JPS63142510A - 磁気抵抗効果型ヘツド - Google Patents
磁気抵抗効果型ヘツドInfo
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- JPS63142510A JPS63142510A JP28776986A JP28776986A JPS63142510A JP S63142510 A JPS63142510 A JP S63142510A JP 28776986 A JP28776986 A JP 28776986A JP 28776986 A JP28776986 A JP 28776986A JP S63142510 A JPS63142510 A JP S63142510A
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- sliding surface
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 54
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/398—Specially shaped layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録装置用磁気ヘッドに係り、特に磁壁の
発生を抑えノイズの低減をはかった高密度磁気記録に好
適な磁気抵抗効果型ヘッドに関する。
発生を抑えノイズの低減をはかった高密度磁気記録に好
適な磁気抵抗効果型ヘッドに関する。
磁気抵抗効果型ヘッドは、パーマロイなどの厚さ２００
〜５００人の磁気抵抗効果膜からなる素子を用い、バイ
アス磁界を与えて素子に定電流を流し。
〜５００人の磁気抵抗効果膜からなる素子を用い、バイ
アス磁界を与えて素子に定電流を流し。
磁気記録媒体からの磁束に応じて生ずる素子の抵抗変化
を電圧として検知するものであって、再生（読出し）専
用のヘッドであり、記録ヘッドは別に必要とするが再生
出力が磁気記録媒体の速度に依存されず、素子の抵抗変
化が大きいので大出力が得られるという特徴がある。
を電圧として検知するものであって、再生（読出し）専
用のヘッドであり、記録ヘッドは別に必要とするが再生
出力が磁気記録媒体の速度に依存されず、素子の抵抗変
化が大きいので大出力が得られるという特徴がある。
この磁気抵抗効果型ヘッドに用いられている従来の磁気
抵抗効果型素子については２例えば特開昭４９−７４５
２２号公報および米国特許３９４０７９７号において提
案されており、その磁気抵抗効果型素子の構造は、第５
図に示すごとく、磁気抵抗効果を生ずる材料である２例
えばパーマロイ膜からなる磁気抵抗効果膜１１と、バイ
アス磁界を与える１例えばチタン膜からなるシャント膜
１２とが基板１上に積層され、銅のコネクタ１３．１４
．１５がそれぞれパーマロイ１１１１１上に接続されて
いる。この磁気抵抗効果型素子１６において、磁気記録
媒体１７に対向するヘッド摺動面３近傍の磁気抵抗効果
膜１１の端部の平面形状は、第６図に示すごとく、磁気
抵抗効果膜１１の端部４が直角あるいは鋭角となってい
た。
抵抗効果型素子については２例えば特開昭４９−７４５
２２号公報および米国特許３９４０７９７号において提
案されており、その磁気抵抗効果型素子の構造は、第５
図に示すごとく、磁気抵抗効果を生ずる材料である２例
えばパーマロイ膜からなる磁気抵抗効果膜１１と、バイ
アス磁界を与える１例えばチタン膜からなるシャント膜
１２とが基板１上に積層され、銅のコネクタ１３．１４
．１５がそれぞれパーマロイ１１１１１上に接続されて
いる。この磁気抵抗効果型素子１６において、磁気記録
媒体１７に対向するヘッド摺動面３近傍の磁気抵抗効果
膜１１の端部の平面形状は、第６図に示すごとく、磁気
抵抗効果膜１１の端部４が直角あるいは鋭角となってい
た。
この磁気抵抗効果膜１１の端部４の形状が直角あるいは
鋭角であると、この部分でノイズの原因となる磁壁が発
生し易く、従来、この磁壁発生の防止についての配慮は
全くなされていなかった。
鋭角であると、この部分でノイズの原因となる磁壁が発
生し易く、従来、この磁壁発生の防止についての配慮は
全くなされていなかった。
上述したごと〈従来の磁気抵抗効果型ヘッドにおいては
