JPS5868655A - 湿度検知素子 - Google Patents
湿度検知素子Info
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- JPS5868655A JPS5868655A JP16842581A JP16842581A JPS5868655A JP S5868655 A JPS5868655 A JP S5868655A JP 16842581 A JP16842581 A JP 16842581A JP 16842581 A JP16842581 A JP 16842581A JP S5868655 A JPS5868655 A JP S5868655A
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- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、感湿面を保護する濾過体を、主として活性炭
からなる布９紙、マット等で構成した、外部環境条件に
対して安定、かつ小型で高精度。
からなる布９紙、マット等で構成した、外部環境条件に
対して安定、かつ小型で高精度。
高応答性の湿度検知素子に関するものである。
湿度検知素子の信頼性を論す°る場合、最大の間。
題点け、外部環境条件に対する素子特性の安定性、すな
わち相対湿度〜電気信号値（抵抗、静電容量。
わち相対湿度〜電気信号値（抵抗、静電容量。
その他）相関の不変性である。外部環境条件としては、
煙、油煙、一般塵埃、有機溶媒蒸気、空中浮遊イオン等
が考えられる。これ等、素子に対して有害な物質から感
湿面を保護するために、従来は特に耐環境性に重薇をお
いて、材料を選択した結果、主として活性炭からなる布
を、素子の外周部に装着し、通気部材としての濾過体と
して使用していた。
煙、油煙、一般塵埃、有機溶媒蒸気、空中浮遊イオン等
が考えられる。これ等、素子に対して有害な物質から感
湿面を保護するために、従来は特に耐環境性に重薇をお
いて、材料を選択した結果、主として活性炭からなる布
を、素子の外周部に装着し、通気部材としての濾過体と
して使用していた。
しかし、活性用を始めとして、このような濾過体の材料
は、各々に特有の湿度容閂を有しているため、後述のよ
うな問題が生じていた。
は、各々に特有の湿度容閂を有しているため、後述のよ
うな問題が生じていた。
一つは、感湿応答性の低下である。以後本発明者が既に
発表した静電容量変化型７１１４度センサに例えて説明
する。相対湿度を、低湿度（２０％ＲＨ）から、急激に
高湿度（９０％ＲＨ）に変えた場合、素子単体だとその
静電容量は１分以内に追従して変化する。しかし、素子
の外周に、主として活性炭からなる濾過体を装着した場
合、その種類、厚さ、秤量等の材料の性質により異なる
が、静電容搦・の追従には、１分以上の時間を要し、最
大３０分近い例も見′られた。
発表した静電容量変化型７１１４度センサに例えて説明
する。相対湿度を、低湿度（２０％ＲＨ）から、急激に
高湿度（９０％ＲＨ）に変えた場合、素子単体だとその
静電容量は１分以内に追従して変化する。しかし、素子
の外周に、主として活性炭からなる濾過体を装着した場
合、その種類、厚さ、秤量等の材料の性質により異なる
が、静電容搦・の追従には、１分以上の時間を要し、最
大３０分近い例も見′られた。
他の一つは、ヒステリシスの増大である。本素子を、風
呂場のような比較的相対湿度の高い場所で常用していて
、ある時だけ居間のように相対湿度が低い部屋に持って
来て使用した場合、素子単体だと直ちに、居間の相対湿
度に対応した静電容量値を示す。しかし、前記のような
沖週体を装着した場合、風呂場で使用していた時の水分
の影響があり、居間の相対湿度に対して予測さＪする静
電容搦より、６〜３０％程高い値を示すことがある。
呂場のような比較的相対湿度の高い場所で常用していて
、ある時だけ居間のように相対湿度が低い部屋に持って
来て使用した場合、素子単体だと直ちに、居間の相対湿
