JPS63153521U - - Google Patents

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JPS63153521U
JPS63153521U JP4807887U JP4807887U JPS63153521U JP S63153521 U JPS63153521 U JP S63153521U JP 4807887 U JP4807887 U JP 4807887U JP 4807887 U JP4807887 U JP 4807887U JP S63153521 U JPS63153521 U JP S63153521U
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JP
Japan
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wafer
pair
supporting
cvd furnace
groove
Prior art date
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JP4807887U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例によるCVD炉用
ボートを示す平面、立面、側面図、第2図はその
支持棒の表面展開図、第3図はその動作を示すた
めの斜視図、第4図は他の実施例を示す支持棒の
表面展開図、第5図は従来のCVD炉用ボートを
示す平面図である。 1はボート台、2はウエハ支持台、3はリンク
、4はリンク(ウエハ支持台回転時)、5はウエ
ハ、6はストツパ、7は支持溝、8はウエハ支持
部を示す。なお、図中、同一符号は同一、または
相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数対の、ウエハの各対の一方のウエハを
    支持する溝と、軸に沿つて前記溝の一部に至る螺
    旋状の、かつ各対の他方のウエハを支持する溝を
    有する、対の支持棒と、前記支持棒に設けた、前
    記支持棒を同位相で回転させるための手段と、前
    記回転させるための手段を所定位置で停止させる
    ためのストツパとからなるCVD炉用ポート。 (2) 前記ウエハを支持する溝を螺旋状の溝とす
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
    項記載のCVD炉用ボート。 (3) 前記回転させるための手段をリンク装置と
    したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    1項記載のCVD炉用ボート。 (4) 前記対の支持棒の位置と異なる位置へ前記
    ウエハを支持する第3の支持棒をさらに備えたこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記
    載のCVD炉用ボート。
JP4807887U 1987-03-30 1987-03-30 Pending JPS63153521U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4807887U JPS63153521U (ja) 1987-03-30 1987-03-30

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4807887U JPS63153521U (ja) 1987-03-30 1987-03-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63153521U true JPS63153521U (ja) 1988-10-07

Family

ID=30869279

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4807887U Pending JPS63153521U (ja) 1987-03-30 1987-03-30

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63153521U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009081258A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Tokyo Electron Ltd 熱処理方法及び熱処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009081258A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Tokyo Electron Ltd 熱処理方法及び熱処理装置

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