JPS63163001A - 空気増幅装置 - Google Patents
空気増幅装置Info
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- JPS63163001A JPS63163001A JP30883886A JP30883886A JPS63163001A JP S63163001 A JPS63163001 A JP S63163001A JP 30883886 A JP30883886 A JP 30883886A JP 30883886 A JP30883886 A JP 30883886A JP S63163001 A JPS63163001 A JP S63163001A
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- pressure
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- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 241001125929 Trisopterus luscus Species 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電気−空気変換器、空気式差圧・圧力発僅器
、液面(位ン発信器等に使用して好適な空気増幅装置に
係勺、特に構造簡易にして小型化の実現と大きなループ
ゲインを得るように改良したものである。
、液面(位ン発信器等に使用して好適な空気増幅装置に
係勺、特に構造簡易にして小型化の実現と大きなループ
ゲインを得るように改良したものである。
望見増幅装置を有する上記電気−空気変換器。
空気式差圧・圧力発信器、液面(位)発信器等の機器は
、空気圧信号を出力信号として出力するものである。第
7図に基いて一般的な電気−空気変換器の構成等につい
て説明すると、1は支点2によって片持支持され自由端
側に近接対向して配設されたノズA/3と共にノズル−
フラッフ機wIを構成する揺動自在なフラッパ、4は7
ラツパ1の自出端に電気信号に対応した力を与え該フラ
ッパ1をその厚み方向に変位させるフォースモータを示
し、このフォースモーク4はフラッパ1に取付けられ前
記電気信号工によって励磁されるムーとングコイル5と
、このコイル5に対応して装置固定部に配設された永久
磁石6とで構成されている。
、空気圧信号を出力信号として出力するものである。第
7図に基いて一般的な電気−空気変換器の構成等につい
て説明すると、1は支点2によって片持支持され自由端
側に近接対向して配設されたノズA/3と共にノズル−
フラッフ機wIを構成する揺動自在なフラッパ、4は7
ラツパ1の自出端に電気信号に対応した力を与え該フラ
ッパ1をその厚み方向に変位させるフォースモータを示
し、このフォースモーク4はフラッパ1に取付けられ前
記電気信号工によって励磁されるムーとングコイル5と
、このコイル5に対応して装置固定部に配設された永久
磁石6とで構成されている。
このような変換器に対する信号としては一般に空気信号
の場合、0.2〜l、QKy/cm” 、電気信号の場
合、4〜20mADCの電流信号が用いられる。
の場合、0.2〜l、QKy/cm” 、電気信号の場
合、4〜20mADCの電流信号が用いられる。
Tは零調スプリング、8は可動端がフラッパ1に接続さ
れたフィードバックベローズ、8は絞り、10はノズル
背圧を増幅するパイロン) IJシレーある。
れたフィードバックベローズ、8は絞り、10はノズル
背圧を増幅するパイロン) IJシレーある。
ノズル3には一定圧力(通常1.4にy/art” )
に調圧された空気p gupが絞夛9t−介して供給さ
れ、フラッパ1に向って噴射される。一方、4〜20m
Aの入力信号Iがムービングコイル5に印加されると、
フレミングの左手の法則により例えば下向きの力Fが生
じる。すると、フラッパ1は支点2を中心として反時計
方向に揺動し、フラッパ1とノズル3との間隔(ノズル
・フラッパギャップ)ヲ狭めるため、ノズル背圧が上昇
し、このノズル背圧をパイロットリレー10によって増
幅し、フラッパ1の変位に見合った空気圧信号Pout
t−得る。
に調圧された空気p gupが絞夛9t−介して供給さ
れ、フラッパ1に向って噴射される。一方、4〜20m
Aの入力信号Iがムービングコイル5に印加されると、
フレミングの左手の法則により例えば下向きの力Fが生
