JPS63157212A - 冷水の温度制御装置 - Google Patents
冷水の温度制御装置Info
- Publication number
- JPS63157212A JPS63157212A JP30349986A JP30349986A JPS63157212A JP S63157212 A JPS63157212 A JP S63157212A JP 30349986 A JP30349986 A JP 30349986A JP 30349986 A JP30349986 A JP 30349986A JP S63157212 A JPS63157212 A JP S63157212A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold water
- temperature
- circuit
- control device
- heat exchanger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 77
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、冷凍機を利用した循環冷水（以下冷水と略称
する）の温度制御装置に関し、このような装置は半導体
製造装置や精密工作機械の運転に必要な一定温度の冷水
を供給するものである。
する）の温度制御装置に関し、このような装置は半導体
製造装置や精密工作機械の運転に必要な一定温度の冷水
を供給するものである。
［従来の技術］
熱交換器を冷水タンク中に浸設し、冷凍機の断続制御に
よって冷水タンク中を冷却し、この冷水を冷却回路に循
環する構成は実用新案出願公開昭６０−１４６２７５に
おいて公知である。
よって冷水タンク中を冷却し、この冷水を冷却回路に循
環する構成は実用新案出願公開昭６０−１４６２７５に
おいて公知である。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら上記従来の構成では、冷水温度を正確に制
御するためには冷凍機を冷水温度センサの信号に応じて
極めて高頻度に断続運転しなければならない状況が生ず
るが、そのような運転は、モータ・コンプレ・ンサの焼
損の原因となり、冷凍機を実用的な範囲内で運転する限
り冷水を精密に温度制御できない問題があった。
御するためには冷凍機を冷水温度センサの信号に応じて
極めて高頻度に断続運転しなければならない状況が生ず
るが、そのような運転は、モータ・コンプレ・ンサの焼
損の原因となり、冷凍機を実用的な範囲内で運転する限
り冷水を精密に温度制御できない問題があった。
したがって本発明の目的はこれらの問題を解決し、冷水
の温度を精密に制御する装置を提供することにある。
の温度を精密に制御する装置を提供することにある。
［問題点を解決する手段］
この目的を達成するため、本発明に係る冷水温度制御装
置は、冷水回路を接続された冷水タンクと、冷凍機の一
部を構成する熱交換器との間を冷水量可変循環手段によ
って接続し、前記冷水回路を含む冷水タンクに設置した
温度センサにより冷水量可変循環手段を制御する構成を
採る。
置は、冷水回路を接続された冷水タンクと、冷凍機の一
部を構成する熱交換器との間を冷水量可変循環手段によ
って接続し、前記冷水回路を含む冷水タンクに設置した
温度センサにより冷水量可変循環手段を制御する構成を
採る。
［作用］
冷水タンクには熱負荷を受けて加熱された冷水が冷水回
路を経て還流される。該冷水タンク内の冷水は、随時変
化させることのできる冷水量可変循環手段によって、冷
凍機からの冷媒が還流する熱交換器に導入されて冷却さ
れた後、再び前記冷水タンクに還流される。冷水回路の
冷水温度は温度センサによって検出され、その信号によ
って前記冷水量可変循環手段が自動制御される。しかる
に水冷却装置の冷却能力は冷水の流量の増減に応じて増
減変化することから冷水タンク内の冷水温度が一定に制
御される。
路を経て還流される。該冷水タンク内の冷水は、随時変
化させることのできる冷水量可変循環手段によって、冷
凍機からの冷媒が還流する熱交換器に導入されて冷却さ
れた後、再び前記冷水タンクに還流される。冷水回路の
冷水温度は温度センサによって検出され、その信号によ
って前記冷水量可変循環手段が自動制御される。しかる
に水冷却装置の冷却能力は冷水の流量の増減に応じて増
減変化することから冷水タンク内の冷水温度が一定に制
御される。
［実施例］
以下、本発明につき第１の実施例を参照して説明する。
第１図において冷水タンクｌには熱負ｆｆ３を含む冷水
回路２および、冷水循環回Ｆ５が接続さ−れている。該
冷水回路２の上流側には圧送ポンプ４および温度センサ
ー９が介装されている。循環回路５中には冷水量可変循
環手段としての循環ポンプ６と熱交換器７が配設されて
いる。該熱交換器は、モータによって駆動されるコンプ
レッサ８１、凝縮器８２、キャピラリーチューブ８４、
蒸発器８３の接続によって構成される冷凍機８の中に組
み込まれている。
回路２および、冷水循環回Ｆ５が接続さ−れている。該
冷水回路２の上流側には圧送ポンプ４および温度センサ
ー９が介装されている。循環回路５中には冷水量可変循
環手段としての循環ポンプ６と熱交換器７が配設されて
いる。該熱交換器は、モータによって駆動されるコンプ
レッサ８１、凝縮器８２、キャピラリーチューブ８４、
蒸発器８３の接続によって構成される冷凍機８の中に組
み込まれている。
前記循環ポンプ６にはポンプ駆動モータの制御装置（イ
ンバータ）１０が備えられており、該制御装置は冷水回
路に設けられた温度センサ９の信号に応じてモータの作
動を制御し、ポンプの吐出量を変化させることができる
。
ンバータ）１０が備えられており、該制御装置は冷水回
路に設けられた温度センサ９の信号に応じてモータの作
動を制御し、ポンプの吐出量を変化させることができる
。
このように構成された冷水の温度制御装置はその運転の
平衡状態において、常時定速運転される圧送ポンプ４は
もとより、循環ポンプ６および冷凍８１８も断続的な運
転をすることなく、冷水量Ｆ２に接続された熱負荷３か
らの還流水を冷却して冷水を所定の水温に保つ。
平衡状態において、常時定速運転される圧送ポンプ４は
もとより、循環ポンプ６および冷凍８１８も断続的な運
転をすることなく、冷水量Ｆ２に接続された熱負荷３か
らの還流水を冷却して冷水を所定の水温に保つ。
すなわち、熱負荷３によって冷水タンク１内の水温が上
昇すると、熱負荷３に供給される冷水の温度は温度セン
サ９によって検出され、その信号によって作動する制御
装置（インバータ）１０およびモータによって循環ポン
