JPS63151833A - 半導体式圧力センサ - Google Patents
半導体式圧力センサInfo
- Publication number
- JPS63151833A JPS63151833A JP29936386A JP29936386A JPS63151833A JP S63151833 A JPS63151833 A JP S63151833A JP 29936386 A JP29936386 A JP 29936386A JP 29936386 A JP29936386 A JP 29936386A JP S63151833 A JPS63151833 A JP S63151833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive element
- measured
- absolute
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 15
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体式圧力センサ、特に１つの被測定圧力に
対して２種類以上の圧力データ出力が得られる半導体式
圧力センサに関する。
対して２種類以上の圧力データ出力が得られる半導体式
圧力センサに関する。
従来、この種の半導体式圧力センサには第２図に示す絶
対圧用センサ、或いは第３図に示す大気圧用センサがあ
る。第２図に示すセンサは絶対圧感圧素子用リード７を
備えたステム８に、表面上に抵抗を形成したダイヤフラ
ム４ａを有する絶対圧感圧素子部４を取付け、感圧素子
部４をステム８及びキャップ２にて外部環境より隔離し
、圧力導入ポート１から導入した被測定圧力を感圧素子
部４のダイヤフラム４ａに作用させ該ダイヤフラム４ａ
上に形成したその抵抗の変化を電気的に出力変換して圧
力データ出力を得ている。第３図に示すセンサは大気圧
感圧素子部３のダイヤフラム３ａの一側をステム８の貫
通孔８ａを介して大気開放した点に第２図のセンサとの
相違点があるが、動作、作用は第２図のものと同じであ
る。６は大気圧感圧素子用リード、５はＡｕ線である。
対圧用センサ、或いは第３図に示す大気圧用センサがあ
る。第２図に示すセンサは絶対圧感圧素子用リード７を
備えたステム８に、表面上に抵抗を形成したダイヤフラ
ム４ａを有する絶対圧感圧素子部４を取付け、感圧素子
部４をステム８及びキャップ２にて外部環境より隔離し
、圧力導入ポート１から導入した被測定圧力を感圧素子
部４のダイヤフラム４ａに作用させ該ダイヤフラム４ａ
上に形成したその抵抗の変化を電気的に出力変換して圧
力データ出力を得ている。第３図に示すセンサは大気圧
感圧素子部３のダイヤフラム３ａの一側をステム８の貫
通孔８ａを介して大気開放した点に第２図のセンサとの
相違点があるが、動作、作用は第２図のものと同じであ
る。６は大気圧感圧素子用リード、５はＡｕ線である。
従来の半導体式圧力センサは被測定圧力を１つの圧力導
入ポートより導入し、筐体内の感圧素子部のダイアフラ
ム上に設けた抵抗の変化を介して電気的出力が得られ、
１つの被測定圧力に対して１種類の圧力データ出力しか
得られないので、１つの被測定圧力から２種類以上の異
なる出力を得るためには、少なくとも２つ以上の半導体
式圧力センサを使用しなければならないという欠点があ
る。
入ポートより導入し、筐体内の感圧素子部のダイアフラ
ム上に設けた抵抗の変化を介して電気的出力が得られ、
１つの被測定圧力に対して１種類の圧力データ出力しか
得られないので、１つの被測定圧力から２種類以上の異
なる出力を得るためには、少なくとも２つ以上の半導体
式圧力センサを使用しなければならないという欠点があ
る。
本発明の目的は１つの被測定圧力に対して複数種の圧力
データ出力を得る半導体式圧力センサを提供することに
ある。
データ出力を得る半導体式圧力センサを提供することに
ある。
本発明は本体の圧力導入ポートより導入した被測定圧力
を感圧素子部に作用させその抵抗変化を介して圧力デー
タ出力を得る半導体式圧力センサにおいて、本体に１つ
の圧力導入ポートを開口し。
を感圧素子部に作用させその抵抗変化を介して圧力デー
タ出力を得る半導体式圧力センサにおいて、本体に１つ
の圧力導入ポートを開口し。
かつ該本体内に２種以上の感圧素子部を設けたことを特
徴とする半導体式圧力センサである。
徴とする半導体式圧力センサである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、ステム８の上面に２つの凹部９ａ、
９ｂを設け、各凹部９ａ、９ｂ内に、゛表面上に抵抗を
形成したダイヤフラム４ａ、 ３ａを備えた絶対圧感圧
素子部４、大気圧感圧素子部３を取付け、かつ一方の凹
部９ｂの底部にダイヤフラム３ａの一側を大気開放する
貫通孔８ａを設ける。そして、ステム８に大気圧感圧素
子リード６と絶対圧感圧素子用リード７とを設け、各リ
ード６．７と素子部３，４とをＡｕ線５，５にて結線す
る。
９ｂを設け、各凹部９ａ、９ｂ内に、゛表面上に抵抗を
形成したダイヤフラム４ａ、 ３ａを備えた絶対圧感圧
素子部４、大気圧感圧素子部３を取付け、かつ一方の凹
部９ｂの底部にダイヤフラム３ａの一側を大気開放する
貫通孔８ａを設ける。そして、ステム８に大気圧感圧素
子リード６と絶対圧感圧素子用リード７とを設け、各リ
ード６．７と素子部３，４とをＡｕ線５，５にて結線す
る。
さらに、素子部３，４を外部環境から隔離するキャップ
２に被測定圧力を導入する１つの圧力導入ポート１を設
ける。
２に被測定圧力を導入する１つの圧力導入ポート１を設
ける。
実施例において、圧力導入ポート１より被測定圧力が導
入されると、大気圧感圧素子部３と絶対圧感圧素子部４
に被測定圧力が作用し圧力を感圧する。この複合半導体
式圧力センサを航空機に搭載したとすれば、圧力導入ポ
ート１より導入された被測定圧力は大気圧感圧素子部３
ではＡｕ線５から大気圧感圧素子用リード６を介して速
度としての圧力データ出力が得られ、絶対圧感圧素子部
４ではＡｕ線５から絶対圧感圧素子用リード７を介して
高度としての圧力データ出力が得られる。
入されると、大気圧感圧素子部３と絶対圧感圧素子部４
に被測定圧力が作用し圧力を感圧する。この複合半導体
式圧力センサを航空機に搭載したとすれば、圧力導入ポ
ート１より導入された被測定圧力は大気圧感圧素子部３
ではＡｕ線５から大気圧感圧素子用リード６を介して速
度としての圧力データ出力が得られ、絶対圧感圧素子部
４ではＡｕ線５から絶対圧感圧素子用リード７を介して
高度としての圧力データ出力が得られる。
尚、この２種類以上のデータには絶対圧、ゲージ圧、真
空圧、差圧等があり用途に応じて絶対圧、ゲージ圧の組
合せ、絶対圧、ゲージ圧、真空圧の組合せ等任意に選ぶ
ことができる。
空圧、差圧等があり用途に応じて絶対圧、ゲージ圧の組
合せ、絶対圧、ゲージ圧、真空圧の組合せ等任意に選ぶ
ことができる。
以上説明したように本発明は、２種以上の感圧素子部を
本体内に有するため、１つの被測定圧力に対して２種類
以上の圧力データ出力を得ることができる効果がある。
本体内に有するため、１つの被測定圧力に対して２種類
以上の圧力データ出力を得ることができる効果がある。
第１図は本発明の複合半導体式圧力センサの縦断面図、
第２図は従来の絶対圧用の半導体圧力センサの縦断面図
、第３図は従来の大気圧用の半導体式圧力センサの縦断
面図である。
第２図は従来の絶対圧用の半導体圧力センサの縦断面図
、第３図は従来の大気圧用の半導体式圧力センサの縦断
面図である。
Claims (1)
- （１）本体の圧力導入ポートより導入した被測定圧力を