度に対応した静電容量値を示す。しかし、前記のような
沖週体を装着した場合、風呂場で使用していた時の水分
の影響があり、居間の相対湿度に対して予測さＪする静
電容搦より、６〜３０％程高い値を示すことがある。
こね等の現象は、いすねも該ｐ週休材料の持つ湿度容量
に起因するも゛のであり、できるだけ未装着時と同じ値
を示すよう、過去様々な研究がなされてきた。
に起因するも゛のであり、できるだけ未装着時と同じ値
を示すよう、過去様々な研究がなされてきた。
本発明は、以上のような従来の欠点を解決するものであ
り、耐環境性の良い湿度検知素子、すなわち素子本体の
外周部に適当なｒ週休材料を装着−して、油、煙、一般
塵埃等の環境の中で使用して検知素子を提供するもので
ある。以下、本発明の具体的な実施例について、図面を
用い説明する。
り、耐環境性の良い湿度検知素子、すなわち素子本体の
外周部に適当なｒ週休材料を装着−して、油、煙、一般
塵埃等の環境の中で使用して検知素子を提供するもので
ある。以下、本発明の具体的な実施例について、図面を
用い説明する。
第１図（ａ）、 （ｂ）は、本発明を適用した静′市容
ｄ変化型湿度検知素子本体の断面図であり、このうち図
（−）は同本体の装部をなす感湿部を・■、し、図（ｂ
）は”ラジアルタイプ″に構成された湿度検知素子本体
を示す。
ｄ変化型湿度検知素子本体の断面図であり、このうち図
（−）は同本体の装部をなす感湿部を・■、し、図（ｂ
）は”ラジアルタイプ″に構成された湿度検知素子本体
を示す。
湿度検知素子本体は、図（ａ）のごとく例えば直径１朋
のタンタルワイヤ１の表面に、厚さ１００〜１０００
人の酸化タンタル皮膜２を設け、その上に二酸化マンガ
ン膜３を厚さ数十から数百ミリミクロンに形成し、さら
にその上にカーボンおよび銀ペイントからなる対極層４
を設けてなる。図（ｂ）に示したのは、この素子本体を
、小型コネクタ６に固定して構成したものであり、陽極
リード６と陰極リード７が並行して設けられている。こ
のような構成の湿度検知素子本体は、相対湿度に対して
直線的かつ可逆的に静電容量値が変化し、第２図に示す
ような特性を示し、湿度検知素子とじての機能を有して
いる。
のタンタルワイヤ１の表面に、厚さ１００〜１０００
人の酸化タンタル皮膜２を設け、その上に二酸化マンガ
ン膜３を厚さ数十から数百ミリミクロンに形成し、さら
にその上にカーボンおよび銀ペイントからなる対極層４
を設けてなる。図（ｂ）に示したのは、この素子本体を
、小型コネクタ６に固定して構成したものであり、陽極
リード６と陰極リード７が並行して設けられている。こ
のような構成の湿度検知素子本体は、相対湿度に対して
直線的かつ可逆的に静電容量値が変化し、第２図に示す
ような特性を示し、湿度検知素子とじての機能を有して
いる。
第３図は本発明による湿度検知素子の断面図で、活性炭
繊維を含む布で構成しだ沖週体が前記湿度検知素子本体
の外周に装着されている。第４図は沢週体の一部を示す
図である。第３図に示すように、素子本体２０の一端部
は半田層８を介して陰ｆＴｈ ＩＪ−ドロと接続されて
おり、他端部はスポット溶接により陽極リード７と接続
されている。この外周に、有底円筒形のｐ過体９をその
開口部で、コネクタ台１ｏを挾持した状態になるよう装
着している。この他にも、ｐ週休の形状、装着方法は、
使用目的、場所、サイズ等により種々考えられるが、外
部環境の水蒸気を含んだ気流は、必らず／／−１過体を
通過して素子本体に到達するものである。
繊維を含む布で構成しだ沖週体が前記湿度検知素子本体
の外周に装着されている。第４図は沢週体の一部を示す
図である。第３図に示すように、素子本体２０の一端部
は半田層８を介して陰ｆＴｈ ＩＪ−ドロと接続されて
おり、他端部はスポット溶接により陽極リード７と接続
されている。この外周に、有底円筒形のｐ過体９をその
開口部で、コネクタ台１ｏを挾持した状態になるよう装
着している。この他にも、ｐ週休の形状、装着方法は、
使用目的、場所、サイズ等により種々考えられるが、外
部環境の水蒸気を含んだ気流は、必らず／／−１過体を
通過して素子本体に到達するものである。
沖過体材料としては、種々試験した結果、水蒸気透過性
を有し、かつ煙、油煙、一般塵埃、有機溶媒蒸気、空中
浮遊イオン等の外部環境条件における、湿度検知素子に
対する有害物質を、効率良く捕獲するものとして、使い
やすさも考え合わせたうえで、活性炭繊維を選択した。
を有し、かつ煙、油煙、一般塵埃、有機溶媒蒸気、空中
浮遊イオン等の外部環境条件における、湿度検知素子に
対する有害物質を、効率良く捕獲するものとして、使い
やすさも考え合わせたうえで、活性炭繊維を選択した。
ここで主として活性炭繊維からなるθ・週体伺ネ」につ
いて説明する。第４図に示１″ように、直径０．１〜２
ｏ胴のフェノール系繊細を原料として得られる活性炭繊
維１１とバインダーとしてアセテート繊維１２を５０ｗ
ｔ％ずつ混抄し、不織布を構成する。この不織布を、Ｃ
ＭＣ（カルボキシ・メチル・セルローズ）の２％水溶液
に浸漬したのち乾燥し、素子の寸法に合わせて有底円筒
形に成形し、素子本体に装着する。この時、不織布の厚
さは、３０〜３００７１ｍの範囲に選ぶと良い。ただし
、この測定法はＪＩＳＬ１ｏ７９によるものであり、測
定時の加圧は２０ ｙ／ｃｄｉに調整されている。不織
布がこれより薄いと破れ易く、厚いと加工が困難になり
、゛いずれにしても取扱いが難しくなる。更に、不織布
を素子に装着した場合、通気度が問題しでなる。通気度
は、ＪＩＳＬ１０７９に規定するフラジール型法によっ
て測定して、少くとも５ ＣＣ／ｃ４／ｓｅａ 以上
の値が必要である。何故なら、通気度がこれ以上低くな
ると、素子本体の湿度応答伯。
いて説明する。第４図に示１″ように、直径０．１〜２
ｏ胴のフェノール系繊細を原料として得られる活性炭繊
維１１とバインダーとしてアセテート繊維１２を５０ｗ
ｔ％ずつ混抄し、不織布を構成する。この不織布を、Ｃ
ＭＣ（カルボキシ・メチル・セルローズ）の２％水溶液
に浸漬したのち乾燥し、素子の寸法に合わせて有底円筒
形に成形し、素子本体に装着する。この時、不織布の厚
さは、３０〜３００７１ｍの範囲に選ぶと良い。ただし
、この測定法はＪＩＳＬ１ｏ７９によるものであり、測
定時の加圧は２０ ｙ／ｃｄｉに調整されている。不織
布がこれより薄いと破れ易く、厚いと加工が困難になり
、゛いずれにしても取扱いが難しくなる。更に、不織布
を素子に装着した場合、通気度が問題しでなる。通気度
は、ＪＩＳＬ１０７９に規定するフラジール型法によっ
て測定して、少くとも５ ＣＣ／ｃ４／ｓｅａ 以上
の値が必要である。何故なら、通気度がこれ以上低くな
ると、素子本体の湿度応答伯。
ヒステリシス等が著しく劣化するからである。この通気
度Ｖ［、不織（ｔｉの素材、厚さ、秤Ｔｉ゛等と密接な
関係があり、相ｐ１に関連深い数値であるが、素子一本
体の特ｆ［に対する影響という観点からみＪｌば、通気
度で代表させることができる。参−考までに、木発明者
が実験した結果の一部を第１表に示す５、なお実験の詳
細−や■実体的なデータについては後に説明する。
度Ｖ［、不織（ｔｉの素材、厚さ、秤Ｔｉ゛等と密接な
関係があり、相ｐ１に関連深い数値であるが、素子一本
体の特ｆ［に対する影響という観点からみＪｌば、通気
度で代表させることができる。参−考までに、木発明者
が実験した結果の一部を第１表に示す５、なお実験の詳
細−や■実体的なデータについては後に説明する。
第 １ 表
この実験に使用した不織布は、前述のようにフェノール
系繊維を原料として得られる直径５．０ＩＩＩＩＩｌ）
）活性炭繊維６ｏｗｔ係と、直１ｆ１０ 、 Ｏｍｍの
アセテート繊組５ ＯＷ を係を混抄しｋものである４
、応答ｆｌ。
系繊維を原料として得られる直径５．０ＩＩＩＩＩｌ）
）活性炭繊維６ｏｗｔ係と、直１ｆ１０ 、 Ｏｍｍの
アセテート繊組５ ＯＷ を係を混抄しｋものである４
、応答ｆｌ。
レスポンスにＸ印の付いたものもあるが、こ才りはあく
まで実験−Ｊ二の比較であり、例λ−ば３００ ／Ｉｍ
の不織布を装着した素子を、エアコンの如く同一の部屋
で、長時間連続使用する場合は、実用に耐えるものであ
