JPS63171364A - 回転速度検出装置 - Google Patents
回転速度検出装置Info
- Publication number
- JPS63171364A JPS63171364A JP62001825A JP182587A JPS63171364A JP S63171364 A JPS63171364 A JP S63171364A JP 62001825 A JP62001825 A JP 62001825A JP 182587 A JP182587 A JP 182587A JP S63171364 A JPS63171364 A JP S63171364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap length
- speed
- signal
- receiving element
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回転速度検出装置に係り、特に対向する光源と
受光素子の間に回転するスリット板を配置した光学式パ
ルスエンコーダを用いた回転速度検出装置に関する。
受光素子の間に回転するスリット板を配置した光学式パ
ルスエンコーダを用いた回転速度検出装置に関する。
可変速電動機の速度制御のためには該電動機の回転速度
を検出する装置が必要であり、この検出装置として、対
向する光源と受光素子の間に回転するスリット板を配置
した光学式パルスエンコーダが用いられている。高精度
な速度制御のためには高分解能のエンコーダが必要であ
るが、このようなエンコーダはスリット板のスリット数
を極限まで多くしなければならず、従ってスリットの幅
が極めて細くなって光の回折現象が無視できない状況に
なり、外力によってスリット板が傾いたり光源や受光素
子が振動して相互の位置関係が変化すると誤動作するこ
とになる。これを防止するために取付は精度や防振につ
いての検討がなされている。しかしながら、外力を受け
て誤動作した場合の制御上の処理については配慮されて
いなかった。
を検出する装置が必要であり、この検出装置として、対
向する光源と受光素子の間に回転するスリット板を配置
した光学式パルスエンコーダが用いられている。高精度
な速度制御のためには高分解能のエンコーダが必要であ
るが、このようなエンコーダはスリット板のスリット数
を極限まで多くしなければならず、従ってスリットの幅
が極めて細くなって光の回折現象が無視できない状況に
なり、外力によってスリット板が傾いたり光源や受光素
子が振動して相互の位置関係が変化すると誤動作するこ
とになる。これを防止するために取付は精度や防振につ
いての検討がなされている。しかしながら、外力を受け
て誤動作した場合の制御上の処理については配慮されて
いなかった。
なおエンコーダの誤差については、例えば、マシン・デ
ザイン1986年2月20日、第93頁〜第98頁(M
achine Design/February 2
0+1986)において論じられている。
ザイン1986年2月20日、第93頁〜第98頁(M
achine Design/February 2
0+1986)において論じられている。
ところが、据付は基礎や電動機からの振動や取付は部の
異常による振動によってエンコーダが誤動作することは
避けられず、この誤動作によって速度制御が乱されると
いう問題があった。
異常による振動によってエンコーダが誤動作することは
避けられず、この誤動作によって速度制御が乱されると
いう問題があった。
本発明の目的は、エンコーダが誤動作したときにも速度
制御を乱すことがないような速度信号を出力できるよう
にすることにある。
制御を乱すことがないような速度信号を出力できるよう
にすることにある。
(問題点を解決するための手段〕
本発明はこの目的を達成するために、光源と受光素子の
間で回転して両者間の光路を断続するスリット板と前記
光源または受光素子の間のギャップ長を検出するギャッ
プ長検出器と、検出されるギャップ長が所定の範囲を越
えたときに、前記受光素子から得られる電気パルスを速
度信号に変換して出力する変換出力応答性を抑制する応
答性可変手段とを設けたことを特徴とする。
間で回転して両者間の光路を断続するスリット板と前記
光源または受光素子の間のギャップ長を検出するギャッ
プ長検出器と、検出されるギャップ長が所定の範囲を越
えたときに、前記受光素子から得られる電気パルスを速
度信号に変換して出力する変換出力応答性を抑制する応
答性可変手段とを設けたことを特徴とする。
スリット板が傾いたり光源または受光素子が振動すると
受光素子から出力される電気パルスの周期が変化するの
で、変換手段から出力される速度信号はスリット板の回
転速度との間に誤差が生じる。しかしこのような現象は
、スリット板と光源または受光素子の間のギャップ長の
変化を伴っているので、この誤差の程度がギャップ長の
変化としてギャップ長検出器で検出される。そしてこの
検出値が所定の範囲を越えたときは、電気パルスを速度
信号に変換して出力す蔦変換出力応答性を抑制するので
、速度信号は電気パルスの周期の急激な変化に応答する
ことができなくなって誤差が抑制され、制御系を乱すよ
うな誤動作となるのが防止される。
受光素子から出力される電気パルスの周期が変化するの
で、変換手段から出力される速度信号はスリット板の回
転速度との間に誤差が生じる。しかしこのような現象は
、スリット板と光源または受光素子の間のギャップ長の
変化を伴っているので、この誤差の程度がギャップ長の
変化としてギャップ長検出器で検出される。そしてこの
検出値が所定の範囲を越えたときは、電気パルスを速度
信号に変換して出力す蔦変換出力応答性を抑制するので
、速度信号は電気パルスの周期の急激な変化に応答する
ことができなくなって誤差が抑制され、制御系を乱すよ
うな誤動作となるのが防止される。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第4図は光学式パルスエンコーダとギャップ長検出器の
縦断側面図であって、据付は台lに軸受2によって回転
自在に支持された回転軸3の一端にはスリット円板4が
取付けられ、他端には電動機と結合するためのカップリ
ング5が取付けられる。スリット円板4の一方の面に対
向する光源6は前記据付は台1に直接取付けられ、スリ
ット円板4の他方の面に対向する受光素子7は前記光源
6から出力されてスリット円板4を透過した光を受光す
るように、支え8を介して前記据付は台1に取付けられ
る。スリット円板4はガラスのような透明材料で作られ
、前記光源6から出て受光素子7に至る光が透過する部
分は透明部分と不透明部分が円周方向に交互に配列され
たスリット状になっており、該スリット板4が回転する
ことによって光源6から出て受光素子7に至る光を断続
する。 ゛ 光源6および受光素子7とスリット円板4の間のギャッ
プ長が変化すると、前述のように、受光素子7から出力
される電気パルスの周期が回転速度に比例しなくなる。
縦断側面図であって、据付は台lに軸受2によって回転
自在に支持された回転軸3の一端にはスリット円板4が
取付けられ、他端には電動機と結合するためのカップリ
ング5が取付けられる。スリット円板4の一方の面に対
向する光源6は前記据付は台1に直接取付けられ、スリ
ット円板4の他方の面に対向する受光素子7は前記光源
6から出力されてスリット円板4を透過した光を受光す
るように、支え8を介して前記据付は台1に取付けられ
る。スリット円板4はガラスのような透明材料で作られ
、前記光源6から出て受光素子7に至る光が透過する部
分は透明部分と不透明部分が円周方向に交互に配列され
たスリット状になっており、該スリット板4が回転する
ことによって光源6から出て受光素子7に至る光を断続
する。 ゛ 光源6および受光素子7とスリット円板4の間のギャッ
プ長が変化すると、前述のように、受光素子7から出力
される電気パルスの周期が回転速度に比例しなくなる。
従ってこの実施例では、支え8に取付けたギャップセン
サ9によってスリット円板4と受光素子7の間のギャッ
プ長gを検出するように構成している。このギャップセ
ンサ9は、スリット円板4の表面に蒸着された金属の薄
膜に感応してインダクタンスが変化する電磁式のもので
あり、その詳細は後述する。
サ9によってスリット円板4と受光素子7の間のギャッ
プ長gを検出するように構成している。このギャップセ
ンサ9は、スリット円板4の表面に蒸着された金属の薄
膜に感応してインダクタンスが変化する電磁式のもので
あり、その詳細は後述する。
第1図は本発明になる回転速度検出装置を用いる電動機
制御装置のブロック図である。
制御装置のブロック図である。
電動機11はサイリスク等を用いた電力変換器12を介
して3相交流電源13に接続され、電動機11の回転軸
には前記した光学式パルスエンコーダlOのカップリン
グ5が結合される。電力変換器12は、電動機11が直
流電動機であれば電圧制御される直流電圧を出力し、誘
導電動機であれば位相および電圧制御される交流電圧を
出力する。電動allの回転軸に結合された光学式パル
スエンコーダ10は、電動機11の回転により時系列的
な電気パルスを出力する。この電気パルスの周波数は電
動機11の回転速度に比例しており、第1の変換器14
によって回転速度に比例した速度信号に変換される。こ
の変換は、制御系がアナログ制御系であれば電気パルス
のF−V変換であり、制御系がディジタル制御系であれ
ば電気パルスをF−V変換した後にA−D変換する。
して3相交流電源13に接続され、電動機11の回転軸
には前記した光学式パルスエンコーダlOのカップリン
グ5が結合される。電力変換器12は、電動機11が直
流電動機であれば電圧制御される直流電圧を出力し、誘
導電動機であれば位相および電圧制御される交流電圧を
出力する。電動allの回転軸に結合された光学式パル
スエンコーダ10は、電動機11の回転により時系列的
な電気パルスを出力する。この電気パルスの周波数は電
動機11の回転速度に比例しており、第1の変換器14
によって回転速度に比例した速度信号に変換される。こ
の変換は、制御系がアナログ制御系であれば電気パルス
のF−V変換であり、制御系がディジタル制御系であれ
ば電気パルスをF−V変換した後にA−D変換する。
このようにして得られた速度信号は、速度帰還信号とし
て速度指令信号と比較され、その偏差が0となるような
一次電流指令信号が速度制御回路15から出力される。
て速度指令信号と比較され、その偏差が0となるような
一次電流指令信号が速度制御回路15から出力される。
電動機11の入力電流は電流検出器16によって検出さ
れて電流帰還信号として出力され、この電流帰還信号と
一次電流指令信号の偏差がOとなるように、電流制御回
路17がゲートパルス発生器18を制御して電力変換器
12におけるサイリスクの点弧角を変える。
れて電流帰還信号として出力され、この電流帰還信号と
一次電流指令信号の偏差がOとなるように、電流制御回
路17がゲートパルス発生器18を制御して電力変換器
12におけるサイリスクの点弧角を変える。
このように電動機11の回転速度および入力電流を検出
して帰還制御する閉ループ制御系では、エンコーダ10
が機械的外乱を受けて前述したように誤動作すると速度
制御が乱れることになる。
して帰還制御する閉ループ制御系では、エンコーダ10
が機械的外乱を受けて前述したように誤動作すると速度
制御が乱れることになる。
ところで、変換器14は、所定のサンプリング時間内に
エンコーダ10から出力される電気パルスの数を計数し
、その計数値によって速度信号を得るもので、エンコー
ダ10の機械的振動に伴うスリット円板4と受光素子7
の間のギャップ長gと速度信号の大きさの関係は第2図
のようになる。そこで、速度制御系が乱されて所望の速
度制御が得られなくなるまでの範囲を、ギャップ長変化
の許容範囲として図示のように設定すると、t、xtz
の期間はギャップ長gが許容範囲を越えて変化する誤動
作期間となる。
エンコーダ10から出力される電気パルスの数を計数し
、その計数値によって速度信号を得るもので、エンコー
ダ10の機械的振動に伴うスリット円板4と受光素子7
の間のギャップ長gと速度信号の大きさの関係は第2図
のようになる。そこで、速度制御系が乱されて所望の速
度制御が得られなくなるまでの範囲を、ギャップ長変化
の許容範囲として図示のように設定すると、t、xtz
の期間はギャップ長gが許容範囲を越えて変化する誤動
作期間となる。
本発明はこのような期間中においても速度制御系が安定
に動作するような速度信号(速度帰還信号)を発生させ
ようとするもので、このギャップ長gの値をギャップセ
ンサ9がその値に応じたインダクタンスの大きさに変換
し、第2の変換器19でこのインダクタンスの大きさに
応じた大きさの電圧のギャップ長信号に変換し、前述の
許容範囲に基づいて設定されたギャップ長上限値信号お
よびギャップ長下限値信号とギャップ長信号をレベル判
定回路20で比較してギャップ長gが許容範囲内にある
かどうかを判定する。そして、ギャップ長gが許容範囲
内にあれば切換えスイッチ21の可動接点21aを固定
接点21bに接続し、ギャップ長gが許容範囲を越えて
いれば可動接点21aを固定接点21cに接続する。固
定接点21bは第1の変換器14から出力される速度信
号をそのまま速度帰還信号として出力し、固定接点21
cは変換器14から出力される速度信号をフィルタ回路
22を介した後に速度帰還信号とし出力する。
に動作するような速度信号(速度帰還信号)を発生させ
ようとするもので、このギャップ長gの値をギャップセ
ンサ9がその値に応じたインダクタンスの大きさに変換
し、第2の変換器19でこのインダクタンスの大きさに
応じた大きさの電圧のギャップ長信号に変換し、前述の
許容範囲に基づいて設定されたギャップ長上限値信号お
よびギャップ長下限値信号とギャップ長信号をレベル判
定回路20で比較してギャップ長gが許容範囲内にある
