JPS63163405A - 光フアイバーケーブル - Google Patents
光フアイバーケーブルInfo
- Publication number
- JPS63163405A JPS63163405A JP61312263A JP31226386A JPS63163405A JP S63163405 A JPS63163405 A JP S63163405A JP 61312263 A JP61312263 A JP 61312263A JP 31226386 A JP31226386 A JP 31226386A JP S63163405 A JPS63163405 A JP S63163405A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- laser beam
- optical axis
- bimetal
- incident laser
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、co2o−レーザー光AGレーザー光を作業
光とし、光ファイバーを導光路としたレーザーメス装置
やレーザー加工装置に関するものである。
光とし、光ファイバーを導光路としたレーザーメス装置
やレーザー加工装置に関するものである。
従来の技術
2、、、、。
現在、co2レーザー光線やYAGレーザー光線等のい
わゆるエネルギー光線が、レーザーメス装置やレーザー
加工機などさまざまな分野で用いられている。こうした
エネルギー光線を目的部位にまで導く方式としては、複
数個の鏡によりレーザー光線を反射させるミラー関節方
式や、光フアイバ一方式などが実用化されている。
わゆるエネルギー光線が、レーザーメス装置やレーザー
加工機などさまざまな分野で用いられている。こうした
エネルギー光線を目的部位にまで導く方式としては、複
数個の鏡によりレーザー光線を反射させるミラー関節方
式や、光フアイバ一方式などが実用化されている。
特に、CO2レーザー光線を扱う分野に於いては、最近
になって002レーザー光線を伝送可能な光ファイバー
が開発・実用化されつつあシ、その操作性の良さなどか
ら光フアイバー伝送に対する期待が高まシつつある。
になって002レーザー光線を伝送可能な光ファイバー
が開発・実用化されつつあシ、その操作性の良さなどか
ら光フアイバー伝送に対する期待が高まシつつある。
発明が解決しようとする問題点
光フアイバー伝送方式の優れた点としては、操作性が良
いことや、伝送系をコンパクトに構成できる等の点が挙
げられるが、反面問題点としては、レーザー光線を光フ
アイバ一端面に正確に入射させるだめの端面位置調整手
段を必要とすることである。光ファイバーが細くなる程
、あるいは伝送エネルギーが大きくなる程、この調整手
段は高精3ベー7 度なものが求められ、調整作業も煩雑なものとなる。
いことや、伝送系をコンパクトに構成できる等の点が挙
げられるが、反面問題点としては、レーザー光線を光フ
アイバ一端面に正確に入射させるだめの端面位置調整手
段を必要とすることである。光ファイバーが細くなる程
、あるいは伝送エネルギーが大きくなる程、この調整手
段は高精3ベー7 度なものが求められ、調整作業も煩雑なものとなる。
従って、従来の光フアイバー伝送方式に於いては、もし
こうした調整手段や作業が不完全である場合には、レー
ザー光線が光フアイバ一端面に正確に入射せず、光ファ
イバーを焼損してしまうという問題点を有していた。
こうした調整手段や作業が不完全である場合には、レー
ザー光線が光フアイバ一端面に正確に入射せず、光ファ
イバーを焼損してしまうという問題点を有していた。
問題点を解決するだめの手段
上述した問題点を解決するために、本発明は光ファイバ
ーと入射レーザー光との光軸ズレを検出する手段として
、光ケーブル内の入射レーザー光線の光束を取シ・巻く
位置にバイメタル材を構成し、このバイメタル材によシ
光ファイバーの入射端面近傍を保持したものである。
ーと入射レーザー光との光軸ズレを検出する手段として
、光ケーブル内の入射レーザー光線の光束を取シ・巻く
位置にバイメタル材を構成し、このバイメタル材によシ
光ファイバーの入射端面近傍を保持したものである。
作用
光ファイバーに入射される入射レーザー光線の光束を取
シ巻く位置に設けたバイメタル材により光ファイバーを
保持したことによシ、もし光ファイバーと入射レーザー
光線との光軸ズレがある場合には、レーザー光線がバイ
メタルに照射されるため、バイメタルが熱変形を起こし
、光軸ズレを自動的に修正するという作用を起こすもの
である。
シ巻く位置に設けたバイメタル材により光ファイバーを
保持したことによシ、もし光ファイバーと入射レーザー
光線との光軸ズレがある場合には、レーザー光線がバイ
メタルに照射されるため、バイメタルが熱変形を起こし
、光軸ズレを自動的に修正するという作用を起こすもの
である。
実施例
以下本発明の一実施例を第1図〜第4図を参照して詳細
に説明する。第1図〜第4図に於いて、1は図示しない
レーザー発振器によシ発生したレーザー光であシ、集光
レンズ2により集光される。
に説明する。第1図〜第4図に於いて、1は図示しない
レーザー発振器によシ発生したレーザー光であシ、集光
レンズ2により集光される。
3は光ファイバーであシ、はぼ全長を薄肉の金属チュー
ブ4に収納・保持されている。
ブ4に収納・保持されている。
6は集光レンズ2によシ集光された略円錐状の光束を取
シ巻く位置に構成された位置ずれセンサーであシ、第2
図、第3図にその詳細形状を示す。
シ巻く位置に構成された位置ずれセンサーであシ、第2
