JPS6316249A - プラズマ発光分析装置 - Google Patents
プラズマ発光分析装置Info
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- JPS6316249A JPS6316249A JP16251886A JP16251886A JPS6316249A JP S6316249 A JPS6316249 A JP S6316249A JP 16251886 A JP16251886 A JP 16251886A JP 16251886 A JP16251886 A JP 16251886A JP S6316249 A JPS6316249 A JP S6316249A
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- Japan
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- light
- plasma
- photodetecting
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- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、プラズマの発光分析を透明窓を通して外部
より行なうプラズマ発光分析装置に関し、特にプラズマ
内の式定の波長の光を取抄出して、その光の強度の変化
を測定する装置に関するものである。
より行なうプラズマ発光分析装置に関し、特にプラズマ
内の式定の波長の光を取抄出して、その光の強度の変化
を測定する装置に関するものである。
例えば、半導体デバイス製造のつ二ノ・プロセスニオイ
テ、プラズマエツチング装置を用いてパターン加工を行
なう場合、そのモニタ用としてプラズマ発光分析装置が
用いられている。
テ、プラズマエツチング装置を用いてパターン加工を行
なう場合、そのモニタ用としてプラズマ発光分析装置が
用いられている。
従来、この種のプラズマ発光分析装置は、その基本構成
を第２図に示すように、プラズマ２内の特定の波長光を
透明窓３を通して受光する受光部１と、該受光部１にて
検出された信号を解析する解析部４を備え、この解析部
４で、受光部１より送られてきた検出信号の変化を解析
したうえ、その結果を外部装置（図示せず）に出力する
ものとなっている。
を第２図に示すように、プラズマ２内の特定の波長光を
透明窓３を通して受光する受光部１と、該受光部１にて
検出された信号を解析する解析部４を備え、この解析部
４で、受光部１より送られてきた検出信号の変化を解析
したうえ、その結果を外部装置（図示せず）に出力する
ものとなっている。
しかし、従来のプラズマ発光分析装置は以上のように構
成されているので、プラズマ２によって透明窓３に反応
生成物が付着し、受光部１に取り込まれる光の強度が低
下すると測定が不可能となり、オペレーターが、受光部
１の感度を調節しなければならないし、また、この時に
再現性がそこなわれるなどの問題点があった。
成されているので、プラズマ２によって透明窓３に反応
生成物が付着し、受光部１に取り込まれる光の強度が低
下すると測定が不可能となり、オペレーターが、受光部
１の感度を調節しなければならないし、また、この時に
再現性がそこなわれるなどの問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、透明窓への反も生成物の付着を測定し、こ
れによる検出感度の低下を自動的に補正することができ
るプラズマ発光分析装置を得ることを目的とする。
れたもので、透明窓への反も生成物の付着を測定し、こ
れによる検出感度の低下を自動的に補正することができ
るプラズマ発光分析装置を得ることを目的とする。
この発明に係るプラズマ発光分析装置は、プラズマ内の
特定の波長光を透明窓を通して受光する受光部と、該受
光部の検出信号レベルの低下を測定する測定部を具備し
、前記測定部の測定結果に基づいて前記受光部の検出感
度を自動的に補正するようにしたものである。
特定の波長光を透明窓を通して受光する受光部と、該受
光部の検出信号レベルの低下を測定する測定部を具備し
、前記測定部の測定結果に基づいて前記受光部の検出感
度を自動的に補正するようにしたものである。
この発明においては、受光部の検出感度を自動的に補正
することＫよシ、プラズマ反応によって発生した生成物
が透明窓に付着しても、それに影響されることなく、測
定を行なうことができる。
することＫよシ、プラズマ反応によって発生した生成物
が透明窓に付着しても、それに影響されることなく、測
定を行なうことができる。
以下、この発明の一実施例を第１図について説明する。
第１図のプラズマ発光分析装置は、プラズマ２よシ特定
の波長光を透明窓３を通して受光する受光部１と、この
受光部１からの検出信号を解析し外部装置へ出力する解
析部４とから構成されている点は、上述した第２図の従
来例のものと同様であるが、前記受光部１の光強度つま
シ検出信号レベルの低下を測定する測定部５を設けるこ
とによシ、この測定部５の測定結果に基づいて受光部１
の検出感度を自動的に補正するようにしたものである。
の波長光を透明窓３を通して受光する受光部１と、この
受光部１からの検出信号を解析し外部装置へ出力する解