かどうかを判定する。そして、ギャップ長gが許容範囲
内にあれば切換えスイッチ21の可動接点21aを固定
接点21bに接続し、ギャップ長gが許容範囲を越えて
いれば可動接点21aを固定接点21cに接続する。固
定接点21bは第1の変換器14から出力される速度信
号をそのまま速度帰還信号として出力し、固定接点21
cは変換器14から出力される速度信号をフィルタ回路
22を介した後に速度帰還信号とし出力する。
従って、エンコーダ10の振動が小さく電動機11の回
転が正確に電気パルスに変換されているときには、この
電気パルスに基づいて作られる速度信号(電動機11の
回転速度)がそのまま直ちに帰還されるので、応答性の
高い速度制御が実現される。
転が正確に電気パルスに変換されているときには、この
電気パルスに基づいて作られる速度信号(電動機11の
回転速度)がそのまま直ちに帰還されるので、応答性の
高い速度制御が実現される。
そして、エンコーダ10の振動が大きくなってエンコー
ダ10が誤動作するようになると、切換えスイッチ21
が切換わって速度信号はフィルタ回路22を通して帰還
されることになるので、速度信号に含まれる振動成分が
除去または軽減されて速度制御の乱れが防止される。な
お、フィルタ回路22は平均回路や積分回路とすること
もできる。
ダ10が誤動作するようになると、切換えスイッチ21
が切換わって速度信号はフィルタ回路22を通して帰還
されることになるので、速度信号に含まれる振動成分が
除去または軽減されて速度制御の乱れが防止される。な
お、フィルタ回路22は平均回路や積分回路とすること
もできる。
切換えスイッチ21の可動接点21aの接続を固定接点
21cから固定接点21bへ戻すときには、ある時定数
を設けて切換え動作が速度信号の振動に影響を与えない
ようにすることが望ましい。
21cから固定接点21bへ戻すときには、ある時定数
を設けて切換え動作が速度信号の振動に影響を与えない
ようにすることが望ましい。
次に、第3図を参照して、ギャップ長検出部を詳述する
。ギャップセンサ9はスリット円板4の金属H4aにギ
ャップgを介して対向するインダクタンス素子で、変換
回路19内のブリッジ回路19aのブリッジの一辺を構
成する。オシレーター19bからブリッジ回路19aへ
高周波電流を与えることによってギャップセンサ9に高
周波磁束を発生させ、この磁束を金属膜4aに作用させ
る。金属膜4aに高周波磁束を作用させると渦電流が生
じてそれにより磁束が変化するのでギャップセンサ9の
インダクタンスの大きさが変化し、結局、インダクタン
スの大きさはギャップセンサ9と金属膜4aの距離(ギ
ャップ長g)に比例する。ギャップ長gの変化に伴うギ
ャップセンサ9のインダクタンスの変化はブリッジ回路
19aの出力電圧の変化となって表われる。ブリッジ回
路19aの出力電圧は検波回路19cで検波さ、れ、増
幅回路19dで増幅され、更にリニアライザ19eによ
って出力電圧(ギャップ長信号)がギャップ長に比例す
るように変換される。
。ギャップセンサ9はスリット円板4の金属H4aにギ
ャップgを介して対向するインダクタンス素子で、変換
回路19内のブリッジ回路19aのブリッジの一辺を構
成する。オシレーター19bからブリッジ回路19aへ
高周波電流を与えることによってギャップセンサ9に高
周波磁束を発生させ、この磁束を金属膜4aに作用させ
る。金属膜4aに高周波磁束を作用させると渦電流が生
じてそれにより磁束が変化するのでギャップセンサ9の
インダクタンスの大きさが変化し、結局、インダクタン
スの大きさはギャップセンサ9と金属膜4aの距離(ギ
ャップ長g)に比例する。ギャップ長gの変化に伴うギ
ャップセンサ9のインダクタンスの変化はブリッジ回路
19aの出力電圧の変化となって表われる。ブリッジ回
路19aの出力電圧は検波回路19cで検波さ、れ、増
幅回路19dで増幅され、更にリニアライザ19eによ
って出力電圧(ギャップ長信号)がギャップ長に比例す
るように変換される。
以上のように本発明は、光学式パルスエンコーダにおけ
るスリット板と光源または受光素子との間のギャップ長
を検出し、このギャップ長が所定の範囲を越えて変化す
るときには、受光素子からの電気パルスを速度信号に変
換して出力する変換出力応答性を抑制して振動に伴う電
気パルスの乱れによる速度信号の乱れを防止することが
できる。
るスリット板と光源または受光素子との間のギャップ長
を検出し、このギャップ長が所定の範囲を越えて変化す
るときには、受光素子からの電気パルスを速度信号に変
換して出力する変換出力応答性を抑制して振動に伴う電
気パルスの乱れによる速度信号の乱れを防止することが
