JPS63129191A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS63129191A JPS63129191A JP27360986A JP27360986A JPS63129191A JP S63129191 A JPS63129191 A JP S63129191A JP 27360986 A JP27360986 A JP 27360986A JP 27360986 A JP27360986 A JP 27360986A JP S63129191 A JPS63129191 A JP S63129191A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- rotor
- magnetic bearing
- gas
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 13
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、運転中にロータが磁気軸受により支持される
ターボ分子ポンプに係り、特に磁気軸受の制御不能時に
非常用の軸受でロータが支持されるターボ分子ポンプに
関する。
ターボ分子ポンプに係り、特に磁気軸受の制御不能時に
非常用の軸受でロータが支持されるターボ分子ポンプに
関する。
（従来の技術）
運転中にロータが磁気軸受により支持されるターボ分子
ポンプでは、停電や回路異常で磁気軸受が制御不能とな
ると、磁気軸受の電磁石、位置センサ、モータ巻線にロ
ータが衝突して磁気軸受が破損し、ポンプの再起動が不
可能となる。
ポンプでは、停電や回路異常で磁気軸受が制御不能とな
ると、磁気軸受の電磁石、位置センサ、モータ巻線にロ
ータが衝突して磁気軸受が破損し、ポンプの再起動が不
可能となる。
そこでこの種のターボ分子ポンプでは、磁気軸受の他に
非常用の軸受が設けられており、磁気軸受の制御禾能時
にはその軸受でロータが支持されることにより磁気軸受
とロータとの衝突が防止されている。
非常用の軸受が設けられており、磁気軸受の制御禾能時
にはその軸受でロータが支持されることにより磁気軸受
とロータとの衝突が防止されている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら従来においては、磁気軸受の制御不能時に
は上記軸受のみによりロータが支持されるので、その際
にロータが高速回転していた場合には、発熱や衝撃でそ
の軸受が損傷を受け、ざらにベアリングロックによりそ
の軸受にロータが溶着してポンプの再起動が不可能とな
るおそれがあった。
は上記軸受のみによりロータが支持されるので、その際
にロータが高速回転していた場合には、発熱や衝撃でそ
の軸受が損傷を受け、ざらにベアリングロックによりそ
の軸受にロータが溶着してポンプの再起動が不可能とな
るおそれがあった。
本発明は上記従来の課題に鑑みて為されたものであり、
その目的は、ロータが高速回転していた際に磁気軸受が
制御不能となった場合でも、発熱や衝撃による非常用軸
受の損傷やベアリングロックによるその軸受へのロータ
溶着を確実に回避できるこの種のターボ分子ポンプを提
供することにある。
その目的は、ロータが高速回転していた際に磁気軸受が
制御不能となった場合でも、発熱や衝撃による非常用軸
受の損傷やベアリングロックによるその軸受へのロータ
溶着を確実に回避できるこの種のターボ分子ポンプを提
供することにある。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は、運転中にロータ
を支持する磁気軸受と、磁気軸受の制御不能時にロータ
を支持する非常用軸受と、ロータ翼へ向って外部からガ
スを導入するガス導入管と、ガス導入管に設けられ磁気
軸受の制御不能時に開かれる弁と、を有する、ことを特
徴とする。
を支持する磁気軸受と、磁気軸受の制御不能時にロータ
を支持する非常用軸受と、ロータ翼へ向って外部からガ
スを導入するガス導入管と、ガス導入管に設けられ磁気
軸受の制御不能時に開かれる弁と、を有する、ことを特
徴とする。
（作用）
本発明では、磁気軸受の制御不能時に、ロータ翼へ向か
って外部からガスが導入されるので、そのガスでロータ
の径方向移動が抑制され、このため、ロータの磁気軸受
に対する衝突力が緩和される。
って外部からガスが導入されるので、そのガスでロータ
の径方向移動が抑制され、このため、ロータの磁気軸受
に対する衝突力が緩和される。
また、導入ガスでロータの回転数が急減され、ロータの
回転エネルギが吸収されるので、非常用軸受での熱発生
量がざらに低減される。
回転エネルギが吸収されるので、非常用軸受での熱発生
量がざらに低減される。
（実施例）
以下、本発明に係るターボ分子ポンプの好適な実施例を
説明する。
説明する。
図において、略筒状とされたステータ１０の内壁面には
