JPS63173234A - 焦点誤差検出装置 - Google Patents
焦点誤差検出装置Info
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- JPS63173234A JPS63173234A JP548387A JP548387A JPS63173234A JP S63173234 A JPS63173234 A JP S63173234A JP 548387 A JP548387 A JP 548387A JP 548387 A JP548387 A JP 548387A JP S63173234 A JPS63173234 A JP S63173234A
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- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、焦点誤差検出装置に関し、特にいわゆる3分
割光検出器を用いた焦点誤差検出装置に関するものであ
る。
割光検出器を用いた焦点誤差検出装置に関するものであ
る。
背景技術
ビデオディスクやディジタルオーディオディスク等の情
報記録ディスク(以下、単にディスクと称する)の記録
情報を再生する装置には、ディスクの記録面(被検出面
)上に常に正確に情報検出用の光ビームを収束せしめる
いわゆるフォーカスサーボ装置が不可欠である。このフ
ォーカスサーボ装置では、光ビームをディスクの記録面
上に照射せしめる集光レンズの該記録面での焦点誤差が
検出され、この焦点誤差に基づいて集光レンズの光軸方
向における位置制御が行なわれる。
報記録ディスク(以下、単にディスクと称する)の記録
情報を再生する装置には、ディスクの記録面(被検出面
)上に常に正確に情報検出用の光ビームを収束せしめる
いわゆるフォーカスサーボ装置が不可欠である。このフ
ォーカスサーボ装置では、光ビームをディスクの記録面
上に照射せしめる集光レンズの該記録面での焦点誤差が
検出され、この焦点誤差に基づいて集光レンズの光軸方
向における位置制御が行なわれる。
集光レンズの焦点誤差を検出する方法としては、非点収
差法、ビーム径測定法、ナイフェツジ法、臨界角法等の
検出方法が知られている。このうち、非点収差法及びビ
ーム径測定法においては、受光面が1方向において3分
割された帯状の光検出器を用い、この光検出器の3つの
出力に基づいて焦点誤差の検出が行なわれる。
差法、ビーム径測定法、ナイフェツジ法、臨界角法等の
検出方法が知られている。このうち、非点収差法及びビ
ーム径測定法においては、受光面が1方向において3分
割された帯状の光検出器を用い、この光検出器の3つの
出力に基づいて焦点誤差の検出が行なわれる。
第6図に、例えば非点収差法を用いた場合の光学系が示
されており、レーザダイオード等の光源1から発せられ
た光ビームは、ビームスプリッタ2を経た後集光レンズ
3によってディスク4の記録面上に収束される。ディス
ク4の記録面上で反射された光ビームは集光レンズ3を
経た後ビームスプリッタ2によってシリンドリカルレン
ズ5に導かれ、当該レンズ5によって非点収差が与えら
れる。シリンドリカルレンズ5で非点収差が与えられた
光ビームが合焦状態で生じる2つの焦線L1、L2の間
に光束断面が円形となる位置があり、そこに受光面が位
置するように第7図に示すような形状の3分割光検出器
6を配置する。そして、3つの受光面A、B、Cの各受
光出力PA*PB*PCから、加算器7及び差動アンプ
8を用いてPA −(P8+Pc)なる演算式によって
焦点誤差FEを得るのである。
されており、レーザダイオード等の光源1から発せられ
た光ビームは、ビームスプリッタ2を経た後集光レンズ
3によってディスク4の記録面上に収束される。ディス
ク4の記録面上で反射された光ビームは集光レンズ3を
経た後ビームスプリッタ2によってシリンドリカルレン
ズ5に導かれ、当該レンズ5によって非点収差が与えら
れる。シリンドリカルレンズ5で非点収差が与えられた
光ビームが合焦状態で生じる2つの焦線L1、L2の間
に光束断面が円形となる位置があり、そこに受光面が位
置するように第7図に示すような形状の3分割光検出器
6を配置する。そして、3つの受光面A、B、Cの各受
光出力PA*PB*PCから、加算器7及び差動アンプ
8を用いてPA −(P8+Pc)なる演算式によって
焦点誤差FEを得るのである。
ここで、非点収差法の場合には、集光レンズの位置が合
焦位置からずれると、そのずれ方向に対応して光ビーム
スポットの形状が、第8図(A)及び(C)に示すよう
に長円形状となり、(A)の状態では(Ps +Pc
)が増大し、(C)の状態ではPAが増大する。また、
光ビームのスポット径を測定する方法にあっては、非点
収差法の場合と光学系が多少異なっており、光ビームス
ポット形状が第9図(A)〜(C)に示すように変化す
る。いずれの方法の場合も、PA −(Pa 十PC)
なる演算式によって焦点誤差信号FEを得ることができ
るのである。なお、第8図(B)及び第9図(B)は合
焦状態のときのスポット形状を示し、この状態ではPA
−(Pa +Pc)−0となる。
焦位置からずれると、そのずれ方向に対応して光ビーム
スポットの形状が、第8図(A)及び(C)に示すよう
に長円形状となり、(A)の状態では(Ps +Pc
)が増大し、(C)の状態ではPAが増大する。また、
光ビームのスポット径を測定する方法にあっては、非点
収差法の場合と光学系が多少異なっており、光ビームス
ポット形状が第9図(A)〜(C)に示すように変化す
る。いずれの方法の場合も、PA −(Pa 十PC)
なる演算式によって焦点誤差信号FEを得ることができ
るのである。なお、第8図(B)及び第9図(B)は合
焦状態のときのスポット形状を示し、この状態ではPA
−(Pa +Pc)−0となる。
上述した従来の焦点誤差検出装置においては、光検出器
6の両側の受光面B、 Cの分割方向(受光面内におけ
る分割線に垂直な方向)の幅す、 cを中央の受光面
Aの幅aと等しくするか、又はそれよりも大きく設定し
ていたので、合焦状態において光ビームスポットの中心
が受光面中心から該分割方向に離間した場合に、PA
−(Pa +Pc )−〇とはならず、合焦状態にある
にも拘らずその離間量に応じた焦点誤差信号FEが発生
してしまうことになる。
6の両側の受光面B、 Cの分割方向(受光面内におけ
る分割線に垂直な方向)の幅す、 cを中央の受光面
Aの幅aと等しくするか、又はそれよりも大きく設定し
ていたので、合焦状態において光ビームスポットの中心
が受光面中心から該分割方向に離間した場合に、PA
−(Pa +Pc )−〇とはならず、合焦状態にある
にも拘らずその離間量に応じた焦点誤差信号FEが発生
してしまうことになる。
すなわち、光ビームスポットが円形で光強度分布が一様
であるものと仮定すると、第10図に示す如く光ビーム
スポットの中心が受光面中心から離間すると、その離間
量と検出出力レベルとの関係は第11図に示すようにな
る。ここに、横軸はビームスポットの半径を1とした場
合のスポット中心の受光面中心からの離間量を示し、横
軸は第7図の各部の出力レベルを示し、全光量を受光し
たときレベルが1となるように設定されている。
であるものと仮定すると、第10図に示す如く光ビーム
スポットの中心が受光面中心から離間すると、その離間
量と検出出力レベルとの関係は第11図に示すようにな
る。ここに、横軸はビームスポットの半径を1とした場
合のスポット中心の受光面中心からの離間量を示し、横
軸は第7図の各部の出力レベルを示し、全光量を受光し
たときレベルが1となるように設定されている。
光検出器6の両側の受光面の幅す、 cは中央の受光
面の幅aと等しく、0.808に設定されている。この
値は、第8図及び第9図の各(B)に示す合焦状態にお
いて、受光面Aの受光量と受光面B、Cの受光量の和が
等しくなる幅である。また、第12図に示すように、光
検出器6の両側の受光面の幅す、 cを2に設定した
場合において、光ビームスポットの中心が受光面中心か
ら離間すると、その離間量と検出出力レベルとの関係は
第13図に示すようになる。
面の幅aと等しく、0.808に設定されている。この
値は、第8図及び第9図の各(B)に示す合焦状態にお
いて、受光面Aの受光量と受光面B、Cの受光量の和が
等しくなる幅である。また、第12図に示すように、光
検出器6の両側の受光面の幅す、 cを2に設定した
場合において、光ビームスポットの中心が受光面中心か
ら離間すると、その離間量と検出出力レベルとの関係は
第13図に示すようになる。
このように、従来装置にあっては、第11図及び第13
図から明らかな如く、合焦状態において光ビームスポッ
トの中心が受光面中心から受光面の分割方向に離間した
場合には、合焦状態にあるにも拘らずその離間量に応じ
た焦点誤差信号FEが発生してしまうので、安定した焦
点誤差信号FEが得られないという欠点がある。