できる。
しかも、正常時には変換出力応答性を高くして高精度な
速度検出が可能である。
速度検出が可能である。
図は本発明の一実施例を示すもので、第1図は電動機制
御装置のブロック図、第2図はスリット円板と受光素子
の間のギャップ長と速度信号の関係を示す特性図、第3
図はギャップ長検出部のブロック図、第4図は光学式パ
ルスエンコーダとギャップ長検出器の縦断側面図である
。 4・・・−・・・スリット円板、6−−−−−−−光源
、7・−・−・−受光素子、9・・・−・・ギャップセ
ンサ、10−・−光学式パルスエンコーダ、14−・・
・−変換器、20−−−−−−−レベル判定回路、21
−・−・・・・切換えスイッチ、22−・−・−・−フ
ィルタ回路。 第2図
御装置のブロック図、第2図はスリット円板と受光素子
の間のギャップ長と速度信号の関係を示す特性図、第3
図はギャップ長検出部のブロック図、第4図は光学式パ
ルスエンコーダとギャップ長検出器の縦断側面図である
。 4・・・−・・・スリット円板、6−−−−−−−光源
、7・−・−・−受光素子、9・・・−・・ギャップセ
ンサ、10−・−光学式パルスエンコーダ、14−・・
・−変換器、20−−−−−−−レベル判定回路、21
−・−・・・・切換えスイッチ、22−・−・−・−フ
ィルタ回路。 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、対向する光源と受光素子と、これらの間に位置して
回転することによって光源と受光素子の間の光路を断続
するスリット板と、受光素子から得られる電気パルスを
速度信号に変換する変換手段とを備えた回転速度検出装
置において、前記スリット板と光源または受光素子の間
のギャップ長を検出するギャップ長検出器と、検出され
るギャップ長が所定の範囲を越えたときに電気パルスを
速度信号に変換して出力する変換出力応答性を抑制する
応答性可変手段とを設けたことを特徴とする回転速度検
出装置。 2、特許請求の範囲第1項において、前記応答性可変手
段は、前記速度信号出力回路中に挿脱されるフィルタ回
路を備えたことを特徴とする回転速度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62001825A JPH07107539B2 (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 回転速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62001825A JPH07107539B2 (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 回転速度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63171364A true JPS63171364A (ja) | 1988-07-15 |
JPH07107539B2 JPH07107539B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=11512339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62001825A Expired - Lifetime JPH07107539B2 (ja) | 1987-01-09 | 1987-01-09 | 回転速度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07107539B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1069435A3 (en) * | 1999-07-12 | 2001-04-04 | Nsk Ltd | Rolling bearing unit for wheel |
CN111273050A (zh) * | 2020-02-12 | 2020-06-12 | 清华大学 | 信号采集处理方法及装置 |
CN114396967A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-26 | 浙江西子富沃德电机有限公司 | 正余弦编码器及其信号处理方法、电梯控制系统 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60127415A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Canon Inc | エンコ−ダ装置 |