析部４とから構成されている点は、上述した第２図の従
来例のものと同様であるが、前記受光部１の光強度つま
シ検出信号レベルの低下を測定する測定部５を設けるこ
とによシ、この測定部５の測定結果に基づいて受光部１
の検出感度を自動的に補正するようにしたものである。
なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示してい
る。
る。
しかして、上記実施例構成の分析装置によると、受光部
１では、プラズマ２内の特定の波長の光を透明窓３を通
して取シ込み電気信号に変換して、解析部４へ出力する
。との時、プラズマ２によって透明窓３に反応生皮物が
付着し、受光部１での光強度が低下した場合に、解析部
４での信号の変化量が測定できなくなってしまう。この
ため、測定部５を付加することによって、透明窓３から
の光の強度を測定し、その強度に応じて自動的に受ｆｔ
、ｓ１の検出感度を補正することにより、透明窓３の汚
れによる検出不能や誤動作をなくすことができる。また
、検出感度の補正が限界を超えた場合には、測定が不可
能になったことを知らせる警告信号を解析部４を通して
外部に出力することもできる。
１では、プラズマ２内の特定の波長の光を透明窓３を通
して取シ込み電気信号に変換して、解析部４へ出力する
。との時、プラズマ２によって透明窓３に反応生皮物が
付着し、受光部１での光強度が低下した場合に、解析部
４での信号の変化量が測定できなくなってしまう。この
ため、測定部５を付加することによって、透明窓３から
の光の強度を測定し、その強度に応じて自動的に受ｆｔ
、ｓ１の検出感度を補正することにより、透明窓３の汚
れによる検出不能や誤動作をなくすことができる。また
、検出感度の補正が限界を超えた場合には、測定が不可
能になったことを知らせる警告信号を解析部４を通して
外部に出力することもできる。
なお、上記実施例ではプラズマ発光の分析装置について
説明したが、測定する媒体が何らかの要因によって減少
し、光強度が低下するような場合にも、上記実施例と同
様の効果を奏する。
説明したが、測定する媒体が何らかの要因によって減少
し、光強度が低下するような場合にも、上記実施例と同
様の効果を奏する。
以上のようＫこの発明のプラズマ発光分析装置によれば
、透明窓を通して受光する受光部の光強度の低下を自動
的に補正できるように構成したので、オペレーターの介
在なしく測定することができ、また精度の高いものが得
られる効果がある。
、透明窓を通して受光する受光部の光強度の低下を自動
的に補正できるように構成したので、オペレーターの介
在なしく測定することができ、また精度の高いものが得
られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるプラズマ発光分析装
置のブロック構成図、第２図は従来のプラズマ発光分析
装置のブロック構成図である。 １・・９幸受光部、２・・Ｑ・プラズマ、３・・・拳透
明窓、４・・拳争解析部、５令・・・測定部。
置のブロック構成図、第２図は従来のプラズマ発光分析
装置のブロック構成図である。 １・・９幸受光部、２・・Ｑ・プラズマ、３・・・拳透
明窓、４・・拳争解析部、５令・・・測定部。
Claims (1)
- プラズマの発光分析を透明窓を通して外部より行なう分
析装置において、プラズマ内の特定の波長光を前記透明
窓を通して受光する受光部と、該受光部の検出信号レベ
ルの低下を測定する測定部を具備し、前記測定部の測定
結果に基づいて前記受光部の検出感度を自動的に補正す
るようにしたことを特徴とするプラズマ発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16251886A JPS6316249A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | プラズマ発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16251886A JPS6316249A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | プラズマ発光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316249A true JPS6316249A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15756144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16251886A Pending JPS6316249A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | プラズマ発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316249A (ja) |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP16251886A patent/JPS6316249A/ja active Pending
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