JPS63153521U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63153521U JPS63153521U JP4807887U JP4807887U JPS63153521U JP S63153521 U JPS63153521 U JP S63153521U JP 4807887 U JP4807887 U JP 4807887U JP 4807887 U JP4807887 U JP 4807887U JP S63153521 U JPS63153521 U JP S63153521U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pair
- supporting
- cvd furnace
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
Description
第１図はこの考案の一実施例によるＣＶＤ炉用
ボートを示す平面、立面、側面図、第２図はその
支持棒の表面展開図、第３図はその動作を示すた
めの斜視図、第４図は他の実施例を示す支持棒の
表面展開図、第５図は従来のＣＶＤ炉用ボートを
示す平面図である。 １はボート台、２はウエハ支持台、３はリンク
、４はリンク（ウエハ支持台回転時）、５はウエ
ハ、６はストツパ、７は支持溝、８はウエハ支持
部を示す。なお、図中、同一符号は同一、または
相当部分を示す。
ボートを示す平面、立面、側面図、第２図はその
支持棒の表面展開図、第３図はその動作を示すた
めの斜視図、第４図は他の実施例を示す支持棒の
表面展開図、第５図は従来のＣＶＤ炉用ボートを
示す平面図である。 １はボート台、２はウエハ支持台、３はリンク
、４はリンク（ウエハ支持台回転時）、５はウエ
ハ、６はストツパ、７は支持溝、８はウエハ支持
部を示す。なお、図中、同一符号は同一、または
相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数対の、ウエハの各対の一方のウエハを
支持する溝と、軸に沿つて前記溝の一部に至る螺
旋状の、かつ各対の他方のウエハを支持する溝を
有する、対の支持棒と、前記支持棒に設けた、前
記支持棒を同位相で回転させるための手段と、前
記回転させるための手段を所定位置で停止させる
ためのストツパとからなるＣＶＤ炉用ポート。 (2) 前記ウエハを支持する溝を螺旋状の溝とす
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のＣＶＤ炉用ボート。 (3) 前記回転させるための手段をリンク装置と
したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載のＣＶＤ炉用ボート。 (4) 前記対の支持棒の位置と異なる位置へ前記
ウエハを支持する第３の支持棒をさらに備えたこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載のＣＶＤ炉用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4807887U JPS63153521U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4807887U JPS63153521U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153521U true JPS63153521U (ja) | 1988-10-07 |
Family
ID=30869279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4807887U Pending JPS63153521U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63153521U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009081258A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理方法及び熱処理装置 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP4807887U patent/JPS63153521U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009081258A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理方法及び熱処理装置 |