JPS631772A - 真空ポンプとその運転方法 - Google Patents
真空ポンプとその運転方法Info
- Publication number
- JPS631772A JPS631772A JP14595386A JP14595386A JPS631772A JP S631772 A JPS631772 A JP S631772A JP 14595386 A JP14595386 A JP 14595386A JP 14595386 A JP14595386 A JP 14595386A JP S631772 A JPS631772 A JP S631772A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- flow path
- valve
- suction
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、スクリュロータを用いた真空ポンプに関する
ものである。
ものである。
(従来の技術)
従来、例えば真空包装、真空蒸着、イオンプレーディン
グの分野で真空ポンプが用いられている。
グの分野で真空ポンプが用いられている。
そして、−種類の真空ポンプで大気圧から高真空の領域
まで、広範囲の真空引きを行うことができないため、2
種類の真空ポンプ、例えばロータリーポンプとターボ分
子ポンプあるいはロータリーポンプとクライオポンプと
を使って高真空状態を達成している、このうち、ロータ
リーポンプは大気圧から約ITorrまで、ターボ分子
ポンプとクライオポンプはITorr以下の真空引きを
行うものである。
まで、広範囲の真空引きを行うことができないため、2
種類の真空ポンプ、例えばロータリーポンプとターボ分
子ポンプあるいはロータリーポンプとクライオポンプと
を使って高真空状態を達成している、このうち、ロータ
リーポンプは大気圧から約ITorrまで、ターボ分子
ポンプとクライオポンプはITorr以下の真空引きを
行うものである。
(発明が解決しようとする問題点)
上記のように高真空を得るには、2種類の真空ポンプを
必要とするため、真空引きする箇所およびポンプ間の配
管が多くなり、各装置の据付時に芯出しを正確に行うこ
とが要求されるので、据付が容易でなく、装置の構造ら
複雑になる。
必要とするため、真空引きする箇所およびポンプ間の配
管が多くなり、各装置の据付時に芯出しを正確に行うこ
とが要求されるので、据付が容易でなく、装置の構造ら
複雑になる。
また、配管が多くなれば、この配管内での吸引ガスの圧
損も多くなり、それだけ余分な動力を必要とすることに
なる。
損も多くなり、それだけ余分な動力を必要とすることに
なる。
さらに、従来の高真空用真空ポンプでは、吸込側に水あ
るいは油のにおいが漏れ出したり、停電時等の場合のよ
うに装置が急に停止した場合には、水や油が吸込側に逆
流する事態も起こり得る構造になっている。このため、
不純物の混入が許されない半導体の製造部門や、これに
加えて、特ににおいの発生を嫌う食品産業関係の真空包
装では使用することはできない等の問題がある。
るいは油のにおいが漏れ出したり、停電時等の場合のよ
うに装置が急に停止した場合には、水や油が吸込側に逆
流する事態も起こり得る構造になっている。このため、
不純物の混入が許されない半導体の製造部門や、これに
加えて、特ににおいの発生を嫌う食品産業関係の真空包
装では使用することはできない等の問題がある。
(問題点を解決するための手段)
上記問題点を解決するために、第1発明は、吸込口に開
口した第1ポンプ室、吐出口に開口した第2ポンプ室、
上記開口部とは反対側にて第1ポンプ室と第2ポンプ室
とを連通させる内部流路。
口した第1ポンプ室、吐出口に開口した第2ポンプ室、
上記開口部とは反対側にて第1ポンプ室と第2ポンプ室
とを連通させる内部流路。
および第2ポンプ室と隔壁を介して隣接させた密閉空間
であるモータ室を備えた一体形ケーシングと、適宜シー
ル手段を介して第2ポンプ室側へ出力軸が上記隔壁を貫
通するようにモータ室内に設けたモータと、いずれか一
方の軸を上記モータの出力軸に連結して、このモータに
より回転させるように第2ポンプ室内に設けて、上記内
部流路から吸込んだガスを吐出口に吐出させる、互いに
噛み合う雌雄一対のスクリュロータと、このスクリュロ
ータのいずれか一方と同軸上に設けて、上記吐出口から
吸込んだガスを内部流路に吐出させる速度形ポンプ本体
と、上記吸込口に通じる吸込流路を開閉する開閉弁と、
上記内部流路および吐出口に連通ずることがない第2ポ
ンプ室内の空間と上記吸込流路とを適宜開閉弁を介して
連通させるバイパス流路とから形成した。
