JPS63132152A - 湿度センサ用保護フイルタ - Google Patents
湿度センサ用保護フイルタInfo
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- JPS63132152A JPS63132152A JP27902386A JP27902386A JPS63132152A JP S63132152 A JPS63132152 A JP S63132152A JP 27902386 A JP27902386 A JP 27902386A JP 27902386 A JP27902386 A JP 27902386A JP S63132152 A JPS63132152 A JP S63132152A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は湿度センサ用保護フィルタに関する。
感湿部材の付着水分量に応じた電気的変化を生じさせる
形式の湿度センサにおいては、防塵、防滴、防風等のた
め同センサを通湿性の保護フィルタで覆蓋しているもの
があり、現在保護フィルタとして青銅等を素材とする焼
結金属製の保護フィルタが使用されている。
形式の湿度センサにおいては、防塵、防滴、防風等のた
め同センサを通湿性の保護フィルタで覆蓋しているもの
があり、現在保護フィルタとして青銅等を素材とする焼
結金属製の保護フィルタが使用されている。
ところで、この種形式の湿度センサにおいては、温度変
化の大きい雰囲気で使用された場合保護フィルタ内部の
感湿部材が直接露出する雰囲気も同様に短時間に温度変
化を生じ、同感湿部材に結露が発生して湿度センサとし
ての機能を発揮し得なくなるおそれがある。
化の大きい雰囲気で使用された場合保護フィルタ内部の
感湿部材が直接露出する雰囲気も同様に短時間に温度変
化を生じ、同感湿部材に結露が発生して湿度センサとし
ての機能を発揮し得なくなるおそれがある。
本発明者等はかかる問題に対処すべく検討した結果、使
用している保護フィルタが結露の発生に太き(係わって
いることを知得した。従って、本発明の目的は、結露の
発生を十分に抑制し得て湿度センサの機能を損うことの
ない保護フィルタを提供するにある。
用している保護フィルタが結露の発生に太き(係わって
いることを知得した。従って、本発明の目的は、結露の
発生を十分に抑制し得て湿度センサの機能を損うことの
ない保護フィルタを提供するにある。
本発明は、感湿部材の付着水分量に応じた電気的変化を
生じさせる湿度センサを覆蓋する保護フィルタであり、
当該保護フィルタは連続する多数の細孔を有しかつ熱伝
導率が5 Kcal/ mhr ”c以下の多孔質セラ
ミックスであることを特徴とするものである。
生じさせる湿度センサを覆蓋する保護フィルタであり、
当該保護フィルタは連続する多数の細孔を有しかつ熱伝
導率が5 Kcal/ mhr ”c以下の多孔質セラ
ミックスであることを特徴とするものである。
本発明における保護フィルタはアルミナ、シリカ、シリ
カ−アルミナ、ムライト、コープイライト、ジルコニア
、ステアタイト、フォルステライト等の無機質材料から
なるもので、通常のセラミックス多孔質体と同様の条件
の成形、焼成等にて得られるが、熱伝導率が5Kcal
/ mhr ”C以下で多数の連続細孔を有すること
が肝要であり、また細孔の平均細孔径が0.05〜50
0μmであることが好ましい。
カ−アルミナ、ムライト、コープイライト、ジルコニア
、ステアタイト、フォルステライト等の無機質材料から
なるもので、通常のセラミックス多孔質体と同様の条件
の成形、焼成等にて得られるが、熱伝導率が5Kcal
/ mhr ”C以下で多数の連続細孔を有すること
が肝要であり、また細孔の平均細孔径が0.05〜50
0μmであることが好ましい。
第4図は湿度センサの使用場所の雰囲気温度(T1)、
保護フィルタ内雰囲気温度(T2)、センサ温度(T3
)の挙動を概略的に説明するグラフであり、実線(熱伝
導率小)と破線(熱伝導重大)は熱伝導率の異なる2種
類の保護フィルタを使用した例である。同図から明らか
なように、熱伝導率の大きい保護フィルタを使用した場
合には、使用場所の雰囲気温度(T1)に対するフィル
タ内雰囲気温度(T2)およびセンサ温度(’T”3)
の追従性が高(、T2とT3間に大きな温度差が生じて
結露が発生しやすい。これに対して、熱伝導率の小さい
保護フィルタを使用した場合にはT1に対するT2およ
びT3の追従性が低く、T2とT3間の温度が小さくて
結露が発生しにくい。
保護フィルタ内雰囲気温度(T2)、センサ温度(T3
)の挙動を概略的に説明するグラフであり、実線(熱伝
導率小)と破線(熱伝導重大)は熱伝導率の異なる2種
類の保護フィルタを使用した例である。同図から明らか
なように、熱伝導率の大きい保護フィルタを使用した場
合には、使用場所の雰囲気温度(T1)に対するフィル
タ内雰囲気温度(T2)およびセンサ温度(’T”3)
の追従性が高(、T2とT3間に大きな温度差が生じて
結露が発生しやすい。これに対して、熱伝導率の小さい
保護フィルタを使用した場合にはT1に対するT2およ
びT3の追従性が低く、T2とT3間の温度が小さくて
結露が発生しにくい。
第2表から明らかなように、熱伝導率が5 Kcal/
mhr”c以下であれば、実用範囲内において結露の発