じる。すると、フラッパ1は支点2を中心として反時計
方向に揺動し、フラッパ1とノズル3との間隔(ノズル
・フラッパギャップ)ヲ狭めるため、ノズル背圧が上昇
し、このノズル背圧をパイロットリレー10によって増
幅し、フラッパ1の変位に見合った空気圧信号Pout
t−得る。
そして、この空気圧信号Poutは図示しない受信計器
に伝送される一方、分岐してフィードバックベローズ8
に供給される。したがって、フラッパ1は空気圧信号P
outによる時計方向のモーメントを生じ、前記力Fに
よる反時計方向のモーメントとバランスする。
に伝送される一方、分岐してフィードバックベローズ8
に供給される。したがって、フラッパ1は空気圧信号P
outによる時計方向のモーメントを生じ、前記力Fに
よる反時計方向のモーメントとバランスする。
第8図は上記構成からなる変換器のブロック線図で、K
はフラッパ1の総合ねじり剛性、M、Kn。
はフラッパ1の総合ねじり剛性、M、Kn。
KPU7オースモータ4.ノズル・フラッパ機構1.3
およびパイロン) IJシレー0のそれぞれの伝達−数
、S、Aはノズル3およびフィードバックベローズ8の
有効面積、L s + Z n + tfはそれぞれ支
点2からフォースモータ4.ノズル3およびフィードバ
ックベローズ8の中心までの距離を表わす。なお、破線
で囲った部分イはノズル3から噴出する空気圧による反
力を示す。
およびパイロン) IJシレー0のそれぞれの伝達−数
、S、Aはノズル3およびフィードバックベローズ8の
有効面積、L s + Z n + tfはそれぞれ支
点2からフォースモータ4.ノズル3およびフィードバ
ックベローズ8の中心までの距離を表わす。なお、破線
で囲った部分イはノズル3から噴出する空気圧による反
力を示す。
ところで、一般にクローズトループ系におけるブロック
線図は第9図に示され、その入出力関係す −は、 で表わされる。
線図は第9図に示され、その入出力関係す −は、 で表わされる。
但し、aは入力、bは出力、Gはフォワードゲイン、H
はフィードバック系のゲイン、Bは入力系のゲインであ
る。
はフィードバック系のゲイン、Bは入力系のゲインであ
る。
上式の成立条件GH> 1よj5HまたはGを大き°く
する必要があるが、Hを大きくするとHとBは比例関係
にある九め、Bも大きくな夛装置全体の寸法が大きくな
ってしまう。したがって、Gの方を大きくしなければな
らない。
する必要があるが、Hを大きくするとHとBは比例関係
にある九め、Bも大きくな夛装置全体の寸法が大きくな
ってしまう。したがって、Gの方を大きくしなければな
らない。
Kn t−大きくしても破線で囲った部分イがマイナー
ループを形成するため、その分だけGが小さくなってし
まうものである。これを第10図に示す局部的ブロック
線図で説明すると、−は(+、+ +’ tn−Kn−
8−zn>1)である。
ループを形成するため、その分だけGが小さくなってし
まうものである。これを第10図に示す局部的ブロック
線図で説明すると、−は(+、+ +’ tn−Kn−
8−zn>1)である。
一方、小型化を計るため入力系としてのフォースモータ
を小型化するとフィードバック系トシテのフィードバッ
クベローズ8も小さくする必要があるが、ベローズの小
型化には限界があるし、またもし小型化してもノズルの
噴流による影響(s。
を小型化するとフィードバック系トシテのフィードバッ
クベローズ8も小さくする必要があるが、ベローズの小
型化には限界があるし、またもし小型化してもノズルの
噴流による影響(s。
t)が相対的に大きくなシ、フォワードゲインGが大幅
に減少してしまう。
に減少してしまう。
したがって、いずれの場合もGH>l t−満足できな
いという問題があった。
いという問題があった。
本発明に係る空気増幅装置は上述したような問題点を解
決すべくなされたもので、フラッパに対応して配設され
るノズルを、ノズル背圧が大気圧以下の真空ノズルの真
全部に接続し、前記ノズル背圧を増幅するパイロットリ
レーの背圧室内に、該背圧室と大気室とを仕切っている
ダイヤフラムを押圧するスプリングを配設し、該リレー
を大気圧以下で駆動するようにしたものである。
決すべくなされたもので、フラッパに対応して配設され
るノズルを、ノズル背圧が大気圧以下の真空ノズルの真
全部に接続し、前記ノズル背圧を増幅するパイロットリ
レーの背圧室内に、該背圧室と大気室とを仕切っている
ダイヤフラムを押圧するスプリングを配設し、該リレー
を大気圧以下で駆動するようにしたものである。
本発明においてはノズル背圧として負圧を用いているの
で、ノズル噴流による反撥力の代りに吸引力を発生させ
ることができる。したがって、フォワードゲインに対し
て悪影響を及ぼさず、大きなループゲインが得られ、ま
た装置の小型化を可能にする。
で、ノズル噴流による反撥力の代りに吸引力を発生させ
ることができる。したがって、フォワードゲインに対し
て悪影響を及ぼさず、大きなループゲインが得られ、ま
た装置の小型化を可能にする。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第1図は本発明を電気−空気変換器に適用した場合の一
実施例を示す概略構成図、第2図はパイロットリレーの
断面図である。なお、図中第7図と同一構成部品1部分
に対しては同一符号を以つて示し、その説明を省略する
。
実施例を示す概略構成図、第2図はパイロットリレーの
断面図である。なお、図中第7図と同一構成部品1部分
に対しては同一符号を以つて示し、その説明を省略する
。
これらの図において、フラッパ1に近接対向して配設さ
れるノズル3は大きなノズル径を有し、これに対応して
フラッパ1に半球状の突起20が設けられている。零調
スプリング7は調整ねじ21によってフラッパ1の長手
方向に移動調整自在に設けられておシ、これによシフ2
ツバ1の総合ねじり剛性Kt−可変としている。
れるノズル3は大きなノズル径を有し、これに対応して
フラッパ1に半球状の突起20が設けられている。零調
スプリング7は調整ねじ21によってフラッパ1の長手
方向に移動調整自在に設けられておシ、これによシフ2
ツバ1の総合ねじり剛性Kt−可変としている。
22は絞13t−内蔵しノズル背圧が大気圧以下トされ
る真空ノズルで、この真空ノズル22の真空部24に前
記ノズル3が配管26を介して接続されている。したが
って、ノズル3の背圧Pnも前記真空部24と同じ負圧
となり、この負圧が7ラツパ1に対して反撥力の代りに
吸引力として作用する。なお、真望ノズル22は図示し
ない空気供lll源に接続され、一定圧力の空気Plu
pが供給されている。
る真空ノズルで、この真空ノズル22の真空部24に前
記ノズル3が配管26を介して接続されている。したが
って、ノズル3の背圧Pnも前記真空部24と同じ負圧
となり、この負圧が7ラツパ1に対して反撥力の代りに
吸引力として作用する。なお、真望ノズル22は図示し
ない空気供lll源に接続され、一定圧力の空気Plu
pが供給されている。
パイロットリレー10は上述した負圧のノズル背圧Pu
t増幅し得るよう通常のパイロットリレーとは若干構造
が異なっている。具体的には第2図に示す如く背圧室3
0内にスプリング31を配置し、これによって載置30
と大気室32とを仕切っている第1ダイヤフラム33を
大気室32側に付勢している点が相違している。34は
出力室、35は空気供給源に接続された空気供給室、3
6は大気室32と出力室34とを仕切る第2ダイヤフラ
ム、37は大気室32と空気供給室35を仕切る仕切壁
、38は大気室32内に配設され前記出力室34に連通
ずる排気孔40を有する排気部材、41は仕切壁37に
設けられ出力室34と空気供給室35とを連通ずる供給
孔、42は前記供給孔41を貫通し該孔41および前記
排気孔40を開閉制御する上下動自在なポペット、43
はポペット42を上方、すなわち閉方向に付勢するスプ
リングである。
t増幅し得るよう通常のパイロットリレーとは若干構造
が異なっている。具体的には第2図に示す如く背圧室3
0内にスプリング31を配置し、これによって載置30
と大気室32とを仕切っている第1ダイヤフラム33を
大気室32側に付勢している点が相違している。34は
出力室、35は空気供給源に接続された空気供給室、3
6は大気室32と出力室34とを仕切る第2ダイヤフラ
ム、37は大気室32と空気供給室35を仕切る仕切壁
、38は大気室32内に配設され前記出力室34に連通
ずる排気孔40を有する排気部材、41は仕切壁37に
設けられ出力室34と空気供給室35とを連通ずる供給
孔、42は前記供給孔41を貫通し該孔41および前記
排気孔40を開閉制御する上下動自在なポペット、43
はポペット42を上方、すなわち閉方向に付勢するスプ
リングである。
次にこのような構成からなる変換器の動作について説明
する。
する。
ムービングコイル5に入力電流Iが流れて例えば上向き
の力Fが生じたとすると、フラッパ1は支点2t−中心