であるモータ室を備えた一体形ケーシングと、適宜シー
ル手段を介して第2ポンプ室側へ出力軸が上記隔壁を貫
通するようにモータ室内に設けたモータと、いずれか一
方の軸を上記モータの出力軸に連結して、このモータに
より回転させるように第2ポンプ室内に設けて、上記内
部流路から吸込んだガスを吐出口に吐出させる、互いに
噛み合う雌雄一対のスクリュロータと、このスクリュロ
ータのいずれか一方と同軸上に設けて、上記吐出口から
吸込んだガスを内部流路に吐出させる速度形ポンプ本体
と、上記吸込口に通じる吸込流路を開閉する開閉弁と、
上記内部流路および吐出口に連通ずることがない第2ポ
ンプ室内の空間と上記吸込流路とを適宜開閉弁を介して
連通させるバイパス流路とから形成した。
また、第2発明は、−体形ケーシング内に、互いに噛み
合う雌雄一対のスクリュロータおよびこれと同軸回転可
能に速度形ポンプ本体を互いに内部流路で連通させるよ
うにして設けて、ケーシングの一方の開口部である吸込
口から吸込んだガスを速度形ポンプ本体、スクリュロー
タを経てケーシングの他方の開口部である吐出口に吐出
させるように形成するとともに、吸込口に通じる吸込流
路を開閉する第】開閉弁と、上記内部流路および吐出口
に連通ずることがないスクリュロータ収納空間内の部分
を上記吸込流路に適宜開閉弁を介して連通させるバイパ
ス流路とを設けた真空ポンプの第1開閉弁および第2開
閉弁を閉にするとともにスクリュロータおよび速度形ポ
ンプ本体の回転速度を低速域として起動後遅転を続け、
速度形ボンブ本体室内の圧力が約1Torr〜10To
rrにまで低下すると第2開閉弁を開として、吸込流路
内の圧力が約1Torr〜10Torrにまで低下する
と第2開閉弁を閉、第1開閉弁を開にするとともに上記
回転速度を定常運転速度にするようにした。
合う雌雄一対のスクリュロータおよびこれと同軸回転可
能に速度形ポンプ本体を互いに内部流路で連通させるよ
うにして設けて、ケーシングの一方の開口部である吸込
口から吸込んだガスを速度形ポンプ本体、スクリュロー
タを経てケーシングの他方の開口部である吐出口に吐出
させるように形成するとともに、吸込口に通じる吸込流
路を開閉する第】開閉弁と、上記内部流路および吐出口
に連通ずることがないスクリュロータ収納空間内の部分
を上記吸込流路に適宜開閉弁を介して連通させるバイパ
ス流路とを設けた真空ポンプの第1開閉弁および第2開
閉弁を閉にするとともにスクリュロータおよび速度形ポ
ンプ本体の回転速度を低速域として起動後遅転を続け、
速度形ボンブ本体室内の圧力が約1Torr〜10To
rrにまで低下すると第2開閉弁を開として、吸込流路
内の圧力が約1Torr〜10Torrにまで低下する
と第2開閉弁を閉、第1開閉弁を開にするとともに上記
回転速度を定常運転速度にするようにした。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
図において、1は第1発明に係るドライ形(ガス吸引部
分に浦および水を注入しない形式をいう。)真空ポンプ
を示し、−体形ケーシング2.モータ3、互いに噛み合
う雌雄一対のスクリュロータ(以下、ロータという。)
4,5.速度形ポンプ本体の一例であるターボ分子ポン
プの羽根車6と、第1開閉弁7とバイパス流路8と第1
.第2圧力検出器9.10とからなっている。
分に浦および水を注入しない形式をいう。)真空ポンプ
を示し、−体形ケーシング2.モータ3、互いに噛み合
う雌雄一対のスクリュロータ(以下、ロータという。)
4,5.速度形ポンプ本体の一例であるターボ分子ポン
プの羽根車6と、第1開閉弁7とバイパス流路8と第1
.第2圧力検出器9.10とからなっている。
このうち、−体形ケーシング2内には、吸込口llに開
口した第1ポンプ室12と、吐出口13に開口した第2
ポンプ室14と、これらの開口部とは反対側にて第1ポ
ンプ室12と第2ポンプ室14とを連通させる内部流路
15と、第2ポンプ室14と隔壁16を介して隣接させ
た密閉空間であるモータ室!7とが形成しである。
口した第1ポンプ室12と、吐出口13に開口した第2
ポンプ室14と、これらの開口部とは反対側にて第1ポ
ンプ室12と第2ポンプ室14とを連通させる内部流路
15と、第2ポンプ室14と隔壁16を介して隣接させ
た密閉空間であるモータ室!7とが形成しである。
モータ3は、密閉形で、モータ室17に収納してあり、
その出力軸18は適宜シール部材19を介して、第2ポ
ンプ室14側へ隔壁16を貫通させである。
その出力軸18は適宜シール部材19を介して、第2ポ
ンプ室14側へ隔壁16を貫通させである。
ロータ4.5は、その両側に配設したシール部材20.
