JPS6312539A - 可撓性板状体の分離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は可撓性板状体の分離方法に関し、特に積層され
た可撓性板状体を順次上方より１枚ずつ吸着して分離さ
せることのできる分離方法に関する。

し発明の技術的背景］ ＴＣ等電子部品の製造工程においては、ウェハから１個
のペレットを取り上げ、リードフレームのペレット載置
部に順次取り付けるペレットボンディング作業が行なわ
れる。イしてこの作業に用いられるホンディング装置に
おいては、リードフレームの供給装置が備えられる。従
来この種の供給装置には、例えば特開昭５３−６８９７
３号に記載されているものがあり、ストッカに積層状態
とされたリードフレームを上方より、吸着盤等の吸着手
段で順次１枚ずつ吸着分離し、ホンディング部に供給す
ることが行なわれている。ところか、この方法ではリー
ドフレームの有するパリやリードフレーム同志の密着現
象等により、一度に２枚以上のリードフレームを吸着し
てしまうことかあり、ホンディング作業に支障を来たし
ていた。

また特公昭６Ｏ−２７６１Ｃ）号公報に【３Ｌ、可撓性
板状体の分画１方法ど題し、ｌ”、、　１７ｒｉ欠勲を
除去するため、板状体の略中央部を押佳しイ↑がら縁部
のみを上昇させ、全体を４つん曲さｌる技術が開示され
ている。

［背景技術の問題点］ しかしなからこのｈ法にＪ３いて、ストッカ内の最−４
−位に位置Ｊ−る板状体の略中央部を押斤しているため
、この略中火部ど次位置の板状体どの密６性は依然とし
て解演でさ４（かつ７Ｌ　ｆｌｌ［発明の目的１ 本発明は、」−記欠貞を除去りるｋめに成されたもので
、可撓性板状体の分ｔｅｌ　（’を業を確実に行４ｆう
ことのできる可撓１〕１板状休の分出１１方法を提供り
ることを目的と一す−る、１ ［発明の概四１ 上記目的を達成りるため本発明においては、積層された
可１尭・［（１板状体を順次ｌ−１ｊＪ、す１枚り′つ
吸着して取り出Ｊｊ−１１Ｍ・Ｉ’ｌ　！ｊＩ状体の弁
頭げ〕法にｄ３いて、前記可１尭・目板状体の縁部イ・
１近を吸ン１りる第１の吸容手段と、前記可撓性板状体
の略中央部を吸着覆る第２の吸容手段と、を有する分離
装置を最上位に位置Ｊる前記町１尭性板状体上に位置さ
せ、前記第１並びに第２の吸容手段の吸着面が略同一平
面に位置する状態から、前記第１の吸容手段のみを十ｍ
記可１尭・［４板状体をその略中央部を境に下方に向っ
て凹状にわ７９曲さける工程と、前記第２の吸着手段の
みを十餠前記可撓性板状体をぞの略中央部を境に−Ｌ方
に向って凸状にわん曲させる工程とを交ひに行なうＪ、
うにしたことを特徴とする。

［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例につき、図面を用いて説明り−る
。第１図は本発明を実施するための一装置の概略正面図
で、図において、１はストッカ、２はストッカ１内に積
層されたリードフレーム、３は分離装置で、この分１１
を装置３は、支持板４と、この支持板４に対し垂直方向
に移動自在とされ、支持板４かス１〜ツカ１に対向した
時、リードフレーム２のぞれぞれ縁部付近に対向づる縁
部吸着盤５と、略中央部に対向りろ中央部吸着盤６とを
右する。なａ５縁部ｎ７Ｑ石Ｗ！！（！、’：ｌと中１
Ｌ部吸る盤（３（眠ぞれぞれ図示省略のシリング、電磁
イーｊ、カム等の公知手段により、シ持板４にス＝Ｉ　
ｌ、　ＣＩ小動されるようになっており、また名阪石盤
ｊ５．６は図示省略の真空源と適宜接続されろ、１ さて上記構成Ｊ、り成るリートル−ム分離装置の作動に
つき第１図と第２図乃金第４図を用いて説明する。