として時計方向に揺動し、ノズルギャップXfを大きく
する。すると、ノズル背圧Pnは/J%さな負圧となシ
徐々に大気圧に近づく。第3図はノズル背圧Pnとノズ
ルギャップXfとの関係を示す図で、実線Aは本実施例
によるXf−Pn特性、破線Bは従来装置におけるXf
−Pn%性を示す。
の力Fが生じたとすると、フラッパ1は支点2t−中心
として時計方向に揺動し、ノズルギャップXfを大きく
する。すると、ノズル背圧Pnは/J%さな負圧となシ
徐々に大気圧に近づく。第3図はノズル背圧Pnとノズ
ルギャップXfとの関係を示す図で、実線Aは本実施例
によるXf−Pn特性、破線Bは従来装置におけるXf
−Pn%性を示す。
このようなノズル背圧Pnがパイロットリレー10の背
圧室30に導かれると、載置30と大気室32との圧力
差が小さくなるため、第1ダイヤフラム33はスプリン
グ31の力によシ大気呈32側に変位し、排気孔40と
ポペット42との隙間を閉止し、ポペット42を押し下
げる。この結果、供給孔41の開度が増加するため、空
気供給室35よシ該孔41を通って出力室34に導かれ
る空気pgupの菫が増大し、これが望見圧信号Pou
tとして該出力室34よシ出力される。
圧室30に導かれると、載置30と大気室32との圧力
差が小さくなるため、第1ダイヤフラム33はスプリン
グ31の力によシ大気呈32側に変位し、排気孔40と
ポペット42との隙間を閉止し、ポペット42を押し下
げる。この結果、供給孔41の開度が増加するため、空
気供給室35よシ該孔41を通って出力室34に導かれ
る空気pgupの菫が増大し、これが望見圧信号Pou
tとして該出力室34よシ出力される。
一方、ムービングコイル5に下向きの力F′が生じると
、フラッパ2は上記とは逆に支点2t−中心として反時
計方向に回動してノズルギャップXfを小さくし、ノズ
ル背圧Pnをより大きな負圧とする。この大きな負圧の
ノズル背圧Pnが背圧室30に導かれると、該fi30
と大気室32との圧力差が大きくなるため、第1ダイヤ
フラム33は上記圧力差によシスプリング31に抗して
背圧室30側に変位され、排気部材38をポペット42
から遠ざける。したがって、排気孔40とポペット42
との隙間が大きくなシ、またポペット42がスプリング
43の力によシ上昇して供給孔41と該ポペット42と
の隙間を閉止する。この結果、空気供給室35よシ前記
供給孔41t−通って出力室34に導かれる空気P s
upは遮断され、空気圧信号Poutは排気孔40よ多
大気室30f:通って外部に排気され、低下する。
、フラッパ2は上記とは逆に支点2t−中心として反時
計方向に回動してノズルギャップXfを小さくし、ノズ
ル背圧Pnをより大きな負圧とする。この大きな負圧の
ノズル背圧Pnが背圧室30に導かれると、該fi30
と大気室32との圧力差が大きくなるため、第1ダイヤ
フラム33は上記圧力差によシスプリング31に抗して
背圧室30側に変位され、排気部材38をポペット42
から遠ざける。したがって、排気孔40とポペット42
との隙間が大きくなシ、またポペット42がスプリング
43の力によシ上昇して供給孔41と該ポペット42と
の隙間を閉止する。この結果、空気供給室35よシ前記
供給孔41t−通って出力室34に導かれる空気P s
upは遮断され、空気圧信号Poutは排気孔40よ多
大気室30f:通って外部に排気され、低下する。
ここで、本実施例構造においては真空ノズル22を使用
することによりノズル3に負圧のノズル背圧Pn t−
発生させるようにした点に特徴を有し、このノズル背圧
Pni7ラツパ1に対して吸引力として作用させるよう
にし九ものである。このため、従来は第7図に示した破
線部分イが、マイナーループとしてフォワードゲインG
に影響を及ぼしていたものが、逆にポジティブフィード
バックとして作用するようになる。第4図は第1図のブ
ロック線図で、■が上述のポジティブフィードバックを
表示しているつ した2>Eつて、ノズル・フラッパゲインKn 、ノズ
ル面!RS、フラッパの総合ねじり剛性に、支点を満足
するように選ぶことにより、ループゲインを大きくする
ことができ、またノズル噴流による影響がないため小を
化が可能で安定した特性の変換器を得ることができるも
のである。
することによりノズル3に負圧のノズル背圧Pn t−
発生させるようにした点に特徴を有し、このノズル背圧
Pni7ラツパ1に対して吸引力として作用させるよう
にし九ものである。このため、従来は第7図に示した破