21を介して軸受22,23により支持してあり、軸受
22.23部分と第2ポンプ室14とを遮断している。
21を介して軸受22,23により支持してあり、軸受
22.23部分と第2ポンプ室14とを遮断している。
そして、雄ロータ5の軸24をモータ3の出力Htsに
連結して雄ロータ5を駆動している。さらに、ドライ形
ゆえ両ロータ4゜5を直接接触させずに回転させるため
に、両ロータ4,5の軸端部に歯車25.26を取付け
て、互いに噛合わさせ、これを介してロータ5とともに
ロータ4を回転させて、内部流路15内のガスを吸込ん
で吐出口13へ吐出するようにしである。
連結して雄ロータ5を駆動している。さらに、ドライ形
ゆえ両ロータ4゜5を直接接触させずに回転させるため
に、両ロータ4,5の軸端部に歯車25.26を取付け
て、互いに噛合わさせ、これを介してロータ5とともに
ロータ4を回転させて、内部流路15内のガスを吸込ん
で吐出口13へ吐出するようにしである。
また、ロータ4.5による真空引きする速度は、各ロー
タ4.5の歯溝間の空間容積が大きい程速くなるので、
第3図に示すように歯数が少ない3×4歯形(雄ロータ
の歯数:3.雌ロータの歯数:4)を使って、歯溝間の
空間容積をできるだけ大きくなるように形成しである。
タ4.5の歯溝間の空間容積が大きい程速くなるので、
第3図に示すように歯数が少ない3×4歯形(雄ロータ
の歯数:3.雌ロータの歯数:4)を使って、歯溝間の
空間容積をできるだけ大きくなるように形成しである。
さらに、ロータ4,5の外径の大きさは、モータ3の回
転速度との関係において、その周速が70 = 130
m/ sea、好ましく約IQQm/secになるよ
うに定めである。
転速度との関係において、その周速が70 = 130
m/ sea、好ましく約IQQm/secになるよ
うに定めである。
羽根車6は、シール部材21および29を介して、第1
ポンプ室12側ヘオーバハングさせた雄ロータ5の軸端
部に片持ち状態で取付けて、シール部材29により軸受
23と第1ポンプ室12とを遮断するとともに、羽根車
6の吸込口il側の軸受を省くことにより、到達真空度
の低下、真空引き箇所のガス汚染の原因になる軸受部か
らの油漏れを防ぐ構造にしである。そして、吸込口11
から吸込んだガスを油、水等による汚染もなく、全くク
リーンな状態で内部流路15側へ送り出すようになって
いる。このクリーンな状態は、上述したように、ドライ
形で油、水の注入がない二と、シール部材19,20.
21により油漏れが防がれていることから第2ポンプ室
14から吐出口13に至る迄保たれているので、真空ポ
ンプ1が停止した場合でも、吸込み側の真空部分が油等
により汚染されることはない。
ポンプ室12側ヘオーバハングさせた雄ロータ5の軸端
部に片持ち状態で取付けて、シール部材29により軸受
23と第1ポンプ室12とを遮断するとともに、羽根車
6の吸込口il側の軸受を省くことにより、到達真空度
の低下、真空引き箇所のガス汚染の原因になる軸受部か
らの油漏れを防ぐ構造にしである。そして、吸込口11
から吸込んだガスを油、水等による汚染もなく、全くク
リーンな状態で内部流路15側へ送り出すようになって
いる。このクリーンな状態は、上述したように、ドライ
形で油、水の注入がない二と、シール部材19,20.
21により油漏れが防がれていることから第2ポンプ室
14から吐出口13に至る迄保たれているので、真空ポ
ンプ1が停止した場合でも、吸込み側の真空部分が油等
により汚染されることはない。
また、上述のように羽根車6の片持ち支持は、ロータ5
(ロータ4も同様)の重量が大きくその軸も太く強固で
あるのに対して羽根車6は高速回転させる構造上比較的
軽量に作っであるから可能となっている。
(ロータ4も同様)の重量が大きくその軸も太く強固で
あるのに対して羽根車6は高速回転させる構造上比較的
軽量に作っであるから可能となっている。
さらに、羽根車6の外径の大きさは、モータ3の回転速
度との関係において、その周速が150〜300m/s
ee、好ましくは約200m/secになるように定め
である。
度との関係において、その周速が150〜300m/s
ee、好ましくは約200m/secになるように定め
である。
第1開閉弁7は、吸込口11に通じる吸込流路27を適
宜開閉させて、羽根車6がガスの抵抗で壊れないように
、中真空(I Torr 〜10−’Torr)より真
空度の高い状態で作動させることができるように取付け
である。
宜開閉させて、羽根車6がガスの抵抗で壊れないように
、中真空(I Torr 〜10−’Torr)より真
空度の高い状態で作動させることができるように取付け
である。
バイパス流路8は、内部流路15および吐出口l3に連
通ずることがない第2ポンプ室14内の空間と吸込流路
27とを、第2開閉弁28を介して連通させるように一
体形ケーシング2を貫通して設けである。ロータ4,5
の歯溝間の空間は、ロータ4,5の回転とともに位置を
変えることにより内部流路15に開口した状態、内部流
路15および吐出口13からは遮断されたガス閉込み状
態、吐出口13に開口した状態の3つの状態を順次繰返
し、各状態に対応して、ガス吸込み空間。
通ずることがない第2ポンプ室14内の空間と吸込流路
27とを、第2開閉弁28を介して連通させるように一
体形ケーシング2を貫通して設けである。ロータ4,5
の歯溝間の空間は、ロータ4,5の回転とともに位置を
変えることにより内部流路15に開口した状態、内部流
路15および吐出口13からは遮断されたガス閉込み状
態、吐出口13に開口した状態の3つの状態を順次繰返
し、各状態に対応して、ガス吸込み空間。
閉込み空間、吐出空間となる。したがって、このような
スクリュ式のロータ4,5特宵の構造上の特徴から、第
2ポンプ室14内には、常時ガス閉込み状態にあり、内
部流路15および吐出口13に連通ずることがない歯溝
間の空間が存在し、バイパス流路8のロータ側はこの空
間に面した一体形ケーシング2の壁部に穿設しである。
スクリュ式のロータ4,5特宵の構造上の特徴から、第
2ポンプ室14内には、常時ガス閉込み状態にあり、内
部流路15および吐出口13に連通ずることがない歯溝
間の空間が存在し、バイパス流路8のロータ側はこの空
間に面した一体形ケーシング2の壁部に穿設しである。
また、このバイパス流路8は第2開閉弁28により適宜
開閉できるように形成してあり、下記するように荒引き
(低真空すなわち約ITorr迄の真空引き)用に供さ
れる。
開閉できるように形成してあり、下記するように荒引き
(低真空すなわち約ITorr迄の真空引き)用に供さ
れる。
第1.第2圧力検出器9.IOは吸込流路27あるいは
内部流路15内の圧力を検出できるように取付けてあり
、下記するようにこれによる検出値を基にして第1.第
2開閉弁7.28の操作を行うために設けたしのである
。
内部流路15内の圧力を検出できるように取付けてあり
、下記するようにこれによる検出値を基にして第1.第
2開閉弁7.28の操作を行うために設けたしのである
。
なお、上記実施例では、モータ3と雄ロータ5と羽根車
6とを同軸上に設けたものを示したが本発明はこれに限
るものでなく、モータ3と雌ロータ4を直結してもよく
、また雌ロータ4の軸上に羽根車6を取付けてもよい。
6とを同軸上に設けたものを示したが本発明はこれに限
るものでなく、モータ3と雌ロータ4を直結してもよく
、また雌ロータ4の軸上に羽根車6を取付けてもよい。
そして、このように両ロータ4.5とモータ3との連結
1羽根車6の取付けの組合せを適宜選択することにより
、ロータ4.5および羽根車6の周速が適切な値になる
ようにすることができる。
1羽根車6の取付けの組合せを適宜選択することにより
、ロータ4.5および羽根車6の周速が適切な値になる
ようにすることができる。
また、上記実施例ではドライ形で一体形ケーンング2内
にロータ4.5および羽根車6を収納することによりク
リーンな状態で真空引きするようにしたものを示したが
、本発明はこれに限るものでなく、真空引き箇所が油等
の混入を問題にしない場合には、例えば第2ポンプ室1
4内を油冷式%式% さらに、上記実施例では吸込流路27あるいは内部流路
15内の圧力検出のために第1.第2圧力検出器9.1
0を設けであるが、ロータ4,5を一定時間運転させる
ことにより圧力が低下したものとして取扱える場合には
第1.第2圧力検出器9、lOは必ずしも必要ではない
。
にロータ4.5および羽根車6を収納することによりク
リーンな状態で真空引きするようにしたものを示したが
、本発明はこれに限るものでなく、真空引き箇所が油等
の混入を問題にしない場合には、例えば第2ポンプ室1
4内を油冷式%式% さらに、上記実施例では吸込流路27あるいは内部流路
15内の圧力検出のために第1.第2圧力検出器9.1
0を設けであるが、ロータ4,5を一定時間運転させる
ことにより圧力が低下したものとして取扱える場合には
第1.第2圧力検出器9、lOは必ずしも必要ではない
。
その他、速度形ポンプ本体は中、高真空用のものであれ
ば上記羽根車6に限るものではなく、まfこ、ロータ4
.5は3x4歯形の組合せに限るものではない。
ば上記羽根車6に限るものではなく、まfこ、ロータ4
.5は3x4歯形の組合せに限るものではない。
次に第2発明の一実施例として上記構成からなる真空ポ
ンプ1の運転方法を第4図にしたがって説明する。
ンプ1の運転方法を第4図にしたがって説明する。
第4図は上記真空ポンプ1を真空引きする真空容器31
に接続した状態を示し、まず第1ステツプで第1.第2
開閉弁7,28を閉じた状態で、かつ低速回転状@(定
常運転時の約1/2の回転速度)で起動する。
に接続した状態を示し、まず第1ステツプで第1.第2
開閉弁7,28を閉じた状態で、かつ低速回転状@(定
常運転時の約1/2の回転速度)で起動する。
このように低速回転させるのは、最初から、すなわち大
気圧に近いガス中で羽根車6を高速回転させることによ
り、壊すのを防ぐためである。
気圧に近いガス中で羽根車6を高速回転させることによ
り、壊すのを防ぐためである。
第2ステツプで、第2圧力検出器lOにより内部流路1
5内の圧力が大気圧(760Torr)から約ITor
r迄低下したのを確認することを条件として、内部流路
15内の圧力が上昇しないように、すなわち真空度の低
下を招かないように第2開閉弁28を徐々に開いて、全
開にする。
5内の圧力が大気圧(760Torr)から約ITor
r迄低下したのを確認することを条件として、内部流路
15内の圧力が上昇しないように、すなわち真空度の低
下を招かないように第2開閉弁28を徐々に開いて、全
開にする。
第3ステツプで、第1圧力検出器9により吸込流路27
内の圧力が約ITorr迄低下したのを確認することを
条件として第2開閉弁28を閉じた後、第1開閉弁7を
開いて、ロータ4,5および羽根車6の回転速度を定常
運転時の速度まで上昇させ、以後、このままの状態で定
常運転を続ける。
内の圧力が約ITorr迄低下したのを確認することを
条件として第2開閉弁28を閉じた後、第1開閉弁7を
開いて、ロータ4,5および羽根車6の回転速度を定常
運転時の速度まで上昇させ、以後、このままの状態で定
常運転を続ける。
ここで、定常運転時の回転速度としては周速がロータ4
,5の場合には70〜130 m/sec、好ましくは
約100 m/sec、羽根車6の場合には150−3
00n/sec、好ましくは約200rn/secにす
るのがよい。
,5の場合には70〜130 m/sec、好ましくは
約100 m/sec、羽根車6の場合には150−3
00n/sec、好ましくは約200rn/secにす
るのがよい。
なお、上記実施例では吸込流路27あるいは内部流路1
5内の圧力を検出するために第1.第2圧力検出器9.
10を用いたが、運転時間によ:]圧力低下を確認でき
ろ場合には必ずしも第1.第2王力検出器9.10を用
いる必要はない。
5内の圧力を検出するために第1.第2圧力検出器9.