まず支持板４に（５１１、各吸着盤５．６の吸着面か略
同一平面に位ｉｆ？ｔ　”ｊるＪ、うにさｌ！る。この
状態て支持板４をス１ヘツカ′１の十７′ｉＪ、り下降
さＶ、そして各吸着盤５５．６の吸ｈ−面を第１図に示
されるようにストッカ１内の最１−位にイ）７　ｆｆ？
／するリードフレーム２と当接さける。３次に真空源と
各吸着盤５．６どを接続し、第２図に示されるように、
中央部吸着盤６はそのよよの状態どさ」Ｌるとともに、
縁部吸＠盤５を持ら１−げる。この時、中央部吸着盤６
を支点とし、リードル−ム２１Ｊ−Ｌ方に向って凹状に
わ７９曲さμられる。従って最上位に位置するリードフ
レーム２と次位置のリードフレーム２の縁部間に空気が
入り、両縁部において分離される。次に縁部吸着盤５を
第１図の状態に戻すととしに、第３図に示されるように
、今度は中央部吸着盤６を持ち一トげる。この時、リー
ドフレーム２の縁部は縁部吸着盤５により押さえられて
いるので、リードフレーム２は下方に向って凸状にわん
曲させられる。従って最上位に位置するリードフレーム
２と次位置のリードフレーム２の略中央部間に空気が入
り、この中央部付近においても分離されることとなる。

このようにして最上位に位置するリードフレーム２を次
位置のリードフレーム２から全体にわたって分離させた
後、第４図に示されるように縁部吸着盤５が上動して、
その吸着面を中央部吸着盤６の吸着面と略同一平面に位
置させ、ストッカ１内の最上位に位置するリードフレー
ム２を次位置のリードフレーム２から分離上昇させる。

その後は保持板４がペレッ［・ボンディング装置のフィ
ーダ部に移動することとなる。

このように上記した実施例においては、ストン力１内に
おいて最上位に位置りるリードフレーム２に、上方に向
って凹状にわん曲さ−ける状態と、上方に向って凸状に
わん曲させる状態とを交互に与えるようにしたものであ
る。従って最上位に位置するリードフレーム２にお（す
る次位置のリードフレーム２どの接触箇所全てにおいて
分離されることとなり、ス１〜ツカ１からはリードフレ
ーム２が確実に１枚ずつ分ｔｉｓｌｌされることどなる
。

なお上記実施例に（１３いては、第３図の状態から縁部
吸着盤５を上動さμｋか、中央部吸着盤６の吸着面が縁
部吸着盤（）の吸着面と略同一平面となるように中央部
吸着盤６を下動ざけてもかまわない。また図でいうと第
１図に示される状態から第２図、第３図という二１程で
説明したが、第１図の状態から第３図、第２図という：
１稈をたどってもかまわない。さらに第２図と第３図に
示した工程を交互に複数回行なうＪ、うにし−（もかよ
りない。

［発明の効果］ 以上説明しｌごように本発明にょろり撓性根状体の分離
方法によれば、積層された可撓性板状体を上方より順次
１枚ずつ確実に分離することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を実施するための一装置の概略正面図、
第２図乃至第４図は同装置の作動状態を示す部分正面図
を各々示す。 １・・・ストッカ、２・・・リードフレーム（可撓性板
状体）、３・・・分離装置、４・・・支持板、５・・・
縁部吸着盤（第１の吸着手段）、６・・・中央部吸着盤
（第２の吸着手段）。 特許出願人　　　東芝精機株式会社 、４　面 ＼ｊ 目甲≠＝巨目

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）積層された可撓性板状体を順次上方より１枚ずつ
   吸着して取り出す可撓性板状体の分離方法において、前
   記可撓性板状体の縁部付近を吸着する第１の吸着手段と
   、前記可撓性板状体の略中央部を吸着する第２の吸着手
   段と、を有する分離装置を最上位に位置する前記可撓性
   板状体上に位置させ、前記第１並びに第２の吸着手段の
   吸着面が略同一平面に位置する状態から、前記第１の吸
   着手段のみを上動させて前記可撓性板状体をその略中央
   部を境に上方に向って凹状にわん曲させる工程と、前記
   第２の吸着手段のみを上動させて前記可撓性板状体をそ
   の略中央部を境に上方に向つて凸状にわん曲させる工程
   とを交互に行なうようにしたことを特徴とする可撓性板
   状体の分離方法。