JPH0356127U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0356127U JPH0356127U JP11709989U JP11709989U JPH0356127U JP H0356127 U JPH0356127 U JP H0356127U JP 11709989 U JP11709989 U JP 11709989U JP 11709989 U JP11709989 U JP 11709989U JP H0356127 U JPH0356127 U JP H0356127U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- mask
- support frame
- openings
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図および第２図はそれぞれ本考案の一実施
例の平面図および断面図、第３図は従来例による
Ｘ線露光用マスクの断面図、第４図はＸ線露光の
原理を示す説明図である。 １……Ｘ線、２……Ｘ線透過膜、３……Ｘ線吸
収体、４……Ｘ線露光用マスク、５……レジスト
、６……被加工物、７……外枠、１１……Ｘ線マ
スク片、１２……支持枠。
例の平面図および断面図、第３図は従来例による
Ｘ線露光用マスクの断面図、第４図はＸ線露光の
原理を示す説明図である。 １……Ｘ線、２……Ｘ線透過膜、３……Ｘ線吸
収体、４……Ｘ線露光用マスク、５……レジスト
、６……被加工物、７……外枠、１１……Ｘ線マ
スク片、１２……支持枠。
Claims (1)
- 複数の開口部を有する支持枠に複数のＸ線マス
ク片が固着されてなることを特徴とするＸ線露光
用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11709989U JPH0356127U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11709989U JPH0356127U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0356127U true JPH0356127U (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=31665340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11709989U Pending JPH0356127U (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0356127U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007177334A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Masakazu Oya | 携帯電話収容ポケット付きワイシャツ |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP11709989U patent/JPH0356127U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007177334A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Masakazu Oya | 携帯電話収容ポケット付きワイシャツ |