複数の固定翼１２が軸方向へ配設されており、その内側
に配置されたロータ１４の外壁面には複数の回転翼１６
が固定翼１２と交互に軸方向へ配設されている。
複数の固定翼１２が軸方向へ配設されており、その内側
に配置されたロータ１４の外壁面には複数の回転翼１６
が固定翼１２と交互に軸方向へ配設されている。
そしてロータ１４はステータコラム１８により内部支持
されており、ポンプ運転中にロータ１４を支持する磁気
軸受にはそのステータコラム１８に設けられた軸方向電
磁石２０、径方向型ｖｉ１５２２が含まれている。
されており、ポンプ運転中にロータ１４を支持する磁気
軸受にはそのステータコラム１８に設けられた軸方向電
磁石２０、径方向型ｖｉ１５２２が含まれている。
ざらにロータ１４はステータコラム１８に設けられたモ
ータ２３により回転駆動されており、その回転数、軸方
向位置、径方向位置はセンサ２４．２６．２８により各
々検出されている。
ータ２３により回転駆動されており、その回転数、軸方
向位置、径方向位置はセンサ２４．２６．２８により各
々検出されている。
また前述の非常用軸受としてはステータコラム１８の上
側と下側に各々設けられたドライタイプのボールベアリ
ング３０が使用されている。
側と下側に各々設けられたドライタイプのボールベアリ
ング３０が使用されている。
そして非常時にはそれらのうち上側のボールベアリング
３０によりロータ上部の支持が軸方向及び径方向につい
て行なわれ、また下側のボールベアリング３０によりロ
ータ下部の支持が径方向について行なわれる。
３０によりロータ上部の支持が軸方向及び径方向につい
て行なわれ、また下側のボールベアリング３０によりロ
ータ下部の支持が径方向について行なわれる。
またポンプ下側に設けられた排気口３２と平行に管３４
がベース３８を貫通してポンプ内部へ挿入されており、
その筈３４には常圧の不活性ガスが弁３Ｂを介して外部
から供給される。
がベース３８を貫通してポンプ内部へ挿入されており、
その筈３４には常圧の不活性ガスが弁３Ｂを介して外部
から供給される。
ざらに弁３８はセンサ２８の検出信号から磁気軸受の制
御異常を検知し、電源の異常を検知する不図示の制御装
置により開閉制御されており、いずれかの異常が検知さ
れた磁気軸受の制御不能時において直ちに開制御されて
いる（但し、その際には不図示のメインバルブが予め閉
じられる）。
御異常を検知し、電源の異常を検知する不図示の制御装
置により開閉制御されており、いずれかの異常が検知さ
れた磁気軸受の制御不能時において直ちに開制御されて
いる（但し、その際には不図示のメインバルブが予め閉
じられる）。
本実施例が以上のように構成されているので、磁気軸受
の制御不能時に回転翼（ロータ翼）へ向って外部からガ
スが導入され、したがってそのガスでロータ１４の径方
向移動が抑制され、このためロータ１４の磁気軸受に対
する衝突力が緩和される。
の制御不能時に回転翼（ロータ翼）へ向って外部からガ
スが導入され、したがってそのガスでロータ１４の径方
向移動が抑制され、このためロータ１４の磁気軸受に対
する衝突力が緩和される。
また、導入ガスでロータ１４の回転数が急減され、ロー
タ１４の回転エネルギが吸収されるので、非常用ベアリ
ング３０での熱発生量が低減される。
タ１４の回転エネルギが吸収されるので、非常用ベアリ
ング３０での熱発生量が低減される。
以上説明したように本実施例によれば、磁気軸受の制御
不能時にロータ１４が高速回転（例えば２４００Ｏｒｐ
ｍ）されていた場合であっても、ベアリング３０に対す
るロータ１４の衝撃力が大巾に緩和され、またその際に
ベアリング３ｏで発生する熱の量が著しく低減され、し
たがってベアリング３０（特に下側）の損傷を有効に防
止でき、またベアリングロックによるその軸受へのロー
タ溶着も確実に回避できる。
不能時にロータ１４が高速回転（例えば２４００Ｏｒｐ
ｍ）されていた場合であっても、ベアリング３０に対す
るロータ１４の衝撃力が大巾に緩和され、またその際に
ベアリング３ｏで発生する熱の量が著しく低減され、し
たがってベアリング３０（特に下側）の損傷を有効に防
止でき、またベアリングロックによるその軸受へのロー
タ溶着も確実に回避できる。
（効果）
以上説明したように本発明によれば、磁気軸受の制御不
能時にロータが高速回転されていた場合であっても、そ
の際にロータ買へ向って外部からガスが導入されるので
、そのガスにより非常用軸受に対するロータの衝撃力が
大巾に緩和され、またその際に非常用軸受で発生する熱
の量が著しく低減され、したがって非常用軸受の損傷を
有効に防止でき、またベアリングロックによるその軸受
へのロータ溶着も確実に回避でき、その結果、磁気軸受
の制御異常に対する安全信頼性を著しく高めることが可
能となる。
能時にロータが高速回転されていた場合であっても、そ
の際にロータ買へ向って外部からガスが導入されるので