図から明らかな如く、合焦状態において光ビームスポッ
トの中心が受光面中心から受光面の分割方向に離間した
場合には、合焦状態にあるにも拘らずその離間量に応じ
た焦点誤差信号FEが発生してしまうので、安定した焦
点誤差信号FEが得られないという欠点がある。
発明の概要
本発明は、上記のような従来のものの欠点を除去すべく
なされたもので、合焦状態におけるスポット中心の受光
面中心からめ位置ずれをある程度許容し、安定した焦点
誤差信号を得ることが可能な焦点誤差検出装置を提供す
ることを目的とする。
なされたもので、合焦状態におけるスポット中心の受光
面中心からめ位置ずれをある程度許容し、安定した焦点
誤差信号を得ることが可能な焦点誤差検出装置を提供す
ることを目的とする。
本発明による焦点誤差検出装置は、受光面が少なくとも
3分割された第1の光検出器に対しその受光面の分割方
向における少なくとも一方側に第2の光検出器を隣接し
て配設し、合焦状態において第1の光検出器の受光面上
の光ビームスポットの中心がその受光面中心から受光面
の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号FEを第2の
光検出器の出力に基づいて補正する構成となっている。
3分割された第1の光検出器に対しその受光面の分割方
向における少なくとも一方側に第2の光検出器を隣接し
て配設し、合焦状態において第1の光検出器の受光面上
の光ビームスポットの中心がその受光面中心から受光面
の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号FEを第2の
光検出器の出力に基づいて補正する構成となっている。
実施例
以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図であり、図中第
6図と同等部分は同一符号により示されている。図にお
いて、受光面が例えば3分割された第1の光検出器6に
対し、その受光面の分割方向(分割線に垂直な方向)に
おける例えば両側に第2の光検出器として一対の光検出
器9,10がそれぞれ所定距離だけ離間して配設されて
いる。第1の光検出器6の受光面B、Cの各出力は信号
増幅率が各々β、・γの増幅器11.12で増幅されて
加算器7で加算され、その加算出力は差動アンプ8の(
−)入力となる。一方、受光面Aの出力はそのまま加算
器13において、信号増幅率δ。
6図と同等部分は同一符号により示されている。図にお
いて、受光面が例えば3分割された第1の光検出器6に
対し、その受光面の分割方向(分割線に垂直な方向)に
おける例えば両側に第2の光検出器として一対の光検出
器9,10がそれぞれ所定距離だけ離間して配設されて
いる。第1の光検出器6の受光面B、Cの各出力は信号
増幅率が各々β、・γの増幅器11.12で増幅されて
加算器7で加算され、その加算出力は差動アンプ8の(
−)入力となる。一方、受光面Aの出力はそのまま加算
器13において、信号増幅率δ。
εを有する増幅器14.15でそれぞれ増幅された光検
出器9,10の各出力と加算され、その加算出力は差動
アンプ8の(+)入力となる。この差動アンプ8の出力
信号が焦点誤差信号FEとなる。
出器9,10の各出力と加算され、その加算出力は差動
アンプ8の(+)入力となる。この差動アンプ8の出力
信号が焦点誤差信号FEとなる。
ここで、光検出器9.10及び増幅器14.15が無い
場合を考えるに、受光面Aの出力に対する信号増幅率を
αとすると、焦点誤差信号FEは、FE−aPA (
βPB+7PC) なる演算式によって求められる。今、例えば信号増幅率
α、β、γが予め設定されているものとし、合焦状態に
おいて受光面上の光ビームスポットの中心が受光面中心
から受光面の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号F
Eの値がスポット偏位許容最大値を越えない最大スポッ
ト偏位範囲をdcとし、スポット半径をrとすると、2
r+dc>a十り+cとなるように各受光面A、 B
、 Cの幅a、b、cをそれぞれ選定することにより
、スポットの分割方向の偏位に対してずれの少ない焦点
誤差信号FEが得られることになる。信号増幅率α、β
、γが変われば、当然のことながら、谷幅a、b、cの
値もそれに応じて変わってくる。また、スポット半径r
が決まれば、受光面Aの幅a及び信号増幅率αが決まり
、この幅a及び信号増幅率αに対して受光面B、 Cの
