JPS63187143A - 磁気デイスク媒体の表面清浄度検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク媒体の表面清浄度検査方法に関
し、特に磁気ディスク媒体の製造工程において、その媒
体表面の清浄度を即時に検査する方法に関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスク媒体の高密度化に伴ない、磁気ディスク媒
体（以下１円板という）の表面と、それに近接して浮上
する浮上型磁気ヘッドの間隙は狭小化の傾向にあり、そ
れに伴ない、ヘッドと円板の接触の危険性が高まってい
る。したがって、磁気ディスク媒体（円板）の製造工程
において１円板表面の清浄度を検査し、製造時に発生す
る加工残存物等を取除く必要がある。

従来の円板表面清浄度検査方法としては、ガラスディス
クで浮上量を校正した不透明なヘッドを円板面上で走査
させた後、上記ヘッドを取りはずし、スライダ一部分に
付着した付着物を光学顕微鏡で写真撮影し、その量の多
少により円板清浄度の合否の判定を行う方法が知られて
いる。

なお、関連する特許の例としては、特開昭５６−２９８
７４号公報、同５６−５８１３６号公報が挙げられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術では、光学顕微鏡による写真撮影のために
ヘッドを試験装置から着脱する必要があり、円板表面清
浄度の合否の結果が判明するまでに時間がかかり、テス
ト中に即断できないという問題があった。また、ヘッド
浮上量をガラスディスクで校正しているために、円板表
面清浄度とヘッドの実際の円板表面での浮上量を同時に
測定するということば困芝であった。

本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、磁気
ディスク媒体の製造工程において、ヘッドを試験装置か
ら着脱することなく、ディスク表面の清浄度の合否の判
定を即断し、結果判明に至るまでの時間を短縮可能な磁
気ディスク媒体の表面清浄度検査方法を提供することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するため、本発明では、磁気ディスク
媒体の製造工程において、透明な材質のスライダーから
なる擬似ヘッドを回転中の磁気ディスク媒体の表面上に
走査させ、前記擬似ヘッドに付着する物質の量を、前記
擬似ヘッドが磁気ディスク媒体表面上で走査中もしくは
停止中に観測し、さらに必要に応じて観測した物質の量
の多少をしきい値を設けて許容量か否かを判定し、また
は物質の付着パターンを分類・判定することに特徴があ
る。

〔作用〕

本発明においては、走査するヘッドを透明な材質のスラ
イダーからなる擬似ヘッドとし、スライダー面に付着し
た物質やヘッドと磁気ディスク面の光路差により生じる
干渉縞をヘッドの背面から観察する。上記ヘッドが透明
な材質であるために、゛　スライダー表面に付着した物
質をヘッドの背面からｓ察できる。また、ヘッドスライ
ダ−面とディスク表面の光路差による干渉縞よりヘッド
の浮上量を知ることができる。これらにより、ヘッドを
試験装置から着脱する必要性がなくなり、ディスク表面
の清浄度を即時に判断することができる。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を、図面により詳細に説明する
。

第１図は、本発明の一実施例を示す検査システムの構成
図であり、第２図は第１図における透明スライダーヘッ
ドの拡大図である。

第１図、第２図において、１は表面清浄度検査が行われ
るディスク媒体（円板）、２は本発明の詳細な説明スラ
イダーヘッド、３は透明スライダーヘッド２の背面から
汚染物質（製造時に発生する加工残存物等）を拡大観測
する光学顕微鏡、４は光学顕微鏡３から観測されるスラ
イダー面を映すＴＶカメラ、５はＴＶカメラ４からの映
像信号を再生するモニタＴＶ、６は空気流の流入端、７
は空気流の流出端、８は流出端のチャンファである。

以下、第１図および第２図を用いて、本実施例の動作を
説明する。

磁気ディスク１が図示しないモータにより回転すると、
透明スライダーヘッド２は流体力によりある姿勢角を持
って浮上する。このためにヘッド２のスライダー面と磁
気ディスク媒体（円板）１の表面で光の干渉が起こり、
干渉縞が発生するにれを光学顕微鏡３およびＴＶカメラ
４で拡大映像化し、モニタＴＶ５にうつす。この映像（
干渉縞の色・間隔）より透明スライダーヘッド（以下、
擬似ヘッドという）２の姿勢角・スライダー流入端・流
出端の浮上量を正確に求めることができる。

ここで、浮上量が試験条件を満足していれば、擬似ヘッ
ド２を円板１の半径方向に図示しない走査機構により走
査させる。この走査回数は経験にもとすき設定する。

次に第２図により円板１の表面の物質（主に製造時に発
生する加工残存物、潤滑剤および洗浄液の付着）が、擬
似ヘッド２に付着するようすを説明する。擬似ヘッド２
は一般的に空気流の流入端６より流出端７の方が浮上量
が低い。さらに、形状を第２図に示すような流出端側の
チャンファ８を設計することにより、流出端チャンファ
８で負圧となり、円板１上の物質が吸い上げられ擬似ヘ
ッド２の流出端チャンファ８に付着する。また、流出端
部の浮上量より粒径の大きい物質は擬似ヘッド２との接
触によりスライダー面の任意の部分に付着する。このよ
うにして、円板１の表面全域の物質が擬似ヘッド２に付
着する。擬似ヘッド２に付着した物質は光学顕微鏡３で
拡大し、ＴＶカメラ４で映像化し、モニタＴＶ５により
付着物質のパターンを分析し、ディスク表面の清浄度の
合否の判定を下す、ここで１円板の合否の判定は、設定
走査回数後の付着物質の絶対量または走査回数の増加に
ともなう付着物質の増加量の変化で行う。

また、擬似ヘッド２がコンタクト・スタート・ストップ
型の場合、コンタクトストップすると、擬似ヘッド２の
スライダー面の付着物がとれる場合が多いので、走査中
もしくは走査終了後、擬似ヘッド２を浮上させた状態で
観測してもよい。

このように、本実施例においては１円板製造工程で、本
発明の試験を実施することにより、製造工程における円
板清浄度低下を防止できる。例えば、水洗浄工程の水の
清浄度の悪化を検出し、結果をフィードバックすること
ができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、透明な材質の擬
似ヘッドを使用しているために、ヘッドを試験装置から
着脱することなく、ヘッドに付着した汚れをａ察できる
ので、ディスク表面清浄度の合否を即断できる。また、
擬似ヘッドが汚れるまで何回でも同一のヘッドを使用で
きるため、一度に大量の検査ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す検査システムの構成図
、第２図は第１図の擬似ヘッドの拡大図である。 １：ディスク媒体（円板）、２：透明スライダーヘッド
（擬似ヘッド）、３：光学顕微鏡、４　：　ＴＶカメラ
、５：モニタＴＶ、６：流入端、７：流出端、８：チャ
ンファ・

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、磁気ディスク媒体の製造工程において、透明な材質
   のスライダーからなる擬似ヘッドを回転中の磁気ディス
   ク媒体の表面上に走査させ、前記擬似ヘッドに付着する
   物質の量を、前記擬似ヘッドが磁気ディスク媒体表面上
   で走査中もしくは停止中に観測し、さらに必要に応じて
   観測した物質の量の多少をしきい値を設けて許容量か否
   かを判定し、または物質の付着パターンを分類・判定す
   ることを特徴とする磁気ディスク媒体の表面清浄度検査
   方法。