-
1987
- 1987-01-09 JP JP62001825A patent/JPH07107539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60127415A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Canon Inc | エンコ−ダ装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1069435A3 (en) * | 1999-07-12 | 2001-04-04 | Nsk Ltd | Rolling bearing unit for wheel |
US6471407B1 (en) | 1999-07-12 | 2002-10-29 | Nsk Ltd. | Rolling bearing unit for supporting wheel |
US6619849B2 (en) | 1999-07-12 | 2003-09-16 | Nsk Ltd. | Rolling bearing unit for supporting wheel |
CN111273050A (zh) * | 2020-02-12 | 2020-06-12 | 清华大学 | 信号采集处理方法及装置 |
CN114396967A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-26 | 浙江西子富沃德电机有限公司 | 正余弦编码器及其信号处理方法、电梯控制系统 |
CN114396967B (zh) * | 2021-11-30 | 2024-04-23 | 浙江西子富沃德电机有限公司 | 正余弦编码器及其信号处理方法、电梯控制系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07107539B2 (ja) | 1995-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0325787B1 (en) | Multiturn shaft position sensor | |
US4755731A (en) | Optical scanning transducer | |
JPS6014929B2 (ja) | 磁気懸垂方式ロ−タ−に於ける同期妨害補償装置 | |
JPH077911A (ja) | 高精度リニアモータ | |
JPH0263011A (ja) | レーザスキャナ回転検出機構 | |
JPS63171364A (ja) | 回転速度検出装置 | |
US5132527A (en) | Compensation arrangement for opto-electronic reference generator | |
JP3222403B2 (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
JP2001296102A (ja) | ダンサーロール用位置検出装置 | |
JPH01320467A (ja) | 機械の回転数の測定方法 | |
RU2115128C1 (ru) | Стенд для контроля измерителей угловых скоростей | |
US4079302A (en) | Methods and apparatus for correcting servo signals | |
KR102706072B1 (ko) | 인덕티브 융합형 엔코더 | |
JPS61161998A (ja) | ステツプモ−タの負荷検出方法 | |
JPH06230158A (ja) | 超音波メータ | |
JPH02287263A (ja) | 回転検出装置 | |
US6606217B1 (en) | Head control unit in a disk apparatus | |
JPH05231428A (ja) | 磁気軸受の制御方法および制御装置 | |
JPH05264293A (ja) | 位置検出装置 | |
JPH03289391A (ja) | ブラシレスモータ | |
JPH0336976A (ja) | 有限回転電動機 | |
JPH0628648A (ja) | ヘッド制御装置 | |
JPS61193022A (ja) | Z相付エンコ−ダのホ−ムポジシヨン装置 | |
KR920003587Y1 (ko) | 전자레인지의 중량감지장치 | |
JPS62229309A (ja) | モ−タ駆動式材料試験機の制御装置 |