幅す、c及び信号増幅率β、γがそれぞれ決定されるこ
とになる。
場合を考えるに、受光面Aの出力に対する信号増幅率を
αとすると、焦点誤差信号FEは、FE−aPA (
βPB+7PC) なる演算式によって求められる。今、例えば信号増幅率
α、β、γが予め設定されているものとし、合焦状態に
おいて受光面上の光ビームスポットの中心が受光面中心
から受光面の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号F
Eの値がスポット偏位許容最大値を越えない最大スポッ
ト偏位範囲をdcとし、スポット半径をrとすると、2
r+dc>a十り+cとなるように各受光面A、 B
、 Cの幅a、b、cをそれぞれ選定することにより
、スポットの分割方向の偏位に対してずれの少ない焦点
誤差信号FEが得られることになる。信号増幅率α、β
、γが変われば、当然のことながら、谷幅a、b、cの
値もそれに応じて変わってくる。また、スポット半径r
が決まれば、受光面Aの幅a及び信号増幅率αが決まり
、この幅a及び信号増幅率αに対して受光面B、 Cの
幅す、c及び信号増幅率β、γがそれぞれ決定されるこ
とになる。
上記スポット偏位許容最大値は、合焦状態において受光
面上の光ビームスポットの中心が受光面中心から受光面
の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号FEの変化量
がほぼ零である偏位範囲が最大となるように零に近い値
に設定される。これにより、焦点誤差信号FEの変化量
がほぼ零であるスポット偏位範囲が最大となるように、
受光面Aの幅a及び信号増幅率αに対して受光面B、
Cの幅す、 c及び信号増幅率β、γがそれぞれ選
定されることになる。
面上の光ビームスポットの中心が受光面中心から受光面
の分割方向に偏位したときの焦点誤差信号FEの変化量
がほぼ零である偏位範囲が最大となるように零に近い値
に設定される。これにより、焦点誤差信号FEの変化量
がほぼ零であるスポット偏位範囲が最大となるように、
受光面Aの幅a及び信号増幅率αに対して受光面B、
Cの幅す、 c及び信号増幅率β、γがそれぞれ選
定されることになる。
具体的に、数値例を挙げて説明するならば、説明の簡単
化のために合焦状態における第1の光検出器6の受光面
上の光ビームスポットの外形は完全な円であり、その円
内の光強度分布は一様であると仮定すると、スポット半
径rが100μmであるとき、中央の受光面Aの幅aを
120μm1両側の受光面B、 Cの幅す、 cを各
々48μmとし、スポットが受光面中央にあるときは焦
点誤差信号FEが0となるように増幅器11.12の信
号増幅率β、γを2.5倍(ただし、α−1)に選定す
ることにより、スポットの分割方向の偏位に対して焦点
誤差信号FEoは最も安定となる。
化のために合焦状態における第1の光検出器6の受光面
上の光ビームスポットの外形は完全な円であり、その円
内の光強度分布は一様であると仮定すると、スポット半
径rが100μmであるとき、中央の受光面Aの幅aを
120μm1両側の受光面B、 Cの幅す、 cを各
々48μmとし、スポットが受光面中央にあるときは焦
点誤差信号FEが0となるように増幅器11.12の信
号増幅率β、γを2.5倍(ただし、α−1)に選定す
ることにより、スポットの分割方向の偏位に対して焦点
誤差信号FEoは最も安定となる。
この条件下において、スポットが第1図に矢印で示す方
向(分割方向)に偏位したとき、受光面Aの出力P A
s増幅器11.12の各出力βps。
向(分割方向)に偏位したとき、受光面Aの出力P A
s増幅器11.12の各出力βps。
γPc及び焦点誤差信号FEoは第2図に示すように変
化する。この焦点誤差信号FE、の変化の様子をさらに
詳細に観測すると第3図に示す如き特性となり、焦点誤
差信号FE、が2%ずれるスポット中心の受光面中心か
らの片側の偏位量は約32μmであり、第4、図(A)
に示す位置までしか焦点制御を安定に行なえないことに
なる。
化する。この焦点誤差信号FE、の変化の様子をさらに
詳細に観測すると第3図に示す如き特性となり、焦点誤
差信号FE、が2%ずれるスポット中心の受光面中心か
らの片側の偏位量は約32μmであり、第4、図(A)
に示す位置までしか焦点制御を安定に行なえないことに
なる。
ところが、本発明においては、第1の光検出器6の外側
に一対の光検出器9,10を隣接して配設し、これら光
