JPS63182526U - - Google Patents

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JPS63182526U
JPS63182526U JP7394187U JP7394187U JPS63182526U JP S63182526 U JPS63182526 U JP S63182526U JP 7394187 U JP7394187 U JP 7394187U JP 7394187 U JP7394187 U JP 7394187U JP S63182526 U JPS63182526 U JP S63182526U
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JP
Japan
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resist
semiconductor
pump
port
chamber
Prior art date
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Application number
JP7394187U
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２
図は従来のレジストポンプを示す構成図である。 １ａ，１ｂ……ベローズ、２……ポンプ本体、
２ａ……シリンダ、３ａ……レジスト液室、３ｂ
……気圧室、４……レジスト補充口、５……レジ
スト供給口、６……ポート、７……レジスト液。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウエハーの表面にレジスト液を塗布する
    半導体レジストポンプにおいて、ポンプ本体のシ
    リンダ内をレジスト液室と気圧室とに気密に弾性
    ベローズで画成し、前記レジスト液室にレジスト
    補充口及びレジスト供給口を開口するとともに、
    前記気圧室に給排気用ポートを開口したことを特
    徴とする半導体レジストポンプ。
JP7394187U 1987-05-18 1987-05-18 Pending JPS63182526U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7394187U JPS63182526U (ja) 1987-05-18 1987-05-18

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7394187U JPS63182526U (ja) 1987-05-18 1987-05-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63182526U true JPS63182526U (ja) 1988-11-24

Family

ID=30918719

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7394187U Pending JPS63182526U (ja) 1987-05-18 1987-05-18

Country Status (1)

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JP (1) JPS63182526U (ja)

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