを製造
した。かさ密度は、0. 111101の粒子により製
造されたペレットにおける2、 58g/cm3から
0.5mm及び1.0mmの粒子により製造されたペレ
ットにおける3、 0±0. 1g/cm3に変動し
た。0.1mmの粒子から製造されたペレットにおける
低いかさ密度は、加圧中の圧縮を低下させる粒子間の摩
擦に起因するものと思われる。
した。かさ密度は、0. 111101の粒子により製
造されたペレットにおける2、 58g/cm3から
0.5mm及び1.0mmの粒子により製造されたペレ
ットにおける3、 0±0. 1g/cm3に変動し
た。0.1mmの粒子から製造されたペレットにおける
低いかさ密度は、加圧中の圧縮を低下させる粒子間の摩
擦に起因するものと思われる。
焼結中の約35〜b
応焼結段階で液状金属−コークス反応が優勢になるよう
に固体状態の反応を抑制する為に、十分であった。18
35℃以上で焼結されたペレットは、外部表面で結合し
ていた。径0.1ma+の粒子から製造され、1835
℃で焼結されたペレット(試料No、28)の中心は、
結合力が弱く、幾分固体状態の反応の出現があったこと
を示している。
に固体状態の反応を抑制する為に、十分であった。18
35℃以上で焼結されたペレットは、外部表面で結合し
ていた。径0.1ma+の粒子から製造され、1835
℃で焼結されたペレット(試料No、28)の中心は、
結合力が弱く、幾分固体状態の反応の出現があったこと
を示している。
0、 1mm及び0. 5111111の粒子から製造
され、約1975℃で焼結されたペレットの外観は均一
であった。チタン−コークス混合物の場合と同様に、0
.1mmの粒子から製造されたペレットは、孔径0.1
〜0.2mmのマクロポア−を含み、一方0、 5mm
の粒子から製造されたペレットは、孔径1〜2mmのマ
クロポア−を含んでいた。孔径の差が著るしいにもかか
わらず、全ペレットの気孔率(かさ密度と見掛は密度よ
り測定)は、51±3%で、極めて近かった。
され、約1975℃で焼結されたペレットの外観は均一
であった。チタン−コークス混合物の場合と同様に、0
.1mmの粒子から製造されたペレットは、孔径0.1
〜0.2mmのマクロポア−を含み、一方0、 5mm
の粒子から製造されたペレットは、孔径1〜2mmのマ
クロポア−を含んでいた。孔径の差が著るしいにもかか
わらず、全ペレットの気孔率(かさ密度と見掛は密度よ
り測定)は、51±3%で、極めて近かった。
生成ペレットのX−線回折は、VCo、88が反応後の
主要相であることを示した。バナジウムからVCo、8
8への転換程度は、反応温度及びバナジウムとコークス
の粒子径に依存していた。0. 1m+nの粒子の場合
には、未反応コークスは、認められなかった。しかしな
がら、0.5mmの粒子から製造され、1890℃で焼
結されたペレットでは、未反応のコークスの存在が観察
された。同様に、1.0mmの粒子から製造され、19
65°C未満で焼結されたペレットは、未反応のコーク
スを含んでいた。従って、完全な転換をとげるための温
度は、粒子径が太き(なるにつれ、上昇すると思われる
。
主要相であることを示した。バナジウムからVCo、8
8への転換程度は、反応温度及びバナジウムとコークス
の粒子径に依存していた。0. 1m+nの粒子の場合
には、未反応コークスは、認められなかった。しかしな
がら、0.5mmの粒子から製造され、1890℃で焼
結されたペレットでは、未反応のコークスの存在が観察
された。同様に、1.0mmの粒子から製造され、19
65°C未満で焼結されたペレットは、未反応のコーク
スを含んでいた。従って、完全な転換をとげるための温
度は、粒子径が太き(なるにつれ、上昇すると思われる
。
0.1mmの粒子から製造された棒の破壊係数は、約1
1.3MPaであり、これは、チタン−コークス棒のそ
れよりも高い。試料中心の空隙が大きいため、0. 5
111[11の粒子から製造された棒のMORは、測定
不可能であった。
1.3MPaであり、これは、チタン−コークス棒のそ
れよりも高い。試料中心の空隙が大きいため、0. 5
111[11の粒子から製造された棒のMORは、測定
不可能であった。
実施「118
チタン−ニッケル合金−コークス混合物チタン−ニッケ
ル(24,5%)合金は、チタン又はニッケルの融点よ
りもかなり低い942°Cで溶融する。該合金は、共晶
組成物であり、この系統のあらゆる合金の内で最低の融
点をもつ。従って、液状ニッケルーコークス反応を利用
するカーバイド形成は、温和な温度で実施できるものと
考えられる。ニッケルは、弱いカーバイド形成剤である
のに対し、チタンは、強いカーバイド形成剤であること
から、炭化チタンが主要なカーバイド相であることが予
期される。更に、未反応のニッケル相は、カーバイド形
成により作られた孔を充たすことができる。以上の推論
に基づいて、コークスとチタン−ニッケル合金から製造
されたペレットの特性をみるため、数種の実験を行った
。
ル(24,5%)合金は、チタン又はニッケルの融点よ
りもかなり低い942°Cで溶融する。該合金は、共晶