感圧素子部に作用させその抵抗変化を介して圧力データ
出力を得る半導体式圧力センサにおいて、本体に１つの
圧力導入ポートを開口し、かつ該本体内に２種以上の感
圧素子部を設けたことを特徴とする半導体式圧力センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29936386A JPS63151833A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 半導体式圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29936386A JPS63151833A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 半導体式圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63151833A true JPS63151833A (ja) | 1988-06-24 |
Family
ID=17871586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29936386A Pending JPS63151833A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 半導体式圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63151833A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544529A (en) * | 1993-10-08 | 1996-08-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor and chip therefor |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5358279A (en) * | 1976-11-08 | 1978-05-26 | Bendix Corp | Multiple function pressure sensor |
| JPS5522125A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-16 | Hitachi Ltd | Pressure sensor |
| JPS5530842A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
| JPS55106331A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-15 | Hitachi Ltd | Pressure sensor of semiconductor strain gauge |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP29936386A patent/JPS63151833A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5358279A (en) * | 1976-11-08 | 1978-05-26 | Bendix Corp | Multiple function pressure sensor |
| JPS5522125A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-16 | Hitachi Ltd | Pressure sensor |
| JPS5530842A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
| JPS55106331A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-15 | Hitachi Ltd | Pressure sensor of semiconductor strain gauge |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544529A (en) * | 1993-10-08 | 1996-08-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pressure sensor and chip therefor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7555956B2 (en) | Micromechanical device having two sensor patterns | |
| US8770034B2 (en) | Packaged sensor with multiple sensors elements | |
| US9846097B2 (en) | Pressure sensor with variable sense gap | |
| JP2719448B2 (ja) | 半導体圧力検出装置 | |
| US4966039A (en) | Electrical force and/or deformation sensor, particularly for use as a pressure sensor | |
| JPS63151833A (ja) | 半導体式圧力センサ | |
| JPS6220343U (ja) | ||
| EP0338180B1 (en) | An electrical force and/or deformation sensor, particularly for use as a pressure sensor | |
| US6286372B1 (en) | Pressure differential measuring transducer | |
| JPH05149815A (ja) | 絶対圧型圧力センサ | |
| JPH05249063A (ja) | 圧力計一体型ガスセンサ | |
| JPH02218171A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JP3285971B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS61137273U (ja) | ||
| JP2551281Y2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH0634665Y2 (ja) | 圧力センサの取付装置 | |
| JPS60152949U (ja) | セラミツク圧力センサ | |
| JPS62148947U (ja) | ||
| JPS63104382A (ja) | 半導体用ステム | |
| JPH02245631A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0293730U (ja) | ||
| JPH0743628Y2 (ja) | 圧力センサー用測定ソケット | |
| JPS6378229U (ja) | ||
| JPH0252230A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS58221135A (ja) | シリコンダイアフラム形圧力センサ |