、ヘッド摺動面に接する磁気抵抗効果膜の磁壁発生の抑
制について全く配慮されておらず。
、ヘッド摺動面に接する磁気抵抗効果膜の磁壁発生の抑
制について全く配慮されておらず。
磁壁の存在によるノイズ発生（バルクハウゼンノイズ）
の問題があった。
の問題があった。
本発明の目的は、ノイズ発生の原因となる磁壁の発生を
防止し、高密度磁気記録に好適な磁気抵抗効果型ヘッド
を提供することにある。
防止し、高密度磁気記録に好適な磁気抵抗効果型ヘッド
を提供することにある。
上記目的は、磁気抵抗効果型ヘッドの摺動面における磁
気抵抗効果型素子の摺動面と接する角度。
気抵抗効果型素子の摺動面と接する角度。
すなわち、パーマロイなどの薄膜からなる磁気抵抗効果
膜の摺動面に交差する端面部の接触角を鈍角にすること
により、達成される。
膜の摺動面に交差する端面部の接触角を鈍角にすること
により、達成される。
従来の磁気抵抗効果型ヘッドに応用されている磁気抵抗
効果型素子を構成する磁気抵抗効果膜は。
効果型素子を構成する磁気抵抗効果膜は。
第６図に示すごとく９例えばパーマロイ膜の感磁部２は
、基板１の上に形成され、ヘッド摺動面３に対して、パ
ーマロイ膜の端部４の接触角はほぼ直角であった。これ
は、ヘッド摺動面３を形成する際、あらかじめ第６図に
示すパーマロイ膜の感磁部２よりも幅の広いパーマロイ
膜の感磁部を基板１上に形成させておき、ヘッド摺動面
３を研磨＝３− することによって、所望する幅のパーマロイ膜の感磁部
２を有する磁気抵抗効果型ヘッドを作製していたため当
然の結果であった。そして、磁壁はパーマロイ膜の歪や
凹凸、疵などによって誘起されることは従来から一般に
よく知られていることである。
、基板１の上に形成され、ヘッド摺動面３に対して、パ
ーマロイ膜の端部４の接触角はほぼ直角であった。これ
は、ヘッド摺動面３を形成する際、あらかじめ第６図に
示すパーマロイ膜の感磁部２よりも幅の広いパーマロイ
膜の感磁部を基板１上に形成させておき、ヘッド摺動面
３を研磨＝３− することによって、所望する幅のパーマロイ膜の感磁部
２を有する磁気抵抗効果型ヘッドを作製していたため当
然の結果であった。そして、磁壁はパーマロイ膜の歪や
凹凸、疵などによって誘起されることは従来から一般に
よく知られていることである。
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、磁壁の発生は、
基板上に形成される磁気抵抗効果型素子であるパーマロ
イなどの磁気抵抗効果膜の感磁部の端部がヘッド摺動面
と接する接触角度の大きさに強く依存されることを見い
出した。そして２例えば第１図および第１図の要部拡大
図である第２図に示すごとく、ヘッド摺動面３に接する
パーマロイ膜の感磁部２のパーマロイ膜の端部７の接触
角８を、所定の鈍角とすることによって、磁壁の発生が
抑えられ、ノイズの発生が著しく低減されることを知っ
た。さらに、第３図に示すごとく。
基板上に形成される磁気抵抗効果型素子であるパーマロ
イなどの磁気抵抗効果膜の感磁部の端部がヘッド摺動面
と接する接触角度の大きさに強く依存されることを見い
出した。そして２例えば第１図および第１図の要部拡大
図である第２図に示すごとく、ヘッド摺動面３に接する
パーマロイ膜の感磁部２のパーマロイ膜の端部７の接触
角８を、所定の鈍角とすることによって、磁壁の発生が
抑えられ、ノイズの発生が著しく低減されることを知っ
た。さらに、第３図に示すごとく。
ヘッド摺動面３に接するパーマロイ膜の端部９を円弧状
などの曲線形状にすれば、さらにパーマロイ膜の接触角
８を大きくすることができるので。
などの曲線形状にすれば、さらにパーマロイ膜の接触角
８を大きくすることができるので。
磁壁の発生を著しく低減させることが可能となる。
本発明の磁気抵抗効果型ヘッドにおいて９通常のヘッド
摺動面の加工粗さの場合、ヘッド摺動面３に接するパー
マロイ膜の感磁部２のパーマロイ膜の端部４の接触角の
大きさが１００〜１１０度の間で。
摺動面の加工粗さの場合、ヘッド摺動面３に接するパー
マロイ膜の感磁部２のパーマロイ膜の端部４の接触角の
大きさが１００〜１１０度の間で。
磁壁の発生頻度（任意スケール）は急激に低減し。
１２０度以上になると磁壁の発生が全く見られなくなり
、ノイズの発生をほぼ完全に防止することが可能となる
。
