JPS6163834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6163834U JPS6163834U JP1985156051U JP15605185U JPS6163834U JP S6163834 U JPS6163834 U JP S6163834U JP 1985156051 U JP1985156051 U JP 1985156051U JP 15605185 U JP15605185 U JP 15605185U JP S6163834 U JPS6163834 U JP S6163834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- mask pattern
- thickness
- rays
- stopping power
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Description
第１図は本考案に係る多重マスクの構造を説明
するための一実施例の断面図である。 １…Ｓｉ枠、２…ＳｉＯ２膜、３…薄いＡｕパ
ターン、４，５…細くて厚いＡｕパターン、６…
光線、７…Ｘ線。
するための一実施例の断面図である。 １…Ｓｉ枠、２…ＳｉＯ２膜、３…薄いＡｕパ
ターン、４，５…細くて厚いＡｕパターン、６…
光線、７…Ｘ線。
Claims (1)
- 異なる波長に対してそれぞれに阻止能を有する
マスクパターンが基体薄膜上に形成されている露
光用多重マスクにおいて、前記マスクパターンは
、光線に対しては阻止能を有するがＸ線に対して
は阻止能を有しない、少なくとも幅が１μ以上で
厚さが１００°Ａ以下である第１のマスクパター
ンと、Ｘ線に対しては阻止能を有するが光線に対
しては阻止能を有しない、少なくとも幅が０．１
μ以下で厚さが０．５μ以上である第２のマスク
パターンとから形成されていることを特徴とする
露光用多重マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985156051U JPS6130278Y2 (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985156051U JPS6130278Y2 (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163834U true JPS6163834U (ja) | 1986-04-30 |
| JPS6130278Y2 JPS6130278Y2 (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=30714068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985156051U Expired JPS6130278Y2 (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130278Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011503670A (ja) * | 2007-11-20 | 2011-01-27 | イーストマン コダック カンパニー | ディスプレイ回路を製造するための多色マスク方法 |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP1985156051U patent/JPS6130278Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011503670A (ja) * | 2007-11-20 | 2011-01-27 | イーストマン コダック カンパニー | ディスプレイ回路を製造するための多色マスク方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6130278Y2 (ja) | 1986-09-05 |