り、−力応答性が中力になる場合であっても、著しく汚
染された環境下てｉｔ、１トむを得ず使用するような場
合がある。なお、通気度が６０ ＣＣ／ｃｉ／ ８ｅＣ
を超すと、外部環境の汚染物質が透過しやすくなるため
か、耐環境＋１に悪影響を及ぼすことがわかった。なお
ここでは不織布について説明したが、織布２紙、マット
等の状態でも使用可能なことは、勿論である。
まで実験−Ｊ二の比較であり、例λ−ば３００ ／Ｉｍ
の不織布を装着した素子を、エアコンの如く同一の部屋
で、長時間連続使用する場合は、実用に耐えるものであ
り、−力応答性が中力になる場合であっても、著しく汚
染された環境下てｉｔ、１トむを得ず使用するような場
合がある。なお、通気度が６０ ＣＣ／ｃｉ／ ８ｅＣ
を超すと、外部環境の汚染物質が透過しやすくなるため
か、耐環境＋１に悪影響を及ぼすことがわかった。なお
ここでは不織布について説明したが、織布２紙、マット
等の状態でも使用可能なことは、勿論である。
なおまた、本発明を適用した７ｊ、、ｊ度検知素子本体
は、前述のように静電容量変化型であり、それはタンタ
ル、アルミニウム、チタン、ニオブ、ノ翫フ−ウム、ジ
ルコニウムのような弁作用金属またはこれらの合金もし
くはシリコン、ゲルマニウムのように金属基体に、誘電
性陽極酸化皮腋を設け、１１ せた場合の、試料の静電容量〜相対湿度特性を読み取り
、昇温の場合と降温の場合の静電容量値の差を求めた。
は、前述のように静電容量変化型であり、それはタンタ
ル、アルミニウム、チタン、ニオブ、ノ翫フ−ウム、ジ
ルコニウムのような弁作用金属またはこれらの合金もし
くはシリコン、ゲルマニウムのように金属基体に、誘電
性陽極酸化皮腋を設け、１１ せた場合の、試料の静電容量〜相対湿度特性を読み取り
、昇温の場合と降温の場合の静電容量値の差を求めた。
その結果の一部を第６図に、全蔀富３表に示す。
第３表
これ等のデータから、通気度５ ＣＬ／ｃｄ７ ｓ ｅ
ｃ以下の濾過体を装着すると、ヒステリシスが大きく
なり、精度を維持し難いことが分る。但し、本試験では
、昇・降温スピードを１％ＲＨ／分にした力（、これを
−！−％ＲＨ／分位にすれば、試料りの場合でもヒステ
リシスは１．９ｎＦに下がることからみて、前にも述べ
たように、実使用上はそれ程問題にならない場合もある
。なお、この試験は素子に当る風速が０．６ｍ／ｓｅｃ
の環境下で行なわれた力玉、無風状態では更にヒステ
リ・ンスが増大し、風速７５＝大になれば減少すること
は、いうまでもない。
ｃ以下の濾過体を装着すると、ヒステリシスが大きく
なり、精度を維持し難いことが分る。但し、本試験では
、昇・降温スピードを１％ＲＨ／分にした力（、これを
−！−％ＲＨ／分位にすれば、試料りの場合でもヒステ
リシスは１．９ｎＦに下がることからみて、前にも述べ
たように、実使用上はそれ程問題にならない場合もある
。なお、この試験は素子に当る風速が０．６ｍ／ｓｅｃ
の環境下で行なわれた力玉、無風状態では更にヒステ
リ・ンスが増大し、風速７５＝大になれば減少すること
は、いうまでもない。
が高いと思われる国道１号線に面した窓側の、山があた
らない場所に試料を吊るし、長期間にわたって静電容量
の変化を確認した３、その結果の一部を第７図に、全談
第４表に示す。なお第４表における容量比は試験開始時
の静電容量を１００としたときの試験後（６０００時間
経過後）の値をいう。
らない場所に試料を吊るし、長期間にわたって静電容量
の変化を確認した３、その結果の一部を第７図に、全談
第４表に示す。なお第４表における容量比は試験開始時
の静電容量を１００としたときの試験後（６０００時間
経過後）の値をいう。
第４表
以上の結果かられかるように通気度６ ＣＣ／ｃａ／ｓ
ｅＣ以上の濾過体を装着した湿度検知素子は、初期特性
を長期にわたって安定に維持し、外部環境に対して安定
だということがよく分る。但し、応答性やヒステリシス
を重視するあまり、むやみに厚さの薄い、通気度の大々
る不織布で濾過体を形成しても、耐環境性の点で問題が
ありさらには濾過体 ３ の強度上の問題もあることから通気度６０ＣＣ／ｃｙＪ