、そのガスにより非常用軸受に対するロータの衝撃力が
大巾に緩和され、またその際に非常用軸受で発生する熱
の量が著しく低減され、したがって非常用軸受の損傷を
有効に防止でき、またベアリングロックによるその軸受
へのロータ溶着も確実に回避でき、その結果、磁気軸受
の制御異常に対する安全信頼性を著しく高めることが可
能となる。
図面は本発明に係るターボ分子ポンプの好適な実施例を
示す構成説明図でおる。 １０・・・ステータ １２・・・固定翼 １４・・・ロータ １６・・・回転翼 １８・・・ステータコラム ２０．２２・・・電磁石 ３０・・・ベアリング ３４・・・管 ３８・・・弁 以上
示す構成説明図でおる。 １０・・・ステータ １２・・・固定翼 １４・・・ロータ １６・・・回転翼 １８・・・ステータコラム ２０．２２・・・電磁石 ３０・・・ベアリング ３４・・・管 ３８・・・弁 以上
Claims (1)
- （１）運転中にロータを支持する磁気軸受と、磁気軸受
の制御不能時にロータを支持する非常用軸受と、ロータ
翼へ向って外部からガスを導入するガス導入管と、ガス
導入管に設けられ磁気軸受の制御不能時に開かれる弁と
、を有する、ことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27360986A JPS63129191A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27360986A JPS63129191A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129191A true JPS63129191A (ja) | 1988-06-01 |
| JPH0543879B2 JPH0543879B2 (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=17530133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27360986A Granted JPS63129191A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63129191A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| JPH03108899U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-08 | ||
| US5522694A (en) * | 1994-08-01 | 1996-06-04 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Venting device for magnetically supported vacuum pumps |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4830012A (ja) * | 1971-08-24 | 1973-04-20 | ||
| JPS6192790U (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-16 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP27360986A patent/JPS63129191A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4830012A (ja) * | 1971-08-24 | 1973-04-20 | ||
| JPS6192790U (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-16 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| JPH03108899U (ja) * | 1990-02-22 | 1991-11-08 | ||
| US5522694A (en) * | 1994-08-01 | 1996-06-04 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Venting device for magnetically supported vacuum pumps |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543879B2 (ja) | 1993-07-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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