生が十分に抑制される。
mhr”c以下であれば、実用範囲内において結露の発
生が十分に抑制される。
なお、保護フィルタの細孔の平均細孔径は粉塵の除去性
能、使用雰囲気の湿度変化に対するフィルタ内雰囲気の
応答性に関係し、これらの両性能を考慮すれば第5図お
よび第6図に示すように細孔径が0.05〜500μm
であることが好ましい。第5図は通常の使用雰囲気にお
けるフィルタの細孔径と粉襄の除去性能との関係を示し
ており、除去性能80%以上が好ましい。また、第6図
は常温、湿度80%の雰囲気を湿度90%に変化させた
場合におけるフィルタの細孔径とフィルタ内湿度の応答
時間との関係を示しており、応答時間10分以上が好ま
しい。
能、使用雰囲気の湿度変化に対するフィルタ内雰囲気の
応答性に関係し、これらの両性能を考慮すれば第5図お
よび第6図に示すように細孔径が0.05〜500μm
であることが好ましい。第5図は通常の使用雰囲気にお
けるフィルタの細孔径と粉襄の除去性能との関係を示し
ており、除去性能80%以上が好ましい。また、第6図
は常温、湿度80%の雰囲気を湿度90%に変化させた
場合におけるフィルタの細孔径とフィルタ内湿度の応答
時間との関係を示しており、応答時間10分以上が好ま
しい。
(1)湿度センサ
本実施例に使用した湿度センサは山武ハネウェル株式会
社製静電容量式湿度センサであり、同センサは同社製相
対湿度・温度検出器RHS 101゜RH3102等に
装備されている。しかして、同センサは第1図および第
2図に示すように検出器の筒体11の先端に突出して設
けられており、筒体11の先端に嵌着された有底筒状の
保護フィルタ12により覆蓋されている。湿度センサ2
0は第3図に示すようにガラス基板21、一対の下部電
極22 a、 22 b、吸湿性高分子薄膜誘導体2
3および上部電極24からなる4 X 6X Q、24
mの微小のもので、各下部電極22a、22bに高周波
電圧を通電することにより、上部電橋24との対向面積
間に一対のコンデンサが直列接続された回路が形成され
る。従って、誘導体23の水分に起因する誘導率の変化
がコンデンサ容量の変化として表われ、コンデンサ容量
の変化を測定することにより誘導体23の周囲の相対湿
度が測定できる。
社製静電容量式湿度センサであり、同センサは同社製相
対湿度・温度検出器RHS 101゜RH3102等に
装備されている。しかして、同センサは第1図および第
2図に示すように検出器の筒体11の先端に突出して設
けられており、筒体11の先端に嵌着された有底筒状の
保護フィルタ12により覆蓋されている。湿度センサ2
0は第3図に示すようにガラス基板21、一対の下部電
極22 a、 22 b、吸湿性高分子薄膜誘導体2
3および上部電極24からなる4 X 6X Q、24
mの微小のもので、各下部電極22a、22bに高周波
電圧を通電することにより、上部電橋24との対向面積
間に一対のコンデンサが直列接続された回路が形成され
る。従って、誘導体23の水分に起因する誘導率の変化
がコンデンサ容量の変化として表われ、コンデンサ容量
の変化を測定することにより誘導体23の周囲の相対湿
度が測定できる。
(2)保護フィルタ
第1図および第2図に示す検出器の筒体11の先端に嵌
着させるため外径18.5m、内径12w、長さ30鶴
の有底筒状のフィルタを、第1表に示すように4種類作
製した。なお、各フィルタ12の開口端部には同図に示
すように、筒体11の先端取付部に螺合するネジ部を有
する合成樹脂製の筒体13を接着している。なお、この
筒体13は金属製、セラミックス製であってもよい。
着させるため外径18.5m、内径12w、長さ30鶴
の有底筒状のフィルタを、第1表に示すように4種類作
製した。なお、各フィルタ12の開口端部には同図に示
すように、筒体11の先端取付部に螺合するネジ部を有
する合成樹脂製の筒体13を接着している。なお、この
筒体13は金属製、セラミックス製であってもよい。
第1表
a:アルミナ−シリカ系
b:アルミナ系
C:アルミナ系
d:青銅
(3)8式験
湿度測定雰囲気を温度0℃、相対湿度10%に調節して
これを基準の条件とし、かかる雰囲気を第2表に示す所
定の温度および相対湿度に変更してこれを2時間保持し
、その後かかる雰囲気を基準の条件に戻してこれを2時
間保持する。以上の雰囲気の変更を100回繰返し、湿
度センサの湿度検出機能の有無を測定した。なお、同表
中○印は湿度記録計による湿度記録が可能な場合を示し
、またx印はセンサ表面に結露が発生し、湿度記録計が
振切れて湿度記録が不可能な場合を示し、熱伝導率が5
Kcal / mhr ℃より高いフィルタを使用した
場合には湿度を検出し得ないことがある。
これを基準の条件とし、かかる雰囲気を第2表に示す所
定の温度および相対湿度に変更してこれを2時間保持し
、その後かかる雰囲気を基準の条件に戻してこれを2時
間保持する。以上の雰囲気の変更を100回繰返し、湿
度センサの湿度検出機能の有無を測定した。なお、同表
中○印は湿度記録計による湿度記録が可能な場合を示し
、またx印はセンサ表面に結露が発生し、湿度記録計が
振切れて湿度記録が不可能な場合を示し、熱伝導率が5
Kcal / mhr ℃より高いフィルタを使用した
場合には湿度を検出し得ないことがある。
第2表
第1図は本発明に係る保護フィルタを備えた湿度検出器
の斜視図、第2図は同検出器に嵌着した保護フィルタの