検出器9.10の出力に基づいて第1の光検出器6の各
受光面出力から得られる焦点誤差信号FE、を補正する
構成となっており、一対の光検出器9.10の配設位置
、その幅d。
に一対の光検出器9,10を隣接して配設し、これら光
検出器9.10の出力に基づいて第1の光検出器6の各
受光面出力から得られる焦点誤差信号FE、を補正する
構成となっており、一対の光検出器9.10の配設位置
、その幅d。
e及び増幅器14.15の信号増幅率δ、εを適切な値
に設定することにより、焦点制御を安定に行なえるスポ
ットの許容偏位量を大きくできることになる。一対の光
検出器9,10の配設位置、その幅d、 e及び増幅
器14.15の信号増幅率δ、εは、光ビームに含まれ
る収差量や光強度分布等によって異なり、シュミレーシ
ヨンによる数値計算によって求めることができる。
に設定することにより、焦点制御を安定に行なえるスポ
ットの許容偏位量を大きくできることになる。一対の光
検出器9,10の配設位置、その幅d、 e及び増幅
器14.15の信号増幅率δ、εは、光ビームに含まれ
る収差量や光強度分布等によって異なり、シュミレーシ
ヨンによる数値計算によって求めることができる。
先述した数値の実施例においては、第1の光検出器6と
一対の光検出器9.10との間隔を24μm、光検出器
9.10の各輪d、 eを25μm。
一対の光検出器9.10との間隔を24μm、光検出器
9.10の各輪d、 eを25μm。
増幅器14.15の信号増幅率δ、εを3倍に設定する
ことにより、増幅器14.15の出力δPO9εPε及
び焦点誤差信号FEは第2図に示すように変化する。こ
の焦点誤差信号FEの中心部分の変化の様子をさらに詳
細に観測すると第3図に示す如き特性となり、スポット
の分割方法の偏位に対して焦点誤差信号FEが安定(そ
のずれ量が2%以内)であるスポットの片側の許容偏位
量が中央の光検出器Aの幅a (120μm)以上に拡
大していることがわかる。従って、例えばスポットが第
4図(B)に示す位置まで偏位しても焦゛点位置がずれ
ないので、焦点制御を安定に行なうことができる。
ことにより、増幅器14.15の出力δPO9εPε及
び焦点誤差信号FEは第2図に示すように変化する。こ
の焦点誤差信号FEの中心部分の変化の様子をさらに詳
細に観測すると第3図に示す如き特性となり、スポット
の分割方法の偏位に対して焦点誤差信号FEが安定(そ
のずれ量が2%以内)であるスポットの片側の許容偏位
量が中央の光検出器Aの幅a (120μm)以上に拡
大していることがわかる。従って、例えばスポットが第
4図(B)に示す位置まで偏位しても焦゛点位置がずれ
ないので、焦点制御を安定に行なうことができる。
このとき、焦点位置の移動に対する焦点誤差信号FEの
感度はこの移動量が大きくなると低下することになるが
、これが問題となる場合には、第5図に示すように、差
動アンプ8の後段に増幅率が可変な増幅器16を設け、
差動アンプ17,18において得られる差信号(γPC
−βP8)。
感度はこの移動量が大きくなると低下することになるが
、これが問題となる場合には、第5図に示すように、差
動アンプ8の後段に増幅率が可変な増幅器16を設け、
差動アンプ17,18において得られる差信号(γPC
−βP8)。
(εP=−δPo)によって増幅器16の増幅率を変化
させるように構成することにより、焦点制御をより一層
安定に行なうことができる。
させるように構成することにより、焦点制御をより一層
安定に行なうことができる。
なお、上記実施例では、説明の簡単化のためにスポット
形状を円形とし、光強度分布が一様である光ビームにつ
いて考えたが、これは使用する光学系に合わせて計算す
れば良く、要は、3分割光検出器の外側に補正用の光検
出器を隣接して配設し、この補正用光検出器の出力によ
って3分割光検出器で得られる信号を補正することによ
って焦点制御が安定である範囲を広げるように構成すれ
ば良いのである。
形状を円形とし、光強度分布が一様である光ビームにつ
いて考えたが、これは使用する光学系に合わせて計算す
れば良く、要は、3分割光検出器の外側に補正用の光検
出器を隣接して配設し、この補正用光検出器の出力によ
って3分割光検出器で得られる信号を補正することによ
って焦点制御が安定である範囲を広げるように構成すれ
ば良いのである。
また、上記実施例においては、3分割光検出器に対して
補正用光検出器を離間して設けた場合について説明した
が、近接配置することも可能であり、又他の光検出器を
離間部分に配置することも可能である。更には、中央の
受光面Aを更にいくつかに分割し、この中でのスポット
形状を検出して焦点検出の感度を向上させることも可能
である。
補正用光検出器を離間して設けた場合について説明した
が、近接配置することも可能であり、又他の光検出器を
離間部分に配置することも可能である。更には、中央の
受光面Aを更にいくつかに分割し、この中でのスポット
形状を検出して焦点検出の感度を向上させることも可能
である。
更にはまた、上記実施例では、3分割光検出器で最大許
容偏位量をもたせるように受光面A、B。
容偏位量をもたせるように受光面A、B。
Cの幅a、b、c及び信号増幅率α、β、γを設定する
ようにしたが、3分割光検出器での許容偏位量がもっと
少ない場合にも、それに応じて補正用光検出器の配設位
置、その幅d、e及び信号増幅率δ、εを適当に設定す
ることにより、同様の構成が可能である。
ようにしたが、3分割光検出器での許容偏位量がもっと
少ない場合にも、それに応じて補正用光検出器の配設位
置、その幅d、e及び信号増幅率δ、εを適当に設定す
ることにより、同様の構成が可能である。
また更に、上記実施例では、3分割光検出器の両側に補
正用光検出器を配設した場合について説明したが、−刃
側のみであっても良く、これによれば許容偏位量が両側
に配設した場合の半分になるが、それ相応の効果を得る
ことができる。
正用光検出器を配設した場合について説明したが、−刃
側のみであっても良く、これによれば許容偏位量が両側
に配設した場合の半分になるが、それ相応の効果を得る
ことができる。
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、受光面が少なくと
も3分割された光検出器を用いる焦点誤差検出装置にお
いて、3分割光検出器の外側に補正用光検出器を隣接し
て配設し、合焦状態において3分割光検出器の受光面上
のスポット中心がその受光面中心から受光面の分割方向
に偏位したときの焦点誤差信号FEを補正用光検出器の
出力に基づいて補正するようにしたので、安定した焦点
検出を行なうことができ、また光検出器の設置位置の許
容範囲が広がるので、組立てが容易となる。
も3分割された光検出器を用いる焦点誤差検出装置にお
いて、3分割光検出器の外側に補正用光検出器を隣接し
て配設し、合焦状態において3分割光検出器の受光面上
のスポット中心がその受光面中心から受光面の分割方向
に偏位したときの焦点誤差信号FEを補正用光検出器の
出力に基づいて補正するようにしたので、安定した焦点
検出を行なうことができ、また光検出器の設置位置の許
容範囲が広がるので、組立てが容易となる。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図はスポ
ットの偏位量に対する第1図の各部の波形図、第3図は
第2図における焦点誤差信号FE。 FEoをさらに詳細に測定した特性図、第4図(A)、
(B)はスポットが光検出器に対して偏位した状態
を示す図、第5図は本発明の他の実施例を示す構成図、
第6図は非点収差法を用いた光学系の一例を示す構成図
、第7図は3分割光検出器の信号処理系を示すブロック
図、第8図(A)〜(C)は非点収着法による光ビーム
スポットの受光面上の形状変化を示す図、第9図(A)
〜(C)はビーム径測定法による光ビームスポットの受
光面上の形状変化を示す図、第10図は受光面A−Cの
幅が等しい光検出器と光ビームスポットとの位置関係を
示す図、第11図は第10図の光検出器を用いた場合に
おける光ビームスポットの離間量に対する第7図の各部
の出力レベルの変化を示す図、第12図は受光面Aの幅
に対して受光面B、 Cの幅が大なる光検出器と光ビ
ームスポットとの位置関係を示す図、第13図は第12
図の光検出器を用いた場合における光ビームスポットの
離間量に対する第7図の各部の出力レベルの変化を示す
図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・光源 2・・・・・・ビームス
プリッタ3・・・・・・集光レンズ 5・・・・・・シリンドリカルレンズ 6・・・・・・第1の光検出器
ットの偏位量に対する第1図の各部の波形図、第3図は
第2図における焦点誤差信号FE。 FEoをさらに詳細に測定した特性図、第4図(A)、
(B)はスポットが光検出器に対して偏位した状態
を示す図、第5図は本発明の他の実施例を示す構成図、
第6図は非点収差法を用いた光学系の一例を示す構成図
、第7図は3分割光検出器の信号処理系を示すブロック
図、第8図(A)〜(C)は非点収着法による光ビーム
スポットの受光面上の形状変化を示す図、第9図(A)
〜(C)はビーム径測定法による光ビームスポットの受
光面上の形状変化を示す図、第10図は受光面A−Cの
幅が等しい光検出器と光ビームスポットとの位置関係を
示す図、第11図は第10図の光検出器を用いた場合に
おける光ビームスポットの離間量に対する第7図の各部
の出力レベルの変化を示す図、第12図は受光面Aの幅
に対して受光面B、 Cの幅が大なる光検出器と光ビ
ームスポットとの位置関係を示す図、第13図は第12
図の光検出器を用いた場合における光ビームスポットの
離間量に対する第7図の各部の出力レベルの変化を示す
図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・光源 2・・・・・・ビームス
プリッタ3・・・・・・集光レンズ 5・・・・・・シリンドリカルレンズ 6・・・・・・第1の光検出器
Claims (1)
- 1方向において少なくとも3分割された受光面を有し、
被検出面上に集光レンズを介して照射されかつ前記被検
出面を経た光ビームを受光する第1の光検出器を備え、
この第1の光検出器の各受光面出力に基づいて前記集光
レンズの被検出面での焦点誤差を検出してこれに応じた
焦点誤差信号FEを出力する焦点誤差検出装置であって
、前記第1の光検出器に対しその受光面の分割方向にお
ける少なくとも一方側に隣接して配設された第2の光検
出器を有し、合焦状態において前記第1の光検出器の受
光面上の光ビームスポットの中心がその受光面中心から
前記分割方向に偏位したときの前記焦点誤差信号FEを
前記第2の光検出器の出力に基づいて補正するようにな
されたことを特徴とする焦点誤差検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62005483A JP2551570B2 (ja) | 1987-01-12 | 1987-01-12 | 焦点誤差検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62005483A JP2551570B2 (ja) | 1987-01-12 | 1987-01-12 | 焦点誤差検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63173234A true JPS63173234A (ja) | 1988-07-16 |
JP2551570B2 JP2551570B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=11612490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62005483A Expired - Fee Related JP2551570B2 (ja) | 1987-01-12 | 1987-01-12 | 焦点誤差検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2551570B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59207033A (ja) * | 1983-05-11 | 1984-11-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光ヘツドのエラ−信号検出装置 |
-
1987
- 1987-01-12 JP JP62005483A patent/JP2551570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59207033A (ja) * | 1983-05-11 | 1984-11-24 | Olympus Optical Co Ltd | 光ヘツドのエラ−信号検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2551570B2 (ja) | 1996-11-06 |
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JPH0580051B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |