JPS63131353A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS63131353A JPS63131353A JP27837286A JP27837286A JPS63131353A JP S63131353 A JPS63131353 A JP S63131353A JP 27837286 A JP27837286 A JP 27837286A JP 27837286 A JP27837286 A JP 27837286A JP S63131353 A JPS63131353 A JP S63131353A
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Links
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Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光磁気ディスク、テープ、カード等のレーザー
ビームを用いて情報を高密度に記録するの(ご用いられ
ろ光磁気記録媒体に関するものであり、特にテルビウム
、鉄およびコバルトより成る3元素光磁気記録材の改良
に関するものである。
ビームを用いて情報を高密度に記録するの(ご用いられ
ろ光磁気記録媒体に関するものであり、特にテルビウム
、鉄およびコバルトより成る3元素光磁気記録材の改良
に関するものである。
(発明の背景)
希土類−遷移金属(r?、−T)よる成るアモルファス
合金薄膜を有する光磁気記録媒体にレーザービームを用
いて熱−磁気記録し、光−磁気再生することは既に周知
である。上記R−T膜としてはTbFe、GdTbFe
、TbFeCo等が提案されており、実験室レベルでは
既に十分な性能のものが作られている。光磁気記録方式
の実用化上の最大の問題点は記録媒体の耐久性である。
合金薄膜を有する光磁気記録媒体にレーザービームを用
いて熱−磁気記録し、光−磁気再生することは既に周知
である。上記R−T膜としてはTbFe、GdTbFe
、TbFeCo等が提案されており、実験室レベルでは
既に十分な性能のものが作られている。光磁気記録方式
の実用化上の最大の問題点は記録媒体の耐久性である。
すなわち、上記アモルファス合金薄膜は空気中の酸素、
水分によって酸化され易いため、記録膜の性質が時間の
経過とともに変化する。そのため、記録膜の記録−再生
特性が経時変化し、この変化が許容限度を超えると、最
悪の場合には記録・再生が不可能になる。
水分によって酸化され易いため、記録膜の性質が時間の
経過とともに変化する。そのため、記録膜の記録−再生
特性が経時変化し、この変化が許容限度を超えると、最
悪の場合には記録・再生が不可能になる。
従って、耐久性に優れたR−Tアモルファス光磁気記録
膜の開発が強く望まれている。
膜の開発が強く望まれている。
上記問題点を解決する、すなわち記録膜の耐久性を向上
さける対策としては2つの方法があり、一つは保護膜を
用いる方法であり、他はR−T合金の組成そのものの耐
久性を向上させる方法であり、本発明は後者の場合であ
る。
さける対策としては2つの方法があり、一つは保護膜を
用いる方法であり、他はR−T合金の組成そのものの耐
久性を向上させる方法であり、本発明は後者の場合であ
る。
(従来技術)
耐久性を向上させた光磁気記録材用R−T合金組成に関
しては既に種々のアイデアが提案されている。例えば特
開昭59−168953号ではGdTbFeCoにSi
を0.1〜30原子%添加している。また、R−T合金
組成に耐久性を向上させろための他の成分を添加するこ
とに関した研究報告としては「電気学会研究会資料−マ
グネティック研究会」(昭60年)のMAG−85−8
0およびMAG−85−81がある。前者ではA I、
Cr。
しては既に種々のアイデアが提案されている。例えば特
開昭59−168953号ではGdTbFeCoにSi
を0.1〜30原子%添加している。また、R−T合金
組成に耐久性を向上させろための他の成分を添加するこ
とに関した研究報告としては「電気学会研究会資料−マ
グネティック研究会」(昭60年)のMAG−85−8
0およびMAG−85−81がある。前者ではA I、
Cr。
T i、Moの添加効果が記載されており、後者でもC
r、Cu、Ag、AI、Sb、AI、Moの添加効果が
記載されている。本発明はこれらの研究の延長上にある
。
r、Cu、Ag、AI、Sb、AI、Moの添加効果が
記載されている。本発明はこれらの研究の延長上にある
。
(発明の目的)
本発明の目的は耐久性の面で実用に十分耐え得ると同時
に記録−再生特性に優れた光磁気記録媒体を提供するこ
とにある。特に、本発明はTbFeC0の3元系光磁気
記記録材の耐久性を向上させることにある。
に記録−再生特性に優れた光磁気記録媒体を提供するこ
とにある。特に、本発明はTbFeC0の3元系光磁気
記記録材の耐久性を向上させることにある。
(発明の構成)
本発明の特徴は基板と、この基板上に直接または保護層
/エンハンス層を介して形成されたテルビウム(T b
)、鉄(Fe)およびコバルト(Co)より成る光磁気
記録材の薄膜とを有する光磁気記録媒体において、上記
光磁気記録材にニオブ(N b)を0.5〜5原子%さ
らに添加することにある。
/エンハンス層を介して形成されたテルビウム(T b
)、鉄(Fe)およびコバルト(Co)より成る光磁気
記録材の薄膜とを有する光磁気記録媒体において、上記
光磁気記録材にニオブ(N b)を0.5〜5原子%さ
らに添加することにある。
上記基板はガラス、セラミックス、プラスチック、金属
等任意の材料から作ることができるが、生産性、コスト
等から透明プラスチック、特にポリカーボネートが好ま
しい。アクリル樹脂の場合には吸水性が高く、R−T合
金膜の酸化を促進するので、保護膜を用いるのが望まし
い。
等任意の材料から作ることができるが、生産性、コスト
等から透明プラスチック、特にポリカーボネートが好ま
しい。アクリル樹脂の場合には吸水性が高く、R−T合
金膜の酸化を促進するので、保護膜を用いるのが望まし
い。
光磁気記録材としては種々のR−Tの組合せが公知であ
るが、本発明はTb−Fe−Coの三元系合金をベース
として用いる。この3元系合金の組成は主として記録−
再生特性の観点から決められる。各成分の比率は特に限
定されないが、本発明の好ましい3元系合金の組成とし
ては以下のような乙のが挙げられる: T b2+ (F eescO+5)taT bzs
(F es3cO9Ls T L7(F esecoz)ts T Ls (F ep3c 017)?+一般的にはベ
ースとなる3元系合金は下記式で表わすことができる: T by (F e+oo−zCO2)+oo yここ
で、yは20〜30 2は5〜20 である。
るが、本発明はTb−Fe−Coの三元系合金をベース
として用いる。この3元系合金の組成は主として記録−
再生特性の観点から決められる。各成分の比率は特に限
定されないが、本発明の好ましい3元系合金の組成とし
ては以下のような乙のが挙げられる: T b2+ (F eescO+5)taT bzs
(F es3cO9Ls T L7(F esecoz)ts T Ls (F ep3c 017)?+一般的にはベ
ースとなる3元系合金は下記式で表わすことができる: T by (F e+oo−zCO2)+oo yここ
で、yは20〜30 2は5〜20 である。
本発明の特徴は上記の3元系合金にNbを0.5〜5原
子%添加して、4元系の合金としたものを光磁気記録材
として用いる点にある。
子%添加して、4元系の合金としたものを光磁気記録材
として用いる点にある。
従って、本発明の光磁気記録材は下記一般式で表わされ
る; [Tby (Fetoo zcO2)+oo y]
too−XNbXここで、 X=0.5〜5 y= 20〜30 z= 5 〜20 上記元素の添加によって耐久性−耐酸化性、耐食性−が
向上する理由は一般に不l!bF、!が膜表面に形成さ
れるためであると考えられている (前記MG−85−
80参照) 上記Nbの添加量が0.5原子%未満では耐久性の効果
がなく、5原子%を超えるとCNR。
る; [Tby (Fetoo zcO2)+oo y]
too−XNbXここで、 X=0.5〜5 y= 20〜30 z= 5 〜20 上記元素の添加によって耐久性−耐酸化性、耐食性−が
向上する理由は一般に不l!bF、!が膜表面に形成さ
れるためであると考えられている (前記MG−85−
80参照) 上記Nbの添加量が0.5原子%未満では耐久性の効果
がなく、5原子%を超えるとCNR。
BER等の記録−再生特性が時間の経過とともに低下し
、ともに実用にならない。
、ともに実用にならない。
以下、実施例を用いて本発明を説明する。
(実 施 例)
射出成形によって成形した直径130 mm、厚さ1.
2II1mのポリカーボネート製基板をスパッタリング
装置(日本真空製)にセットし、到達真空度= 5 X
10−’Torr、スパッター(Ar)圧力=7×1
0−3T orr、スパッタ電力= 1.40.Wで、
各種組成のターゲットを用いて上記基板上に膜厚的t、
ooo人の磁性薄膜を形成した。
2II1mのポリカーボネート製基板をスパッタリング
装置(日本真空製)にセットし、到達真空度= 5 X
10−’Torr、スパッター(Ar)圧力=7×1
0−3T orr、スパッタ電力= 1.40.Wで、
各種組成のターゲットを用いて上記基板上に膜厚的t、
ooo人の磁性薄膜を形成した。
上記ターゲットとしてはTb□(Fe、、Co目)78
の合金ターゲット上に所定数のNbのチップを置いたも
のを使用した。スパッター後の薄膜の組成はターゲット
の組成とほぼ同じであることが分析結果かられかってい
る。
の合金ターゲット上に所定数のNbのチップを置いたも
のを使用した。スパッター後の薄膜の組成はターゲット
の組成とほぼ同じであることが分析結果かられかってい
る。
得られた磁性薄膜の評価はピンホール数(N)の増加率
(N/No、Noは第4元素を添加しないディスクのピ
ンホール数)とEEr(変化率(BER/B E Ro
、 B E Roは初期値)の60℃、90%RtI下
での経時変化により行った。
(N/No、Noは第4元素を添加しないディスクのピ
ンホール数)とEEr(変化率(BER/B E Ro
、 B E Roは初期値)の60℃、90%RtI下
での経時変化により行った。
第1図は上記チップとしてNbを用いた場合のピンホー
ル数の変化(N/No)を60’C,90%RH下での
保持時間(時)で示したものである。第2図は同じ<
BEHの変化(BER/BER,・・・初期値に対する
変化率)を示したものである。第1゜2図から明らかな
ようにNb添加の場合、最適添加量は0.5〜5原子%
である。
ル数の変化(N/No)を60’C,90%RH下での
保持時間(時)で示したものである。第2図は同じ<
BEHの変化(BER/BER,・・・初期値に対する
変化率)を示したものである。第1゜2図から明らかな
ようにNb添加の場合、最適添加量は0.5〜5原子%
である。
(比較例I)
上記Nbを添加しない場合について実施例と同じ方法で
光ディスクを製造し、評価を行った。結果は第3図およ
び第4図に示しである。これら添加物を加えない場合に
は膜の劣化が止らないことを示している。
光ディスクを製造し、評価を行った。結果は第3図およ
び第4図に示しである。これら添加物を加えない場合に
は膜の劣化が止らないことを示している。
(比較例2)
第4成分としてTiを用いた場合について実施した。成
膜法および評価法は実施例と同じである。
膜法および評価法は実施例と同じである。
第5.6図から明らかなように、Tiの添加ではNbは
ど耐久性に効果がない。
ど耐久性に効果がない。
以上の実施例からも明らかなように、本発明の4元系合
金の耐久効果を実用レベルまで向上させることができる
。
金の耐久効果を実用レベルまで向上させることができる
。
本発明の記録材薄膜はそれだけで十分な耐久性を有する
が、これを保護膜と組合せることにより耐久性はさらに
向上する。この保護膜としては本出願人による特開昭6
0−177449号に記載の無アルカリガラスの保護膜
が特に好ましい。この保護膜の組成等については上記公
開公報を参照されたい。
が、これを保護膜と組合せることにより耐久性はさらに
向上する。この保護膜としては本出願人による特開昭6
0−177449号に記載の無アルカリガラスの保護膜
が特に好ましい。この保護膜の組成等については上記公
開公報を参照されたい。
本発明媒体は上記保護膜の他に公知のエンハンス膜等と
組合仕ることができるということは明らかである。
組合仕ることができるということは明らかである。
第1図は本発明?こよるNb添加効果を示すための記録
媒体の60℃、90%RH下でのピンホール数変化率を
経過時間に対して描いた図。 第2図は同じ< BER(ビットエラー率)の変化率を
経過時間に対して描いたもの。 第3〜6図は比較例を示す図で、第3図および第4図は
本発明を用いない場合のピンホール数変化とBER変化
率を各々示し、第5図および第6図は本発明でないTi
の添加では効果が少ないということを示す、 ピンホー
ル変化率とBER変化率を各々示す図。 第1図 0 200 400 600 800 1.00060
℃、90%RH保持時間(Hr) 第2図 60℃、90%RH保持時間(Hr) 第3図 第4図
媒体の60℃、90%RH下でのピンホール数変化率を
経過時間に対して描いた図。 第2図は同じ< BER(ビットエラー率)の変化率を
経過時間に対して描いたもの。 第3〜6図は比較例を示す図で、第3図および第4図は
本発明を用いない場合のピンホール数変化とBER変化
率を各々示し、第5図および第6図は本発明でないTi
の添加では効果が少ないということを示す、 ピンホー
ル変化率とBER変化率を各々示す図。 第1図 0 200 400 600 800 1.00060
℃、90%RH保持時間(Hr) 第2図 60℃、90%RH保持時間(Hr) 第3図 第4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基板と、この基板上に形成されたテルビウム、鉄お
よびコバルトより成る光磁気記録材の薄膜とを有する光
磁気記録媒体において、上記光磁気記録材がさらにニオ
ブを0.5〜5原子%含むことを特徴とする光磁気記録
媒体。 2)上記光磁気記録材薄膜の組成が下記の式で表わされ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気
記録媒体: [Tb_y(Fe_1_0_0_−_zCO_z)_1
_0_0_−_y]_1_0_0_−_xNb_xここ
で xは0.5〜5、zは5〜20、 yは20〜30 3)上記基板と光磁気記録材薄膜との間および/または
光磁気記録材薄膜の外表面上に保護層および/またはエ
ンハンス層がさらに設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第1、2項いずれか一項に記載の光磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27837286A JPS63131353A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27837286A JPS63131353A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63131353A true JPS63131353A (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=17596416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27837286A Pending JPS63131353A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63131353A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63155446A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP27837286A patent/JPS63131353A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63155446A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
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