10を用いたが、運転時間によ:]圧力低下を確認でき
ろ場合には必ずしも第1.第2王力検出器9.10を用
いる必要はない。
また、速度形ポンプ本体として羽根車6を用いたが、中
、高真空用のものならばこれに限るものではない。
、高真空用のものならばこれに限るものではない。
(発明の効果)
以上の説明より明らかなように、第1発明によれば、吸
込口に開口した第1ポンプ室、吐出口に開口した第2ポ
ンプ室、上記開口部とは反対側にて第1ポンプ室と第2
ポンプ室とを連通させる内部流路、および第2ポンプ室
と隔壁を介して隣接させた密閉空間であるモータ室を備
えた一体形ケーシングと、適宜シール手段を介して第2
ポンプ室側へ出力軸が上記隔壁を貫通するようにモータ
室内に設けたモータと、いずれか一方の軸を上記モータ
の出力軸に連結して、このモータにより回転させるよう
に第2ポンプ室内に設けて、上記内部流路から吸込んだ
ガスを吐出口に吐出させる、互いに噛み合う雌雄一対の
スクリュロータと、このスクリュロータのいずれか一方
と同軸上に設けて、上記吐出口から吸込んだガスを内部
流路に吐出させる速度形ポンプ本体と、上記吸込口に通
じる吸込流路を開閉する開閉弁と、上記内部流路および
吐出口に連通ずることがない第2ポンプ室内の空間と上
記吸込流路とを適宜開閉弁を介して連通させるバイパス
流路とから形成しである。
込口に開口した第1ポンプ室、吐出口に開口した第2ポ
ンプ室、上記開口部とは反対側にて第1ポンプ室と第2
ポンプ室とを連通させる内部流路、および第2ポンプ室
と隔壁を介して隣接させた密閉空間であるモータ室を備
えた一体形ケーシングと、適宜シール手段を介して第2
ポンプ室側へ出力軸が上記隔壁を貫通するようにモータ
室内に設けたモータと、いずれか一方の軸を上記モータ
の出力軸に連結して、このモータにより回転させるよう
に第2ポンプ室内に設けて、上記内部流路から吸込んだ
ガスを吐出口に吐出させる、互いに噛み合う雌雄一対の
スクリュロータと、このスクリュロータのいずれか一方
と同軸上に設けて、上記吐出口から吸込んだガスを内部
流路に吐出させる速度形ポンプ本体と、上記吸込口に通
じる吸込流路を開閉する開閉弁と、上記内部流路および
吐出口に連通ずることがない第2ポンプ室内の空間と上
記吸込流路とを適宜開閉弁を介して連通させるバイパス
流路とから形成しである。
このように2種類のポンプ本体を一体形ケーンング内に
収納したため、配管部分が減少し、装置の据付は時に配
管のために装置各部の芯出し作業、配管作業等に煩わさ
れることが減るとともに、配管;)1り分の6&少によ
り吸引カスによる圧損か減り、真空引きの効率を改善す
ることができる。
収納したため、配管部分が減少し、装置の据付は時に配
管のために装置各部の芯出し作業、配管作業等に煩わさ
れることが減るとともに、配管;)1り分の6&少によ
り吸引カスによる圧損か減り、真空引きの効率を改善す
ることができる。
また、−体形ケーシング内にポンプ本体およびモータを
収納しであるので軸受部からの油あるいは空気の漏れを
防ぎやすくなり、到達真空度を向上させることができる
だけでなく、クリーンな状態での真空引きに特に適した
ものになるとともに、装置全体をコンパクトに形成して
据付面積を小さくすることができる。
収納しであるので軸受部からの油あるいは空気の漏れを
防ぎやすくなり、到達真空度を向上させることができる
だけでなく、クリーンな状態での真空引きに特に適した
ものになるとともに、装置全体をコンパクトに形成して
据付面積を小さくすることができる。
さらに、−体形にすることにより保守点検作業を軽減す
ることができる等の効果を奏する。
ることができる等の効果を奏する。
次に、第2発明によれば、−体形ケーシング内に、互い
に噛み合う雌雄一対のスクリュロータおよびこれと同軸
回転可能に速度形ポンプ本体を互いに内部流路で連通さ
せるようにして設けて、ケーシングの一方の開口部であ
る吸込口から吸込んだガスを速度形ポンプ本体、スクリ
ュロータを経てケーシングの他方の開口部である吐出口
に吐出させるように形成するとともに、吸込口に通じる
吸込流路を開閉する第1開閉弁と、上記内部流路および
吐出11に連通4“るごとかないスクリ、:+、 Cl
−タ収納空間内の部分を上記吸込流路に適宜開閉弁を介
して連通させるバイパス流路とを設けfこ真空ポンプの
第1開閉弁および第2開閉弁を閉にするとともにスクリ
ュロータおよび速度形ポンプ本体の回転速度を低速域と
して起動後運転を続け、速度形ポンプ本体室内の圧力が
約1Torr〜10TOrrにまで低下すると第2開閉
弁を開として、“吸込流路内の圧力が約1Torr〜l
0Torrにまで低下すると第2開閉弁を閉、第1開閉
弁を開にするとともに上記回転速度を定常運転速度にす
るようにしである。
に噛み合う雌雄一対のスクリュロータおよびこれと同軸
回転可能に速度形ポンプ本体を互いに内部流路で連通さ
せるようにして設けて、ケーシングの一方の開口部であ
る吸込口から吸込んだガスを速度形ポンプ本体、スクリ
ュロータを経てケーシングの他方の開口部である吐出口
に吐出させるように形成するとともに、吸込口に通じる
吸込流路を開閉する第1開閉弁と、上記内部流路および
吐出11に連通4“るごとかないスクリ、:+、 Cl
−タ収納空間内の部分を上記吸込流路に適宜開閉弁を介
して連通させるバイパス流路とを設けfこ真空ポンプの
第1開閉弁および第2開閉弁を閉にするとともにスクリ
ュロータおよび速度形ポンプ本体の回転速度を低速域と
して起動後運転を続け、速度形ポンプ本体室内の圧力が
約1Torr〜10TOrrにまで低下すると第2開閉
弁を開として、“吸込流路内の圧力が約1Torr〜l
0Torrにまで低下すると第2開閉弁を閉、第1開閉
弁を開にするとともに上記回転速度を定常運転速度にす
るようにしである。
このため、コンパクトな装置で効率よく、かつ、真空引
き箇所のガス汚染を伴うことなく、クリーンな状態で良
好な到達真空度を得ることができる。
き箇所のガス汚染を伴うことなく、クリーンな状態で良
好な到達真空度を得ることができる。
第1図は第1発明に係る真空ポンプの縦断面図、第2図
は第1図の真空ポンプの本体部分のみの横断面図、第3
図は第1図のロータ部分のみの側面図、第4図は第1図
の真空ポンプの適用例を示す機器構成図である。 l・・・真空ポンプ、2・・・−体形ケーシング、3・
・・モータ、4.5・・ロータ(スクリュロータ)、6
・・・羽根車、7・・第1開閉弁、8・・・バイパス流
路、11・・・吸込口、12・・・第1ポンプ室、13
・・・吐出口、14・・・第2ポンプ室、15・・・内
部流路、16・・・隔壁、17・・・モータ室、18・
・・出力軸、19・・・シール部材、24・軸、27・
・・吸込流路、28・・・第2開閉弁。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか2名高1 Q
は第1図の真空ポンプの本体部分のみの横断面図、第3
図は第1図のロータ部分のみの側面図、第4図は第1図
の真空ポンプの適用例を示す機器構成図である。 l・・・真空ポンプ、2・・・−体形ケーシング、3・
・・モータ、4.5・・ロータ(スクリュロータ)、6
・・・羽根車、7・・第1開閉弁、8・・・バイパス流
路、11・・・吸込口、12・・・第1ポンプ室、13
・・・吐出口、14・・・第2ポンプ室、15・・・内
部流路、16・・・隔壁、17・・・モータ室、18・
・・出力軸、19・・・シール部材、24・軸、27・
・・吸込流路、28・・・第2開閉弁。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 前出 葆 ほか2名高1 Q
Claims (3)
- (1)吸込口に開口した第1ポンプ室、吐出口に開口し
た第2ポンプ室、上記開口部とは反対側にて第1ポンプ
室と第2ポンプ室とを連通させる内部流路、および第2
ポンプ室と隔壁を介して隣接させた密閉空間であるモー
タ室を備えた一体形ケーシングと、適宜シール手段を介
して第2ポンプ室側へ出力軸が上記隔壁を貫通するよう
にモータ室内に設けたモータと、いずれか一方の軸を上
記モータの出力軸に連結して、このモータにより回転さ
せるように第2ポンプ室内に設けて、上記内部流路から
吸込んだガスを吐出口に吐出させる、互いに噛み合う雌
雄一対のスクリュロータと、このスクリュロータのいず
れか一方と同軸上に設けて、上記吐出口から吸込んだガ
スを内部流路に吐出させる速度形ポンプ本体と、上記吸
込口に通じる吸込流路を開閉する開閉弁と、上記内部流
路および吐出口に連通することがない第2ポンプ室内の
空間と上記吸込流路とを適宜開閉弁を介して連通させる
バイパス流路とからなることを特徴とする真空ポンプ。 - (2)上記速度形ポンプ本体がターボ分子ポンプの羽根
車であって、スクリュロータの周速が70〜130m/
secで羽根車の周速が150〜300m/secとな
る外径比でスクリュロータと羽根車を形成したことを特
徴とする特許請求の範囲第1項に記載の真空ポンプ。 - (3)一体形ケーシング内に、互いに噛み合う雌雄一対
のスクリュロータおよびこれと同軸回転可能に速度形ポ
ンプ本体を互いに内部流路で連通させるようにして設け
て、ケーシングの一方の開口部である吸込口から吸込ん
だガスを速度形ポンプ本体、スクリュロータを経てケー
シングの他方の開口部である吐出口に吐出させるように
形成するとともに、吸込口に通じる吸込流路を開閉する
第1開閉弁と、上記内部流路および吐出口に連通するこ
とがないスクリュロータ収納空間内の部分を上記吸込流
路に適宜開閉弁を介して連通させるバイパス流路とを設
けた真空ポンプの第1開閉弁および第2開閉弁を閉にす
るとともにスクリュロータおよび速度形ポンプ本体の回
転速度を低速域として起動後運転を続け、速度形ポンプ
本体室内の圧力が約1Torr〜10Torrにまで低
下すると第2開閉弁を開として、吸込流路内の圧力が約
1Torr〜10Torrにまで低下すると第2開閉弁
を閉、第1開閉弁を開にするとともに上記回転速度を定