線部分イが、マイナーループとしてフォワードゲインG
に影響を及ぼしていたものが、逆にポジティブフィード
バックとして作用するようになる。第4図は第1図のブ
ロック線図で、■が上述のポジティブフィードバックを
表示しているつ した2>Eつて、ノズル・フラッパゲインKn 、ノズ
ル面!RS、フラッパの総合ねじり剛性に、支点を満足
するように選ぶことにより、ループゲインを大きくする
ことができ、またノズル噴流による影響がないため小を
化が可能で安定した特性の変換器を得ることができるも
のである。
すなわち、第4図のブロック線図は第5図を経て第6図
に示すように表示することができ、そこでフォワードゲ
イン 1−GHXKP ”大きくするため 1−GH
=0と選ぶと、 −GH となる。
に示すように表示することができ、そこでフォワードゲ
イン 1−GHXKP ”大きくするため 1−GH
=0と選ぶと、 −GH となる。
”、’ Kn−8= −−・・・・(1) n 2
となる。
つまシ、5−Kn−tn−Kを上記(1)式を満足する
ように選定すると、小型化とゲインの最適設計を可能に
するものである。例えばに1についてはフ2ツバ10寸
法、零調スプリングTのはね定数または支点迄の距離等
を適宜選定し、(1)式を満足させればよい。また、ル
ープゲインを大きく設定し得る(実際には5〜10倍程
度)ため、精度、供給圧変動、温度特性等に対して非常
に優れている。
ように選定すると、小型化とゲインの最適設計を可能に
するものである。例えばに1についてはフ2ツバ10寸
法、零調スプリングTのはね定数または支点迄の距離等
を適宜選定し、(1)式を満足させればよい。また、ル
ープゲインを大きく設定し得る(実際には5〜10倍程
度)ため、精度、供給圧変動、温度特性等に対して非常
に優れている。
なお、上記実施例は電気−空気変換器に適用した場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限らず、ノズルフラ
ッパの背圧をパイロットリレーの入力とし、増幅された
空気出力を得るようにし九ものであればすべての空気増
幅装置に実施し得るものである。
ついて説明したが、本発明はこれに限らず、ノズルフラ
ッパの背圧をパイロットリレーの入力とし、増幅された
空気出力を得るようにし九ものであればすべての空気増
幅装置に実施し得るものである。
以上説明したように本発明に係る2気増幅装置は、ノズ
ル背圧が大気圧以下の真空ノズルを使用することにより
ノズル噴流がフラッパに及ぼす反撥力の代シに吸引力を
発生させるようにしているので、従来装置に比して5〜
10倍程度の大きなループゲイン金得ることができ、ま
たノズル噴流による影響がなければ、小型化が可能で安
定した特性の増幅器を提供することができる。
ル背圧が大気圧以下の真空ノズルを使用することにより
ノズル噴流がフラッパに及ぼす反撥力の代シに吸引力を
発生させるようにしているので、従来装置に比して5〜
10倍程度の大きなループゲイン金得ることができ、ま
たノズル噴流による影響がなければ、小型化が可能で安
定した特性の増幅器を提供することができる。
第1図は本発明を電気−空気変換器に実施した場合の一
実施例を示す構成図、第2図はパイロットリレーの断面
図、第3図はノズル背圧とノズルギャップの関係を示す
図、第4図〜第6図は第1図のブロック線図、第7図は
電気−空気変換器の従来例を示す構成図、第8図は第7
図のブロック線図、第9図は一般のクローズトループ系
を説明するためのブロック線図、第10図はフォワード
ゲインの減少を説明するための局部的ブロック線図であ
る。 1・・・・フラッパ、2・−・・支点、3・・・・ノズ
ル 4***・フォースモータ、5・・・・ムービング
コイル、6・・・・永久磁石、8・・・−フィードバッ
クベローズ、10@−−・パイロットリレー、22@−
・・真空ノズル、23−・・・絞シ、24・・等・真空
部、30・・拳・背圧室、31・・・−スプリング、3
2・・・・大気室、33・・・・第1ダイヤフラム、3
4・・・・出力室、35・・・・空気供給室、36・・
・・第2ダイヤフラム、3T・・・・仕切壁、38・・
・・排気部材、40・・・・排気孔、41・・・・供給
孔、42・・・・ポペット。
実施例を示す構成図、第2図はパイロットリレーの断面
図、第3図はノズル背圧とノズルギャップの関係を示す
図、第4図〜第6図は第1図のブロック線図、第7図は
電気−空気変換器の従来例を示す構成図、第8図は第7