組成物であり、この系統のあらゆる合金の内で最低の融
点をもつ。従って、液状ニッケルーコークス反応を利用
するカーバイド形成は、温和な温度で実施できるものと
考えられる。ニッケルは、弱いカーバイド形成剤である
のに対し、チタンは、強いカーバイド形成剤であること
から、炭化チタンが主要なカーバイド相であることが予
期される。更に、未反応のニッケル相は、カーバイド形
成により作られた孔を充たすことができる。以上の推論
に基づいて、コークスとチタン−ニッケル合金から製造
されたペレットの特性をみるため、数種の実験を行った
。
本実験で用いたチタン−ニッケル合金及びコークスの比
率は、炭化チタンのみを形成するのに十分な量のコーク
スが存在するように調整した。まず、水素中で加熱する
ことにより、生ペレットからバインダーを除去した。し
かしながら、バインダーを除去したペレットは、もろく
、取扱困難であった。この挙動は、バインダー除去工程
中のチタンによる水素の吸収によるものと結論され、そ
れ故雰囲気をアルゴンに変更した。この新しい工程によ
り、満足すべき強度の脱バインダーペレットが形成され
た。0.1mmの粒子より製造されたペレットのかさ密
度は、0.5mm及び1.0mmの粒子より得られたペ
レットよりも幾分低かった。
率は、炭化チタンのみを形成するのに十分な量のコーク
スが存在するように調整した。まず、水素中で加熱する
ことにより、生ペレットからバインダーを除去した。し
かしながら、バインダーを除去したペレットは、もろく
、取扱困難であった。この挙動は、バインダー除去工程
中のチタンによる水素の吸収によるものと結論され、そ
れ故雰囲気をアルゴンに変更した。この新しい工程によ
り、満足すべき強度の脱バインダーペレットが形成され
た。0.1mmの粒子より製造されたペレットのかさ密
度は、0.5mm及び1.0mmの粒子より得られたペ
レットよりも幾分低かった。
チタン−ニッケル合金とコークスとの混合物の反応焼結
は、温度1100乃至1500°Cの範囲で0.25乃
至1時間の範囲内で行われた。一般に、焼結ペレットの
見掛は密度は、粒子径が小さくなるに従って、反応温度
が上昇するに従って、又、反応時間が長くなるに従って
、増加した。粒子径及び反応温度の影響のほうが、反応
時間の影響よりも大きかった。
は、温度1100乃至1500°Cの範囲で0.25乃
至1時間の範囲内で行われた。一般に、焼結ペレットの
見掛は密度は、粒子径が小さくなるに従って、反応温度
が上昇するに従って、又、反応時間が長くなるに従って
、増加した。粒子径及び反応温度の影響のほうが、反応
時間の影響よりも大きかった。
チタン−ニッケル合金から製造されたペレットは、一般
に外観上均一であった。全ペレットは、固体用反応を起
こした形跡もなく、結合していた。
に外観上均一であった。全ペレットは、固体用反応を起
こした形跡もなく、結合していた。
幾つかの試料で観察されたクラックは、焼結の結果生じ
たものではなく、生ペレットにあった欠陥によるもので
あって、焼結工程で生じたものではないものと思われる
。0.1mm及び0.5mmの粒子で製造されたペレッ
トの表面が、僅かに陥没していた。チタン及びバナジウ
ムの場合と同様に、マクロポア−の孔径は、原料粒子の
粒子径が大きくなるに従って増加した。しかしながら、
ポアーの構造は、均一であり、1500℃における1、
Oo+o+の粒子を除き、試料底部への液状金属の大量
移行は、認められなかった。ペレットの気孔率(かさ密
度及び見掛は密度測定値から算出)は、殆んどのペレッ
トにつき50±7%で類似していた。0.1mm及び0
. 5mmの粒子から製造されたペレットの外面は、試
料の中心よりも密であった。
たものではなく、生ペレットにあった欠陥によるもので
あって、焼結工程で生じたものではないものと思われる
。0.1mm及び0.5mmの粒子で製造されたペレッ
トの表面が、僅かに陥没していた。チタン及びバナジウ
ムの場合と同様に、マクロポア−の孔径は、原料粒子の
粒子径が大きくなるに従って増加した。しかしながら、
ポアーの構造は、均一であり、1500℃における1、
Oo+o+の粒子を除き、試料底部への液状金属の大量
移行は、認められなかった。ペレットの気孔率(かさ密
度及び見掛は密度測定値から算出)は、殆んどのペレッ
トにつき50±7%で類似していた。0.1mm及び0
. 5mmの粒子から製造されたペレットの外面は、試
料の中心よりも密であった。
焼結ペレットのX線回折により、第1図(X線回折パタ
ーンを示す)に示される様に、TiC及びTi2Niが
存在する相であることを判明した。
ーンを示す)に示される様に、TiC及びTi2Niが
存在する相であることを判明した。
子1f(1された様に、TiCの形成程麿は、粒子径、
温度及び時間に依存している。0.1mmの粒子径につ
いては、1時間、1300°C以上の反応で、実質的な
反応の完了には十分であった。この粒子径では、0.2
5時間の反応時間で、未反応合金が観察された。粒子径
が0.5mm及びそれ以上になると、1500°Cで1
時間の反応後にも、未反応の合金が認められた。0.