、ノイズの発生をほぼ完全に防止することが可能となる
。
〔作用〕
ヘッドを構成する磁気抵抗効果型素子には、適当なバイ
アス磁界を与え、 １０’ Ａ ／ ｃｍ”程度の電流
を流し、磁気記録媒体からの磁束に応じて生ずる素子の
抵抗変化を電圧として検知するものである。
アス磁界を与え、 １０’ Ａ ／ ｃｍ”程度の電流
を流し、磁気記録媒体からの磁束に応じて生ずる素子の
抵抗変化を電圧として検知するものである。
すなわち、磁気抵抗効果型ヘッドの出力は、素子に直交
磁界が侵入することによって、磁気抵抗効果膜である２
例えばパーマロイ膜の電気抵抗が変化するので、これを
出力とする。このとき、電気抵抗の変化に寄与するパー
マロイ膜部は、−軸異方性を有しており９通常、磁気記
録媒体からの直交磁界は交番磁界である。したがって、
侵入する磁界の向きによってパーマロイ膜の磁化も反転
する。このとき、パーマロイ膜中に磁壁が存在すると、
磁化の反転がスムースにゆかず、かつ磁壁の不連続な移
動でパーマロイ膜の抵抗変化が不連続となり、ノイズが
発生する原因となるので、パーマロイ膜中の磁壁の発生
を抑えることが必要となる。第６図に示した従来型の素
子では磁壁の発生がしばしば起こるが９本発明の磁気抵
抗効果型ヘッドの素子の一例として第１図、第２図およ
び第３図に示したようにパーマロイ膜の感磁部２の端部
形状を考慮すれば、磁壁の発生頻度を著しく低減させる
ことができ、ノイズの発生を防止することができる。
磁界が侵入することによって、磁気抵抗効果膜である２
例えばパーマロイ膜の電気抵抗が変化するので、これを
出力とする。このとき、電気抵抗の変化に寄与するパー
マロイ膜部は、−軸異方性を有しており９通常、磁気記
録媒体からの直交磁界は交番磁界である。したがって、
侵入する磁界の向きによってパーマロイ膜の磁化も反転
する。このとき、パーマロイ膜中に磁壁が存在すると、
磁化の反転がスムースにゆかず、かつ磁壁の不連続な移
動でパーマロイ膜の抵抗変化が不連続となり、ノイズが
発生する原因となるので、パーマロイ膜中の磁壁の発生
を抑えることが必要となる。第６図に示した従来型の素
子では磁壁の発生がしばしば起こるが９本発明の磁気抵
抗効果型ヘッドの素子の一例として第１図、第２図およ
び第３図に示したようにパーマロイ膜の感磁部２の端部
形状を考慮すれば、磁壁の発生頻度を著しく低減させる
ことができ、ノイズの発生を防止することができる。
以下に本発明の一実施例を挙げ２図面に基づいてさらに
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第４図に示す曲線は、第１図に示した本発明の一例であ
るシャント型の磁気抵抗効果型ヘッドにおけるパーマロ
イ膜の感磁部２のヘッド摺動面３とのなす接触角８と、
この接触角８をつくるパーマロイ膜の感磁部２の辺から
なる部分で発生する磁壁の発生頻度（約２００素子）を
示したものである。図に示すごとく、磁壁の発生頻度（
任意スケール）は、パーマロイ膜の接触角（度）８が１
００〜１１０度の間で急激に低減し、１２０度以上にな
ると磁壁の発生がほとんど見られなくなる。この磁壁の
発生頻度の角度依存性は、ヘッド摺動面３の加工粗さの
状態によっても影響され、この加工面が粗いと第４図に
示す曲線は右側へ、加工面の粗さが小さいと左側へ移動
する。第４図に示す曲線は。
るシャント型の磁気抵抗効果型ヘッドにおけるパーマロ
イ膜の感磁部２のヘッド摺動面３とのなす接触角８と、
この接触角８をつくるパーマロイ膜の感磁部２の辺から
なる部分で発生する磁壁の発生頻度（約２００素子）を
示したものである。図に示すごとく、磁壁の発生頻度（
任意スケール）は、パーマロイ膜の接触角（度）８が１
００〜１１０度の間で急激に低減し、１２０度以上にな
ると磁壁の発生がほとんど見られなくなる。この磁壁の
発生頻度の角度依存性は、ヘッド摺動面３の加工粗さの
状態によっても影響され、この加工面が粗いと第４図に
示す曲線は右側へ、加工面の粗さが小さいと左側へ移動
する。第４図に示す曲線は。
ヘッド摺動面３の平均面粗さが５ｎｍの場合である。
また、第４図の曲線がヘッド摺動面の加工による影響を
受けるのは、加工歪が残留しているためと考えられる。
受けるのは、加工歪が残留しているためと考えられる。
しかし、パーマロイ膜の接触角８が１２０度以上であれ
ば２通常のヘッド加工程度の粗さの影響はほとんど受け
ない。また、第３図に示すように、パーマロイ膜の端部
９をほぼ円形にすれば、ヘッド摺動面３とのなすパーマ
ロイ膜の接触角８は極めて大きくなり、磁壁の発生によ
るノイズの発生をほぼ完全に抑えることができる。
ば２通常のヘッド加工程度の粗さの影響はほとんど受け
ない。また、第３図に示すように、パーマロイ膜の端部
９をほぼ円形にすれば、ヘッド摺動面３とのなすパーマ
ロイ膜の接触角８は極めて大きくなり、磁壁の発生によ
るノイズの発生をほぼ完全に抑えることができる。
一方、磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅はパーマロイ
膜の接触角８によって規定されるので。
膜の接触角８によって規定されるので。
パーマロイ膜の接触角８の位置を所望するトラック幅に
規定することが必要である。
規定することが必要である。
以上の本発明の実施例において、磁気抵抗効果型素子を
構成する磁気抵抗効果膜として、パーマロイ膜の場合に
ついて述べたが、パーマロイ膜以外のＮｉ−Ｃｏ合金膜
、Ｎｉ膜、Ｎｉ−８ｎ合金膜。
構成する磁気抵抗効果膜として、パーマロイ膜の場合に
ついて述べたが、パーマロイ膜以外のＮｉ−Ｃｏ合金膜
、Ｎｉ膜、Ｎｉ−８ｎ合金膜。
Ｎｉ−Ａｌ１合金膜など磁気抵抗効果を示す薄膜であれ
ば本発明の磁気抵抗効果型ヘッドに適用できることは言
うまでもない。
ば本発明の磁気抵抗効果型ヘッドに適用できることは言
うまでもない。
また、上記実施例において示したシャントバイアス型素
子以外のバイアス型磁気抵抗効果型素子であるバーバー
ポール型、ソフトバイアス型、永久磁石バイアス型、電
流バイアス型、などにおいても全く同じ効果が得られる
ので２本発明はこれらの磁気抵抗効果型ヘッドにも広く
適用できる。
子以外のバイアス型磁気抵抗効果型素子であるバーバー
ポール型、ソフトバイアス型、永久磁石バイアス型、電
流バイアス型、などにおいても全く同じ効果が得られる
ので２本発明はこれらの磁気抵抗効果型ヘッドにも広く
適用できる。
以上詳細に説明したごとく９本発明の特定形状を有する
磁気抵抗効果型素子を用いた磁気ヘッドは、磁壁の存在
によって生ずるノイズをほぼ完全に抑えることができる
ので、高密度磁気記録に適した信頼性の高い磁気抵抗効
果型ヘッドが得られる。
磁気抵抗効果型素子を用いた磁気ヘッドは、磁壁の存在
によって生ずるノイズをほぼ完全に抑えることができる
ので、高密度磁気記録に適した信頼性の高い磁気抵抗効
果型ヘッドが得られる。
第１図は本発明の実施例である磁気抵抗効果型素子のヘ
ッド摺動面部における平面形状を示す模式図、第２図は
第１図の要部拡大図、第３図は本発明の他の実施例であ
る磁気抵抗効果型素子のヘッド摺動面部における平面形
状を示す模式図、第４図は本発明の実施例において示し
た磁気抵抗効果型素子におけるパーマロイ膜端部のヘッ
ド摺動面とのなす接触角と磁壁の発生頻度との関係を示
すグラフ、第５図は従来の磁気抵抗効果型素子の構造を
示す模式図、第６図は従来の磁気抵抗効果型素子のヘッ
ド摺動面部における平面形状を示す模式図である。 １・・・基板 ２・・・パーマロイ膜の感磁部 ３・・・ヘッド摺動面 ４・・・パーマロイ膜の端部 ５・・・パーマロイ膜のリード部 ６・・・パーマロイ膜の接触角 ７・・・パーマロイ膜の端部 ８・・・パーマロイ膜の接触角 ９・・・パーマロイ膜の端部 １１・・・磁気抵抗効果膜 １２・・・シャント膜 １３、１４．１５・・・銅のコネクタ １６・・・磁気抵抗効果型素子 １７・・・磁気記録媒体 代理人弁理士 中 村 純之助 ｔ３（至） １− 基話 ＩＦ５ 図 ＩＦ５図 ＩＦ５ 図 、止。 パー７０イ耳！４棲細鷹Ｑ０
ッド摺動面部における平面形状を示す模式図、第２図は
第１図の要部拡大図、第３図は本発明の他の実施例であ
る磁気抵抗効果型素子のヘッド摺動面部における平面形
状を示す模式図、第４図は本発明の実施例において示し
た磁気抵抗効果型素子におけるパーマロイ膜端部のヘッ
ド摺動面とのなす接触角と磁壁の発生頻度との関係を示
すグラフ、第５図は従来の磁気抵抗効果型素子の構造を
示す模式図、第６図は従来の磁気抵抗効果型素子のヘッ
ド摺動面部における平面形状を示す模式図である。 １・・・基板 ２・・・パーマロイ膜の感磁部 ３・・・ヘッド摺動面 ４・・・パーマロイ膜の端部 ５・・・パーマロイ膜のリード部 ６・・・パーマロイ膜の接触角 ７・・・パーマロイ膜の端部 ８・・・パーマロイ膜の接触角 ９・・・パーマロイ膜の端部 １１・・・磁気抵抗効果膜 １２・・・シャント膜 １３、１４．１５・・・銅のコネクタ １６・・・磁気抵抗効果型素子 １７・・・磁気記録媒体 代理人弁理士 中 村 純之助 ｔ３（至） １− 基話 ＩＦ５ 図 ＩＦ５図 ＩＦ５ 図 、止。 パー７０イ耳！４棲細鷹Ｑ０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気抵抗効果型ヘッドを構成する磁気抵抗効果膜と
、該磁気抵抗効果膜にバイアス磁界を与える薄膜導体を
有する磁気抵抗効果型素子を用いた磁気抵抗効果型ヘッ
ドにおいて、上記磁気抵抗効果型素子と磁気記録媒体と
が対向する磁気抵抗効果型素子のヘッド摺動面における
磁気抵抗効果膜の端部の平面形状を、上記摺動面に対し
て鈍角で接する角形とするか、もしくは上記摺動面に対
して鈍角で接する曲線形とすることを特徴とする磁気抵
抗効果型ヘッド。 ２、磁気抵抗効果型素子のヘッドの摺動面における磁気
抵抗効果膜の端部の平面形状を、上記摺動面に対して１
２０度以上の角度で接する角形とするか、もしくは上記
摺動面に対して１２０度以上の角度で接する曲線形とす
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気抵
抗効果型ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28776986A JPS63142510A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 磁気抵抗効果型ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28776986A JPS63142510A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 磁気抵抗効果型ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142510A true JPS63142510A (ja) | 1988-06-14 |
Family
ID=17721513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28776986A Pending JPS63142510A (ja) | 1986-12-04 | 1986-12-04 | 磁気抵抗効果型ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63142510A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297814A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-12 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子 |
| US6137663A (en) * | 1996-12-24 | 2000-10-24 | Nec Corporation | Magnetic head and method for magnetic recording and playback |
-
1986
- 1986-12-04 JP JP28776986A patent/JPS63142510A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297814A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-12 | Nec Corp | 磁気抵抗効果素子 |
| US6137663A (en) * | 1996-12-24 | 2000-10-24 | Nec Corporation | Magnetic head and method for magnetic recording and playback |
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