常運転速度にすることを特徴とする真空ポンプの運転方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14595386A JPS631772A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空ポンプとその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14595386A JPS631772A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空ポンプとその運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS631772A true JPS631772A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15396849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14595386A Pending JPS631772A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 真空ポンプとその運転方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS631772A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181091A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-13 | Suzuki Motor Co Ltd | ロータリコンプレッサ |
KR100527525B1 (ko) * | 1998-04-11 | 2005-11-09 | 조.하인리히 보르네만 게엠베하 | 환상 틈새형 밀봉 구조를 갖는 스크류 펌프 |
JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60204997A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14595386A patent/JPS631772A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60204997A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181091A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-13 | Suzuki Motor Co Ltd | ロータリコンプレッサ |
KR100527525B1 (ko) * | 1998-04-11 | 2005-11-09 | 조.하인리히 보르네만 게엠베하 | 환상 틈새형 밀봉 구조를 갖는 스크류 펌프 |
JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4797068A (en) | Vacuum evacuation system | |
KR100876318B1 (ko) | 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법 | |
EP0585911B1 (en) | Two stage primary dry pump | |
JPS62243982A (ja) | 2段型真空ポンプ装置およびその運転方法 | |
US4668160A (en) | Vacuum pump | |
TWI564484B (zh) | Pump | |
US5897299A (en) | Anti-reverse rotation apparatus of compressor | |
JP2001207984A (ja) | 真空排気装置 | |
JPS62261693A (ja) | 選択型送出ポンプ | |
JPH01277698A (ja) | 複合型真空ポンプ | |
JPH0230989A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
KR100408154B1 (ko) | 루트 진공펌프 | |
JPS631772A (ja) | 真空ポンプとその運転方法 | |
US3438570A (en) | Two stage vacuum pump | |
JP7396561B2 (ja) | ドライ真空ポンプおよびポンプ設備 | |
JP3992176B2 (ja) | 真空排気方法および真空排気装置 | |
JPS61123777A (ja) | 真空ポンプ | |
JP3112490B2 (ja) | メカニカル真空ポンプ | |
JP2007263122A (ja) | 真空排気装置 | |
JPH06129384A (ja) | 真空排気装置 | |
JP2005256845A (ja) | 真空排気装置 | |
JP2007298043A (ja) | 真空排気装置 | |
JPS6345597Y2 (ja) | ||
CN212376872U (zh) | 一种油气回收用多级罗茨结构的真空泵 | |
JP2005256845A5 (ja) |