／ｓｅａ以内に抑えるべきだということも同時に分る。
ｅＣ以上の濾過体を装着した湿度検知素子は、初期特性
を長期にわたって安定に維持し、外部環境に対して安定
だということがよく分る。但し、応答性やヒステリシス
を重視するあまり、むやみに厚さの薄い、通気度の大々
る不織布で濾過体を形成しても、耐環境性の点で問題が
ありさらには濾過体 ３ の強度上の問題もあることから通気度６０ＣＣ／ｃｙＪ
／ｓｅａ以内に抑えるべきだということも同時に分る。
なおこの試験終了後、素子（ト）の対向電極層は、白色
だったのが黒色に変色しており、そこでその素子を蒸留
水に浸漬して数時間煮沸し、この液を質量分析にかけた
ところ、乗用車の廃棄ガスから付着したと思われる硫黄
や塩素イオンが若干検出され、一方濾週体を装着したＡ
からＥの素子からは全く検出されなかった。このことか
らも、濾過体の有する作用がわかる。
だったのが黒色に変色しており、そこでその素子を蒸留
水に浸漬して数時間煮沸し、この液を質量分析にかけた
ところ、乗用車の廃棄ガスから付着したと思われる硫黄
や塩素イオンが若干検出され、一方濾週体を装着したＡ
からＥの素子からは全く検出されなかった。このことか
らも、濾過体の有する作用がわかる。
なお以上の説明では静電容部変化型の湿度検知素子に適
用した場合について述べたが、主として活性炭繊維から
なる布１紙、マット等で構成した通気部材としてのＶ週
休は、外部環境によって素子が変化を受けるような、例
えばガス、温度、光。
用した場合について述べたが、主として活性炭繊維から
なる布１紙、マット等で構成した通気部材としてのＶ週
休は、外部環境によって素子が変化を受けるような、例
えばガス、温度、光。
音などを検知する他の検知素子にも広く応用できるもの
である。
である。
以−にのように本発明は耐環境性および応答性にすぐれ
た高精度の湿度検知素子を提供するものである。
た高精度の湿度検知素子を提供するものである。
４
第１図体）、 （ｂ）はそれぞれ本発明を適用した？Ｗ
ｆｆｌ検知素子本体の断面図、第２図は前記素子本体の
静電容量・相対７３度特性を示す図、第３図は本発明に
よる湿度検知素子の断面図、第４図は前記検知素子の要
部をなす濾過体の断面図、第６図、第６図、第７図はそ
れぞれ本発明の詳細な説明するだめの図でこの順番に湿
度検知素子の感湿応答性。 同ヒステリシス、同耐環境性を示す。 １・・・・・・タンタルワイヤ、２・・・・・酸化タン
タル皮膜、３・・・・・・二酸化マンガン膜、４・・・
・・・対極層、６・・・・・・小型コネクター、６・・
・・・・陽極リード、７・・・工陰極リード、８・・・
・・・半ｔｎ層、９・・・・・・び−・鍋体、１０・・
・・・・コネクタ台、１１・−・・・活＋！１炭繊維、
１２・・・・・・アセテート繊維。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ｔｕ、ｒｔｘ刀１”（％Ｒ）Ｉ） 第３図 ＠５図 経是ＩＩテ閤（利 第６図 耗１．＞湿て（’／、Ｋ）１１ 第７図 試１験竹開（１間）
ｆｆｌ検知素子本体の断面図、第２図は前記素子本体の
静電容量・相対７３度特性を示す図、第３図は本発明に
よる湿度検知素子の断面図、第４図は前記検知素子の要
部をなす濾過体の断面図、第６図、第６図、第７図はそ
れぞれ本発明の詳細な説明するだめの図でこの順番に湿
度検知素子の感湿応答性。 同ヒステリシス、同耐環境性を示す。 １・・・・・・タンタルワイヤ、２・・・・・酸化タン
タル皮膜、３・・・・・・二酸化マンガン膜、４・・・
・・・対極層、６・・・・・・小型コネクター、６・・
・・・・陽極リード、７・・・工陰極リード、８・・・
・・・半ｔｎ層、９・・・・・・び−・鍋体、１０・・
・・・・コネクタ台、１１・−・・・活＋！１炭繊維、
１２・・・・・・アセテート繊維。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ｔｕ、ｒｔｘ刀１”（％Ｒ）Ｉ） 第３図 ＠５図 経是ＩＩテ閤（利 第６図 耗１．＞湿て（’／、Ｋ）１１ 第７図 試１験竹開（１間）
Claims (3)
- （１）主として活性炭繊維から構成され通気度が５〜５
０ ＣＣｌ０ｆＩ／ Ｓｅｃの範囲の通気部材で感湿体
が穆われだことを特徴とする湿度検知素子。 - （２）通気部材の厚みが３０〜３００μｍの範囲にある
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の湿度検知
素子。 - （３）感湿体が金属基体上に形成された誘電性陽極酸化
皮膜上に半導電性金属酸化物膜を設けでなる静電合量変
化型素子であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の湿度検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16842581A JPS5868655A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 湿度検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16842581A JPS5868655A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 湿度検知素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5868655A true JPS5868655A (ja) | 1983-04-23 |
Family
ID=15867878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16842581A Pending JPS5868655A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 湿度検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5868655A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007065620A1 (de) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Testo Ag | Schutzeinrichtung für einen sensor zur messung von parametern eines fluids |
| WO2008009330A1 (de) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Testo Ag | Schutzeinrichtung für einen feuchtesensor in aggressiver atmosphäre |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5658653A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-21 | Shinei Kk | Humidity-sensitive element |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP16842581A patent/JPS5868655A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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| JPS5658653A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-21 | Shinei Kk | Humidity-sensitive element |
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