JPS63174100U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63174100U JPS63174100U JP646087U JP646087U JPS63174100U JP S63174100 U JPS63174100 U JP S63174100U JP 646087 U JP646087 U JP 646087U JP 646087 U JP646087 U JP 646087U JP S63174100 U JPS63174100 U JP S63174100U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zone plate
- fresnel zone
- linear
- openings
- linear fresnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図に示すリニアフレネルゾーンプレート
を用いたアライメントを示す説明図、第３図は従
来のリニアフレネルゾーンプレートを用いたアラ
イメントを示す説明図、第４図は従来の一例を示
す平面図、第５図はウエハ用マークである回折格
子を示す平面図、第６図はギヤツプと検出器出力
の関係を示すグラフである。 １……Ｘ線吸収体、２……開口部、３，８……
ウエハ、４，９……回折格子、５，１０……マス
ク、６……本考案のリニアフレネルゾーンプレー
ト、１１……従来のリニアフレネルゾーンプレー
ト、７，１２……レーザビーム。
図は第１図に示すリニアフレネルゾーンプレート
を用いたアライメントを示す説明図、第３図は従
来のリニアフレネルゾーンプレートを用いたアラ
イメントを示す説明図、第４図は従来の一例を示
す平面図、第５図はウエハ用マークである回折格
子を示す平面図、第６図はギヤツプと検出器出力
の関係を示すグラフである。 １……Ｘ線吸収体、２……開口部、３，８……
ウエハ、４，９……回折格子、５，１０……マス
ク、６……本考案のリニアフレネルゾーンプレー
ト、１１……従来のリニアフレネルゾーンプレー
ト、７，１２……レーザビーム。
Claims (1)
- 複数の線状開口部から構成されたリニアフレネ
ルゾーンプレートの中心部に位置する複数の開口
部を遮光部に置き換えて両側部だけで構成される
ことを特徴とするリニアフレネルゾーンプレート
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP646087U JPS63174100U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP646087U JPS63174100U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174100U true JPS63174100U (ja) | 1988-11-11 |
Family
ID=30789002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP646087U Pending JPS63174100U (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63174100U (ja) |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP646087U patent/JPS63174100U/ja active Pending