5mmの粒子から製造されたペレットは、1.0mmの
粒子から得られたペレットよりも、未反応合金の含量が
少なかった。
温度及び時間に依存している。0.1mmの粒子径につ
いては、1時間、1300°C以上の反応で、実質的な
反応の完了には十分であった。この粒子径では、0.2
5時間の反応時間で、未反応合金が観察された。粒子径
が0.5mm及びそれ以上になると、1500°Cで1
時間の反応後にも、未反応の合金が認められた。0.
5mmの粒子から製造されたペレットは、1.0mmの
粒子から得られたペレットよりも、未反応合金の含量が
少なかった。
1500℃、1時間の反応で、3種の粒子寸法から製造
された試験棒のMORは、粒子径の減少に従って、増大
した。MORは、1.0mmの粒子から製造された棒で
は5.4MPaであったのが、0.1mmの粒子から製
造された棒では、18.0MPaにまで増大した。0.
5mn+の粒子を用いた焼結棒(7)MORは、14
.3MPaであった。
された試験棒のMORは、粒子径の減少に従って、増大
した。MORは、1.0mmの粒子から製造された棒で
は5.4MPaであったのが、0.1mmの粒子から製
造された棒では、18.0MPaにまで増大した。0.
5mn+の粒子を用いた焼結棒(7)MORは、14
.3MPaであった。
ニッケル成分は、靭性等の機械的特性を改善する。
発明の効果
本発明の焼結成形物は、耐火物、燃焼室部品、電気抵抗
発熱体、ガスバーナ一部品及び金属研摩製品として用い
ることができる。
発熱体、ガスバーナ一部品及び金属研摩製品として用い
ることができる。
新規で、有用な金属カーバイド及び該カーバイドの新規
で有用な製造方法が得られたことは、明白である。
で有用な製造方法が得られたことは、明白である。
第1図は、チタン−ニッケル合金とコークス(いずれも
粒子径0. 5ff1m)を1300℃で1時間焼結し
て製造された実施例8のペレットのX線回折パターンを
示す。
粒子径0. 5ff1m)を1300℃で1時間焼結し
て製造された実施例8のペレットのX線回折パターンを
示す。
Claims (4)
- (1)粒径0.05〜10mmの炭素の固体粒子、粒径
0.05〜10mmのケイ素、チタン及びバナジウムの
少なくとも1種の金属固体粒子並びに有機バインダーか
らなる混合物を調製し、該混合物を成形し、金属が溶融
状態になる温度まで該成形体を加熱し、該溶融温度に保
ち、少なくとも実質的な量の液状金属を炭素と反応させ
てカーバイドを形成させることを特徴とするケイ素、チ
タン又はバナジウムの金属の少なくとも1種の多孔質カ
ーバイドを製造する方法。 - (2)金属がケイ素である特許請求の範囲第1項に記載
の方法。 - (3)金属がチタンである特許請求の範囲第1項に記載
の方法。 - (4)金属がバナジウムである特許請求の範囲第1項に
記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US90374286A | 1986-10-27 | 1986-10-27 | |
US903742 | 1986-10-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63190778A true JPS63190778A (ja) | 1988-08-08 |
JPH0518784B2 JPH0518784B2 (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=25418013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62272519A Granted JPS63190778A (ja) | 1986-10-27 | 1987-10-27 | 金属カーバイドの製造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63190778A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012121060A1 (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-13 | 信越化学工業株式会社 | 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体 |
JP2016532629A (ja) * | 2013-09-06 | 2016-10-20 | ジーティーエイティー コーポレーションGtat Corporation | 炭化ケイ素前駆体からのバルクの炭化ケイ素の製造方法及び装置 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP62272519A patent/JPS63190778A/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012121060A1 (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-13 | 信越化学工業株式会社 | 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体 |
JP2012188299A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体 |
JP2016532629A (ja) * | 2013-09-06 | 2016-10-20 | ジーティーエイティー コーポレーションGtat Corporation | 炭化ケイ素前駆体からのバルクの炭化ケイ素の製造方法及び装置 |
US10633762B2 (en) | 2013-09-06 | 2020-04-28 | GTAT Corporation. | Method for producing bulk silicon carbide by sublimation of a silicon carbide precursor prepared from silicon and carbon particles or particulate silicon carbide |
US11434582B2 (en) | 2013-09-06 | 2022-09-06 | Gtat Corporation | Method for producing bulk silicon carbide by sublimation of a silicon carbide precursor prepared from silicon and carbon particles or particulate silicon carbide |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0518784B2 (ja) | 1993-03-12 |
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