JPS63136337U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63136337U JPS63136337U JP2856987U JP2856987U JPS63136337U JP S63136337 U JPS63136337 U JP S63136337U JP 2856987 U JP2856987 U JP 2856987U JP 2856987 U JP2856987 U JP 2856987U JP S63136337 U JPS63136337 U JP S63136337U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- holding part
- support rod
- holder
- inclination
- Prior art date
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- Granted
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
第１図は本考案の第一の実施例を説明するため
のウエーハ搬送装置の側面図、第２図は第１図に
示すウエーハ保持部の正面図、第３図および第４
図はともに第１図におけるウエーハ保持部とウエ
ーハの異なる保持状態の正面図、第５図は本考案
の第二の実施例を説明するためのウエーハ搬出装
置の側面図、第６図は第５図に示すウエーハ保持
部の正面図である。 １……ウエーハ保持部、２，２ａ，２ｂ……発
光部、３，３ａ，３ｂ……受光部、４……ウエー
ハ保持支持棒、５……ウエーハ保持部回転機構、
６……ウエーハカセツト、７……ウエーハ、８，
８ａ，８ｂ……超音波発信部、９，９ａ，９ｂ…
…超音波受信部。
のウエーハ搬送装置の側面図、第２図は第１図に
示すウエーハ保持部の正面図、第３図および第４
図はともに第１図におけるウエーハ保持部とウエ
ーハの異なる保持状態の正面図、第５図は本考案
の第二の実施例を説明するためのウエーハ搬出装
置の側面図、第６図は第５図に示すウエーハ保持
部の正面図である。 １……ウエーハ保持部、２，２ａ，２ｂ……発
光部、３，３ａ，３ｂ……受光部、４……ウエー
ハ保持支持棒、５……ウエーハ保持部回転機構、
６……ウエーハカセツト、７……ウエーハ、８，
８ａ，８ｂ……超音波発信部、９，９ａ，９ｂ…
…超音波受信部。
Claims (1)
- 発光部もしくは発信部および受光部もしくは受
信部を有しウエーハの傾きを検知するウエーハ保
持部と、このウエーハ保持部に結合され回転運動
を伝達するウエーハ保持部支持棒と、この支持棒
に結合され且つ前記ウエーハの傾きに合わせて前
記ウエーハ保持部を回転させるウエーハ保持部回
転機構と、ウエーハを収納する手段とを有し、前
記収納手段にある前記ウエーハを搬出するにあた
り、前記ウエーハの傾きに合わせて前記ウエーハ
保持部を回転させ前記ウエーハに平行になるよう
にし、前記ウエーハ裏面を真空吸着して搬出する
ようにしたことを特徴とするウエーハ搬出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2856987U JPH0533010Y2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2856987U JPH0533010Y2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63136337U true JPS63136337U (ja) | 1988-09-07 |
| JPH0533010Y2 JPH0533010Y2 (ja) | 1993-08-23 |
Family
ID=30831653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2856987U Expired - Lifetime JPH0533010Y2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533010Y2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0311648A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-18 | Nec Corp | 半導体ウェハー搬送装置 |
| JPH04311056A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板取り出し装置 |
| JPH0536812A (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-12 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| JP2002270674A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出装置 |
| JP2002289673A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出入装置 |
| JP2016068155A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| WO2022050204A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | ロボット及びハンド部姿勢調整方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4642787B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
| JP6126869B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2017-05-10 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1987
- 1987-02-26 JP JP2856987U patent/JPH0533010Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0311648A (ja) * | 1989-06-07 | 1991-01-18 | Nec Corp | 半導体ウェハー搬送装置 |
| JPH04311056A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板取り出し装置 |
| JPH0536812A (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-12 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
| JPH0528041U (ja) * | 1991-09-20 | 1993-04-09 | 東京応化工業株式会社 | 縦型ウエハー処理装置のウエハー移載機構 |
| JP2002270674A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出装置 |
| JP2002289673A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬出入装置 |
| JP4509411B2 (ja) * | 2001-03-26 | 2010-07-21 | 株式会社ディスコ | 搬出入装置 |
| JP2016068155A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| WO2022050204A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | ロボット及びハンド部姿勢調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533010Y2 (ja) | 1993-08-23 |