CN108254379A - 一种缺陷检测装置及方法 - Google Patents

一种缺陷检测装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108254379A
CN108254379A CN201611237170.7A CN201611237170A CN108254379A CN 108254379 A CN108254379 A CN 108254379A CN 201611237170 A CN201611237170 A CN 201611237170A CN 108254379 A CN108254379 A CN 108254379A
Authority
CN
China
Prior art keywords
unit
image
fine motion
luminescent panel
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611237170.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108254379B (zh
Inventor
周钰颖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd filed Critical Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority to CN201611237170.7A priority Critical patent/CN108254379B/zh
Publication of CN108254379A publication Critical patent/CN108254379A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108254379B publication Critical patent/CN108254379B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8829—Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明提供了一种缺陷检测装置及方法，所述缺陷检测装置包括光学单元，用于对发光面板成像；探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；以及处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像；所述缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理，可以避免莫尔条纹的影响，提高了图像信噪比，无复杂的滤波算子或频域变化，提高检测精度，提高缺陷检测的准确性。

Description

一种缺陷检测装置及方法
技术领域
本发明涉及缺陷检测领域，特别涉及一种缺陷检测装置及方法。
背景技术
随着平板显示大范围应用，对平板显示的缺陷检测要求日益凸显。目前，业界对MURA(平板由于亮度显示不均匀性造成各种痕迹的现象)检测多数还是通过人工目视检查，受主观影响大，易出现漏检等问题。
使用设备采图并检测MURA所存在的难点在于：如图1所示，莫尔条纹1是由周期接近的两组周期图案形成的拍频图案，容易被探测到从而造成误检，或淹没缺陷信号。但由于莫尔条纹图像与平板方向、像素尺寸、相对夹角等众多因素相关，每块薄膜晶体管显示屏的莫尔条纹1都不同，难以通过常规的图像处理方法完全消除，如频域滤波、作为固定背景消除等处理方法。
发明内容
为了弥补现有的技术缺陷，本发明提出一种缺陷检测装置及方法，获得信噪比更高的图像，能清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，从而更有效的检测缺陷。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种缺陷检测装置，其特征在于，包括
光学单元，用于对发光面板成像；
探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；
微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；
以及
处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像。
可选地，所述微动单元与所述探测单元连接。
可选地，所述微动单元与所述光学单元连接。
可选地，所述微动单元与发光面板连接。
可选地，所述微动单元与所述光学单元和探测单元的整体结构连接。
可选地，所述微动单元采用压电陶瓷驱动器。
为实现上述目的，本发明还提出采用上述缺陷检测装置的一种缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理。
可选地，所述利用处理单元分析对采集图像进行处理分析的过程包括：
1)对采集图像进行预处理；
2)通过缺陷检测算法检测图像的缺陷；
3)输出缺陷信息。
可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动至少1个周期。
可选地，振动的方向与像素排列方向呈30至60度的夹角。
可选地，振动的振幅大于等于0.25像素且小于1像素。
可选地，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动大于10个周期。
可选地，所述缺陷检测算法是阈值分割法或者边缘提取方法。
本发明提供了一种缺陷检测装置及方法，加入微动单元，在检测过程中微小改变发光面板与探测器相对位置关系，探测两幅或多幅发光面板图像，再对采集到的图像进行处理分析，提高了图像信噪比，清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
附图说明
附图1为莫尔条纹示意图；
附图2为本发明实施例一缺陷检测装置结构示意图；
附图3为无振动匀化的莫尔条纹仿真效果图；
附图4为振动匀化后的单方向莫尔条纹仿真效果图；
附图5为本发明实施例二缺陷检测装置结构示意图；
附图6为本发明实施例三缺陷检测装置结构示意图；
附图7为本发明实施例四缺陷检测装置结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的
实施例一：
本实施例的缺陷检测装置，如图2所示，包括待检测单元50、光学单元10、探测单元20、微动单元30和处理单元40，所述待检测单元50为发光面板，所述光学单元10放置在发光面板上，收集发光面板发出的光并成像，所述探测单元20放置在光学单元10像面上，接收发光面板经过光学单元10的成像，微动单元30与探测单元20连接，处理单元40与探测单元20相连接，处理分析探测单元20采集的图像数据。本实施例微动单元30优选采用压电陶瓷驱动器。
继续参照图2，本实施例还提供一种缺陷检测方法，包括如下步骤：
1)利用微动单元30使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动：具体地，启动微动单元30，使微动单元30处于周期振动状态，带动探测单元20共同产生微小振动，并且在探测单元20积分时间内也即是图像单次采集时间内至少振动1个周期，最好大于10个周期，可以消除莫尔条纹的影响。最佳效果为整数周期。为适应不同检测曝光时间，可增加较为复杂昂贵的控制设备控制振动元件在曝光时间内振动整数周期。实际使用过程中，为降低成本，可使用一个振动频率较高的振动元件实现在曝光时间内多周期的振动，获得较好的莫尔条纹抑制效果。本实施例优选10.1个周期进行说明。
进一步的，微动单元30在像素排列方向上的振幅大于等于0.25像素，小于1像素，本实施例优选0.5像素，振动方向设置在像素排列方向的30至60度角，本实施例优选45度角。
2)探测单元20采集振动状态下发光面板在光学单元10上的成像：
发光面板发出的光进入光学单元10，并在探测单元20的感光面上成像，探测单元20采集振动状态下发光面板的成像。
3)最后利用处理单元40对探测单元20采集到的图像进行处理分析：
具体为：首先对采集的图像进行预处理，然后通过缺陷检测算法检测图像缺陷，检测算法有阈值分割、边缘提取等图像处理算法，本实施例优选阈值分割方法；最后输出缺陷信息，如强度差异百分比等。
如图3所示，未经过振动匀化的图像受莫尔条纹干扰很严重，如图4所示，采用本实施例的装置和方法后，获得的图像经过分析处理后基本消除了莫尔条纹的干扰。
实施例二：
如图5所示，本实施例和实施例一的区别在于：本实施例中的微动单元30与光学单元10连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动光学单元10周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
实施例三：
如图6所示，本实施例和实施例一的区别在于：本实施例中的微动单元30与光学单元10和探测单元20形成的整体结构连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动光学单元10和探测单元20形成的整体结构周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
实施例四：
如图7所示，本实施例和上述三个实施例区别在于：本实施例中的微动单元30与发光面板连接。也即是说，本实施例中，微动单元30通过带动发光面板周期振动，使得探测单元20感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，进而清楚分辨出莫尔条纹引起的干扰，提高缺陷检测的准确性。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (13)

