JPS63132060A - 微細ノズル孔を有する金属板及び製法 - Google Patents
微細ノズル孔を有する金属板及び製法Info
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- JPS63132060A JPS63132060A JP27840686A JP27840686A JPS63132060A JP S63132060 A JPS63132060 A JP S63132060A JP 27840686 A JP27840686 A JP 27840686A JP 27840686 A JP27840686 A JP 27840686A JP S63132060 A JPS63132060 A JP S63132060A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000344 soap Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は微細なノズル孔がおいている金属板、その製法
及び使用方法に関する。もっと詳細に述べると印字方法
の一つであるジェットプリンターのヘットに於いてジェ
ットノズルとして使用するのに好ましい細かい間隔くピ
ッチ）の多数の微細ノズル孔を有する金属ノズル板、及
びそのような構造のノズル板を製造するのに適した方法
に間する。
及び使用方法に関する。もっと詳細に述べると印字方法
の一つであるジェットプリンターのヘットに於いてジェ
ットノズルとして使用するのに好ましい細かい間隔くピ
ッチ）の多数の微細ノズル孔を有する金属ノズル板、及
びそのような構造のノズル板を製造するのに適した方法
に間する。
［従来の技術］
近年細かいピッチの多数の微細ノズル孔を有する金属板
が色々な分野で求められている。現在市場で得られるも
のはピッチがＯ，１ｍｍ＋以上でこれよりもピッチの細
かいノズル板は市場では得られない。
が色々な分野で求められている。現在市場で得られるも
のはピッチがＯ，１ｍｍ＋以上でこれよりもピッチの細
かいノズル板は市場では得られない。
一般にノズル板は次の方法で作られている。
１）金属板（主にＳＵＳ＞に写真法で、溝をつけ、エツ
チング法で溝を深くし、レジスト等を剥離した後、別の
薄い金属板（主に５ＵＳ）の表面に低融点金属（Ｃｕな
ど）をミクロン単位でつけた後低融点金属の面を間に挟
んだ形で溝を付けた金属板と重ね合わせ加熱溶融してノ
ズル板とする。
チング法で溝を深くし、レジスト等を剥離した後、別の
薄い金属板（主に５ＵＳ）の表面に低融点金属（Ｃｕな
ど）をミクロン単位でつけた後低融点金属の面を間に挟
んだ形で溝を付けた金属板と重ね合わせ加熱溶融してノ
ズル板とする。
２）１）の金属板を異種金属と２枚の積層にした後一方
の金属層をエツチングして溝をつけ１）と同様な方法で
別の金属板を重ねあわせてノズル板とする。
の金属層をエツチングして溝をつけ１）と同様な方法で
別の金属板を重ねあわせてノズル板とする。
［発明が解決しようとする問題点コ
以上いずれの方法においても金属表面に写真法で印画し
エツチング法で所定の溝を彫らねばならない。この方法
には工程順に説明すると次の様な欠点がある。金属板の
表面を脱脂、洗浄した後耐酸性レジストを塗布し乾燥す
る。この際エツチングに耐える膜厚とするため３〜１０
μのレジスト膜とする。次に予め用意しであるフィルム
を密着させ紫外線を照射する。３〜１０μのレジスト膜
厚にフィルムを通して光を照射すると本来光が当っては
ならないフィルムの裏側へ３〜５μの中で光が洩れ、は
っきりした境界が出来ない。従って次の工程である現像
時に境界を拡大して見るとその中に±１〜３μのむらが
見られる。更に耐酸性レジストの解像力はレジスト膜厚
にもよるが４０μの解像力しかない。次に金属の露出部
分を例えば塩化第２鉄溶液などを腐食液として腐食する
。
エツチング法で所定の溝を彫らねばならない。この方法
には工程順に説明すると次の様な欠点がある。金属板の
表面を脱脂、洗浄した後耐酸性レジストを塗布し乾燥す
る。この際エツチングに耐える膜厚とするため３〜１０
μのレジスト膜とする。次に予め用意しであるフィルム
を密着させ紫外線を照射する。３〜１０μのレジスト膜
厚にフィルムを通して光を照射すると本来光が当っては
ならないフィルムの裏側へ３〜５μの中で光が洩れ、は
っきりした境界が出来ない。従って次の工程である現像
時に境界を拡大して見るとその中に±１〜３μのむらが
見られる。更に耐酸性レジストの解像力はレジスト膜厚
にもよるが４０μの解像力しかない。次に金属の露出部
分を例えば塩化第２鉄溶液などを腐食液として腐食する
。
第２図はエツチング深度とサイドエッチの関係を示すた
めの説明図であるが、第２図に示すように上記の場合腐
食深度（１）が溝の深さとなり、フィルム時の溝中（３
＋ ２Ｘ ２）となる。エツチング深度（１）とサイド
エッチとの関係は約ｌ：ｌとなる。
めの説明図であるが、第２図に示すように上記の場合腐
食深度（１）が溝の深さとなり、フィルム時の溝中（３
＋ ２Ｘ ２）となる。エツチング深度（１）とサイド
エッチとの関係は約ｌ：ｌとなる。
図中５は溝のピッチである。 レジストの解像力を４０
μとすれば（３）、（４）共に４０μとする事が出来る
が１を５０μとすれば２が５０μとなり溝中は４０＋
（５０Ｘ ２＞ ＝１４０μとなる。即ち溝の深さく１
）が５０μの場合溝中は１４０μ以下に細かくすること
が出来ないことになる。又ゴミ等で断線する可能性を含
み１＠１個寸法が違っている。
μとすれば（３）、（４）共に４０μとする事が出来る
が１を５０μとすれば２が５０μとなり溝中は４０＋
（５０Ｘ ２＞ ＝１４０μとなる。即ち溝の深さく１
）が５０μの場合溝中は１４０μ以下に細かくすること
が出来ないことになる。又ゴミ等で断線する可能性を含
み１＠１個寸法が違っている。
以上説明した様に写真法では工程が多様で、高解像が得
られないことから本発明の対象となる様な微細ノズル孔
を作るための溝を金属表面に作ることは全く不可能であ
った。従って微細ノズル孔を作るための溝を製造するに
は全く新規な方法によらなけらばならない。
られないことから本発明の対象となる様な微細ノズル孔
を作るための溝を金属表面に作ることは全く不可能であ
った。従って微細ノズル孔を作るための溝を製造するに
は全く新規な方法によらなけらばならない。
口問題を解決する手段］
微細ノズル孔を有する金属板を作るための溝を有する金
属板は以下説明する様な本発明の方法によって作られる
。
属板は以下説明する様な本発明の方法によって作られる
。
例えば第３図のごとくある一片の長さを持った２種類の
金属ＡとＢを交互に一定の厚さまで積層して接着する。
金属ＡとＢを交互に一定の厚さまで積層して接着する。
次に第４図のごとく積層方向に対して角度のある（９０
°が好ましい）表面（Ｊ５）を研磨する。
°が好ましい）表面（Ｊ５）を研磨する。
次に第５図に示すごとく研磨後洗浄した金属表面（６）
をＢのみを腐食する腐食液で例えば３０μ腐食するとＢ
のみが腐食され、側面に一定長さのうねと溝の出来た凹
凸断面の金属積層体を作ることが出来る。これをマスタ
ーく母型）とする。
をＢのみを腐食する腐食液で例えば３０μ腐食するとＢ
のみが腐食され、側面に一定長さのうねと溝の出来た凹
凸断面の金属積層体を作ることが出来る。これをマスタ
ーく母型）とする。
次に第６図のごとくその表面に酸化金属なとの剥離処理
（７）を施した後化学メッキをも含むメッキ法で例えば
Ｎ１メッキ（８）をする。
（７）を施した後化学メッキをも含むメッキ法で例えば
Ｎ１メッキ（８）をする。
次に剥ｉｔＮを墳にしてメッキ金属部をはがすと第７図
の様に表面に溝（９）のある金属板（１０）が得られる
。
の様に表面に溝（９）のある金属板（１０）が得られる
。
次に第１図のごとく１板金属板！１をうねと溝のある面
にはりつけて微細ノズル孔１２を有する金属板１２とす
る。
にはりつけて微細ノズル孔１２を有する金属板１２とす
る。
薄板金属（１１）は表面に鋼なとの低融点金属を薄く付
け、これをはさむようにして金属板（ｌＯ）と重ねあわ
せ、加熱融着するのが好ましい。
け、これをはさむようにして金属板（ｌＯ）と重ねあわ
せ、加熱融着するのが好ましい。
次に実施例を挙げて本発明の方法とその効果を示す。
実施母 メプ４ 薄板孔寸ビツヂｆＬ！ｌＬＱ！
Ｌ山帆ｙ）ｑΩ０且ＬＭ ｍｍ 【■−−１ ＳＵ
Ｓ／Ｃｕ Ｎｉ Ｎｉ Ｏ，０５０，＋５０
０１５ｃｍ（０，０５１０，０５） ２ ５ＬＩＳ／Ｆｅ Ｎｉ Ｎｉ Ｏ，１０
，２２５０１５ｃｍ（０，０５１０，０５） 実施 良独 ＬｆＬ− １ソ゛エットノス゛ｎ用として使用可 ２ 同上 得られた金属板を何列も重ねて２次元的に多数の微細孔
が配列されたノズル板とすることも出来る。
Ｌ山帆ｙ）ｑΩ０且ＬＭ ｍｍ 【■−−１ ＳＵ
Ｓ／Ｃｕ Ｎｉ Ｎｉ Ｏ，０５０，＋５０
０１５ｃｍ（０，０５１０，０５） ２ ５ＬＩＳ／Ｆｅ Ｎｉ Ｎｉ Ｏ，１０
，２２５０１５ｃｍ（０，０５１０，０５） 実施 良独 ＬｆＬ− １ソ゛エットノス゛ｎ用として使用可 ２ 同上 得られた金属板を何列も重ねて２次元的に多数の微細孔
が配列されたノズル板とすることも出来る。
口本発明の効果コ
本発明の微細孔ノズルを有する金属板の製法では母型を
１つ造れば後はこれを何回も使用してメまた２種類の金
属板を用いて腐食により母型を製作するから、深さに対
して幅の小さい溝部を有する母型を製作でき、又母型の
溝部の側面がえぐられることがなく、従フて微細且つ正
確な形状のノズル穴を有することとなり、又同一厚みの
箔を重ねて母型を製作するので、間隔の等しいノズル孔
を得ることが出来る。
１つ造れば後はこれを何回も使用してメまた２種類の金
属板を用いて腐食により母型を製作するから、深さに対
して幅の小さい溝部を有する母型を製作でき、又母型の
溝部の側面がえぐられることがなく、従フて微細且つ正
確な形状のノズル穴を有することとなり、又同一厚みの
箔を重ねて母型を製作するので、間隔の等しいノズル孔
を得ることが出来る。
更に、本発明の方法で製造された微細孔を有する金属板
は＠細孔の長さを任意の長さに出来、微細でもノズルの
長さを長くとることが可能である。
は＠細孔の長さを任意の長さに出来、微細でもノズルの
長さを長くとることが可能である。
第１図本発明の微細孔ノズルを有する金属板の概略断面
図。 第２図はエッチレグ深度とサイドエッチの関係を示す先
行技術の説明用金属板の概略断面図。 第３図は本発明方法で腐食特性の異なるＡ、８２種類の
金属薄板を積層して、ある程度の厚味のものにした金属
板の概略断面図。 第４図は上記積層板の厚味の方向の表面を研磨・洗浄し
た状況を示す概略断面図。 第５図はＢのみを腐食する腐食液で凹凸の出来た母型と
して使用する金属板を作った状況を示す概略断面図。 第６図は表面に剥離処理を施した後メッキした状況を示
す概略断面図。 第７図は剥離層を境にして凹部を有するメッキ金属部を
剥がした状況を示す概略断面図である。
図。 第２図はエッチレグ深度とサイドエッチの関係を示す先
行技術の説明用金属板の概略断面図。 第３図は本発明方法で腐食特性の異なるＡ、８２種類の
金属薄板を積層して、ある程度の厚味のものにした金属
板の概略断面図。 第４図は上記積層板の厚味の方向の表面を研磨・洗浄し
た状況を示す概略断面図。 第５図はＢのみを腐食する腐食液で凹凸の出来た母型と
して使用する金属板を作った状況を示す概略断面図。 第６図は表面に剥離処理を施した後メッキした状況を示
す概略断面図。 第７図は剥離層を境にして凹部を有するメッキ金属部を
剥がした状況を示す概略断面図である。
Claims (4)
- （１）交互に一定長さのうねと溝を形成している金属箔
積層板側面を母型とし、その上でメッキ形成・剥離して
得ることにより断面が微細凹凸状の交互に一定長さの溝
とうねを形成している面を有するメッキ板のうねの頂面
上に平坦な薄板金属板を接着して形成した一定長さの微
細孔ノズルを有する金属板。 - （２）メッキ板がニッケル又はニッケル合金の電気メッ
キ又は化学メッキにより形成されたものである特許請求
の範囲第（１）項の金属板。 - （３）腐食特性の異なる２種類の金属箔を交互に重ね合
わせ積層し、 形成された積層板側面を研磨、平坦化し、該側面を１種
類の金属箔のみ腐食するエッチング液でエッチングして
該側面に一定長さのうねと溝を形成し、該側面を母型と
して母型上に十分な厚み迄メッキした後メッキ金属層を
剥離して対応する微細な一定長さの溝とうねを有するメ
ッキ板を形成し、 該メッキ板の交互に溝とうねが形成されている面のうね
の頂面を平坦にそろえた後、うねの頂面上に平坦な薄板
金属板を接着することからなる、微細孔ノズルを有する
金属板の製造方法。 - （４）交互に一定長さのうねと溝を形成している金属箔
積層板側面を母型とし、その上でメッキ形成・剥離して
得ることにより断面が微細凹凸状の交互に一定長さの溝
とうねを形成している面を有するメッキ板の該うねの頂
面上に平坦な薄板金属板を接着して形成した一定長さの
微細孔ノズルを有する金属板をインクジェットプリンタ
ーのヘッドに於けるインクジェット用ノズルとして使用
することからなる該金属板の使用方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27840686A JPS63132060A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 微細ノズル孔を有する金属板及び製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27840686A JPS63132060A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 微細ノズル孔を有する金属板及び製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63132060A true JPS63132060A (ja) | 1988-06-04 |
Family
ID=17596902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27840686A Pending JPS63132060A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 微細ノズル孔を有する金属板及び製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63132060A (ja) |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP27840686A patent/JPS63132060A/ja active Pending
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