プ６の吐出量が増加する。循環ポンプ６および熱交換器
７を含む循還回路５における循環水量の増加は熱交換器
７の熱交換量の増加をもたらす。なぜならば、熱交換器
７の熱伝導率の上昇にともない、該熱交換器内の蒸発器
８３の冷媒ガスの蒸発温度が上昇し、冷凍機の冷凍能力
が増大する特性があるからである冷水回路２における冷
水温度が高いときには循環ポンプ４の吐出量は多く、ま
た、その温度が低いときには吐出量は少なく、連続的に
制御されるので、冷水タンク１内の水温の制御は迅速か
つ、正確にてきる。
昇すると、熱負荷３に供給される冷水の温度は温度セン
サ９によって検出され、その信号によって作動する制御
装置（インバータ）１０およびモータによって循環ポン
プ６の吐出量が増加する。循環ポンプ６および熱交換器
７を含む循還回路５における循環水量の増加は熱交換器
７の熱交換量の増加をもたらす。なぜならば、熱交換器
７の熱伝導率の上昇にともない、該熱交換器内の蒸発器
８３の冷媒ガスの蒸発温度が上昇し、冷凍機の冷凍能力
が増大する特性があるからである冷水回路２における冷
水温度が高いときには循環ポンプ４の吐出量は多く、ま
た、その温度が低いときには吐出量は少なく、連続的に
制御されるので、冷水タンク１内の水温の制御は迅速か
つ、正確にてきる。
第２図は他の実施例を示し、図において循環回路５には
、熱交換器７と並列に電磁弁１１が配設され、シリーズ
に接続された温度センサ９および制御装置１０′ととも
に冷水量可変循環手段を形成する。
、熱交換器７と並列に電磁弁１１が配設され、シリーズ
に接続された温度センサ９および制御装置１０′ととも
に冷水量可変循環手段を形成する。
すなわち、冷水回路２における冷水温度が高いときには
電磁弁１１は開度を減少し、循環回路５の冷水は大部分
熱交換器７を循環して冷却されるが、冷水温度が低いと
きには、温度センサおよび制御装置によって電磁弁１１
が開かれ、循環ポンプ６にる冷水は電磁弁にバイパスさ
れて事実上熱交換器７の冷却能力が低下することとなる
。
電磁弁１１は開度を減少し、循環回路５の冷水は大部分
熱交換器７を循環して冷却されるが、冷水温度が低いと
きには、温度センサおよび制御装置によって電磁弁１１
が開かれ、循環ポンプ６にる冷水は電磁弁にバイパスさ
れて事実上熱交換器７の冷却能力が低下することとなる
。
電磁弁１１はその開度をル制御信号に比例して制御でき
るものであるが、電磁弁制御装置はモータ制御装置より
簡素な構造のものでよいから、コスト高とならない利点
がある。
るものであるが、電磁弁制御装置はモータ制御装置より
簡素な構造のものでよいから、コスト高とならない利点
がある。
［発明の効果］
本発明によれば、可変循環手段によって熱交換器に還流
させる冷水量を制御し、それによって冷凍機の冷凍能力
を調節する構成を採るから、簡素な装置および制御方法
で冷水温度を正確に１７Ｊ ｉａｊてきる効果がある。
させる冷水量を制御し、それによって冷凍機の冷凍能力
を調節する構成を採るから、簡素な装置および制御方法
で冷水温度を正確に１７Ｊ ｉａｊてきる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１の実施例、第２図は他の実施例を
示す系統図である。 ｌは冷水タンク、２は冷水回路、５は循環回路、８は冷
凍機をそれぞれ示す。 出願人 シーケーデイ精機株式会社 第１図
示す系統図である。 ｌは冷水タンク、２は冷水回路、５は循環回路、８は冷
凍機をそれぞれ示す。 出願人 シーケーデイ精機株式会社 第１図
Claims (1)
- 冷水回路を接続された冷水タンクと、冷凍機回路の一部
を構成する熱交換器との間を冷水量可変循環手段によっ
て接続し、前記冷水回路を含む冷水タンクに設置した温
度センサによって該冷水量可変循環手段を制御すること
を特徴とする冷水の温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30349986A JPS63157212A (ja) | 1986-12-20 | 1986-12-20 | 冷水の温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30349986A JPS63157212A (ja) | 1986-12-20 | 1986-12-20 | 冷水の温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157212A true JPS63157212A (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=17921702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30349986A Pending JPS63157212A (ja) | 1986-12-20 | 1986-12-20 | 冷水の温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63157212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017087440A (ja) * | 2015-11-02 | 2017-05-25 | 株式会社松井製作所 | 温度制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57146323A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-09 | Sanyo Electric Co Ltd | Constant temperature controller |
-
1986
- 1986-12-20 JP JP30349986A patent/JPS63157212A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57146323A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-09 | Sanyo Electric Co Ltd | Constant temperature controller |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017087440A (ja) * | 2015-11-02 | 2017-05-25 | 株式会社松井製作所 | 温度制御装置 |
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