拡大断面図、第3図は湿度センサの分解斜視図、第4図
は湿度を測定する雰囲気温度、保護フィルタ内雰囲気温
度およびセンサ温度の挙動を示すグラフ、第5図は保護
フィルタの細孔径と粉塵の除去性能との関係を示すグラ
フ、第6図は同フィルタの細孔径とフィルタ内温度の応
答時間との関係を示すグラフである。 符号の説明 11・・・筒体、12・・・保護フィルタ、20・・・
湿度センサ。
の斜視図、第2図は同検出器に嵌着した保護フィルタの
拡大断面図、第3図は湿度センサの分解斜視図、第4図
は湿度を測定する雰囲気温度、保護フィルタ内雰囲気温
度およびセンサ温度の挙動を示すグラフ、第5図は保護
フィルタの細孔径と粉塵の除去性能との関係を示すグラ
フ、第6図は同フィルタの細孔径とフィルタ内温度の応
答時間との関係を示すグラフである。 符号の説明 11・・・筒体、12・・・保護フィルタ、20・・・
湿度センサ。
Claims (2)
- (1)感湿部材の付着水分量に応じた電気的変化を生じ
させる湿度センサを覆蓋する保護フィルタであり、当該
保護フィルタは連続する多数の細孔を有しかつ熱伝導率
が5Kca1/mhr℃以下の多孔質セラミックスであ
ることを特徴とする湿度センサ用保護フィルタ。 - (2)細孔の平均細孔径が0.05〜500μmである
特許請求の範囲第1項に記載の湿度センサ用保護フィル
タ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27902386A JPH0617886B2 (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 湿度センサ用保護フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27902386A JPH0617886B2 (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 湿度センサ用保護フイルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63132152A true JPS63132152A (ja) | 1988-06-04 |
JPH0617886B2 JPH0617886B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=17605315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27902386A Expired - Lifetime JPH0617886B2 (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 湿度センサ用保護フイルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0617886B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03165247A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿装置 |
GB2391622A (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-11 | Amgas Ltd | Protecting gas sensors from condensation |
JP2006071640A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | General Electric Co <Ge> | 湿度センサ保護シールド |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP27902386A patent/JPH0617886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03165247A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿装置 |
GB2391622A (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-11 | Amgas Ltd | Protecting gas sensors from condensation |
GB2391622B (en) * | 2002-07-31 | 2005-07-27 | Amgas Ltd | Condensation filter |
JP2006071640A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | General Electric Co <Ge> | 湿度センサ保護シールド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0617886B2 (ja) | 1994-03-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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