JPS63135799U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63135799U JPS63135799U JP2862187U JP2862187U JPS63135799U JP S63135799 U JPS63135799 U JP S63135799U JP 2862187 U JP2862187 U JP 2862187U JP 2862187 U JP2862187 U JP 2862187U JP S63135799 U JPS63135799 U JP S63135799U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- variable capacitor
- power
- line
- detector
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 6
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案における高周波電源のブロツク
回路図、第２図は高周波誘導結合プラズマ分析計
の全体構成図、第３図は従来装置における高周波
電源のブロツク回路図である。 ６……高周波誘導コイル、１８……電力発生器
、１９……位相検出器、２０……マツチングネツ
トワーク、Ｃｓ……微調整用可変コンデンサ、Ｃ
ｐ……粗調整用可変コンデンサ、２１……サーボ
制御系、２２……高周波誘導結合プラズマ、２３
……電力検出器、２４……調整手段、２４ａ……
制御部、２４ｂ……駆動部。
回路図、第２図は高周波誘導結合プラズマ分析計
の全体構成図、第３図は従来装置における高周波
電源のブロツク回路図である。 ６……高周波誘導コイル、１８……電力発生器
、１９……位相検出器、２０……マツチングネツ
トワーク、Ｃｓ……微調整用可変コンデンサ、Ｃ
ｐ……粗調整用可変コンデンサ、２１……サーボ
制御系、２２……高周波誘導結合プラズマ、２３
……電力検出器、２４……調整手段、２４ａ……
制御部、２４ｂ……駆動部。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマと分析計とを結合させ
てなる分析計において、高周波電力発生器と、こ
の電力発生器から高周波誘導コイルに高周波電流
を流す線路に配置された位相検出器並びに電力検
出器と、前記線路に接続された粗調整用可変コン
デンサと微調整用可変コンデンサとを含むマツチ
ングネツトワークと、前記位相検出器の出力に基
づき電流と電圧の位相差が最小となる位置に前記
マツチングネツトワークの微調整用可変コンデン
サを制御するサーボ制御系と、プラズマ点火時並
びにプラズマ点火後において前記電力検出器の出
力に基づき進行波電力が最大となる位置、或は反
射波電力が最小となる位置に前記粗調整用可変コ
ンデンサを設定する調整手段とを具備する高周波
誘導結合プラズマ分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2862187U JPS63135799U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2862187U JPS63135799U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63135799U true JPS63135799U (ja) | 1988-09-06 |
Family
ID=30831756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2862187U Pending JPS63135799U (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63135799U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5973900A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-26 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ発生器用インピ−ダンス自動整合装置 |
| JPS60205241A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-10-16 | ザ・パーキン―エルマー・コーポレイション | プラズマ放出源 |
| JPS6225500B2 (ja) * | 1981-07-31 | 1987-06-03 | Ishizuka Kk |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP2862187U patent/JPS63135799U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225500B2 (ja) * | 1981-07-31 | 1987-06-03 | Ishizuka Kk | |
| JPS5973900A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-26 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ発生器用インピ−ダンス自動整合装置 |
| JPS60205241A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-10-16 | ザ・パーキン―エルマー・コーポレイション | プラズマ放出源 |
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