図、第3図にその詳細形状を示す。
すなわち、位置ずれセンサー5の一端部51Lは、金属
チューブ4の保持部となっておシ、集光レンズ2により
集光される略円錐状の光束を取り巻く部分は、略円錐状
の光束の外周面とほぼ一致する円周面を有しておシ、更
に複数個に分割された検出部ea、eb、ecが構成さ
れている。更に位置ずれセンサー5の他端側6bは、ボ
ス7への固定部となっている。
チューブ4の保持部となっておシ、集光レンズ2により
集光される略円錐状の光束を取り巻く部分は、略円錐状
の光束の外周面とほぼ一致する円周面を有しておシ、更
に複数個に分割された検出部ea、eb、ecが構成さ
れている。更に位置ずれセンサー5の他端側6bは、ボ
ス7への固定部となっている。
5、、、−ジ
検出部6a、、6b、60は、更に、位置ずれセンサー
5の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有する異種金
属8が貼り付けられておシ、いわゆるバイメタルとして
の機能を有している。
5の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有する異種金
属8が貼り付けられておシ、いわゆるバイメタルとして
の機能を有している。
9はボス7を、集光レンズ2や図示しないレーザー発振
器等を収納するハウジング1oに固定するだめの固定ネ
ジである。11は保護ケーブルであシ、一端をボス7に
、他端側はノ・ンドピース12に固定されている。13
は金属チューブ4のホルダー、14は光ファイバー3か
ら出射された光を集光させる集光レンズであシ、いずれ
もノ・ンドピース12に固定されている。
器等を収納するハウジング1oに固定するだめの固定ネ
ジである。11は保護ケーブルであシ、一端をボス7に
、他端側はノ・ンドピース12に固定されている。13
は金属チューブ4のホルダー、14は光ファイバー3か
ら出射された光を集光させる集光レンズであシ、いずれ
もノ・ンドピース12に固定されている。
ハンドピース12は、例えばレーザーメス装置−の場合
には、術者が直接子に持って操作する部分であり、レー
ザー加工機の場合にはロボット等によシ駆動される部分
である。
には、術者が直接子に持って操作する部分であり、レー
ザー加工機の場合にはロボット等によシ駆動される部分
である。
本発明による光ファイバーケーブルは、上述したような
構成であるが、次に第4図に於いて光ファイバー3と、
入射レーザー光1との光軸がSだけずれている場合の位
置ずれセンサー5の動作に67、−7 ついて説明する。
構成であるが、次に第4図に於いて光ファイバー3と、
入射レーザー光1との光軸がSだけずれている場合の位
置ずれセンサー5の動作に67、−7 ついて説明する。
位置ずれセンサー5は、集光レンズで集光された入射レ
ーザー光1の略円錐状の外周面にほぼ一致する円周面5
Cを有しているので、入射レーザー光1と光ファイバー
3との光軸がわずかでもずれると、入射レーザー光1の
うち斜線部の部分が検出部6aに照射されることになシ
この部分の温度が上昇する。前述したように検出部6a
は、位置ずれセンサー5の熱膨張係数よシも小さい熱膨
張係数を示す異種金属8が貼シ付けられている。
ーザー光1の略円錐状の外周面にほぼ一致する円周面5
Cを有しているので、入射レーザー光1と光ファイバー
3との光軸がわずかでもずれると、入射レーザー光1の
うち斜線部の部分が検出部6aに照射されることになシ
この部分の温度が上昇する。前述したように検出部6a
は、位置ずれセンサー5の熱膨張係数よシも小さい熱膨
張係数を示す異種金属8が貼シ付けられている。
−例をあげると、位置ずれセンサー5を)Ti −Or
・Fe合金、異種金属8をN1・Fe合金としたような
組み合わせがある。従ってこの熱膨張係数の違いによシ
、検出部6aの温度が上昇し、検出部6aは固定部5b
を支点として矢印入方向に変形する。
・Fe合金、異種金属8をN1・Fe合金としたような
組み合わせがある。従ってこの熱膨張係数の違いによシ
、検出部6aの温度が上昇し、検出部6aは固定部5b
を支点として矢印入方向に変形する。
つまシ検出部6aは、いわゆるバイメタルとしての機能
を果たすわけである。
を果たすわけである。
検出部6aの説明した変形により、保持部5aに保持さ
れる光ファイバー3も入射レーザー光17ベー7 の光軸中心方向に移動するため、光軸ずれを修正するこ
とができる。
れる光ファイバー3も入射レーザー光17ベー7 の光軸中心方向に移動するため、光軸ずれを修正するこ
とができる。
検出部6Lのバイメタルとしての動作が、光ファイバー
3の融点よシも十分に低い温度で、また、入射レーザー
光1のエネルギーが小さい場合でも動作するように、高
感度な構成にすることによシ、光ファイバーの熱的な損
傷を防ぐことができる。
3の融点よシも十分に低い温度で、また、入射レーザー
光1のエネルギーが小さい場合でも動作するように、高
感度な構成にすることによシ、光ファイバーの熱的な損
傷を防ぐことができる。
発明の効果
上述したように、本発明によれば、入射レーザー光と光
ファイバーとの光軸がわずかでもずれた場合には、入射
レーザー光が、バイメタル機能を有する検出部に照射さ
れるよう構成したことにより、複雑な調整手段を必要と
せずに、入射レーザー光と光ファイバーとの光軸ずれ全
自動的に修正でき、高いエネルギー伝送時に於いても光
軸ずれによる光ファイバーの熱的な損傷を防止すること
ができるという効果が得られるものである。
ファイバーとの光軸がわずかでもずれた場合には、入射
レーザー光が、バイメタル機能を有する検出部に照射さ
れるよう構成したことにより、複雑な調整手段を必要と
せずに、入射レーザー光と光ファイバーとの光軸ずれ全
自動的に修正でき、高いエネルギー伝送時に於いても光
軸ずれによる光ファイバーの熱的な損傷を防止すること
ができるという効果が得られるものである。
第1図は本発明の一実施例における光ファイバーケーブ
ルの断面図、第2図は同光ファイバーケーブルの位置ず
れセンサーの構成を示した半断面斜視図、第3図は同位
置ずれセンサーの更に詳細な構成を示した断面図、第4
図は同位置ずれセンサーの動作状態を示した断面図であ
る。 1・・・・・・入射レーザー光、2・・・・・・集光レ
ンズ、3・・・・・・光ファイバー、5・・・・・・位
置ずれセンサー、52L・・・・・・保持部、6a〜6
C・・・・・・検出部、8・・・・・・異種金属。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第2
図 第3図 第4図
ルの断面図、第2図は同光ファイバーケーブルの位置ず
れセンサーの構成を示した半断面斜視図、第3図は同位
置ずれセンサーの更に詳細な構成を示した断面図、第4
図は同位置ずれセンサーの動作状態を示した断面図であ
る。 1・・・・・・入射レーザー光、2・・・・・・集光レ
ンズ、3・・・・・・光ファイバー、5・・・・・・位
置ずれセンサー、52L・・・・・・保持部、6a〜6
C・・・・・・検出部、8・・・・・・異種金属。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第2
図 第3図 第4図
Claims (1)
- レーザー光線を伝送する光ファイバーを収納・保持する
光ファイバーケーブルの前記光ファイバーの入射端面に
入射されるレーザー光線の光束を取り巻く位置に、互い
に熱膨張係数の異なる異種金属を貼り合わせてなり、一
端を前記光ファイバーケーブルに固定されたバイメタル
材を構成し、このバイメタル材により前記光ファイバー
ケーブルの入射端面近傍を保持した光ファイバーケーブ
ル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61312263A JPS63163405A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光フアイバーケーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61312263A JPS63163405A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光フアイバーケーブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63163405A true JPS63163405A (ja) | 1988-07-06 |
Family
ID=18027134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61312263A Pending JPS63163405A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 光フアイバーケーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63163405A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006135308A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-05-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ビームホモジナイザ、レーザ照射装置、及び半導体装置の作製方法 |
JP2007504606A (ja) * | 2003-08-28 | 2007-03-01 | シマヅ リサーチ ラボラトリー(ヨーロッパ)リミティド | 粒子光学装置 |
US8326102B2 (en) | 2004-10-04 | 2012-12-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61312263A patent/JPS63163405A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007504606A (ja) * | 2003-08-28 | 2007-03-01 | シマヅ リサーチ ラボラトリー(ヨーロッパ)リミティド | 粒子光学装置 |
JP2006135308A (ja) * | 2004-10-04 | 2006-05-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ビームホモジナイザ、レーザ照射装置、及び半導体装置の作製方法 |
US8326102B2 (en) | 2004-10-04 | 2012-12-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
US8670641B2 (en) | 2004-10-04 | 2014-03-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device |
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