JPS63142240A - 表面検査装置 - Google Patents

表面検査装置

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JPS63142240A
JPS63142240A JP28983986A JP28983986A JPS63142240A JP S63142240 A JPS63142240 A JP S63142240A JP 28983986 A JP28983986 A JP 28983986A JP 28983986 A JP28983986 A JP 28983986A JP S63142240 A JPS63142240 A JP S63142240A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sheet
projector
inspection
light receiver
Prior art date
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Pending
Application number
JP28983986A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyuki Ogura
敏之 小倉
Norihiro Nakai
中井 教尋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP28983986A priority Critical patent/JPS63142240A/ja
Publication of JPS63142240A publication Critical patent/JPS63142240A/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、投光器から検査光をシート状物の所定位置に
導くとともに、その反射光を受光器に到達させるための
調整を効率的に行なう調整架台を備えた表面検査装置に
関するものである。
〔従来の技術] 連続走行するフィルム、紙等のシート状物(ウェブ)の
表面欠陥を測定する表面検査装置が周知であり、この装
置にてウェブの傷やピンホール等を検出して製品の検査
・管理が行われている。
従来の表面検査装置の一例を示す第5図において、バッ
キングローラ1により順次送給されるウェブ2の表面に
は、光源からの検査光100が投光器3内の走査機構4
により照射されている。前記走査機構4は多面体のミラ
ー回転体等からなり、これによって検査光スポットをウ
ェブ2の走行方向に対して直角に走査させる。そして、
ウェブ2からの反射光200は受光器5にて受光され、
その反射光量によってウェブ2の表面の欠陥を検出する
ことができる。
このような装置では、検査光100をウェブ2の所定位
置に正確に照射し、かつウェブ2からの反射200は受
光器5に入射するように、投光器3及び受光器5をウェ
ブ2に対して配置することが必要であり、装置組み立て
の際には架台に取り付けられた投光器3及び受光器5の
位置関係を高精度に保つように調整される。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、投光器3及び受光器5の位M tQ整は
、ウェブ2を挟んで相対的に行わなくてはならず非常に
煩雑となっている。すなわち、第6図に示したように、
ウェブ2上の照射点(走査線上のある一点)をPとした
とき、点P上の法線について、検査光100の入射角α
と、反射光200の反射角βとが等しくなるから、これ
に対応して投光器3と受光器5の位置を調整しなければ
ならない。
しかしながら、前記調整の初期においては点Pの位置は
明確ではないので、投光器3からの検査光路を決定(芯
出し)する場合には、まず受光器5への反射光200の
方向を確認しながら、投光器中心を基準として矢示する
ように投光器3を回動させ、ウェブ2上の照射点Pを決
めるようにする。そしておおよその位置に投光器3を設
定しておき、今度は受光器5を架台支持体6上を矢示の
ようにスライドさせたり、また受光器中心を基準として
回動させるようにしている。
この操作を何回か繰り返すことにより、適切な投受光調
整ができることになるが、このような調整作業はある程
度熟練を必要とし、煩雑な作業の一つとなっていた。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
投・受光器の位置調整作業を簡略化するための調整架台
を備えた表面検査装置を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段〕 本発明は上記目的を達成するために、投光器からの検査
光によってウェブ表面に形成される検査光走査線と平行
となるようにシート状物表面に仮想線を設定し、この仮
想線の延長線上に配置された回動軸部と、この回動軸部
の軸を中心として回動自在の回動支持体とからなる受光
器架台を介して受光器を保持し、受光器を前記仮想線を
中心として回動調整できるようにしている。
また、特許請求の範囲に記載された他の発明に係る表面
検査装置においては、上記受光器調整架台を介して受光
器を仮想線の回りに回動調整できるようにするとともに
、投光器については、投光器調整架台を介して支持する
ようにしている。この投光器調整架台には、検査光走査
線が前記仮想線と平行となるように投光器の姿勢を調整
する機構と、シート状物表面に対する検査光の照射角度
を調整できるように投光器の仰角を調整するための調整
機構とが設けられており、投光器からの検査光を前記仮
想線に簡単に合致させることができるようにしたもので
ある。
以下、図面に基づいて本発明の一実施例について説明す
る。
(実施例) 第1図には本発明の表面検査に使用される受光器調整架
台の構成が示され、第2図には投受光調整架台の全体構
成が示されている。第1図において、受光器調整架台の
支柱7には軸9が設けられ、二〇軸9には回動自在に回
動支持体8が取り付けられている。この回動支持体8は
、ウェブ2の幅方向の両端に2個設けられたアーム8a
と、このアーム8aに固着された方形管8bと、受光器
5を取り付ける取付板8cとからなる。受光器5が固定
された微調整板10には、軸9を中心とした円弧状のス
ロット10aが形成されているとともに、内側に突出す
るようにガイドビン10bが植設されている。取り付は
板8cには、軸9を中心とする円弧状のガイド溝11が
形成されている。
前記ガイド溝11に前記ガイドビン10bが係合してい
るから、スロット10aを通して取り付は板8Cに緊締
される調節ネジ12を緩めると、取り付は板8Cに対し
て受光器5を回動調節することができる。
前記軸9の中心は、バッキングローラ1の表面状にウェ
ブ2の移動方向と直交するように設定された仮想線Pの
延長上に位置している。したがって、第2図に示したよ
うに、軸9の回りに回動支持体8を回動させることによ
って、受光器5の入射光軸5aを仮想線Pを中心として
回動することができるようになる。すなわち、仮想線P
上の法線に対する入射角(α)が70°であった場合に
は、回動支持体8を角θだけ回動させることによって、
反射角(β)が70°となる光線上に光軸5aを精確に
合致させることができる。
さらに、バッキングローラ1の両側において、前記軸9
の中心には小孔14が設けられている。
この小孔14を利用して絹糸等のガイド線を張り渡すこ
とによって、仮想線Pを明確に識別することができるよ
うにしている。したがって、このガイド線を基準とすれ
ば、投光器3及び受光器5の位置合わせをさらに容易に
行うことができるようになる。すなわち第2図に示した
ように、小孔14にガイド線(図示せず)を通し、この
ガイド線に向けて投光器3から検査光を照射する。そし
て、検査光100をガイド線に合致させた後にガイド線
を取り外し、今度はバッキングローラ1上に載置された
ウェブ2からの反射光200を、最も効率良く受光する
位置に受光器5を回動させることにより、極めて簡単な
作業で投・受光器3.5の位置調整が可能となる。
次に、上記受光器調整架台に加えて投光器調整架台を加
えた他の発明について、第3図及び第4図により説明す
る。
第3図(a)、(b)は、それぞれ投光器調整架台の右
側面、左側面を示している。投光器3の両側面には、そ
れぞれ長孔20.21が形成された取り付は板22.2
3が固着されている。これらの取り付は板22.23の
外側には、ベース24に固定された支持板25.26が
位置している。
支持板25.26には円弧状のスロット25a。
26aが形成され、これを貫通して固定用のビス27が
取り付は板22.23に螺合されている。
そして、ビス27を緊締することによって、投光器3は
取り付は板22.23とともに支持板25゜26に固定
される。
第4図により右側面について例示したように、支持板2
5.26の各々には、先端にドライバ溝が形成された調
整軸28.29が回動自在に嵌合している。調整軸28
.29には、その回動輪から偏心して円板28a、29
aが一体化され、取り付は板22.23の長孔22,2
3に嵌入している。なお、第3図(b)における符号3
0は、投光器3を支持板26に対して回動自在に枢着し
ている支軸を示している。
ビス27を緩めてから調整軸28を回動させることによ
って、投光器3の右側を上下方向に移動させることがで
きる。投光器3の左側は支軸30によって支えられてい
るから、これにより投光器3を検査光100の光軸回り
に回動することができる。すなわち、検査光100を走
査することによって得られる走査線の、水平線に対する
傾き調整を行うことが可能となる。他方の調整軸29を
回動させると、支軸30に対して投光器3の後端側が上
下され、検査光100の照射角度を調整することができ
るようになる。
このように、投光器3の姿勢、仰角の調整をできるよう
にしておくと、前記小孔11にガイド線を掛は渡してお
き、このガイド線をもとにして投光器3側で検査光10
0の走査線の姿勢調整及び入射角調整ができ、検査光の
芯出し調整作業が非常に楽になる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、シート状物上の
走査線となる仮想線を中心として回動する受光器調整架
台を設けたので、受光器についてはこれを仮想線からの
反射光を受光する位置に回動させるだけでその位置調整
が完了する。したがって、従来装置のように機械的に複
雑な位置調整機構を用いなくても済み、しかも調整作業
も格段に簡略化されるようになる。また、投光器につい
てもこれを姿勢調整、仰角調整できる調整架台を介して
支持しておくことによって、走査線(仮想線)に対して
検査光を精度良く合わせることができるとともに、位置
合わせが簡単となる。そして、投光器と受光器とが共に
仮想線に対して位置決めされるので、これらの両者の相
対位置関係を精度良く設定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る受光器調整架台の一実施例を示す
構成図である。 第2図は第1図に示した受光器架台の調整作用の説明図
である。 第3図(a)、(b)は、投光器調整架台の右側面図、
左側面図である。 第4図は第3図の投光器調整架台に用いられる調整軸の
一例を示す要部斜視図である。 第5図は従来装置の構造を示す概略図である。 第6図は従来装置における検査光の芯出し調整の説明図
である。 P・・・仮想線 1・・・バッキングローラ 2・・・シート状物(ウェブ) 3・・・投光器 5・・・受光器 7・・・支柱 8・・・回動支持体 9′・・・軸 lO・・微調整板 14・・小孔 28・・調整軸(姿勢調整用) 29・・調整軸(仰角調整用)。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)バッキングローラ上を移動するシート状物に、そ
    の移動方向と直交する方向に検査光を走査する投光器と
    、前記シート状物からの反射光を受光する受光器とを有
    する表面検査装置において、前記投光器により移動する
    シート状物の表面に形成される検査光走査線と平行で、
    かつ前記シート状物の表面に設定された仮想線の延長線
    上に設けられた回動軸部と、この回動軸部の軸を中心と
    して回動し、かつ前記受光部を保持する回動支持体とか
    らなる受光器調整架台とを設け、受光器を前記仮想線を
    中心として回動できるようにしたことを特徴とする表面
    検査装置。
  2. (2)前記回動軸部には検査光走査線上にガイド線を張
    るための小孔を形成したことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の表面検査装置。
  3. (3)バッキングローラ上を移動するシート状物に、そ
    の移動方向と直交する方向に検査光を走査する投光器と
    、前記シート状物からの反射光を受光する受光器とを有
    する表面検査装置において、前記投光器によってシート
    状物の表面に形成される検査光走査線と平行で、かつ前
    記シート状物の表面に設定された仮想線の延長線上に設
    けられた回動軸部と、この回動軸部の軸を中心として回
    動し、かつ前記受光部を保持する回動支持体とからなる
    受光器調整架台とを設け、受光器が前記仮想線の回りに
    回動できるようにするとともに、前記仮想線に対して検
    査光走査線が平行となるように投光器の姿勢を調整する
    姿勢調整機構及びシート状物表面に対する検査光の入射
    角を調整するように投光器の仰角を調整する仰角調整機
    構とを備えた投光器調整架台を介して投光器を支持した
    ことを特徴とする表面検査装置。
JP28983986A 1986-12-05 1986-12-05 表面検査装置 Pending JPS63142240A (ja)

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JP28983986A JPS63142240A (ja) 1986-12-05 1986-12-05 表面検査装置

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JPS63142240A true JPS63142240A (ja) 1988-06-14

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ID=17748437

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JP (1) JPS63142240A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0464763U (ja) * 1990-10-15 1992-06-03

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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