図のブロック線図、第9図は一般のクローズトループ系
を説明するためのブロック線図、第10図はフォワード
ゲインの減少を説明するための局部的ブロック線図であ
る。 1・・・・フラッパ、2・−・・支点、3・・・・ノズ
ル 4***・フォースモータ、5・・・・ムービング
コイル、6・・・・永久磁石、8・・・−フィードバッ
クベローズ、10@−−・パイロットリレー、22@−
・・真空ノズル、23−・・・絞シ、24・・等・真空
部、30・・拳・背圧室、31・・・−スプリング、3
2・・・・大気室、33・・・・第1ダイヤフラム、3
4・・・・出力室、35・・・・空気供給室、36・・
・・第2ダイヤフラム、3T・・・・仕切壁、38・・
・・排気部材、40・・・・排気孔、41・・・・供給
孔、42・・・・ポペット。
Claims (1)
- 揺動自在に配設されたフラツパと、このフラツパに近接
対向して配設されたノズルと、絞りの真空部に前記ノズ
ルが接続されノズル背圧が大気圧以下の真空ノズルと、
前記ノズル背圧を増幅し空気圧信号として出力するパイ
ロットリレーとを具備してなり、前記パイロットリレー
は、前記ノズル背圧が与えられる背圧室と、大気に連通
する大気室と、前記空気圧信号を出力する出力室と、空
気供給源に接続され前記真空ノズルに対すると同じ空気
圧が供給される空気供給室と、前記背圧室と大気圧室と
を仕切る第1ダイヤフラムと、前記大気圧室と出力室と
を仕切る第2ダイヤフラムと、前記出力室と前記空気供
給室とを仕切る仕切壁と、前記背圧室内に配設されて第
1ダイヤフラムを押圧するスプリングと、前記大気圧室
内に配設され前記出力室と連通する排気孔を有する排気
部材と、前記仕切壁に設けられ出力室と空気供給室とを
連通する供給孔と前記排気孔とを開閉制御するポペツト
とで構成されていることを特徴とする空気増幅装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30883886A JPS63163001A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 空気増幅装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30883886A JPS63163001A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 空気増幅装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63163001A true JPS63163001A (ja) | 1988-07-06 |
JPH0416646B2 JPH0416646B2 (ja) | 1992-03-24 |
Family
ID=17985891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30883886A Granted JPS63163001A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 空気増幅装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63163001A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590677A (en) * | 1994-06-24 | 1997-01-07 | Yamatake-Honeywell Co., Ltd. | Electropneumatic positioner |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP30883886A patent/JPS63163001A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590677A (en) * | 1994-06-24 | 1997-01-07 | Yamatake-Honeywell Co., Ltd. | Electropneumatic positioner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0416646B2 (ja) | 1992-03-24 |
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