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括
光学单元，用于对发光面板成像；
探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；
微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；
以及
处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像。
2.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述探测单元连接。
3.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述光学单元连接。
4.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与发光面板连接。
5.根据权利要求1所述的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元与所述光学单元和探测单元的整体结构连接。
6.根据权利要求1的一种缺陷检测装置，其特征在于，所述微动单元采用压电陶瓷驱动器。
7.一种采用权利要求1至6任意一项所述的缺陷检测装置进行缺陷检测的方法，其特征在于，利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理。
8.根据权利要求7所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述利用处理单元分析对采集图像进行处理分析的过程包括：
1)对采集图像进行预处理；
2)通过缺陷检测算法检测图像的缺陷；
3)输出缺陷信息。
9.根据权利要求7所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动至少1个周期。
10.根据权利要求9所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，振动的方向与像素排列方向呈30至60度的夹角。
11.根据权利要求10所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，振动的振幅大于等于0.25像素且小于1像素。
12.根据权利要求9所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述微动单元在图像单次采集时间内产生振动大于10个周期。
13.根据权利要求8所述的一种缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测算法是阈值分割法或者边缘提取方法。
CN201611237170.7A 2016-12-28 2016-12-28 一种缺陷检测装置及方法 Active CN108254379B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611237170.7A CN108254379B (zh) 2016-12-28 2016-12-28 一种缺陷检测装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611237170.7A CN108254379B (zh) 2016-12-28 2016-12-28 一种缺陷检测装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108254379A true CN108254379A (zh) 2018-07-06
CN108254379B CN108254379B (zh) 2020-10-27

Family

ID=62719724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611237170.7A Active CN108254379B (zh) 2016-12-28 2016-12-28 一种缺陷检测装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108254379B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113892015A (zh) * 2019-09-03 2022-01-04 株式会社新川 振动检测系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105245766A (zh) * 2015-11-05 2016-01-13 龚万新 一种振动辅助光学成像系统
CN105424726A (zh) * 2016-01-12 2016-03-23 苏州富鑫林光电科技有限公司 基于机器视觉的发光面板检测方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105245766A (zh) * 2015-11-05 2016-01-13 龚万新 一种振动辅助光学成像系统
CN105424726A (zh) * 2016-01-12 2016-03-23 苏州富鑫林光电科技有限公司 基于机器视觉的发光面板检测方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
冯小波: "基于机器视觉的TFT-LCD 点缺陷检测系统的研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113892015A (zh) * 2019-09-03 2022-01-04 株式会社新川 振动检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN108254379B (zh) 2020-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8736688B2 (en) Method and device for analyzing the optical quality of a transparent substrate
US10509214B2 (en) Method for detecting defects and associated device
TWI629665B (zh) 缺陷檢查方法及缺陷檢測系統
JP2015511315A (ja) 透明板の容積内で欠陥を特定する装置及び方法、並びにこの装置の使用
CN110208269B (zh) 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统
KR101146081B1 (ko) 마이크로-검사 입력을 이용한 매크로 결함 검출 방법 및시스템
CN110108715A (zh) 一种透明平行平板的缺陷检测方法
JP5536805B2 (ja) 非振動式接触電位差センサーを用いたパターン付きウェハ検査システム
KR100863341B1 (ko) 중복 영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼검사시스템
JP2010276538A (ja) 亀裂欠陥の検出方法
CN108254379A (zh) 一种缺陷检测装置及方法
KR20150125155A (ko) 표시패널의 휘도 균일도 검사장치 및 그 방법
JP6119784B2 (ja) 異物検査方法
JP3977503B2 (ja) フィルム検査方法およびそれを用いたフィルム検査装置
TW202127012A (zh) 光學檢測設備與光學檢測方法
TWI493177B (zh) 一種檢測具週期性結構光學薄膜的瑕疵檢測方法及其檢測裝置
KR101188404B1 (ko) 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법
US20230138331A1 (en) Motion in images used in a visual inspection process
TWI477768B (zh) 平面基板之自動光學檢測方法及其裝置
JP2010175283A (ja) 面画像生成装置
TWM543370U (zh) 一種測試圖樣；以及檢測鏡頭用光箱
JP4408902B2 (ja) 異物検査方法および装置
TWM477571U (zh) 一種用以擷取一物件影像的擷取裝置以及影像檢測裝置
KR20140031687A (ko) 기판 표면 검사 시스템 및 검사 방법
JP3202089B2 (ja) 周期性パターンの表面欠陥検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant